JP2639883B2 - 非接触形軸封装置 - Google Patents
非接触形軸封装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コンプレッサ，タービ
ン，ブロワ等の回転機器において使用される非接触形軸
封装置に関するものであり、具体的には、シールケース
側の密封端面と回転軸側の密封端面とが高圧側密封流体
による流体膜を介在させた非接触状態で相対回転するよ
うに構成された非接触形軸封装置に関するものである。
ン，ブロワ等の回転機器において使用される非接触形軸
封装置に関するものであり、具体的には、シールケース
側の密封端面と回転軸側の密封端面とが高圧側密封流体
による流体膜を介在させた非接触状態で相対回転するよ
うに構成された非接触形軸封装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の非接触形軸封装置として
は、図１１に示す如く、回転軸側の密封端面ａにその周
方向にヘリカル状に並列する動圧発生溝ｂ…を形成して
おくことによって、両密封端面間にその相対回転に伴っ
て動圧（正圧）を発生させ、これとシールケース側の密
封端面に作用する密封流体による背圧及びこれを回転軸
側の密封端面ａに押圧するスプリング力とをバランスさ
せて、両密封端面を流体膜を介して非接触状態に保持さ
せるように構成したものがよく知られている。
は、図１１に示す如く、回転軸側の密封端面ａにその周
方向にヘリカル状に並列する動圧発生溝ｂ…を形成して
おくことによって、両密封端面間にその相対回転に伴っ
て動圧（正圧）を発生させ、これとシールケース側の密
封端面に作用する密封流体による背圧及びこれを回転軸
側の密封端面ａに押圧するスプリング力とをバランスさ
せて、両密封端面を流体膜を介して非接触状態に保持さ
せるように構成したものがよく知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、かかるヘリカ
ル状の動圧発生溝ｂ…によっては、回転軸つまり密封端
面ａを正転方向（Ａ方向）に回転させた場合にのみ動圧
を発生させ得るのであり、逆転方向（反Ａ方向）に回転
させた場合には、両密封端面間に動圧を発生させ得な
い。したがって、回転軸を正逆転させる必要のある回転
機器には適用できないといった不便があった。
ル状の動圧発生溝ｂ…によっては、回転軸つまり密封端
面ａを正転方向（Ａ方向）に回転させた場合にのみ動圧
を発生させ得るのであり、逆転方向（反Ａ方向）に回転
させた場合には、両密封端面間に動圧を発生させ得な
い。したがって、回転軸を正逆転させる必要のある回転
機器には適用できないといった不便があった。
【０００４】また、複数の動圧発生領域が周方向に並列
しているものの、各動圧発生領域においては一の動圧発
生溝ｂが存在するのみであるから、つまり各動圧発生領
域には一の動圧発生箇所が存在するのみであるから、一
部の動圧発生溝ｂ…に密封流体中のゴミやチリが侵入，
堆積して発生動圧が減少した場合、その動圧発生溝ｂの
存在する動圧発生領域全体における発生動圧が減少する
ことになる。したがって、このような場合、周方向にお
ける発生動圧の圧力分布が著しく不均一となり、軸封機
能の低下，異常が生じる虞れがある。
しているものの、各動圧発生領域においては一の動圧発
生溝ｂが存在するのみであるから、つまり各動圧発生領
域には一の動圧発生箇所が存在するのみであるから、一
部の動圧発生溝ｂ…に密封流体中のゴミやチリが侵入，
堆積して発生動圧が減少した場合、その動圧発生溝ｂの
存在する動圧発生領域全体における発生動圧が減少する
ことになる。したがって、このような場合、周方向にお
ける発生動圧の圧力分布が著しく不均一となり、軸封機
能の低下，異常が生じる虞れがある。
【０００５】本発明は、このような点に鑑み、回転軸が
正逆何れの方向に回転される場合においても、両密封端
面間に適正な動圧を発生させ得て、常に良好な軸封機能
を発揮することができる非接触形軸封装置を提供するこ
とを目的とするものである。
正逆何れの方向に回転される場合においても、両密封端
面間に適正な動圧を発生させ得て、常に良好な軸封機能
を発揮することができる非接触形軸封装置を提供するこ
とを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の非接触形軸封装
置にあっては、上記の目的を達成すべく、シールケース
側の密封端面又は回転軸側の密封端面に、複数組の動圧
発生溝ユニットを当該密封端面の周方向に等間隔を隔て
て形成しておくことを提案する。而して、各動圧発生溝
ユニットは、前記周方向に並列された２つの動圧発生溝
群であって、両動圧発生溝群間を通過する当該密封端面
の直径線に対して対称形状をなす第１動圧発生溝群と第
２動圧発生溝群とからなるものであり、各動圧発生溝群
は、当該密封端面の高圧側周端縁からその径方向に延び
る導入部と導入部の端部から前記周方向に延びる動圧発
生部とからなる複数の略Ｌ字状の線状の動圧発生溝を、
互いに交差することなく近接させて、前記径方向に並列
させてなるものであり、動圧発生部が導入部から同一方
向に延びている複数の動圧発生溝を含むものである。す
なわち、各動圧発生溝ユニットを構成する第１及び第２
動圧発生溝群の構成形態としては、一方の動圧発生溝群
が、すべての動圧発生部が同一方向に延びる複数の第１
動圧発生溝のみからなると共に、他方の動圧発生溝群
が、すべての動圧発生部が第１動圧発生溝とは逆方向に
延びる複数の第２動圧発生溝のみからなる場合（図２〜
図５及び図１０参照）と、一方の動圧発生溝群が、複数
の第１動圧発生溝と少なくとも一の第２動圧発生溝とか
らなると共に、他方の動圧発生溝群が、複数の第２動圧
発生溝と少なくとも一の第１動圧発生溝とからなる場合
（図６〜図９参照）とがある。勿論、何れの場合におい
ても、一方の動圧発生溝群における第１動圧発生溝と他
方の動圧発生溝群における第２動圧発生溝とは、同数で
あり且つ上記直径線に対して対称形状をなし、一方の動
圧発生溝群における第２動圧発生溝と他方の動圧発生溝
群における第１動圧発生溝とは、同数であり且つ上記直
径線に対して対称形状をなす。
置にあっては、上記の目的を達成すべく、シールケース
側の密封端面又は回転軸側の密封端面に、複数組の動圧
