JPH07151147A - 静圧気体軸受装置 - Google Patents
静圧気体軸受装置Info
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- JPH07151147A JPH07151147A JP24121394A JP24121394A JPH07151147A JP H07151147 A JPH07151147 A JP H07151147A JP 24121394 A JP24121394 A JP 24121394A JP 24121394 A JP24121394 A JP 24121394A JP H07151147 A JPH07151147 A JP H07151147A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 表面絞り型静圧気体軸受装置において、エア
ハンマを防止し、軸受剛性の向上を図る。 【構成】 回転軸１とハウジング３間に軸受すきま５を
形成し、この軸受すきま５に、気体溜り６を介して給気
する表面絞り型静圧気体軸受を形成する。回転軸１に、
ハウジング３と隙間を介して対向する磁気部材１１、１
２を取付け、その磁気部材１２とハウジング３間の隙間
を横切る磁束によって、前記隙間に磁性流体１４を前記
磁気部材１２とハウジング３に接して保持する。この磁
性流体１４を介してハウジング３に回転軸１が支持され
ているため、その磁性流体１４によって回転軸１の振動
が減衰させられ、気体溜り６の面積を大きくし、あるい
は深くしてもエアハンマは発生しない。このため静圧気
体軸受装置の剛性を向上させる。
ハンマを防止し、軸受剛性の向上を図る。 【構成】 回転軸１とハウジング３間に軸受すきま５を
形成し、この軸受すきま５に、気体溜り６を介して給気
する表面絞り型静圧気体軸受を形成する。回転軸１に、
ハウジング３と隙間を介して対向する磁気部材１１、１
２を取付け、その磁気部材１２とハウジング３間の隙間
を横切る磁束によって、前記隙間に磁性流体１４を前記
磁気部材１２とハウジング３に接して保持する。この磁
性流体１４を介してハウジング３に回転軸１が支持され
ているため、その磁性流体１４によって回転軸１の振動
が減衰させられ、気体溜り６の面積を大きくし、あるい
は深くしてもエアハンマは発生しない。このため静圧気
体軸受装置の剛性を向上させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、静圧気体軸受装置に
関するものである。
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】回転部材とこれを支持する軸受部材との
間に軸受すきまを形成し、その軸受すきまに供給される
圧縮気体の気体膜によって回転部材を非接触の状態に保
持する静圧気体軸受装置は、高精度、低摩擦、低トル
ク、長寿命、環境を汚染しないなど、多くの特徴を有し
ている。このため、精密加工機械、検査装置、測定器な
どの軸受装置として非常に多く用いられている。
間に軸受すきまを形成し、その軸受すきまに供給される
圧縮気体の気体膜によって回転部材を非接触の状態に保
持する静圧気体軸受装置は、高精度、低摩擦、低トル
ク、長寿命、環境を汚染しないなど、多くの特徴を有し
ている。このため、精密加工機械、検査装置、測定器な
どの軸受装置として非常に多く用いられている。
【０００３】上記静圧気体軸受装置は、圧縮気体を絞る
型式によって、給気孔絞り型、表面絞り型および多孔質
絞り型に分類される。その３種の静圧気体軸受装置のう
ち、表面絞り型および多孔質絞り型は、給気孔絞り型に
比較して軸受剛性が高いという長所がある。
型式によって、給気孔絞り型、表面絞り型および多孔質
絞り型に分類される。その３種の静圧気体軸受装置のう
ち、表面絞り型および多孔質絞り型は、給気孔絞り型に
比較して軸受剛性が高いという長所がある。
【０００４】図４は、表面絞り型の静圧気体軸受装置を
示し、回転部材２１を支持する軸受部材２２の内径面に
溝から成る気体溜り２３を形成し、気体溜り２３に連通
する給気孔２４を設け、この給気孔２４から上記気体溜
り２３を通して回転部材２１と軸受部材２２間の軸受す
