JP5881716B2 - 摺動部品 - Google Patents
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Description
摺動部品が相対回転すると、図5(b)に示すように、被密封流体の流れGの上流側の半径方向溝32Rにおいて圧力が低下して負の浮力が作用し、ダム部34を越えた下流側の半径方向溝32Lの部分でテーパ面33Lのくさび作用によって圧力が増大し正の浮力が発生する。その際、ダム部34の作用によって負の圧力は小さく、正の圧力が大きくなり、全体として正の圧力が作用し、大きな浮力が得られるというものである。
また、従来技術の動圧発生溝32による動圧は、回転軸の回転速度がある程度高速にならないと発生しない。そのため、回転し始めから動圧が発生する回転速度に到達するまでの間は、十分な量の非密封流体を摺動面間に介在させることができず、潤滑性が低下してしまい、トルクが高くなり、焼き付き、振動、騒音等が発生し、摺動特性が不安定になるという問題もあった。
なお、摺動部品の摺動時の摩耗を防止するため、動圧発生溝を設けたものも知られているが(例えば、特許文献2参照。)、上記の従来技術と同様に、密封性を制御する要素をもたないため、漏れが多くなるという問題を有している。
前記固定環または回転環のいずれか一方の摺動面には、固定環と回転環との相対回転摺動により動圧を発生する動圧発生溝が被密封流体収容空間と連通するように円周方向に複数形成され、
前記動圧発生溝の内部に、固定環と回転環との相対回転摺動によりポンピング作用を生起するポンピング部が形成されることを特徴としている。
この特徴により、静止時には漏れを防止するとともに、回転し始めの低速時においてはポンピング部のポンピング作用により十分潤滑することができ、摺動抵抗を低く、安定した摺動特性を得ることができる。また、回転時においては、動圧発生溝の動圧発生作用により摺動面間に被密封流体による十分な潤滑膜が形成され、摺動特性を向上することができる。動圧発生の際、摺動面から漏出する被密封流体の量を、ポンピング部のポンピング作用により制御することができ、密封性の制御を行うことができる。
この特徴により、被密封流体側から摺動面を経由し、被密封流体側へ戻る被密封流体の流れが形成されるため、回転時における過大な漏れが防止され、シール性を向上させることができる。
この特徴により、ポンピング部を線状の凹凸の周期構造から形成できるため、ポンピングの形成が容易であり、また、傾斜角度を調節することでポンピング性能を自在に調節することができる。
この特徴により、摺動面が両方向に回転する場合でも対応することができる。
この特徴により、ポンピング部の線状の凹凸の周期構造の方向性の制御が可能であり、加工位置の制御も可能であるため、離散的な小区画に分けて各区画ごとに所望の線状の凹凸の周期構造の形成ができる。
この特徴により、密封性の制御を最適なものとすることができ、シール性を最大限向上することができる。
この特徴により、摺動面に作用する浮力を増大させることができ、高圧、高速用の両回転式のメカニカルシールに最適な動圧発生手段を達成することができる。
この特徴により、被密封流体が溝内に引き込まれやすく、かつ、引き込まれた被密封流体が排出されにくいため、大きな浮力を発生することができる。
この特徴により、動圧発生溝内に引き込まれた被密封流体の量に応じてポンピング作用を発生させることができる。
(1)上記第1の特徴により、静止時には漏れを防止するとともに、回転し始めの低速時においては十分潤滑することができ、摺動抵抗を低く、安定した摺動特性を得ることができる。また、回転時においては、摺動面間に被密封流体による十分な潤滑膜が形成され、摺動特性を向上することができる。さらに、動圧発生の際、摺動面から漏出する被密封流体の量を、ポンピング部のポンピング作用により制御することができ、密封性の制御を行うことができる。
(2)上記第2の特徴により、被密封流体側から摺動面を経由し、被密封流体側へ戻る被密封流体の流れが形成されるため、回転時における過大な漏れが防止され、シール性を向上させることができる。
(3)上記第3の特徴により、ポンピングの形成が容易であり、また、傾斜角度を調節することでポンピング性能を自在に調節することができる。
(4)上記第4の特徴により、摺動面が両方向に回転する場合でも対応できる。
(5)上記第5の特徴により、ポンピング部の線状の凹凸の周期構造の方向性の制御が可能であり、加工位置の制御も可能であるため、離散的な小区画に分けて各区画ごとに所望の周期構造の形成ができる。
(6)上記第6の特徴により、密封性の制御を最適なものとすることができ、シール性を最大限向上することができる。
(7)上記第7の特徴により、摺動面に作用する浮力を増大させることができ、高圧、高速用の両回転式のメカニカルシールに最適な動圧発生手段を達成することができる。
(8)上記第8の特徴により、被密封流体が溝内に引き込まれやすく、かつ、引き込まれた被密封流体が排出されにくいため、大きな浮力を発生することができる。