発生溝ユニットを当該密封端面の周方向に等間隔を隔て
て形成しておくことを提案する。而して、各動圧発生溝
ユニットは、前記周方向に並列された２つの動圧発生溝
群であって、両動圧発生溝群間を通過する当該密封端面
の直径線に対して対称形状をなす第１動圧発生溝群と第
２動圧発生溝群とからなるものであり、各動圧発生溝群
は、当該密封端面の高圧側周端縁からその径方向に延び
る導入部と導入部の端部から前記周方向に延びる動圧発
生部とからなる複数の略Ｌ字状の線状の動圧発生溝を、
互いに交差することなく近接させて、前記径方向に並列
させてなるものであり、動圧発生部が導入部から同一方
向に延びている複数の動圧発生溝を含むものである。す
なわち、各動圧発生溝ユニットを構成する第１及び第２
動圧発生溝群の構成形態としては、一方の動圧発生溝群
が、すべての動圧発生部が同一方向に延びる複数の第１
動圧発生溝のみからなると共に、他方の動圧発生溝群
が、すべての動圧発生部が第１動圧発生溝とは逆方向に
延びる複数の第２動圧発生溝のみからなる場合（図２〜
図５及び図１０参照）と、一方の動圧発生溝群が、複数
の第１動圧発生溝と少なくとも一の第２動圧発生溝とか
らなると共に、他方の動圧発生溝群が、複数の第２動圧
発生溝と少なくとも一の第１動圧発生溝とからなる場合
（図６〜図９参照）とがある。勿論、何れの場合におい
ても、一方の動圧発生溝群における第１動圧発生溝と他
方の動圧発生溝群における第２動圧発生溝とは、同数で
あり且つ上記直径線に対して対称形状をなし、一方の動
圧発生溝群における第２動圧発生溝と他方の動圧発生溝
群における第１動圧発生溝とは、同数であり且つ上記直
径線に対して対称形状をなす。
【０００７】
【作用】動圧発生溝が形成された密封端面（以下「溝付
密封端面」という）が相手密封端面に対して相対回転せ
しめられると、高圧側密封流体が各動圧発生溝にその導
入部から導入される。そして、溝付密封端面に形成され
た多数の動圧発生溝のうち、動圧発生部が導入部の終端
部から溝付密封端面の相対回転方向と逆方向に延びる動
圧発生溝（以下「被動圧発生溝」という）においては、
動圧発生部に流入した流体により該動圧発生部の終端箇
所において動圧（正圧）が発生することになり（以下、
被動圧発生溝における動圧発生箇所である動圧発生部の
終端箇所を「主動圧発生箇所」という）、かかる動圧の
発生により、密封端面間が高圧側密封流体による流体膜
を介在させた非接触状態に保持されることになる。な
お、被動圧発生溝以外の動圧発生溝つまり動圧発生部が
導入部の終端部から溝付密封端面の相対回転方向に延び
る動圧発生溝（以下「非動圧発生溝」という）において
は、被動圧発生溝における如き動圧発生部での動圧発生
はないが、非動圧発生溝が略Ｌ字形をなす線状溝であり
且つその導入部が径方向に延びるものであることから、
導入部に流入した流体がその行き止まり箇所である非動
圧発生溝の屈曲箇所（導入部の終端箇所）において滞留
して、該屈曲箇所において動圧を発生させることにな
る。すなわち、非動圧発生溝においては、被動圧発生溝
による如き密封端面間を非接触状態に保持しうるに足る
動圧は発生しないが、動圧が全く発生しない訳ではな
く、主動圧発生箇所での発生動圧による密封端面の非接
触保持機能を補助しうる程度の動圧が発生することにな
る（以下、非動圧発生溝における動圧発生箇所である屈
曲箇所を「補助動圧発生箇所」という）。
密封端面」という）が相手密封端面に対して相対回転せ
しめられると、高圧側密封流体が各動圧発生溝にその導
入部から導入される。そして、溝付密封端面に形成され
た多数の動圧発生溝のうち、動圧発生部が導入部の終端
部から溝付密封端面の相対回転方向と逆方向に延びる動
圧発生溝（以下「被動圧発生溝」という）においては、
動圧発生部に流入した流体により該動圧発生部の終端箇
所において動圧（正圧）が発生することになり（以下、
被動圧発生溝における動圧発生箇所である動圧発生部の
終端箇所を「主動圧発生箇所」という）、かかる動圧の
発生により、密封端面間が高圧側密封流体による流体膜
を介在させた非接触状態に保持されることになる。な
お、被動圧発生溝以外の動圧発生溝つまり動圧発生部が
導入部の終端部から溝付密封端面の相対回転方向に延び
る動圧発生溝（以下「非動圧発生溝」という）において
は、被動圧発生溝における如き動圧発生部での動圧発生
はないが、非動圧発生溝が略Ｌ字形をなす線状溝であり
且つその導入部が径方向に延びるものであることから、
導入部に流入した流体がその行き止まり箇所である非動
圧発生溝の屈曲箇所（導入部の終端箇所）において滞留
して、該屈曲箇所において動圧を発生させることにな
る。すなわち、非動圧発生溝においては、被動圧発生溝
による如き密封端面間を非接触状態に保持しうるに足る
動圧は発生しないが、動圧が全く発生しない訳ではな
く、主動圧発生箇所での発生動圧による密封端面の非接
触保持機能を補助しうる程度の動圧が発生することにな
る（以下、非動圧発生溝における動圧発生箇所である屈
曲箇所を「補助動圧発生箇所」という）。
【０００８】ところで、各動圧発生溝ユニットを構成す
る第１動圧発生溝群と第２動圧発生溝群とが両動圧発生
溝群間を通過する直径線に対して対称形状をなしている
ことから、溝付密封端面が正逆何れの方向に相対回転す
るときにも、各動圧発生溝ユニットを構成するすべての
動圧発生溝は、動圧発生部（主動圧発生箇所）において
動圧を発生させる被動圧発生溝のグループと、動圧発生
部での動圧発生はないが動圧発生溝の屈曲箇所（補助動
圧発生箇所）において補助的な動圧を発生させる非動圧
発生溝のグループとに区別される。そして、両グループ
における動圧発生溝の形態（導入部及び動圧発生部の
数，形状，長さ，位置関係）及び動圧発生形態（主動圧
発生箇所及び補助動圧発生箇所の数，位置関係）は全く
同一である。
る第１動圧発生溝群と第２動圧発生溝群とが両動圧発生
溝群間を通過する直径線に対して対称形状をなしている
ことから、溝付密封端面が正逆何れの方向に相対回転す
るときにも、各動圧発生溝ユニットを構成するすべての
動圧発生溝は、動圧発生部（主動圧発生箇所）において
動圧を発生させる被動圧発生溝のグループと、動圧発生
部での動圧発生はないが動圧発生溝の屈曲箇所（補助動
圧発生箇所）において補助的な動圧を発生させる非動圧