きま２５に圧縮気体を供給するようにしている。
示し、回転部材２１を支持する軸受部材２２の内径面に
溝から成る気体溜り２３を形成し、気体溜り２３に連通
する給気孔２４を設け、この給気孔２４から上記気体溜
り２３を通して回転部材２１と軸受部材２２間の軸受す
きま２５に圧縮気体を供給するようにしている。
【０００５】この表面絞り型静圧気体軸受装置は、気体
溜り２３において圧縮気体が保持されるため、気体溜り
２３の面積を広くし、かつ深くするほど軸受剛性を高め
ることができる。
溜り２３において圧縮気体が保持されるため、気体溜り
２３の面積を広くし、かつ深くするほど軸受剛性を高め
ることができる。
【０００６】図５は、多孔質絞り型の静圧気体軸受装置
を示す。この軸受装置は、軸受部材２２の内径面に通気
性を有する環状の多孔質部材２６を取付け、上記軸受部
材２２に形成した給気孔２４から多孔質部材２６を通し
て軸受すきま２５に圧縮気体を供給している。
を示す。この軸受装置は、軸受部材２２の内径面に通気
性を有する環状の多孔質部材２６を取付け、上記軸受部
材２２に形成した給気孔２４から多孔質部材２６を通し
て軸受すきま２５に圧縮気体を供給している。
【０００７】この静圧気体軸受装置は、多孔質部材２６
の軸受面の全体にわたって給気することができるため、
大きな剛性を得ることができる。
の軸受面の全体にわたって給気することができるため、
大きな剛性を得ることができる。
【０００８】また、特開昭６２−６３２１７号公報に
は、回転部材とこれを支持する軸受部材間の軸受すきま
の両端の開口を磁性流体でシールした静圧気体軸受装置
が示されている。
は、回転部材とこれを支持する軸受部材間の軸受すきま
の両端の開口を磁性流体でシールした静圧気体軸受装置
が示されている。
【０００９】この静圧気体軸受装置は、軸受すきまの両
端を磁性流体でシールするため、軸受すきまに圧縮気体
が封じ込まれ、シールの無いものに比較して軸受の剛性
を高くすることができる。
端を磁性流体でシールするため、軸受すきまに圧縮気体
が封じ込まれ、シールの無いものに比較して軸受の剛性
を高くすることができる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上記図４に示す静圧気
体軸受装置においては、軸受剛性を大きくするために、
気体溜り２３の面積を広く、かつ深くすると、その気体
溜り２３の容積が大きくなる。この容積が大きくなるこ
とは、気体の圧縮性により、振動減衰機能が低下し、一
定の限度を越えると減衰係数が負になってエアハンマと
称される自励振動が発生する。このため、実際には、エ
アハンマが発生しない範囲で気体溜りの面積や深さを決
定しており、十分に剛性向上の効果が上がっていない。
体軸受装置においては、軸受剛性を大きくするために、
気体溜り２３の面積を広く、かつ深くすると、その気体
溜り２３の容積が大きくなる。この容積が大きくなるこ
とは、気体の圧縮性により、振動減衰機能が低下し、一
定の限度を越えると減衰係数が負になってエアハンマと
称される自励振動が発生する。このため、実際には、エ
アハンマが発生しない範囲で気体溜りの面積や深さを決
定しており、十分に剛性向上の効果が上がっていない。
【００１１】また、図４に示す静圧気体軸受装置におい
ては、多孔質部材の内部の気孔のため、エアハンマが発
生し易く、これを防止するため、多孔質部材の品質や加
工の条件を厳しく管理する必要があり、製作が困難であ
る。
ては、多孔質部材の内部の気孔のため、エアハンマが発
生し易く、これを防止するため、多孔質部材の品質や加
工の条件を厳しく管理する必要があり、製作が困難であ
る。
【００１２】さらに、上記公開公報に示された静圧気体
軸受装置は、軸受すきまをシールする目的で磁性流体を
用いており、静圧気体軸受部の気体圧力が磁性流体に加
わるため、磁性流体の耐圧力が問題となる。このため、
その軸受部の圧力を十分に高めることができず、表面絞
り型の静圧気体軸受装置のような高い軸受剛性を得てい
ないのが実情である。
軸受装置は、軸受すきまをシールする目的で磁性流体を
用いており、静圧気体軸受部の気体圧力が磁性流体に加
わるため、磁性流体の耐圧力が問題となる。このため、
