JP4146151B2 - 静圧気体軸受及びこれを用いたスピンドル装置 - Google Patents
静圧気体軸受及びこれを用いたスピンドル装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4146151B2 JP4146151B2 JP2002109288A JP2002109288A JP4146151B2 JP 4146151 B2 JP4146151 B2 JP 4146151B2 JP 2002109288 A JP2002109288 A JP 2002109288A JP 2002109288 A JP2002109288 A JP 2002109288A JP 4146151 B2 JP4146151 B2 JP 4146151B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air supply
- bearing
- main shaft
- supply holes
- row
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
- F16C32/0614—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Turning (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、高精度な加工機や検査装置などに組み込まれ、主軸を非接触支持する静圧気体軸受及びこれを用いたスピンドル装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
静圧気体軸受は主軸を軸受面に対して非接触状態で支持するため、その回転精度が高く、精密加工機や精密検査装置のワークスピンドル装置または工具スピンドル装置などに使用されている。このような静圧気体軸受およびこれを用いたスピンドル装置の従来例を図9に示す。
【0003】
この静圧気体軸受は、ハウジング3に軸受スリーブ4,5,6を適宜の手段で固定し、主軸1を、二つの軸受スリーブ4,5により形成されたジャーナル軸受部7,8で微小な軸受隙間を介して非接触状態で径方向に支持すると共に、主軸1に一体に設けたスラスト板2を、その両面から二つの軸受スリーブ5,6で挟み込むことで形成された一対のスラスト軸受部9,10で微小な軸受隙間を介して非接触状態で軸方向に支持する。この静圧気体軸受を具備するスピンドル装置では、主軸1と同軸的に駆動源22が設けられ、この駆動源22は、主軸1にモータロータ11が一体に取り付けられ、モータステータ12との間に作用する電磁力により発生する駆動力でもって主軸1を回転させる。
【0004】
ジャーナル軸受部7,8を構成する軸受スリーブ4,5には、主軸1と対向する軸受面に開口する複数個の微細な給気孔13を円周方向等間隔に配置した軸方向二列の給気列23がそれぞれ設けられている。また、主軸1の外径面には、軸受スリーブ4,5に形成された二列の給気列23と対向する位置に円周溝18が設けられている。
【0005】
スラスト軸受部9,10を構成する軸受スリーブ5,6には、スラスト板2と対向する軸受面に開口する複数個の微細な給気孔14を円周方向等間隔に配置した円周上一列の給気列24がそれぞれ設けられている。このスラスト軸受部9,10における静剛性を上げるため、軸受スリーブ5,6に形成された給気列24の給気孔14を連結する形で円周溝を設ける場合もある。
【0006】
この静圧気体軸受では、軸受給気口15から圧縮気体を供給すると、圧縮気体は、ハウジング3に設けられた給気通路16を経由して給気列23,24の給気孔13,14からジャーナル軸受部7,8およびスラスト軸受部9,10の軸受隙間に流入し、軸受隙間内の圧縮気体の圧力によって主軸1の自重や外部負荷に釣り合う軸受反力を生じる。このジャーナル軸受部7,8およびスラスト軸受部9,10により、主軸1を非接触状態で支持しながら回転駆動させることによって、高精度の回転運動を実現している。なお、ジャーナル軸受部7,8およびスラスト軸受部9,10から流出する気体は、軸受端部から直接、または、排気通路17を通ってハウジング3の外部に排出される。
【0007】
軸受スリーブ4と5の間には、シールスリーブ19が配設されている。このシールスリーブ19には、内径面と外径面間で貫通する排気孔25およびその排気孔25と連通する円周溝26が内径面と外径面にそれぞれ形成されている。この排気孔25および円周溝26を介して、主軸1に設けた排気通路21とハウジング3に設けた排気通路20とが連通している。シールスリーブ19の内径面に形成された円周溝26の両側は、ジャーナル軸受部7,8の軸受隙間と同等の微小なシール隙間を介して主軸1の外径面と対向し、非接触シール構造を呈する。
【0008】