発生溝のグループとに区別される。そして、両グループ
における動圧発生溝の形態（導入部及び動圧発生部の
数，形状，長さ，位置関係）及び動圧発生形態（主動圧
発生箇所及び補助動圧発生箇所の数，位置関係）は全く
同一である。
【０００９】したがって、両密封端面の相対回転が正逆
何れの方向に行われた場合にも、全く同一の条件で動圧
が発生されることになる。すなわち、回転軸が正逆何れ
の方向に回転される場合においても、常に、同一条件で
両密封端面間に適正な動圧を発生させ得て、良好な軸封
機能が発揮されることになる。
何れの方向に行われた場合にも、全く同一の条件で動圧
が発生されることになる。すなわち、回転軸が正逆何れ
の方向に回転される場合においても、常に、同一条件で
両密封端面間に適正な動圧を発生させ得て、良好な軸封
機能が発揮されることになる。
【００１０】また、動圧発生溝が占有面積の極く小さな
線状溝であるから、周方向に並列する動圧発生溝ユニッ
トの各々における被動圧発生溝数（特に、径方向におけ
る動圧発生部の並列数）を極めて多くすることができ
る。すなわち、正逆何れの方向に回転する場合にも、各
動圧発生溝ユニットを構成する２つの動圧発生溝群のう
ちの少なくとも一方は複数の被動圧発生溝を含んでお
り、各動圧発生溝ユニットには、必ず、動圧を発生すべ
く機能する動圧発生部が径方向に複数並列して存在する
ことになる。したがって、密封流体中のゴミやチリが一
部の被動圧発生溝に侵入，堆積して、その被動圧発生溝
における発生動圧が減少，消失した場合にも、各被動圧
発生溝が他の被動圧発生溝と流体導入経路（導入部）を
共用しない独立したものであることとも相俟って、周方
向における発生動圧の圧力分布が著しく不均一となるよ
うなことがなく、圧力分布不良による軸封機能の低下，
異常はこれが生じることがない。すなわち、周方向に並
列する動圧発生溝ユニットの各々に多くの独立した主動
圧発生箇所が存在することから、一の動圧発生溝ユニッ
トにおいては、一部の被動圧発生溝における発生動圧が
ゴミ等の侵入，堆積により減少したときにも、この動圧
発生溝ユニット全体としては発生動圧が殆ど減少，変動
せず、周方向の圧力分布が著しく不均一となるようなこ
とがなく、一の動圧発生溝ユニットにおける動圧が激減
して密封端面が局部的に接触するような虞れもない。か
かる作用効果は、各動圧発生溝ユニットには主動圧発生
箇所と同数の補助動圧発生箇所が存在することによっ
て、より確実に発揮されることになる。すなわち、補助
動圧発生箇所で発生する動圧は、密封端面間を積極的に
非接触に保持させるには不充分なものではあるが、仮
に、一部の主動圧発生箇所で発生する動圧が減少，消失
した場合にも、これを補って動圧発生溝ユニット全体と
しての動圧低下を可及的に防止すべく機能し、密封端面
の局部的接触を確実に回避する。このように、非動圧発
生溝は、密封端面の非接触保持機能に全く寄与しないも
のではなく、被動圧発生溝による密封端面の非接触保持
機能が著しく低下したときにおいて、これを填補する機
能を有するものであり、非動圧発生溝を含む全動圧発生
溝が密封端面を非接触状態に保持すべく機能することに
なるから、動圧発生溝による密封端面の非接触保持機能
が極めて良好に発揮されることになる。
線状溝であるから、周方向に並列する動圧発生溝ユニッ
トの各々における被動圧発生溝数（特に、径方向におけ
る動圧発生部の並列数）を極めて多くすることができ
る。すなわち、正逆何れの方向に回転する場合にも、各
動圧発生溝ユニットを構成する２つの動圧発生溝群のう
ちの少なくとも一方は複数の被動圧発生溝を含んでお
り、各動圧発生溝ユニットには、必ず、動圧を発生すべ
く機能する動圧発生部が径方向に複数並列して存在する
ことになる。したがって、密封流体中のゴミやチリが一
部の被動圧発生溝に侵入，堆積して、その被動圧発生溝
における発生動圧が減少，消失した場合にも、各被動圧
発生溝が他の被動圧発生溝と流体導入経路（導入部）を
共用しない独立したものであることとも相俟って、周方
向における発生動圧の圧力分布が著しく不均一となるよ
うなことがなく、圧力分布不良による軸封機能の低下，
異常はこれが生じることがない。すなわち、周方向に並
列する動圧発生溝ユニットの各々に多くの独立した主動
圧発生箇所が存在することから、一の動圧発生溝ユニッ
トにおいては、一部の被動圧発生溝における発生動圧が
ゴミ等の侵入，堆積により減少したときにも、この動圧
発生溝ユニット全体としては発生動圧が殆ど減少，変動
せず、周方向の圧力分布が著しく不均一となるようなこ
とがなく、一の動圧発生溝ユニットにおける動圧が激減
して密封端面が局部的に接触するような虞れもない。か
かる作用効果は、各動圧発生溝ユニットには主動圧発生
箇所と同数の補助動圧発生箇所が存在することによっ
て、より確実に発揮されることになる。すなわち、補助
動圧発生箇所で発生する動圧は、密封端面間を積極的に
非接触に保持させるには不充分なものではあるが、仮
に、一部の主動圧発生箇所で発生する動圧が減少，消失
した場合にも、これを補って動圧発生溝ユニット全体と
しての動圧低下を可及的に防止すべく機能し、密封端面
の局部的接触を確実に回避する。このように、非動圧発
生溝は、密封端面の非接触保持機能に全く寄与しないも
のではなく、被動圧発生溝による密封端面の非接触保持
機能が著しく低下したときにおいて、これを填補する機
能を有するものであり、非動圧発生溝を含む全動圧発生
溝が密封端面を非接触状態に保持すべく機能することに
なるから、動圧発生溝による密封端面の非接触保持機能
が極めて良好に発揮されることになる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の構成を図１〜図３に示す実施
例に基づいて具体的に説明する。
例に基づいて具体的に説明する。
【００１２】図１に示す非接触形軸封装置において、１
は高圧側密封流体領域（例えば、タービン等の機内であ
る高圧ガス領域）Ｈと低圧側密封流体領域（例えば、タ
ービン等の機外である大気領域）Ｌとを区画するシール
ケース、２はシールケース１を洞貫する回転軸、３はシ
ールケース１に保持環４を介して軸線方向摺動可能に保
持された静止密封環、５は静止密封環３に対向して回転
軸２に固定された回転密封環、６はシールケース１と保