その軸受部の圧力を十分に高めることができず、表面絞
り型の静圧気体軸受装置のような高い軸受剛性を得てい
ないのが実情である。
【００１３】ところで、本願の発明者等は、上記公開公
報の静圧気体軸受装置の上記磁性流体は、シール作用の
他、きわめて大きな振動減衰作用を発揮しているること
を知見した。
報の静圧気体軸受装置の上記磁性流体は、シール作用の
他、きわめて大きな振動減衰作用を発揮しているること
を知見した。
【００１４】この発明は、上記知見に基づき、磁性流体
の振動減衰作用を利用して表面絞り型あるいは多孔質絞
り型の静圧気体軸受装置のエアハンマを防止し、軸受剛
性の向上を図ることを課題とする。
の振動減衰作用を利用して表面絞り型あるいは多孔質絞
り型の静圧気体軸受装置のエアハンマを防止し、軸受剛
性の向上を図ることを課題とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、この発明においては、回転部材とこれを支持する
軸受部材の対向面間に軸受すきまを形成し、回転部材と
軸受部材のうち、一方の部材に、上記軸受すきまと対向
する面に気体溜りを設け、その気体溜りを通して前記軸
受すきまに圧縮気体を供給する給気孔を回転部材又は軸
受部材に形成した前述の表面絞り型静圧気体軸受装置に
おいて、上記回転部材と軸受部材のうち、一方の部材に
は、他方の部材と隙間を介して対向する磁気部材を取付
け、その磁気部材と他方の部材間の隙間を横切る磁束に
よって、前記隙間に磁性流体を前記磁気部材と他方の部
材に接して保持した構成を採用したのである。
めに、この発明においては、回転部材とこれを支持する
軸受部材の対向面間に軸受すきまを形成し、回転部材と
軸受部材のうち、一方の部材に、上記軸受すきまと対向
する面に気体溜りを設け、その気体溜りを通して前記軸
受すきまに圧縮気体を供給する給気孔を回転部材又は軸
受部材に形成した前述の表面絞り型静圧気体軸受装置に
おいて、上記回転部材と軸受部材のうち、一方の部材に
は、他方の部材と隙間を介して対向する磁気部材を取付
け、その磁気部材と他方の部材間の隙間を横切る磁束に
よって、前記隙間に磁性流体を前記磁気部材と他方の部
材に接して保持した構成を採用したのである。
【００１６】ここで、磁気部材は、永久磁石と強磁性体
によって形成された２枚のヨークの組合わせから成るも
の、永久磁石、鉄芯にコイルを巻付けた電磁石のいずれ
でもよい。
によって形成された２枚のヨークの組合わせから成るも
の、永久磁石、鉄芯にコイルを巻付けた電磁石のいずれ
でもよい。
【００１７】この磁気部材によって保持される磁性流体
は、給気孔から環状の通気性を有する多孔質部材を通し
て軸受すきまに圧縮気体を供給する多孔質絞り型の静圧
気体軸受装置に組込むこともできる。
は、給気孔から環状の通気性を有する多孔質部材を通し
て軸受すきまに圧縮気体を供給する多孔質絞り型の静圧
気体軸受装置に組込むこともできる。
【００１８】
【作用】上記のように構成すれば、磁性流体が磁気部材
と他方の部材に接してその両者の隙間に保持され、この
磁性流体を介して軸受部材に回路部材が支持されている
ため、その磁性流体によって回転部材の振動が減衰させ
られ、気体溜りの面積を大きくし、あるいは深くしても
エアハンマは発生しない。このため、表面絞り型あるい
は多孔質絞り型の静圧気体軸受装置の剛性を向上させる
ことができる。
と他方の部材に接してその両者の隙間に保持され、この
磁性流体を介して軸受部材に回路部材が支持されている
ため、その磁性流体によって回転部材の振動が減衰させ
られ、気体溜りの面積を大きくし、あるいは深くしても
エアハンマは発生しない。このため、表面絞り型あるい
は多孔質絞り型の静圧気体軸受装置の剛性を向上させる
ことができる。
【００１９】
【実施例】以下、この発明の実施例を図１乃至図３に基
づいて説明する。
づいて説明する。
【００２０】図１は、この発明に係る静圧気体軸受装置
の第１の実施例を示す。この静圧気体軸受装置は、表面
絞り型の静圧気体軸受装置であり、軸受部材２をなすハ
ウジング３内に、軸受スリーブ４を介して回転軸１が挿
通しており、前記軸受スリーブ４の外径面とハウジング
３の内径面間に軸受すきま５が形成されている。