このスピンドル装置では、排気通路20に接続された外部の真空ポンプ(図示せず)によって、シールスリーブ19を経由して主軸1の排気通路21から吸引排気することにより、主軸1の先端に真空チャック(図示せず)などを取付けて使用する。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、主軸1の径方向振れ精度に関しては、ジャーナル軸受部7,8の特性が支配的である。また、静圧気体軸受の剛性および減衰係数を大きくするには軸受隙間を小さくすることが有効なので、他の要因が許容する範囲内で可能な限り軸受隙間を小さく設定し、その隙間で軸受剛性が最大となるように給気孔13の大きさと個数および給気列23の軸方向位置を決定するのが一般的である。ここで、軸受隙間を小さくすると圧縮気体の流れに対する軸受隙間の抵抗が大きくなり、それに応じて給気孔13の抵抗も大きくする必要があるので、給気孔13の直径を可能な限り小さくし、その個数を減らすことになる。
【0010】
また、ジャーナル軸受部7,8の給気列23における給気孔13の円周方向位置に関しては、従来は特別の配慮はされておらず、ジャーナル軸受部7,8における二列の給気列23の給気孔13はそれぞれ同位相(同じ円周方向位置)で配置され、ジャーナル軸受部7と8の給気孔13による位相関係に関しては、特に規定されていないのがほとんどである。
【0011】
近年では、半導体や情報媒体の高密度化、微細化に伴い、特に主軸の径方向振れが検査や加工の精度に対して影響が大きいことから、静圧気体軸受の主軸の振れ精度をさらに向上させることが望まれている。この静圧気体軸受の主軸振れ精度に関して、一列給気で円周溝を持たない自成絞り型の静圧気体軸受を解析対象(軸受モデル)として、給気孔の個数と主軸形状(真円度誤差)の相互作用によって、主軸の回転時に特定周波数の加振力が発生して軸心振れを生じることが理論的に示されている〔「静圧気体ジャーナル軸受の回転精度特性に関する基礎的研究(第2報、軸回転精度特性)」日本機械学会論文集(C編)58巻548号(1992-4)p.1177〜1183〕。
【0012】
この文献によれば、給気列を構成する給気孔の個数がk個の場合、主軸の真円度誤差との相互作用により、回転速度のnk±1倍(n=1,2,・・・・)の振動数を有する軸心振れが発生する可能性が指摘されている。また、主軸の回転速度の影響に関しては、回転数が増加して軸心振れの周波数が共振点を超えると、軸心振れの振幅が小さくなることが示されている。従って、図9に示すように二列の給気列23で円周溝18を設けた静圧気体軸受についても、原理的には同様な現象が発生する可能性があると推定できる。
【0013】
前記文献で指摘された給気孔個数と主軸形状(真円度誤差)の相互作用に起因する主軸の軸心振れを低減するには、図9に示すように主軸1の外径面に円周溝18を設けることにより、給気孔出口の隙間を大きくし、かつ、軸受隙間の圧力を円周方向に平準化することで一定の効果が期待できる。半導体や情報媒体の高密度化、微細化に伴い、静圧気体軸受の主軸1の振れ精度をさらに向上させることが望まれている点から、更なる効果を発揮させるために、一つの給気列における給気孔の個数kを増やして、使用回転数のk−1倍がスピンドル装置の共振点を超えるようにすれば、軸心振れの振幅を小さくすることができる。しかしながら、給気孔の個数を増やすと軸受隙間の増加が必要になり、そのため軸受の剛性および減衰係数の低下と圧縮気体消費量の増大を招く。特に、剛性および減衰係数の低下は、外乱振動による軸心振れを増大させるという問題がある。
【0014】
そこで、本発明は前記問題点に鑑みて提案されたもので、その目的とするところは、従来と同等の静剛性および圧縮気体消費量を確保しながら、静圧気体軸受の振れ精度を向上させ得る静圧気体軸受及びこれを用いたスピンドル装置を提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するための技術的手段として、本発明は、主軸と、複数個の給気孔が円周方向等間隔に配置された給気列を軸方向に複数列設けたジャーナル軸受部とを備え、前記給気列の給気孔から圧縮気体を噴出させることにより前記主軸を非接触状態で回転自在に径方向に支持する静圧気体軸受において、前記給気列の給気孔を、各給気列ごとにずらして隣接する給気列の給気孔の円周方向中間位置に配すると共に、その円周方向位置について前記給気列の配列方向中央の両側で対称となるように配置したことを特徴とする。
【0016】
通常、主軸のジャーナル軸受面は円筒研削盤で加工され、その円筒研削盤のワークスピンドルの軸心振れが主軸の真円度誤差として転写されるので、軸方向に異なる位置でもほぼ同一の断面形状(真円度誤差)を持っている。そのため、ジャーナル軸受部における複数の給気列の給気孔を、各給気列ごとにずらして隣接する給気列の給気孔の円周方向中間位置に配することにより、円周上の給気孔の個数を見かけ上増加させることができる。
【0017】
このような配置により給気孔の個数が見かけ上増加することにより、主軸の真円度誤差に起因する加振力の周波数が高くなり、その周波数をスピンドル装置の共振点よりも高周波側に容易に設定できる。これにより、共振点よりも周波数が高い軸心振れに対しては、軸受の減衰作用が効果的に作用するので軸心振れの振幅を小さくすることができる。ここで、給気孔の個数は、実際上従来どおりであるため、軸受剛性、減衰係数、圧縮気体消費量については、従来と同等の性能を維持できる。