持環４との間に介挿されて、静止密封環３を回転密封環
５へと押圧附勢するスプリングである。なお、この実施
例では、静止密封環３がカーボン等の軟質材で、また回
転密封環５がＷＣ，ＳｉＣ等のセラミックス，超硬合金
等の硬質材で夫々成形されている。
は高圧側密封流体領域（例えば、タービン等の機内であ
る高圧ガス領域）Ｈと低圧側密封流体領域（例えば、タ
ービン等の機外である大気領域）Ｌとを区画するシール
ケース、２はシールケース１を洞貫する回転軸、３はシ
ールケース１に保持環４を介して軸線方向摺動可能に保
持された静止密封環、５は静止密封環３に対向して回転
軸２に固定された回転密封環、６はシールケース１と保
持環４との間に介挿されて、静止密封環３を回転密封環
５へと押圧附勢するスプリングである。なお、この実施
例では、静止密封環３がカーボン等の軟質材で、また回
転密封環５がＷＣ，ＳｉＣ等のセラミックス，超硬合金
等の硬質材で夫々成形されている。
【００１３】而して、回転密封環５の端面である回転側
密封端面５ａには、図１及び図２に示す如く、その周方
向に等間隔を隔てて近接状に並列する複数組の動圧発生
溝群ユニット１０…が形成されていて、回転軸２により
回転側密封端面５ａが正転方向（Ａ方向）又は逆転方向
（反Ａ方向）の何れに回転せしめられたときにも、回転
側密封端面５ａとこれに対向する静止密封環３の端面で
ある静止側密封端面３ａとの間に動圧を発生させうるよ
うになっている。
密封端面５ａには、図１及び図２に示す如く、その周方
向に等間隔を隔てて近接状に並列する複数組の動圧発生
溝群ユニット１０…が形成されていて、回転軸２により
回転側密封端面５ａが正転方向（Ａ方向）又は逆転方向
（反Ａ方向）の何れに回転せしめられたときにも、回転
側密封端面５ａとこれに対向する静止密封環３の端面で
ある静止側密封端面３ａとの間に動圧を発生させうるよ
うになっている。
【００１４】各動圧発生溝ユニット１０は、図２及び図
３に示す如く、周方向に並列する第１動圧発生溝群１０
1 とこれに近接して正転方向側に位置する第２動圧発生
溝群１０ 2 とからなる。各動圧発生溝群１０ 1 ，１０ 2
は、図２及び図３に示す如く、密封端面５ａの高圧側周
端縁たる外周縁から径方向に延びる導入部１２と導入部
１２の端部から周方向に延びる動圧発生部１３とからな
る複数の略Ｌ字状の動圧発生溝１１ 1 …，１１ 2 …を、
互いに交差することなく近接させて、径方向に並列させ
てなる。各導入部１２は直線形状をなし、各動圧発生部
１３は密封端面５ａの中心Ｏを中心とする円弧形状をな
している。各動圧発生溝１１ 1 ，１１ 2 は、レーザ加工
法，エッチング加工法，ショットブラスト加工法等によ
って形成された浅い線状溝である。この線状溝の溝深さ
Ｄ，溝幅Ｗは、一般に、Ｄ＝０．１〜２０μｍ，Ｗ＝
０．００１〜２ｍｍとしておくことが好ましく、特に、
動圧発生部１３の溝深さは０．１〜１０μｍとしておく
ことが好ましい。また、各動圧発生群１０における線状
溝１１の本数及び溝幅、特に、動圧発生部１３の本数及
び溝幅は、シール条件等に応じて設定されるが、一般に
は、グルーブ比が０．１〜０．９（より好ましくは０．
１１〜０．６）となるように設定しておくことが好まし
い。なお、グルーブ比＝（径方向に並列する動圧発生部
１３…の溝幅の合計）／（シール面幅つまり両密封端面
３ａ，５ａが重合する環状面の径方向幅）である。
３に示す如く、周方向に並列する第１動圧発生溝群１０
1 とこれに近接して正転方向側に位置する第２動圧発生
溝群１０ 2 とからなる。各動圧発生溝群１０ 1 ，１０ 2
は、図２及び図３に示す如く、密封端面５ａの高圧側周
端縁たる外周縁から径方向に延びる導入部１２と導入部
１２の端部から周方向に延びる動圧発生部１３とからな
る複数の略Ｌ字状の動圧発生溝１１ 1 …，１１ 2 …を、
互いに交差することなく近接させて、径方向に並列させ
てなる。各導入部１２は直線形状をなし、各動圧発生部
１３は密封端面５ａの中心Ｏを中心とする円弧形状をな
している。各動圧発生溝１１ 1 ，１１ 2 は、レーザ加工
法，エッチング加工法，ショットブラスト加工法等によ
って形成された浅い線状溝である。この線状溝の溝深さ
Ｄ，溝幅Ｗは、一般に、Ｄ＝０．１〜２０μｍ，Ｗ＝
０．００１〜２ｍｍとしておくことが好ましく、特に、
動圧発生部１３の溝深さは０．１〜１０μｍとしておく
ことが好ましい。また、各動圧発生群１０における線状
溝１１の本数及び溝幅、特に、動圧発生部１３の本数及
び溝幅は、シール条件等に応じて設定されるが、一般に
は、グルーブ比が０．１〜０．９（より好ましくは０．
１１〜０．６）となるように設定しておくことが好まし
い。なお、グルーブ比＝（径方向に並列する動圧発生部
１３…の溝幅の合計）／（シール面幅つまり両密封端面
３ａ，５ａが重合する環状面の径方向幅）である。
【００１５】而して、各動圧発生溝ユニット１０におけ
る第１動圧発生溝群１０ 1 と第２動圧発生溝群１０ 2 と
は、図３に示す如く、両動圧発生溝群１０ 1 ，１０ 2 間
を通過する直径線１４に対して対称形状をなしている。
すなわち、各動圧発生溝群１０ 1 ，１０ 2 における動圧
発生溝１１ 1 …，１１ 2 …の形成範囲α（密封端面５ａ
の中心Ｏを基準とする）並びに導入部１２…の周方向間
隔及び動圧発生部１３…の径方向間隔は夫々同一とされ
ている。第１動圧発生溝群１０ 1 は、動圧発生部１３…
が各導入部１２から正転方向（Ａ方向）に延びており、
密封端面５ａが逆転方向（反Ａ方向）に回転したときに
おいて前記被動圧発生溝として機能する動圧発生溝（以
下「逆転用動圧発生溝」という）１１ 1 …のみで構成さ
れており、第２動圧発生溝群１０ 2 は、動圧発生部１３
…が各導入部１２から逆転方向（反Ａ方向）に延びてお
り、密封端面５ａが正転方向に回転したときにおいて前
記被動圧発生溝として機能する動圧発生溝（以下「正転
用動圧発生溝」という）１１ 2 …のみで構成されてい
る。各逆転用動圧発生溝１１1 における導入部１２は直
径線に対して正転方向に一定角β傾斜しており、各正転
用動圧発生溝１１2 における導入部１２は直径線に対し
て逆転方向に同一角β傾斜している。なお、各動圧発生
溝群ユニット１０における第２動圧発生溝群１０ 1 は、
正転方向において隣接する動圧発生溝群ユニット１０に