の第１の実施例を示す。この静圧気体軸受装置は、表面
絞り型の静圧気体軸受装置であり、軸受部材２をなすハ
ウジング３内に、軸受スリーブ４を介して回転軸１が挿
通しており、前記軸受スリーブ４の外径面とハウジング
３の内径面間に軸受すきま５が形成されている。
【００２１】軸受スリーブ４の外径面には、周方向に等
間隔に並ぶ溝状の気体溜り６が複数列に設けられ、各気
体溜り６に給気孔７の先端の絞り孔８が連通している。
また、各給気孔７は、回転軸１に形成された給気通路９
と連通している。このため、給気通路９から給気孔７に
圧縮気体を供給すると、その圧縮気体は、気体溜り６か
ら軸受すきま５に流れ、その圧縮気体膜によって回転軸
１が軸受スリーブ４を介しハウジング３に対して非接触
の状態に支持される。
間隔に並ぶ溝状の気体溜り６が複数列に設けられ、各気
体溜り６に給気孔７の先端の絞り孔８が連通している。
また、各給気孔７は、回転軸１に形成された給気通路９
と連通している。このため、給気通路９から給気孔７に
圧縮気体を供給すると、その圧縮気体は、気体溜り６か
ら軸受すきま５に流れ、その圧縮気体膜によって回転軸
１が軸受スリーブ４を介しハウジング３に対して非接触
の状態に支持される。
【００２２】上記回転軸１の端部外径面には磁気部材１
０が取付けられている。この磁気部材１０は、永久磁石
１１と強磁性体によって形成された２枚のヨーク１２、
１２から成っている。各ヨーク１２の外径面とハウジン
グ３の内径面間には隙間が設けられ、その隙間には、適
量の磁性流体１４が満たされる。磁性流体１４は、永久
磁石１１、ヨーク１２およびハウジング３で構成される
磁気回路によって、ヨーク１２とハウジング３間の隙間
にそのヨーク１２とハウジング３に接して保持される。
０が取付けられている。この磁気部材１０は、永久磁石
１１と強磁性体によって形成された２枚のヨーク１２、
１２から成っている。各ヨーク１２の外径面とハウジン
グ３の内径面間には隙間が設けられ、その隙間には、適
量の磁性流体１４が満たされる。磁性流体１４は、永久
磁石１１、ヨーク１２およびハウジング３で構成される
磁気回路によって、ヨーク１２とハウジング３間の隙間
にそのヨーク１２とハウジング３に接して保持される。
【００２３】上記のように、磁気部材１０とハウジング
３との間に形成された隙間で磁性流体１４を保持し、こ
の磁性流体１４を介してハウジング３に回転軸１を支持
することにより、この磁性流体１４の粘性は気体に比べ
てきわめて大きいため、回転軸１の振動をきわめて効果
的に減衰することができる。
３との間に形成された隙間で磁性流体１４を保持し、こ
の磁性流体１４を介してハウジング３に回転軸１を支持
することにより、この磁性流体１４の粘性は気体に比べ
てきわめて大きいため、回転軸１の振動をきわめて効果
的に減衰することができる。
【００２４】このため、軸受スリーブ４の外径面に形成
した気体溜り６の面積を大きくし、あるいは深くしても
エアハンマが発生せず、軸受剛性の高い表面絞り型の静
圧気体軸受装置を得ることができる。
した気体溜り６の面積を大きくし、あるいは深くしても
エアハンマが発生せず、軸受剛性の高い表面絞り型の静
圧気体軸受装置を得ることができる。
【００２５】なお、磁性流体１４を保持する磁気部材１
０は、永久磁石１１とヨーク１２から成るものに限定さ
れず、その永久磁石１１とヨーク１２に代えてコイルと
鉄芯から成る電磁石を用いてもよく、永久磁石を単独で
用いてもよい。
０は、永久磁石１１とヨーク１２から成るものに限定さ
れず、その永久磁石１１とヨーク１２に代えてコイルと
鉄芯から成る電磁石を用いてもよく、永久磁石を単独で
用いてもよい。
【００２６】図２は、この発明に係る静圧気体軸受装置
の第２の実施例を示す。この実施例は、静圧気体軸受ス
ピンドルに本発明の静圧気体軸受装置を適用した例であ
る。ハウジング３の内径面には、フランジ４’を有する
２個の軸受スリーブ４が取付けられ、その軸受スリーブ
４の内径面と回転軸１の間にラジアル軸受すきま１７が
形成されている。また、軸受スリーブ４のフランジ４’
と回転軸１の両端に設けられた大径軸部１’の対向面間
にスラスト軸受すきま１８が形成され、ハウジング３の
給気通路９に供給された圧縮気体を、給気孔７および気