【0018】
なお、前記給気列の給気孔を、その円周方向位置について前記給気列の配列方向中央の両側で対称となるように配置したことにより、給気孔の個数と主軸形状(真円度誤差)の相互作用に起因する主軸の軸心振れの加振力は給気列の配列方向中央の両側で対称に発生するので、この加振力による主軸の傾きを最小限に抑制することができる。
【0019】
また、前記ジャーナル軸受部の各給気列を単一の軸受部材に形成することが望ましい。このようにすれば、給気列の給気孔を、その円周方向位置について主軸中心に対して軸方向で対称となるように配置することが容易となり、給気孔の円周方向配置を精度よく行なえる。
【0020】
前記構成からなる静圧気体軸受は、前記主軸に連設されたスラスト板に対向配置して主軸を軸方向に支持するスラスト軸受部を有し、さらに、その静圧気体軸受の主軸を回転させる駆動源とを具備することによりスピンドル装置を構成する。
【0021】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の実施形態を示す。なお、図9と同一部分には同一参照符号を付す。この実施形態の静圧気体軸受は、ハウジング3に軸受スリーブ4,5,6を適宜の手段で固定し、主軸1を、二つの軸受スリーブ4,5により形成されたジャーナル軸受部7,8で微小な軸受隙間を介して非接触状態で径方向に支持すると共に、主軸1に一体に設けたスラスト板2を、その両面から二つの軸受スリーブ5,6で挟み込むことで形成された一対のスラスト軸受部9,10で微小な軸受隙間を介して非接触状態で軸方向に支持する。
【0022】
この静圧気体軸受を具備するスピンドル装置では、主軸1と同軸的に駆動源22が設けられ、この駆動源22は、主軸1にモータロータ11が一体に取り付けられ、モータステータ12との間に作用する電磁力により発生する駆動力でもって主軸1を回転させる。モータには、主軸1を非接触支持する静圧気体軸受の特色を生かすため、同期型または誘導型のACモータ等、ブラシを用いないモータが用いられる。なお、ACサーボモータを使用する場合には主軸1の回転角を検出するセンサが必要であり、例えば主軸1を図示右側に延長してロータリーエンコーダ(図示せず)が取り付けられる。
【0023】
ジャーナル軸受部7と8を構成する軸受スリーブ4と5には、主軸1と対向する軸受面に開口する複数個の微細な給気孔31a,31bと31c,31dを円周方向等間隔に配置した軸方向二列の給気列41a,41bと41c,41dがそれぞれ設けられている。また、主軸1の外径面には、軸受スリーブ4,5に形成された二列の給気列41a,41bと41c,41dと対向する位置に円周溝18がそれぞれ設けられている。このような比較的単純な構造により、ジャーナル軸受部7,8における静剛性を大きくしている。
【0024】
なお、スラスト軸受部9と10を構成する軸受スリーブ5と6には、従来と同様、スラスト板2と対向する軸受面に開口する複数個の微細な給気孔14を円周方向等間隔に配置した円周上一列の給気列24がそれぞれ設けられている。このスラスト軸受部9,10における静剛性を上げるため、軸受スリーブ5,6に形成された給気列24の給気孔14を連結する形で円周溝を設ける場合もある。
【0025】
この静圧気体軸受では、軸受給気口15から圧縮気体を供給すると、圧縮気体は、ハウジング3に設けられた給気通路16を経由して給気列41a〜41d,24の給気孔31a〜31d,14からジャーナル軸受部7,8およびスラスト軸受部9,10の軸受隙間に流入し、軸受隙間内の圧縮気体の圧力によって主軸1の自重や外部負荷に釣り合う軸受反力を生じる。このジャーナル軸受部7,8およびスラスト軸受部9,10により、主軸1を非接触状態で支持しながら回転駆動させることによって、高精度の回転運動を実現している。なお、ジャーナル軸受部7,8およびスラスト軸受部9,10から流出する気体は、軸受端部から直接、または、排気通路17を通ってハウジング3の外部に排出される。
【0026】
軸受スリーブ4と5の間には、シールスリーブ19が配設されている。このシールスリーブ19には、内径面と外径面間で貫通する排気孔25およびその排気孔25と連通する円周溝26が内径面と外径面にそれぞれ形成されている。この排気孔25および円周溝26を介して、主軸に設けた排気通路21とハウジング3に設けた排気通路20とが連通している。シールスリーブ19の内径面に形成された円周溝26の両側は、ジャーナル軸受部7,8の軸受隙間と同等の微小なシール隙間を介して主軸1の外径面と対向し、非接触シール構造を呈する。
【0027】
このスピンドル装置では、排気通路20に接続された外部の真空ポンプ(図示せず)によって、シールスリーブ19を経由して主軸1の排気通路21から吸引排気することにより、主軸1の先端に真空チャック(図示せず)などを取付けて使用する。
【0028】