おける第１動圧発生溝群１０ 2 とも、両動圧発生溝群１
０ 1 ，１０ 2 間を通過する直径線１４´に対して対称形
状をなしており、各動圧発生溝群ユニット１０における
第１動圧発生溝群１０ 1 は、逆転方向において隣接する
動圧発生溝群ユニット１０における第２動圧発生溝群１
０ 2 とも、両動圧発生溝群１０ 1 ，１０ 2 間を通過する
直径線に対して対称形状をなしていることは勿論である
（図３参照）。
る第１動圧発生溝群１０ 1 と第２動圧発生溝群１０ 2 と
は、図３に示す如く、両動圧発生溝群１０ 1 ，１０ 2 間
を通過する直径線１４に対して対称形状をなしている。
すなわち、各動圧発生溝群１０ 1 ，１０ 2 における動圧
発生溝１１ 1 …，１１ 2 …の形成範囲α（密封端面５ａ
の中心Ｏを基準とする）並びに導入部１２…の周方向間
隔及び動圧発生部１３…の径方向間隔は夫々同一とされ
ている。第１動圧発生溝群１０ 1 は、動圧発生部１３…
が各導入部１２から正転方向（Ａ方向）に延びており、
密封端面５ａが逆転方向（反Ａ方向）に回転したときに
おいて前記被動圧発生溝として機能する動圧発生溝（以
下「逆転用動圧発生溝」という）１１ 1 …のみで構成さ
れており、第２動圧発生溝群１０ 2 は、動圧発生部１３
…が各導入部１２から逆転方向（反Ａ方向）に延びてお
り、密封端面５ａが正転方向に回転したときにおいて前
記被動圧発生溝として機能する動圧発生溝（以下「正転
用動圧発生溝」という）１１ 2 …のみで構成されてい
る。各逆転用動圧発生溝１１1 における導入部１２は直
径線に対して正転方向に一定角β傾斜しており、各正転
用動圧発生溝１１2 における導入部１２は直径線に対し
て逆転方向に同一角β傾斜している。なお、各動圧発生
溝群ユニット１０における第２動圧発生溝群１０ 1 は、
正転方向において隣接する動圧発生溝群ユニット１０に
おける第１動圧発生溝群１０ 2 とも、両動圧発生溝群１
０ 1 ，１０ 2 間を通過する直径線１４´に対して対称形
状をなしており、各動圧発生溝群ユニット１０における
第１動圧発生溝群１０ 1 は、逆転方向において隣接する
動圧発生溝群ユニット１０における第２動圧発生溝群１
０ 2 とも、両動圧発生溝群１０ 1 ，１０ 2 間を通過する
直径線に対して対称形状をなしていることは勿論である
（図３参照）。
【００１６】ところで、動圧発生機能を充分に発揮させ
るためには、少なくとも、動圧発生溝の数を可及的に
多く設けておくこと、動圧発生部１３を動圧発生に必
要な助走距離を確保できるに充分な長さを有するものと
しておくことが必要である。したがって、動圧発生溝ユ
ニット１０…の形成形態は、かかる点及び前記グル
ーブ比を考慮した上で、密封端面５ａの径やシール条件
等に応じて適宜に設定しておくことが必要である。例え
ば、導入部１２…の周方向間隔及び動圧発生部１３…の
径方向間隔は、を考慮して、可及的に小さく設定して
おくことが好ましく、この実施例では溝幅Ｗ程度に設定
してある。また、各導入部１２の傾斜角度βは、一般に
０〜４５°としておくことが好ましい。何故なら、β＞
４５°とすると、導入部１２が必然的に長くなって、
の何れかを犠牲にせざるを得ず、発生動圧の減少に繋
がることになるからである。この実施例ではβ＝１５°
に設定してある。また、動圧発生溝の形成範囲αも
を考慮して適宜に設定されるが、一般には、α＝５〜３
０°としておくことが好ましく、この実施例ではα＝１
３°に設定してある。
るためには、少なくとも、動圧発生溝の数を可及的に
多く設けておくこと、動圧発生部１３を動圧発生に必
要な助走距離を確保できるに充分な長さを有するものと
しておくことが必要である。したがって、動圧発生溝ユ
ニット１０…の形成形態は、かかる点及び前記グル
ーブ比を考慮した上で、密封端面５ａの径やシール条件
等に応じて適宜に設定しておくことが必要である。例え
ば、導入部１２…の周方向間隔及び動圧発生部１３…の
径方向間隔は、を考慮して、可及的に小さく設定して
おくことが好ましく、この実施例では溝幅Ｗ程度に設定
してある。また、各導入部１２の傾斜角度βは、一般に
０〜４５°としておくことが好ましい。何故なら、β＞
４５°とすると、導入部１２が必然的に長くなって、
の何れかを犠牲にせざるを得ず、発生動圧の減少に繋
がることになるからである。この実施例ではβ＝１５°
に設定してある。また、動圧発生溝の形成範囲αも
を考慮して適宜に設定されるが、一般には、α＝５〜３
０°としておくことが好ましく、この実施例ではα＝１
３°に設定してある。
【００１７】以上のように構成された軸封装置によれ
ば、回転軸２が正転駆動して回転側密封端面５ａが正転
方向（Ａ方向）に回転されたときには、第２動圧発生溝
群１０ 2 を構成する正転用動圧発生溝１１ 2 …が被動圧
発生溝となって、その動圧発生部１３の終端箇所たる主
動圧発生箇所において動圧が発生し、両密封端面３ａ，
５ａ間を非接触状態に保持する。一方、第１動圧発生溝
群１０ 1 を構成する逆転用動圧発生溝１１ 1 …は非動圧
発生溝となって、その導入部１２の終端箇所たる補助動
圧発生箇所において、前記した如く、正転用動圧発生溝
１１ 2 …による密封端面の非接触保持機能を補助すべき
補助的な動圧を発生する。また、回転軸２が逆転駆動し
て回転側密封端面５ａが逆転方向（反Ａ方向）に回転さ
れたときには、上記とは逆に、第１動圧発生溝群１０ 1
を構成する正転用動圧発生溝１１ 1 …が被動圧発生溝と
なり、第２動圧発生溝群１０ 2 を構成する逆転用動圧発
生溝１１ 2 …が非動圧発生溝となって、上記した正転時
におけると全く同一の条件で、主動圧発生箇所及び補助
動圧発生箇所において動圧が発生する。したがって、回
転軸２が正逆何れの方向に回転されたときにも、同一条
件で密封端面３ａ，５ａ間に動圧が発生せしめられるこ
とになり、この発生動圧と静止密封環３に作用する背圧
つまり保持環４の背面に作用する高圧側密封流体による
圧力及びスプリング６による附勢力とがバランスされ
て、両密封端面３ａ，５ａが高圧側密封流体による流体
膜を介在した非接触状態に保持され、この流体膜の形成
部分において高圧側密封流体領域Ｈと低圧側密封流体領
域Ｌとが良好に遮蔽シールされることになる。しかも、
各動圧発生溝ユニット１０が独立した多くの被動圧発生