(9)上記第9の特徴により、動圧発生溝内に引き込まれた被密封流体の量に応じてポンピング作用を発生させることができる。
なお、本実施形態においてはメカニカルシールを構成する部品が摺動部品である場合を例にして説明するが、本発明はこれに限定されて解釈されるものではなく、本発明の範囲を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づいて、種々の変更、修正、改良を加えうるものである。
図1のメカニカルシールは摺動面の外周から内周方向に向かって漏れようとする被密封流体を密封する形式のインサイド形式のものであって、被密封流体側のポンプインペラ(図示省略)を駆動させる回転軸1側にスリーブ2を介してこの回転軸1と一体的に回転可能な状態に設けられた円環状の回転環3と、ポンプのハウジング4に固定されたシールカバー5に非回転状態かつ軸方向移動可能な状態で設けられた円環状の固定環6とが、この固定環6を軸方向に付勢するベローズ7によって、ラッピング等によって鏡面仕上げされた摺動面S同士で密接摺動するようになっている。すなわち、このメカニカルシールは、回転環3と固定環6との互いの摺動面Sにおいて、被密封流体が回転軸1の外周から大気側へ流出するのを防止するものである。
回転環3及び固定環6は、代表的にはSiC(硬質材料)同士またはSiC(硬質材料)とカーボン(軟質材料)の組み合わせで形成されるが、摺動材料にはメカニカルシール用摺動材料として使用されているものは適用可能である。SiCとしては、ボロン、アルミニウム、カーボンなどを焼結助剤とした焼結体をはじめ、成分、組成の異なる2種類以上の相からなる材料、例えば、黒鉛粒子の分散したSiC、SiCとSiからなる反応焼結SiC、SiC−TiC、SiC−TiNなどがあり、カーボンとしては、炭素質と黒鉛質の混合したカーボンをはじめ、樹脂成形カーボン、焼結カーボン、などが利用できる。また、上記摺動材料以外では、金属材料、樹脂材料、表面改質材料(コーティング材料)、複合材料なども適用できる。
図2のメカニカルシールは摺動面の外周から内周方向に向かって漏れようとする冷却水を密封する形式のインサイド形式のものであって、冷却水側のポンプインペラ(図示省略)を駆動させる回転軸1側にスリーブ2を介してこの回転軸1と一体的に回転可能な状態に設けられた円環状の回転環3と、ポンプのハウジング4に非回転状態かつ軸方向移動可能な状態で設けられた円環状の固定環6とが、この固定環6を軸方向に付勢するコイルドウェーブスプリング8及びベローズ9によって、ラッピング等によって鏡面仕上げされた摺動面S同士で密接摺動するようになっている。すなわち、このメカニカルシールは、回転環3と固定環6との互いの摺動面Sにおいて、冷却水が回転軸1の外周から大気側へ流出するのを防止するものである。
図3は、本発明の実施形態1に係り、回転環の摺動面に形成された動圧発生溝及びポンピング部を説明する図であって、図3(a)は平面図、図3(b)は図3(a)のX−X断面図である。
図3において、回転環3は、メイティングリングと呼ばれ、多くは、SiC(硬質材料)から形成される。この回転環3の摺動面Sに、円周方向に分離された複数の動圧発生溝20が形成されている。前記動圧発生溝20は、互いに隣り合う一対の半径方向溝20a、20bを一組として複数組の動圧発生用溝組を構成する半径方向溝を境界部に向けて高くなるように円周方向に沿って互いに逆向きのテーパ形状とし、境界部に両半径方向溝を隔てるダム部21を設けてなるものである。摺動面Sに設けられる動圧発生溝20の数は、任意であり、設計的に計算され、最適な数とされるものである。
本実施形態による回転環において、最深部における深さが0.1〜5μmとなるように動圧発生溝20を形成している。
なお、本発明において「線状の凹凸」には、直線状の凹凸の他、直線状の凹凸形成の過程で出現される多少彎曲された凹凸、または曲線状の凹凸も包含される。
図3(a)の場合、ステップ状に変化する半径方向溝20a、20bの各ステップごとに回転接線に対する傾斜角度θが一定になるようにしている。
また、吸入ポンピング部10aと吐出ポンピング部10bとは、摺動面Sの周方向に沿って交互に配置されるように形成するのが好適である。
図3に示す摺動面Sは、そのような摺動面Sが両方向へ回転する場合に好適な摺動面Sの構成である。
なお、吸入ポンピング部10aと吐出ポンピング部10bとは、摺動面Sの周方向に沿って交互に配置されなくてもよく、例えば、吸入ポンピング部10aが2個、吐出ポンピング部10bが1個の割合で配置されても、あるいは、逆の割合で配置されてもよい。
加工しきい値近傍の照射強度で直線偏光のレーザを基板に照射すると、入射光と基板の表面に沿った散乱光又はプラズマ波の干渉により、波長オーダーのピッチと溝深さを持つ線状の凹凸の周期構造が偏光方向に直交して自己組織的に形成される。この時、フェムト秒レーザをオーバーラップさせながら操作を行うことにより、その線状の凹凸の周期構造のパターンを表面に形成することができる。