この実施形態では、軸受スリーブ4におけるジャーナル軸受部7の給気列41a,41bの給気孔31a,31bを図2に示すように配置すると共に、軸受スリーブ5におけるジャーナル軸受部8の給気列41c,41dの給気孔31c,31dを図3に示すように配置する。同図に示すように給気列41bの給気孔31bを、給気列41aの給気孔31aの円周方向中間位置に配置し、また、給気列41dの給気孔31dを、給気列41cの給気孔31cの円周方向中間位置に配置する。すなわち、給気列41bの給気孔31bは、給気列41aの給気孔31aの位置から円周方向へ45°位相がずれた位置に配置されることになり、同様に、給気列41dの給気孔31dは、給気列41cの給気孔31cの位置から円周方向へ45°位相がずれた位置に配置されることになる。
【0029】
ここで、主軸1のジャーナル軸受面は円筒研削盤で加工され、その円筒研削盤のワークスピンドルの軸心振れが主軸1の真円度誤差として転写される。主軸1は、軸方向に異なる位置でもほぼ同一の断面形状(真円度誤差)を持っているので、ジャーナル軸受部7,8における複数の給気列41a,41cの給気孔31a,31cを、隣接する給気列41b,41dの給気孔31b,31dの円周方向中間位置に配することにより、主軸1の真円度誤差と給気孔31a〜31dの個数の関係については、見かけ上、円周上の給気孔31a〜31dの個数を2倍にした場合とほぼ等しくなる。
【0030】
このように給気孔31a〜31dの個数は、実際上従来どおりであるにもかかわらず、前述したような配置により給気孔31a〜31dの個数が見かけ上増加することになり、主軸形状(真円度誤差)と給気孔31a〜31dの相互作用によって発生する軸心振れにおける加振力の周波数が、従来のように給気孔13を円周方向に同位相(同じ円周方向位置)で配置した場合の2倍程度に高くなり、その周波数をスピンドル装置の共振点よりも高周波側に容易に設定できる。これにより、共振点よりも周波数が高い軸心振れに対しては、軸受の減衰作用が効果的に作用するので軸心振れの振幅を小さくすることができ、高精度の回転駆動を実現できる。なお、給気孔31a〜31dの個数は、実際上従来どおりであるため、軸受剛性、減衰係数、圧縮気体消費量については、従来と同等の性能を維持できる。
【0031】
二つのジャーナル軸受部7,8において、給気列41a〜41dの給気孔31a〜31dを、その円周方向位置について給気列の配列方向中央の両側で対称となるように配置する。つまり、図2及び図3に示すように軸受スリーブ4の給気列41a,41bの給気孔31a,31bと、軸受スリーブ5の給気列41c,41dの給気孔31c,31dとを、軸線に垂直な方向から見て、給気列の配列方向中央であるシールスリーブ19の軸方向中央位置の両側で左右対称となるように配置する。これにより、主軸回転時に主軸形状と給気孔個数の相互作用で発生する加振力は給気列の配列方向中央の両側で左右対称に発生するので、加振力による主軸1の傾きを最小限に抑え、ワークや工具等を取り付ける主軸先端部での振れをさらに小さくすることができる。
【0032】
図1の実施形態では、ジャーナル軸受部7,8において、二列給気の軸受スリーブ4,5を二つ並設した場合について説明したが、軸受スリーブの個数は三個以上であってもよく、各軸受スリーブの給気列数も、三列以上であってもよい。また、給気列が一列の軸受スリーブを軸方向に複数個配置し、各軸受スリーブの給気列の給気孔について、給気列ごとに位相をずらすようにしてもよい。また、給気列一列当りの給気孔個数は四個に限定されるものではない。
【0033】
図4は本発明の他の実施形態で、四つのジャーナル軸受部42〜45を単一の軸受部材である軸受スリーブ50で構成した場合を示す。この実施形態では、四つのジャーナル軸受部42〜45の給気孔46a〜46hを、図5乃至図8に示すように配置すればよい。各ジャーナル軸受部42〜45の二列の給気列56a〜56hを構成する給気孔、すなわち、ジャーナル軸受部42の給気孔46aと46b、ジャーナル軸受部43の給気孔46cと46d、ジャーナル軸受部44の給気孔46eと46f、ジャーナル軸受部45の給気孔46gと46hを、それぞれ隣接する給気孔の円周方向間隔の1/2、つまり45°だけ位相(円周方向位置)をずらし、ジャーナル軸受部42と43、およびジャーナル軸受部44と45では、さらにその1/2、つまり22.5°だけ位相(円周方向位置)をずらして配置する。また、ジャーナル軸受部42と45、ジャーナル軸受部43と44は、その給気孔配置を軸受スリーブ50の軸方向中央位置に対して左右対称としている。
【0034】
図1の実施形態では、二つのジャーナル軸受部7,8をそれぞれ別体の軸受スリーブ4,5で構成しているため、給気列41a〜41dの給気孔31a〜31dを、軸線に垂直な方向から見て左右対称に配置するには、組立時に軸受スリーブ4,5の位相合わせの作業が必要である。これに対して、図4の実施形態のように複数のジャーナル軸受部42〜45を単一の軸受スリーブ50に設けるようにすれば、組立時の位相合わせ作業が不要になり、また、給気孔46a〜46hの円周方向配置の精度も良くなるという利点がある。
【0035】
なお、軸受スリーブ50の各ジャーナル軸受部42〜45の間には排気通路47が設けられてハウジング3に設けた排気通路48と連通し、各ジャーナル軸受部42〜45の端部から流出する気体は、排気通路47,48を通ってスピンドル装置の外部へ排出される。
【0036】
【発明の効果】