溝及びこれと同数の非動圧発生溝で構成されていること
から、一部の被動圧発生溝に密封流体中のゴミやチリが
侵入，堆積して、その被動圧発生溝において発生動圧が
減少，消失した場合にも、各動圧発生溝ユニット全体と
しては、非動圧発生溝の補助動圧発生箇所における動圧
発生と相俟って、密封端面の非接触保持機能が極端に低
下することがない。したがって、どのような状況下にあ
っても、密封端面が局部的に接触するような事態が発生
せず、密封端面が傾いた場合における復元力も大きく、
非接触形軸封装置の機能を良好に発揮，維持することが
できる。
ば、回転軸２が正転駆動して回転側密封端面５ａが正転
方向（Ａ方向）に回転されたときには、第２動圧発生溝
群１０ 2 を構成する正転用動圧発生溝１１ 2 …が被動圧
発生溝となって、その動圧発生部１３の終端箇所たる主
動圧発生箇所において動圧が発生し、両密封端面３ａ，
５ａ間を非接触状態に保持する。一方、第１動圧発生溝
群１０ 1 を構成する逆転用動圧発生溝１１ 1 …は非動圧
発生溝となって、その導入部１２の終端箇所たる補助動
圧発生箇所において、前記した如く、正転用動圧発生溝
１１ 2 …による密封端面の非接触保持機能を補助すべき
補助的な動圧を発生する。また、回転軸２が逆転駆動し
て回転側密封端面５ａが逆転方向（反Ａ方向）に回転さ
れたときには、上記とは逆に、第１動圧発生溝群１０ 1
を構成する正転用動圧発生溝１１ 1 …が被動圧発生溝と
なり、第２動圧発生溝群１０ 2 を構成する逆転用動圧発
生溝１１ 2 …が非動圧発生溝となって、上記した正転時
におけると全く同一の条件で、主動圧発生箇所及び補助
動圧発生箇所において動圧が発生する。したがって、回
転軸２が正逆何れの方向に回転されたときにも、同一条
件で密封端面３ａ，５ａ間に動圧が発生せしめられるこ
とになり、この発生動圧と静止密封環３に作用する背圧
つまり保持環４の背面に作用する高圧側密封流体による
圧力及びスプリング６による附勢力とがバランスされ
て、両密封端面３ａ，５ａが高圧側密封流体による流体
膜を介在した非接触状態に保持され、この流体膜の形成
部分において高圧側密封流体領域Ｈと低圧側密封流体領
域Ｌとが良好に遮蔽シールされることになる。しかも、
各動圧発生溝ユニット１０が独立した多くの被動圧発生
溝及びこれと同数の非動圧発生溝で構成されていること
から、一部の被動圧発生溝に密封流体中のゴミやチリが
侵入，堆積して、その被動圧発生溝において発生動圧が
減少，消失した場合にも、各動圧発生溝ユニット全体と
しては、非動圧発生溝の補助動圧発生箇所における動圧
発生と相俟って、密封端面の非接触保持機能が極端に低
下することがない。したがって、どのような状況下にあ
っても、密封端面が局部的に接触するような事態が発生
せず、密封端面が傾いた場合における復元力も大きく、
非接触形軸封装置の機能を良好に発揮，維持することが
できる。
【００１８】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の基本原理を逸脱しない範囲におい
て、適宜に変更，改良することができ、特に、動圧発生
溝ユニット１０の数，形態は任意であり、例えば、図４
〜図１０に示す如き形態としておくことができる。
のではなく、本発明の基本原理を逸脱しない範囲におい
て、適宜に変更，改良することができ、特に、動圧発生
溝ユニット１０の数，形態は任意であり、例えば、図４
〜図１０に示す如き形態としておくことができる。
【００１９】すなわち、図４に示すものでは、各導入部
１２の直径線に対する傾斜方向を上記実施例におけると
逆にしてある。この場合における傾斜角度β（４５°以
下）も任意に設定できる。また、図５に示すものでは、
この傾斜角度βを０°としてある。また、図６〜図９に
夫々示すものでは、各動圧発生溝群１０ 1 ，１０ 2 にお
いて、正転方向に延びる動圧発生部１３を有する逆転用
動圧発生溝１１1 …と逆転方向に延びる動圧発生部１３
を有する正転用動圧発生溝１１2 …とを混在させてあ
る。また、図１０に示すものでは、各動圧発生溝１
１1 ，１１2 における導入部１２と動圧発生部１３との
接合部分を円弧形状としてある。何れの場合にも、前記
及びグルーブ比を考慮すべきことは勿論である。
１２の直径線に対する傾斜方向を上記実施例におけると
逆にしてある。この場合における傾斜角度β（４５°以
下）も任意に設定できる。また、図５に示すものでは、
この傾斜角度βを０°としてある。また、図６〜図９に
夫々示すものでは、各動圧発生溝群１０ 1 ，１０ 2 にお
いて、正転方向に延びる動圧発生部１３を有する逆転用
動圧発生溝１１1 …と逆転方向に延びる動圧発生部１３
を有する正転用動圧発生溝１１2 …とを混在させてあ
る。また、図１０に示すものでは、各動圧発生溝１
１1 ，１１2 における導入部１２と動圧発生部１３との
接合部分を円弧形状としてある。何れの場合にも、前記
及びグルーブ比を考慮すべきことは勿論である。
【００２０】また、動圧発生溝ユニット１０…は静止側
密封端面３ａに形成することも可能である。但し、密封
環３，５がカーボン等の軟質材からなるものとＷＣ，Ｓ
ｉＣ等のセラミックス，超硬合金等の硬質材からなるも
のとの組み合わせである場合、硬質材製のものに形成し
ておくことが好ましい。
密封端面３ａに形成することも可能である。但し、密封
環３，５がカーボン等の軟質材からなるものとＷＣ，Ｓ
ｉＣ等のセラミックス，超硬合金等の硬質材からなるも
のとの組み合わせである場合、硬質材製のものに形成し
ておくことが好ましい。
【００２１】
【発明の効果】以上の説明から容易に理解されるよう
に、本発明の非接触形軸封装置にあっては、各動圧発生
溝ユニットが周方向に対称形状をなす２つの動圧発生溝
群で構成されているから、回転軸が正逆何れの方向に回
転されるときにも、密封端面間に適正な動圧を発生させ
ることができる。しかも、回転軸の回転方向に拘わら
ず、動圧発生条件が同一となり、正転時と逆転時とで軸
封機能が異なることがない。
に、本発明の非接触形軸封装置にあっては、各動圧発生
溝ユニットが周方向に対称形状をなす２つの動圧発生溝
群で構成されているから、回転軸が正逆何れの方向に回
転されるときにも、密封端面間に適正な動圧を発生させ
ることができる。しかも、回転軸の回転方向に拘わら