体溜り６を通して前記ラジアル軸受すきま１７およびス
ラスト軸受すきま１８に流出させるようにしている。こ
の軸受すきま１７、１８の圧縮気体は、ハウジング３に
形成した排気通路１９から外部に排出される。
の第２の実施例を示す。この実施例は、静圧気体軸受ス
ピンドルに本発明の静圧気体軸受装置を適用した例であ
る。ハウジング３の内径面には、フランジ４’を有する
２個の軸受スリーブ４が取付けられ、その軸受スリーブ
４の内径面と回転軸１の間にラジアル軸受すきま１７が
形成されている。また、軸受スリーブ４のフランジ４’
と回転軸１の両端に設けられた大径軸部１’の対向面間
にスラスト軸受すきま１８が形成され、ハウジング３の
給気通路９に供給された圧縮気体を、給気孔７および気
体溜り６を通して前記ラジアル軸受すきま１７およびス
ラスト軸受すきま１８に流出させるようにしている。こ
の軸受すきま１７、１８の圧縮気体は、ハウジング３に
形成した排気通路１９から外部に排出される。
【００２７】また、ハウジング３の上下両端面に永久磁
石１１および２枚のヨーク１２’、１２”から成る２つ
の磁気部材１０を取付け、２枚のヨーク１２’、１２”
のうち、一方のヨーク１２’の内径面と大径軸部１’の
外径面間に隙間を形成し、その隙間に満たした磁性流体
１４をヨーク１２’で保持している。また、他方のヨー
ク１２”と大径軸部１’の段部１”の対向面間に隙間を
形成し、その隙間に満たした磁性流体１４を他方ヨーク
１２”で保持している。
石１１および２枚のヨーク１２’、１２”から成る２つ
の磁気部材１０を取付け、２枚のヨーク１２’、１２”
のうち、一方のヨーク１２’の内径面と大径軸部１’の
外径面間に隙間を形成し、その隙間に満たした磁性流体
１４をヨーク１２’で保持している。また、他方のヨー
ク１２”と大径軸部１’の段部１”の対向面間に隙間を
形成し、その隙間に満たした磁性流体１４を他方ヨーク
１２”で保持している。
【００２８】磁性流体１４、１４による制振機構をハウ
ジング３の両端に設けることによって、外部から軸受す
きま１７、１８に異物が混入するのを防止することがで
きる。
ジング３の両端に設けることによって、外部から軸受す
きま１７、１８に異物が混入するのを防止することがで
きる。
【００２９】また、一方ヨーク１２’と大径軸部１’と
の隙間をラジアル軸受すきま１７と同程度とすれば、磁
性流体１４の潤滑作用によって、回転軸１のラジアル方
向の振動減衰機構部が、過負荷に対する非常用軸受とし
て作用することになる。したがって、剛性が大きく信頼
性の優れた静圧気体軸受スピンドルが得られる。
の隙間をラジアル軸受すきま１７と同程度とすれば、磁
性流体１４の潤滑作用によって、回転軸１のラジアル方
向の振動減衰機構部が、過負荷に対する非常用軸受とし
て作用することになる。したがって、剛性が大きく信頼
性の優れた静圧気体軸受スピンドルが得られる。
【００３０】前記両実施例は、いずれも表面絞り型の静
圧気体軸受装置であるが、図３に示すように、第１の実
施例で示す軸受スリーブ４に代えて多孔質の多孔質部材
２０を取付け、その多孔質部材２０の微細な孔を通して
軸受すきま５に給気する多孔質絞り型の静圧気体軸受装
置に磁気部材１０で磁性流体１４を保持する振動減衰機
構を組込むようにしてもよい。
圧気体軸受装置であるが、図３に示すように、第１の実
施例で示す軸受スリーブ４に代えて多孔質の多孔質部材
２０を取付け、その多孔質部材２０の微細な孔を通して
軸受すきま５に給気する多孔質絞り型の静圧気体軸受装
置に磁気部材１０で磁性流体１４を保持する振動減衰機
構を組込むようにしてもよい。
【００３１】また、前記各実施例は、いずれも軸が回転
する形式の軸受であるが、軸を固定し、ハウジングが回
転する場合にも同様に適用できる。
する形式の軸受であるが、軸を固定し、ハウジングが回
転する場合にも同様に適用できる。
【００３２】因みに、静圧気体軸受部より、磁性流体１
４が外側にあって、前述の気体シール作用もなす場合、
上記各実施例は気体溜り６又は多孔質部材２０の部分
で、静圧気体軸受をなし、その気体圧は磁性流体１４に
直接加わらず、磁性流体１４への圧は、その気体圧より
低いものとなる。このため、上記公開公報の軸受装置の