本発明によれば、ジャーナル軸受部に設けた給気列の給気孔の円周方向位置を、給気列ごとにずらすことにより、主軸形状と給気孔の相互作用によって主軸回転時に発生する加振力の周波数を高くすることができる。このため、軸受の減衰効果が有効に作用して主軸の軸心振れが小さくなり、従来と同等の静剛性および圧縮気体消費量を確保しながら、静圧気体軸受の振れ精度を向上させることができて高精度の回転運動を実現できる。
【0037】
また、給気列の給気孔を給気列の配列方向中央の両側で対称となるように配置することで、発生する加振力が軸方向で対称となり、主軸回転時の中心軸の傾きを抑制し、主軸先端部の振れを最小限に小さくできて振れ精度をより一層向上させることができる。このため、主軸先端部に取り付けられるワークや工具の回転精度がより一層向上する。さらに、複数のジャーナル軸受部を単一の軸受部材に設けることで、ジャーナル軸受部を相互に位置合わせする作業が不要になり、作業工数を削減でき、また、ジャーナル軸受部相互間での円周方向位置誤差も低減できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態を示す断面図である。
【図2】図1のA−A線に沿う断面図である。
【図3】図1のB−B線に沿う断面図である。
【図4】本発明の他の実施形態を示す断面図である。
【図5】図3のC−C線に沿う断面図である。
【図6】図3のD−D線に沿う断面図である。
【図7】図3のE−E線に沿う断面図である。
【図8】図3のF−F線に沿う断面図である。
【図9】静圧気体軸受およびスピンドル装置の従来例を示す断面図である。
【符号の説明】
1 主軸
2 スラスト板
7,8 ジャーナル軸受部
9,10 スラスト軸受部
22 駆動源
31a〜31d 給気孔
41a〜41d 給気列
50 軸受部材(軸受スリーブ)
Claims (4)
- 主軸と、複数個の給気孔が円周方向等間隔に配置された給気列を軸方向に複数列設けたジャーナル軸受部とを備え、前記給気列の給気孔から圧縮気体を噴出させることにより前記主軸を非接触状態で回転自在に径方向に支持する静圧気体軸受において、前記給気列の給気孔を、各給気列ごとにずらして隣接する給気列の給気孔の円周方向中間位置に配すると共に、その円周方向位置について前記給気列の配列方向中央の両側で対称となるように配置したことを特徴とする静圧気体軸受。
- 前記ジャーナル軸受部の各給気列を単一の軸受部材に形成したことを特徴とする請求項1に記載の静圧気体軸受。
- 前記主軸に連設されたスラスト板に対向配置して主軸を軸方向に支持するスラスト軸受部を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の静圧気体軸受。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載した静圧気体軸受と、その静圧気体軸受の主軸を回転させる駆動源とを具備したことを特徴とするスピンドル装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002109288A JP4146151B2 (ja) | 2002-04-11 | 2002-04-11 | 静圧気体軸受及びこれを用いたスピンドル装置 |
US10/411,077 US7066652B2 (en) | 2002-04-11 | 2003-04-09 | Externally pressurized gas bearing and spindle equipment using this |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002109288A JP4146151B2 (ja) | 2002-04-11 | 2002-04-11 | 静圧気体軸受及びこれを用いたスピンドル装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003301841A JP2003301841A (ja) | 2003-10-24 |
JP4146151B2 true JP4146151B2 (ja) | 2008-09-03 |
Family
ID=29392793
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002109288A Expired - Lifetime JP4146151B2 (ja) | 2002-04-11 | 2002-04-11 | 静圧気体軸受及びこれを用いたスピンドル装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7066652B2 (ja) |
JP (1) | JP4146151B2 (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7918605B2 (en) * | 2004-09-29 | 2011-04-05 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Gas journal bearing systems and related methods |