ず、動圧発生条件が同一となり、正転時と逆転時とで軸
封機能が異なることがない。
【００２２】また、各動圧発生溝が占有面積の極めて小
さな略Ｌ字状の線状溝であるから、密封端面上に極めて
多くの被動圧発生溝つまり主動圧発生箇所を確保するこ
とができ、しかも、被動圧発生溝として機能しない動圧
発生溝（非動圧発生溝）にも或る程度の動圧が発生し
て、主動圧発生箇所以外にもこれと同数の補助動圧発生
箇所が存在することになる。したがって、正逆何れに回
転したときにも、すべての動圧発生溝において動圧発生
箇所が生じて、動圧発生箇所数が著しく多くなり、両密
封端面を適正な非接触状態に保持するに充分な発生動圧
を容易且つ確実に得ることができる。しかも、動圧発生
溝が各々独立したものであることとも相俟って、両密封
端面の径方向位置関係が変化した場合にも、一の動圧発
生溝ユニットにおけるすべての動圧発生溝から圧力が抜
けるようなことがなく、密封端面の局部的接触を確実に
防止すると共に密封端面が傾いた場合における復元力も
大きい。
さな略Ｌ字状の線状溝であるから、密封端面上に極めて
多くの被動圧発生溝つまり主動圧発生箇所を確保するこ
とができ、しかも、被動圧発生溝として機能しない動圧
発生溝（非動圧発生溝）にも或る程度の動圧が発生し
て、主動圧発生箇所以外にもこれと同数の補助動圧発生
箇所が存在することになる。したがって、正逆何れに回
転したときにも、すべての動圧発生溝において動圧発生
箇所が生じて、動圧発生箇所数が著しく多くなり、両密
封端面を適正な非接触状態に保持するに充分な発生動圧
を容易且つ確実に得ることができる。しかも、動圧発生
溝が各々独立したものであることとも相俟って、両密封
端面の径方向位置関係が変化した場合にも、一の動圧発
生溝ユニットにおけるすべての動圧発生溝から圧力が抜
けるようなことがなく、密封端面の局部的接触を確実に
防止すると共に密封端面が傾いた場合における復元力も
大きい。
【００２３】さらに、独立した動圧発生溝を周方向及び
径方向に多数並列形成させておくことができるから、一
部の動圧発生溝に密封流体中のゴミやチリが侵入，堆積
して、部分的に発生動圧が減少した場合にも、全体とし
て、周方向における発生動圧の圧力分布が著しく不均一
になることがなく、圧力分布不良による軸封機能の低
下，異常を生じることがない。
径方向に多数並列形成させておくことができるから、一
部の動圧発生溝に密封流体中のゴミやチリが侵入，堆積
して、部分的に発生動圧が減少した場合にも、全体とし
て、周方向における発生動圧の圧力分布が著しく不均一
になることがなく、圧力分布不良による軸封機能の低
下，異常を生じることがない。
【００２４】したがって、本発明の軸封装置を使用する
ことにより、回転軸を一定方向に回転させる機器におい
ては勿論、これを正逆転させる必要のある機器において
も極めて良好な軸封を行いうる。
ことにより、回転軸を一定方向に回転させる機器におい
ては勿論、これを正逆転させる必要のある機器において
も極めて良好な軸封を行いうる。
【図１】本発明に係る非接触形軸封装置の一実施例を示
す半截断面図である。
す半截断面図である。
【図２】動圧発生溝群を形成した密封端面を示す正面図
である。
である。
【図３】図２の一部を拡大して示す詳細図である。
【図４】他の実施例を示す密封端面の一部切欠正面図で
ある。
ある。
【図５】更に他の実施例を示す密封端面の正面図であ
る。
る。
【図６】更に他の実施例を示す密封端面の正面図であ
る。
る。
【図７】更に他の実施例を示す密封端面の正面図であ
る。
る。
【図８】更に他の実施例を示す密封端面の正面図であ
る。
る。
【図９】更に他の実施例を示す密封端面の正面図であ
る。
る。
【図１０】更に他の実施例を示す密封端面の一部切欠正
面図である。
面図である。
【図１１】従来の非接触形軸封装置における密封端面を
示す一部切欠正面図である。
示す一部切欠正面図である。
１…シールケース、２…回転軸、３…静止密封環、３ａ
…静止側密封端面（シールケース側の密封端面）、５…
回転密封環、５ａ…回転側密封端面（回転軸側の密封端
面）、１０…動圧発生溝ユニット、１０ 1 …第１動圧発
生溝群、１０ 2 …第２動圧発生溝群、１１1 ，１１2 …
動圧発生溝、１２…導入部、１３…動圧発生部。
…静止側密封端面（シールケース側の密封端面）、５…
回転密封環、５ａ…回転側密封端面（回転軸側の密封端
面）、１０…動圧発生溝ユニット、１０ 1 …第１動圧発
生溝群、１０ 2 …第２動圧発生溝群、１１1 ，１１2 …
動圧発生溝、１２…導入部、１３…動圧発生部。
Claims (1)
- 【請求項１】 シールケース側の密封端面と回転軸側の
密封端面とが高圧側密封流体による流体膜を介在させた
非接触状態で相対回転するように構成された非接触形軸
封装置において、 一方の密封端面に、複数組の動圧発生溝ユニットが当該
密封端面の周方向に等間隔を隔てて形成されており、 各動圧発生溝ユニットは、前記周方向に並列された２つ
の動圧発生溝群であって、両動圧発生溝群間を通過する
当該密封端面の直径線に対して対称形状をなす第１動圧
発生溝群と第２動圧発生溝群とからなるものであり、 各動圧発生溝群は、当該密封端面の高圧側周端縁からそ
の径方向に延びる導入部と導入部の端部から前記周方向
に延びる動圧発生部とからなる複数の略Ｌ字状の線状の
動圧発生溝であって、動圧発生部が導入部から同一方向
に延びている複数の動圧発生溝を含むものを、互いに交
差することなく近接させて、前記径方向に並列させてな
るものであることを特徴とする非接触形軸封装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5181059A JP2639883B2 (ja) | 1993-07-22 | 1993-07-22 | 非接触形軸封装置 |
| US08/160,195 US5501470A (en) | 1992-12-11 | 1993-12-02 | Non-contacting shaft sealing device with grooved face pattern |
| DE69311512T DE69311512T2 (de) | 1992-12-11 | 1993-12-06 | Kontaktlose Wellendichtung |