図3に示されるように、動圧発生溝20の半径方向溝の底面の円周方向に沿ったテーパ形状がステップ状の場合、動圧発生溝20の深さhは段階的に変化するので、ポンピング部10の凹凸の頂点と底部との深さdもそれに応じて段階的に変化する。そのため、動圧発生溝20内に引き込まれる被密封流体の量に応じてポンピング作用を発揮させることができる。
また、回転時においては、動圧発生溝20により摺動面Sに動圧が発生されて、回転環3と固定環6の摺動面Sに間に被密封流体による潤滑膜が形成され、摺動特性が向上されるものである。さらに、動圧発生の際、摺動面から漏出する被密封流体の量を、ポンピング部のポンピング作用により制御することができ、密封性の制御を行うことができる。その際、吸入ポンピング部10a内に被密封流体を取り込み、この被密封流体を摺動面S介して円周方向に分離された位置にある吐出ポンピング部10bに送り込み、吐出ポンピング部10bの作用によりこの被密封流体を被密封流体側に戻す流が生じる。この被密封流体の流れを通じて、回転時における漏れを低減させ、シール性を向上することができる。
図4は、本発明の実施形態2に係り、回転環の摺動面に形成された動圧発生溝及びポンピング部を説明する図であって、図4(a)は平面図、図4(b)は図4(a)のY−Y断面図である。
図4において、図3と同じ符号は図3の部材と同じ部材を指しており、重複した説明は省略する。
また、動圧発生溝20の半径方向溝の円周方向に沿ったテーパ形状が直線状に変化するため、ポンピング部10の凹凸の頂点と底部との深さdもそれに比例して連続的に変化することが望ましいが、加工の容易さを考慮して、段階的に変化させてもよい。
なお、動圧発生溝20の半径方向溝の底面は、直線的に変化させる構成に限らず、角度の異なる複数の傾斜面を組み合わせたり、溝底面を曲面で構成し曲線状に変化させてもよい。上記のいずれの場合でも、半径方向溝は境界部に向けて高くなるように形成される。
2 スリーブ
3 回転環
4 ハウジング
5 シールカバー
6 固定環
7 ベローズ
8 コイルドウェーブスプリング
9 ベローズ
10 ポンピング部
10a 吸入ポンピング部
10b 吐出ポンピング部
11 シールダム部
20 動圧発生溝
20a、20b 一対の半径方向溝
21 ダム部
S 摺動面
Claims (9)
- 固定側に固定される円環状の固定環と、回転軸とともに回転する円環状の回転環とが対向して各摺動面を相対回転させることにより、当該相対回転摺動する前記摺動面の径方向の一方側に存在する被密封流体を密封する摺動部品において、
前記固定環または前記回転環のいずれか一方の摺動面には、前記固定環と前記回転環との相対回転摺動により動圧を発生する動圧発生溝が被密封流体収容空間と連通するように円周方向に複数形成され、
さらに、各動圧発生溝の底部に、前記固定環と前記回転環との相対回転摺動によりポンピング作用を生起する線状の凹凸により構成されるポンピング部が形成されることを特徴とする摺動部品。 - 前記ポンピング部は、前記被密封流体を吸い込む方向に作用する吸入ポンピング部と前記被密封流体を吐き出す方向に作用する吐出ポンピング部を備えることを特徴とする請求項1記載の摺動部品。
- 前記ポンピング部を構成する線状の凹凸は、周期構造の構成をしており、当該凹凸の方向が当該摺動面の摺動方向に対して所定の角度傾斜するように形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の摺動部品。
- 前記ポンピング部を構成する周期構造をした線状の凹凸は、隣接するポンピング部の線状の凹凸の方向が当該摺動面の摺動方向に対して対称となるように形成されていることを特徴とする請求項3に記載の摺動部品。
- 前記動圧発生溝の深さをhとした場合、前記ポンピング部の前記周期構造をした線状の凹凸の深さdがd=0.1h〜10h、前記周期構造をした線状の凹凸のピッチpがp=0.1h〜10hの範囲に設定されることを特徴とする請求項3または4に記載の摺動部品。
- 前記動圧発生溝は、互いに隣り合う一対の半径方向溝を一組として複数組の動圧発生用溝組を構成する半径方向溝を境界部に向けて高くなるように円周方向に沿って互いに逆向きのテーパ形状とし、境界部に両半径方向溝を隔てるダム部を設けてなることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の摺動部品。
- 前記動圧発生溝は、摺動面の外周側端部から内周側に向かって略径方向に延びるとともに、内周側において折れ曲がって略周方向に延びる略L字状の溝の形状をなしていることを特徴とする請求項6に記載の摺動部品。
- 前記動圧発生溝は、半径方向溝の円周方向に沿った底面のテーパ形状がステップ状、直線状、または、曲線状からなり、前記ポンピング部の線状の凹凸の深さが半径方向溝の深さに応じて変化するように設定されることを特徴とする請求項6または7に記載の摺動部品。
- 請求項3に記載の各動圧発生溝の底部に形成される前記ポンピング部の前記周期構造をした線状の凹凸が、ピコ秒レーザまたはフェムト秒レーザの照射により形成されることを特徴とする摺動部品の製造方法。
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