JP4484109B2 (ja) * | 2005-01-27 | 2010-06-16 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 非対称流体軸受 |
JP2006292135A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Sharp Corp | 気体軸受構造およびスターリング機関ならびにスターリング冷却庫 |
CN100396437C (zh) * | 2005-10-26 | 2008-06-25 | 广东工业大学 | 高速高刚度复合多支承气体静压轴承电主轴 |
DE102006052427A1 (de) * | 2006-11-07 | 2008-05-08 | BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH | Gasdrucklager und Lagerbuchse dafür |
JP2010190350A (ja) * | 2009-02-19 | 2010-09-02 | Ihi Corp | 静圧気体軸受装置 |
JP5370647B2 (ja) * | 2009-02-19 | 2013-12-18 | 株式会社Ihi | 静圧気体軸受装置を備えた釣合い試験装置 |
JP5408613B2 (ja) * | 2009-05-07 | 2014-02-05 | Ntn株式会社 | 気体軸受スピンドル |
FR2965366B1 (fr) * | 2010-09-28 | 2013-05-17 | Socrate Ind | Unite de mesure de couple et/ou d'effort |
CN102794468B (zh) * | 2012-08-31 | 2015-03-04 | 绍兴文理学院 | 一种高速电主轴 |
JP2014190527A (ja) * | 2013-03-28 | 2014-10-06 | Disco Abrasive Syst Ltd | エアスピンドル、及び、切削装置 |
US9422978B2 (en) * | 2013-06-22 | 2016-08-23 | Kla-Tencor Corporation | Gas bearing assembly for an EUV light source |
CN103934482A (zh) * | 2014-05-15 | 2014-07-23 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种超精密气浮顶尖 |
RU174741U1 (ru) * | 2017-02-21 | 2017-10-31 | Никита Александрович Счастливый | Гибридный радиальный газовый подшипник с широким диапазоном рабочих скоростей и нагрузок |
US9970481B1 (en) * | 2017-09-29 | 2018-05-15 | Efc Systems, Inc. | Rotary coating atomizer having vibration damping air bearings |
CN110732687A (zh) * | 2018-07-20 | 2020-01-31 | 东北林业大学 | 一种微槽孔动静压气浮主轴 |
CN110894854B (zh) * | 2019-09-25 | 2021-06-04 | 北京工业大学 | 一种集成永磁悬浮的重载气浮主轴 |
CN112893890B (zh) * | 2021-02-08 | 2022-09-06 | 广州市昊志机电股份有限公司 | 一种气浮主轴和车床 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6439773B1 (en) * | 1909-11-09 | 2002-08-27 | Ntn Corporation | Externally pressurized gas bearing spindle assembly |
US3049383A (en) * | 1959-06-26 | 1962-08-14 | Escher Wyss Ag | Damping vibrations in a gas bearing |
US3617102A (en) * | 1968-09-17 | 1971-11-02 | Toyda Koki Kk | High speed gas bearing structures |
US3588197A (en) * | 1968-09-30 | 1971-06-28 | Ampex | Fluid lubricated bearing |
JPH0726650B2 (ja) * | 1989-01-20 | 1995-03-29 | エヌティエヌ株式会社 | 静圧気体軸受スピンドル |