ように、軸受の気体圧が磁性流体に直接に加わるものに
比べ、同一の軸受剛性を得る場合、実施例のものは低い
耐圧力でよいこととなる。したがって、本願発明におい
ては、磁性流体１４が静圧気体軸受の外側にあっても、
上記公開公報のものに比べて高い軸受剛性を得ることが
できる。
４が外側にあって、前述の気体シール作用もなす場合、
上記各実施例は気体溜り６又は多孔質部材２０の部分
で、静圧気体軸受をなし、その気体圧は磁性流体１４に
直接加わらず、磁性流体１４への圧は、その気体圧より
低いものとなる。このため、上記公開公報の軸受装置の
ように、軸受の気体圧が磁性流体に直接に加わるものに
比べ、同一の軸受剛性を得る場合、実施例のものは低い
耐圧力でよいこととなる。したがって、本願発明におい
ては、磁性流体１４が静圧気体軸受の外側にあっても、
上記公開公報のものに比べて高い軸受剛性を得ることが
できる。
【００３３】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、表面
絞り型の静圧気体軸受装置あるいは多孔質絞り型の静圧
気体軸受装置において、その回転部材と軸受部材のう
ち、一方の部材に磁気部材を取付け、その磁気部材と他
方の部材間に形成された隙間に磁性流体を満たし、この
磁性流体を磁気部材で保持したことにより、磁性流体に
よって回転部材の振動を減衰することができる。
絞り型の静圧気体軸受装置あるいは多孔質絞り型の静圧
気体軸受装置において、その回転部材と軸受部材のう
ち、一方の部材に磁気部材を取付け、その磁気部材と他
方の部材間に形成された隙間に磁性流体を満たし、この
磁性流体を磁気部材で保持したことにより、磁性流体に
よって回転部材の振動を減衰することができる。
【００３４】このため、表面絞り型の静圧気体軸受装置
においては、気体溜りの面積を大きくし、あるいは深く
しても磁性流体の振動減衰作用によってエアハンマが発
生せず、軸受剛性の大きな静圧気体軸受装置を得ること
ができる。
においては、気体溜りの面積を大きくし、あるいは深く
しても磁性流体の振動減衰作用によってエアハンマが発
生せず、軸受剛性の大きな静圧気体軸受装置を得ること
ができる。
【００３５】また、多孔質絞り型の静圧気体軸受装置に
おいても、磁性流体によってエアハンマが生じるのを防
ぐことができ、多孔質部材の品質や加工の条件を厳しく
管理する必要がなく、製作を容易とすることができる。
おいても、磁性流体によってエアハンマが生じるのを防
ぐことができ、多孔質部材の品質や加工の条件を厳しく
管理する必要がなく、製作を容易とすることができる。
【図１】この発明に係る静圧気体軸受装置の一実施例を
示す縦断正面図
示す縦断正面図
【図２】同上の他の実施例を示す縦断正面図
【図３】同上の他の実施例を示す縦断正面図
【図４】従来の静圧気体軸受装置を示す縦断正面図
【図５】従来の静圧気体軸受装置を示す縦断正面図
１ 回転軸 ２ 軸受部材 ３ ハウジング ４ 軸受スリーブ ５ 軸受すきま ６ 気体溜り ７ 給気孔 １０ 磁気部材 １１ 永久磁石 １２、１２’、１２” ヨーク １４ 磁性流体 １６ スラスト板 １７ ラジアル軸受すきま １８ スラスト軸受すきま ２０ 多孔質部材
Claims (2)
- 【請求項１】 回転部材とこれを支持する軸受部材の対
向面間に軸受すきまを形成し、回転部材と軸受部材のう
ち、一方の部材に、前記軸受すきまと対向する面に気体
溜りを設け、その気体溜りを通して前記軸受すきまに圧
縮気体を供給する給気孔を回転部材又は軸受部材に形成
した表面絞り型静圧気体軸受装置において、 上記回転部材と軸受部材のうち、一方の部材に、他方の
部材と隙間を介して対向する磁気部材を取付け、その磁
気部材と他方の部材間の隙間を横切る磁束によって、前
記隙間に磁性流体を前記磁気部材と他方の部材に接して
保持したことを特徴とする静圧気体軸受装置。 - 【請求項２】 回転部材とこれを支持する軸受部材の対
向面における一方の面に、他方の部材との間で軸受すき
まを形成する環状の通気性を有する多孔質部材を取付
け、その多孔質部材を通して前記軸受すきまに圧縮気体
を供給する多孔質絞り型静圧気体軸受装置において、 上記回転部材と軸受部材のうち、一方の部材に、他方の
部材と隙間を介して対向する磁気部材を取付け、その磁
気部材と他方の部材間の隙間を横切る磁束によって、前
記隙間に磁性流体を前記磁気部材と他方の部材に接して
保持したことを特徴とする静圧気体軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6241213A JP2810631B2 (ja) | 1994-10-05 | 1994-10-05 | 静圧気体軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6241213A JP2810631B2 (ja) | 1994-10-05 | 1994-10-05 | 静圧気体軸受装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07151147A true JPH07151147A (ja) | 1995-06-13 |
| JP2810631B2 JP2810631B2 (ja) | 1998-10-15 |
Family
ID=17070887
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6241213A Expired - Fee Related JP2810631B2 (ja) | 1994-10-05 | 1994-10-05 | 静圧気体軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2810631B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006275281A (ja) * | 2005-03-01 | 2006-10-12 | Saitama Univ | 気体軸受 |
| JP2011149556A (ja) * | 2005-03-01 | 2011-08-04 | Saitama Univ | 気体軸受 |
| JP2017140687A (ja) * | 2016-02-12 | 2017-08-17 | エヌティーツール株式会社 | スマートツールホルダ |
| JP2017140688A (ja) * | 2016-02-12 | 2017-08-17 | エヌティーツール株式会社 | スマートツールホルダ |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS599312A (ja) * | 1982-07-06 | 1984-01-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 磁性流体磁気軸受 |
| JPS59151618A (ja) * | 1983-02-15 | 1984-08-30 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 磁性流体磁気軸受 |
| JPS6263217A (ja) * | 1985-09-12 | 1987-03-19 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | 静圧気体軸受 |
| JPS6263218A (ja) * | 1985-09-12 | 1987-03-19 | Canon Inc | 静圧軸受装置 |
-
1994
- 1994-10-05 JP JP6241213A patent/JP2810631B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2017140687A (ja) * | 2016-02-12 | 2017-08-17 | エヌティーツール株式会社 | スマートツールホルダ |
| JP2017140688A (ja) * | 2016-02-12 | 2017-08-17 | エヌティーツール株式会社 | スマートツールホルダ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2810631B2 (ja) | 1998-10-15 |
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