| EP93309778A EP0601821B1 (en) | 1992-12-11 | 1993-12-06 | Non-contacting shaft sealing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5181059A JP2639883B2 (ja) | 1993-07-22 | 1993-07-22 | 非接触形軸封装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0735242A JPH0735242A (ja) | 1995-02-07 |
| JP2639883B2 true JP2639883B2 (ja) | 1997-08-13 |
Family
ID=16094068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5181059A Expired - Fee Related JP2639883B2 (ja) | 1992-12-11 | 1993-07-22 | 非接触形軸封装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2639883B2 (ja) |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2903458B2 (ja) * | 1995-09-29 | 1999-06-07 | 日本ピラー工業株式会社 | 大型缶水循環ポンプ用熱水軸封装置 |
| TW455489B (en) | 1999-10-12 | 2001-09-21 | Takano Co Ltd | Rolling walker |
| GB0317055D0 (en) | 2003-07-22 | 2003-08-27 | Cross Mfg Co 1938 Ltd | Improvements relating to aspirating face seals and thrust bearings |
| JP5111961B2 (ja) * | 2007-07-09 | 2013-01-09 | キヤノンマシナリー株式会社 | 摺動面構造 |
| JP5278970B2 (ja) * | 2008-01-11 | 2013-09-04 | イーグル工業株式会社 | メカニカルシール摺動材及びメカニカルシール |
| JP5936079B2 (ja) * | 2011-08-05 | 2016-06-15 | イーグル工業株式会社 | メカニカルシール |
| CN103732957B (zh) * | 2011-09-03 | 2016-04-13 | 伊格尔工业股份有限公司 | 滑动部件 |
| JP5968889B2 (ja) * | 2011-09-03 | 2016-08-10 | イーグル工業株式会社 | 摺動部品 |
| CN103732958B (zh) * | 2011-09-10 | 2016-09-21 | 伊格尔工业股份有限公司 | 滑动部件 |
| US20150115540A1 (en) * | 2012-09-11 | 2015-04-30 | Eagle Industry Co. Ltd | Sliding component |
| US10612666B2 (en) | 2012-09-11 | 2020-04-07 | Eagle Industry Co., Ltd. | Sliding component |
| JP6121446B2 (ja) * | 2012-12-25 | 2017-04-26 | イーグル工業株式会社 | 摺動部品 |
| EP2977654B1 (en) * | 2013-03-17 | 2018-04-25 | Eagle Industry Co., Ltd. | Sliding component |
| JP6305428B2 (ja) * | 2013-11-22 | 2018-04-04 | イーグル工業株式会社 | 摺動部品 |
| EP3091257B1 (en) | 2013-12-09 | 2023-01-25 | Eagle Industry Co., Ltd. | Sliding component |
| JP6305432B2 (ja) | 2013-12-09 | 2018-04-04 | イーグル工業株式会社 | 摺動部品 |
| AU2015219854B2 (en) * | 2014-02-24 | 2017-08-31 | Eagle Industry Co., Ltd. | Sliding member and sliding member processing method |
| JP6522000B2 (ja) * | 2014-11-08 | 2019-05-29 | イーグル工業株式会社 | 摺動部品 |
| US20220099190A1 (en) * | 2019-02-04 | 2022-03-31 | Eagle Industry Co., Ltd. | Sliding component |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2788946B2 (ja) * | 1989-07-12 | 1998-08-20 | 清水建設株式会社 | 構造物の振動抑制装置 |
| JPH0751988B2 (ja) * | 1990-03-27 | 1995-06-05 | 日本ピラー工業株式会社 | 複合式非接触シール装置 |
| JPH07117167B2 (ja) * | 1991-05-09 | 1995-12-18 | 日本ピラー工業株式会社 | 非接触形メカニカルシール装置 |
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1993
- 1993-07-22 JP JP5181059A patent/JP2639883B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH0735242A (ja) | 1995-02-07 |
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