JPH1113764A (ja) * | 1997-06-23 | 1999-01-22 | Ntn Corp | 静圧空気軸受 |
DE19835339A1 (de) * | 1998-08-05 | 2000-02-17 | Alfred Jaeger | Luftlager, insbesondere für die Welle einer Motorspindel |
-
2002
- 2002-04-11 JP JP2002109288A patent/JP4146151B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-04-09 US US10/411,077 patent/US7066652B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7066652B2 (en) | 2006-06-27 |
US20040109622A1 (en) | 2004-06-10 |
JP2003301841A (ja) | 2003-10-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4146151B2 (ja) | 静圧気体軸受及びこれを用いたスピンドル装置 | |
US5462470A (en) | Grinding wheel spindle assembly | |
JPH0545802B2 (ja) | ||
JP4124977B2 (ja) | 回転装置 | |
JP2009068649A (ja) | スピンドル装置 | |
JP2006189155A (ja) | 流体動圧軸受システム | |
JP3862326B2 (ja) | 静圧空気軸受スピンドル | |
JP4170730B2 (ja) | 静圧軸受およびこれを用いたエアスピンドルモータ | |
JP4989140B2 (ja) | エアスピンドル用駆動装置 | |
JP2531837Y2 (ja) | 高速静圧気体軸受装置 | |
JP2008025604A (ja) | エアスピンドル用駆動装置 | |
JP2002372039A (ja) | 動圧流体軸受装置及びスピンドルモータ | |
JP2544876Y2 (ja) | 静圧気体軸受装置 | |
KR100414907B1 (ko) | 하이브리드형 초정밀 고속화 공기베어링 스핀들 시스템 | |
JP2006084279A (ja) | 静圧気体軸受スピンドルおよびその制御装置 | |
JPH03157513A (ja) | 軸受け構造 | |
JP4406357B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
JPH069761B2 (ja) | 静圧気体軸受装置 | |
JP2007078037A (ja) | 静圧スラスト軸受装置 | |
JP2009068547A (ja) | スピンドル装置 | |
JP2006167823A (ja) | スピンドル装置 | |
KR100609631B1 (ko) | 복합 베어링이 구비된 일체형 에어 스핀들 시스템 | |
JPH09222119A (ja) | 回転軸受装置及びこれを用いた回転駆動方法 | |
KR100618032B1 (ko) | 압력조절장치가 내장된 공기정압 스핀들 | |
JP2517557Y2 (ja) | 主軸装置の静圧軸受 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050325 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070822 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070904 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071025 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080606 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080619 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4146151 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110627 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110627 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120627 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120627 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130627 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |