JPWO2008139860A1 - 半導体薄膜、半導体薄膜の製造方法、および、半導体素子 - Google Patents
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Abstract
Description
また、特許文献5には、非晶質酸化物薄膜を形成後、この非晶質酸化物薄膜に酸素含有プラズマを照射して得られる酸化物膜も開示されている。
加熱して酸素を熱固定することにより、上記の問題の発生を避けることができるが、この場合、加熱が必要となるので、非晶質の特性を活かして低温成膜した意義が失われる。
しかも、非晶質の構造中に熱固定された酸素は離脱しやすい。例えば、半導体薄膜を真空下で加熱すると、酸素が離脱して酸素欠損が生じる。これにより、キャリヤが増大して半導体特性が損なわれるおそれがある。
また、特許文献5では、酸素含有プラズマの発生条件などが開示されていない。このため、例えば、酸素含有プラズマの発生条件が適切でない場合、酸素含有プラズマの照射により、酸化物膜としての半導体薄膜の半導体特性が損なわれるおそれがある。
そして、非晶質酸化物薄膜が、酸素プラズマ(低温プラズマ)により低温状態で酸化される。このような半導体薄膜は、表面および内部が酸化されやすいので、熱および長時間の通電に対して安定しやすくなる。したがって、半導体薄膜は、半導体特性が安定する。
そして、酸素プラズマによって固定された酸素は、成膜時に固定された酸素と比べて離脱し難いので、半導体薄膜は、酸素の離脱によってキャリヤが増大し、半導体特性が損なわれる可能性が低い。
さらに、プラズマを使用することにより、基板温度を200℃以下の低温に保つことができるので、半導体薄膜は、フィルム等の耐熱性の低い基板上でも、成膜され得る。
印加周波数は、好ましくは100kHz以上100MHz以下であり、より好ましくは1MHz以上50MHz以下である。13.56MHzのRFプラズマが最も好適である。また、投入電力は、100W以上、好ましくは300W以上である。
ここで、印加周波数が1kHz以上300MHz以下の範囲以外であると、酸素プラズマは安定しない場合がある。また、高周波の電界により、半導体を成膜する基板や、成膜された薄膜自体が加熱される場合があるので好ましくない。
したがって、印加周波数が1kHz以上300MHz以下であるため、安定して酸素プラズマを発生させることができる。
圧力は、より好ましくは、50Pa以上0.01MPa未満、さらに好ましくは、100Pa以上1000Pa未満である。
5Pa未満の圧力では、効果的に酸化することができない場合、後述する結晶化される場合には、その結晶化の進行が遅くなる場合がある。また、圧力が0.1MPaを超えると、酸素プラズマの温度が上昇し基板を過熱してしまうおそれがある。
したがって、圧力が5Pa以上0.1MPa以下の条件なので、安定して酸素プラズマを発生させることができる。
このような構成によれば、非晶質酸化物薄膜の形成にあたって、加熱処理が必要ないので、例えば、熱に弱い樹脂材料などを基板とすることも可能になる。 なお、真空装置を用いる場合は、スパッタリング法が有効である。また、安価に製造する方法としては、ゾルゲル法や微粒子の塗布法なども有効である。
さらに、大型基板への対応、表面平滑性や面内の均一性などを考慮する場合は、スパッタリング法が有効である。
主成分とは、全金属酸化物中の酸化インジウムの含有量が50質量%を超えることを意味する。また、正三価の金属をNとした場合、In/(In+N)が0.5以上0.95以下、好ましくは、0.6以上0.9以下である。
ここで、0.5未満では、半導体薄膜は、移動度が低下する場合がある。一方、0.95を超える場合は、半導体薄膜は、結晶化する場合がある。
したがって、このような構成によれば、半導体薄膜は、移動度が高い非晶質の状態になる。
このような構成によれば、非晶質酸化物薄膜が簡単に酸化されるので、半導体薄膜は非晶質の状態になる。そして、半導体薄膜は、酸素欠損を発生しにくくなるので、安定して作動するようになる。
主成分とは、全金属酸化物のうちの酸化インジウムおよび正二価の金属酸化物の含有量が50質量%を超えることを意味する。酸化インジウムおよび正二価の金属酸化物の組成は、正二価の金属をMとすると、原子比として、In/(In+M)が0.2以上0.95以下、好ましくは0.5以上0.9以下である。
ここで、0.2未満及び0.95を超える場合では、プラズマ処理により結晶化する場合がある。
したがって、このような構成によれば、非晶質酸化物薄膜が酸化されやすいので、半導体薄膜は、容易に安定した非晶質の状態になる。
このような構成によれば、非晶質酸化物薄膜は、キャリヤの移動度を低下させにくくなる。また、半導体薄膜は、酸素プラズマにより、効果的に非晶質の状態になる。
このような構成によれば、非晶質酸化物薄膜がさらに酸素欠損を低減しやすくなるので、半導体薄膜は、容易に非晶質の状態になる。
主成分とは、全金属酸化物のうちの酸化亜鉛および酸化スズの含有量が50質量%を超えることを意味する。
また、酸化亜鉛および酸化スズの組成は、原子比として、Zn/(Zn+Sn)が0.1以上0.9以下、好ましくは0.2以上0.8以下である。
一方、0.1未満及び0.9を超える場合では、半導体薄膜は、プラズマ処理により結晶化する場合がある。
したがって、このような構成によれば、非晶質酸化物薄膜は、容易に酸化されやすくなるので、半導体薄膜は、容易に安定した非晶質の状態になる。
このような構成によれば、非晶質酸化物薄膜は、簡単に酸化されるので、半導体薄膜は、非晶質の状態になりやすい。そして、半導体薄膜は、酸素欠損が発生しにくくなり、安定して作動するようになる。
このような構成によれば、非晶質酸化物薄膜が、簡単に酸化されるので、半導体薄膜は、非晶質の状態になりやすい。また、半導体薄膜は、酸素欠損を発生しにくくなるので、安定して作動するようになる。
主成分とは、全金属酸化物のうちの酸化インジウムおよび酸化スズの含有量が50質量%を超えることを意味する。
また、酸化インジウムおよび酸化スズの組成は、原子比として、In/(In+Sn)が0.2以上0.8以下、好ましくは0.5以上0.7以下である。
一方、0.2未満及び0.8を超える場合では、半導体薄膜は結晶化する場合がある。
このような構成によれば、非晶質酸化物薄膜は容易に酸化されるので、半導体薄膜は、移動度が高くなるとともに、非晶質の状態になる。
このような構成によれば、非晶質酸化物薄膜は安定した非晶質構造を保つようになる。このため、非晶質酸化物薄膜が簡単に酸化されるので、半導体薄膜は、非晶質の状態になりやすい。そして、半導体薄膜は、酸素欠損が発生しにくくなるので、半導体特性が安定するようになる。
このような構成によれば、非晶質酸化物薄膜は、簡単に酸化されるので、半導体薄膜は、非晶質の状態になりやすくなる。また、酸化物半導体は、酸素欠損を発生しにくく、かつ安定して作動するようになる。
このような構成によれば、非晶質酸化物薄膜は、安定した非晶質構造を保つようになる。このため、非晶質酸化物薄膜が簡単に酸化されるので、半導体薄膜は、非晶質の状態になりやすくなる。そして、半導体薄膜は、酸素欠損が発生しにくくなるので、半導体特性が安定するようになる
このような構成によれば、非晶質酸化物薄膜は、キャリヤの移動度が低下しにくくなる。そして、半導体薄膜は、効果的に非晶質の状態になる。
すなわち、本発明によれば、酸化インジウムに加熱処理を施すことなく結晶化させることができ、熱および長時間通電に対する高い安定性を備えた半導体薄膜を得ることができる。
また、酸素プラズマによって半導体薄膜に酸素が固定されるので、酸化インジウムの結晶化に際して酸素欠損が低減される。これにより、半導体特性の優れた半導体薄膜を得ることができる。
さらに、酸素プラズマによって結晶化され固定された酸素は、熱固定された酸素と比べて離脱し難いので、酸素の離脱によってキャリヤが増大し、半導体特性が損なわれる可能性が低い。
このような本発明の半導体薄膜は、熱処理を施すことなく製造されるので、熱に弱い樹脂基板上に成膜することが可能であるとともに、半導体としての特性にも優れる。
例えば、本発明の半導体薄膜は、成膜にあたって熱処理が不要であること、また、成膜後に熱処理が不要なこと、および、酸化インジウム薄膜が透明性であることを利用し、可撓性の樹脂材料を基板とする薄型表示装置の駆動素子などに適用することができる。
また、「主成分とする」とは、非晶質酸化物薄膜中に酸化インジウムが50質量%以上含まれることを意味する。なお、酸化インジウムの含有量は、70質量%以上であることが好ましく、80質量%以上であることがより好ましい。
このような構成によれば、得られる半導体薄膜中において、正二価の金属酸化物が、キャリヤの発生を効果的に抑制する。したがって、本発明によれば、長期にわたって安定に動作する半導体薄膜を得ることができる。
このような構成によれば、キャリヤの発生がより効果的に抑制され、長期にわたって安定に動作する半導体薄膜を得ることができる。
なお、酸化鉄や酸化マンガンなどでは、添加する効果がない。
このような構成によれば、正三価の金属酸化物が、酸化インジウムの結晶化の際に酸素欠陥を低減させる。したがって、本発明によれば、安定に動作する半導体薄膜を得ることができる。
なお、酸化タリウムなどは、酸素欠損を生じやすくなると考えられ添加効果はない。
本発明によれば、非晶質酸化物薄膜が酸素プラズマにより酸化されるので、低温状態で酸素欠損が減少した半導体薄膜を得ることができる。このような半導体薄膜は、表面および内部が酸化されやすいので、半導体薄膜の内部の酸素欠損が効率的に減少する。したがって、半導体特性が安定した半導体薄膜が得られる。
また、酸素プラズマにより酸素欠損を減少させることができるので、キャリヤ密度が低減した半導体薄膜を効率的に製造することができる。そして、酸素プラズマを使用することにより、基板温度を200℃以下の低温に保つことができるので、フィルム等の耐熱性の低い基板上でも、半導体薄膜を得ることができる。
また、酸素プラズマによって固定された酸素は、成膜時に固定された酸素と比べて離脱し難いので、酸素の離脱によってキャリヤが増大し、半導体特性が損なわれる可能性が低い。
このため、半導体薄膜が安定した半導体特性を有しているので、半導体素子は、安定して作動するようになる。
また、半導体素子は、半導体薄膜を備えているので、例えば、トランジスタなどとして利用できる。
本実施形態では、酸素を含むガスを高周波で励起して発生した酸素プラズマに、非晶質酸化物を含有する非晶質酸化物薄膜を暴露し、非晶質の半導体薄膜を形成する。
以下、本発明の第1実施形態について詳述する。
本実施形態の非晶質酸化物薄膜は、酸化インジウムを主成分とし、正三価の金属酸化物を含む。主成分とは、具体的には、酸化インジウムの含有量が50質量%を超えることを意味する。
また、正三価の金属をNとした場合、原子比として、In/(In+N)が0.5以上0.95以下、好ましくは、0.6以上0.9以下である。
一方、0.5未満では、移動度が低下する場合がある。また、0.95を超える場合では、非晶質酸化物薄膜は、結晶化した半導体薄膜を与える場合がある。
非晶質酸化物薄膜には、これらの正三価の金属酸化物のうちの1種が単独で含有されていてもよく、2種以上が含有されていてもよい。
主成分とは、具体的には、酸化インジウムおよび正二価の金属化合物の含有量が50質量%を超えることを意味する。
酸化インジウムおよび正二価の金属酸化物の組成は、正二価の金属をMとすると、原子比として、In/(In+M)が0.2以上0.95以下、好ましくは0.5以上0.9以下である。
一方、0.2未満及び0.95を超える場合では、プラズマ処理により結晶化する場合がある。
また、正二価の金属酸化物としては、酸化亜鉛、および酸化マグネシウムなどが好ましい。非晶質酸化物薄膜には、酸化亜鉛、および酸化マグネシウムのうちの1種が単独で含有されていてもよく、2種以上が含有されていてもよい。
主成分とは、具体的には、酸化亜鉛および酸化スズの含有量が50質量%を超えることを意味する。
また、酸化亜鉛および酸化スズの組成は、原子比として、Zn/(Zn+Sn)が0.1以上0.9以下、好ましくは0.2以上0.8以下である。
一方、0.1未満及び0.9を超える場合では、非晶質酸化物薄膜は、結晶化した半導体薄膜を与える場合がある。
正三価の金属酸化物としては、例えば、酸化ホウ素、酸化アルミニウム、酸化ガリウム、酸化インジウム、酸化スカンジウム、酸化イットリウム、酸化ランタン、酸化ネオジム、酸化サマリウム、酸化ユウロピウム、酸化ガドリニウム、酸化ジスプロシウム、酸化ホルミウム、酸化エルビウム、酸化ツリウム、酸化イッテルビウム、酸化ルテチウムなどが挙げられる。
非晶質酸化物薄膜には、これらの正三価の金属酸化物のうちの1種が単独で含有されていてもよく、2種以上が含有されていてもよい。
主成分とは、具体的には、酸化インジウムおよび酸化スズの含有量が50質量%を超えることを意味する。
酸化インジウムおよび酸化スズの組成は、原子比として、In/(In+Sn)が0.2以上0.8以下、好ましくは0.5以上0.7以下である。
一方、0.2未満及び0.8を超えると、非晶質酸化物薄膜は、結晶化した半導体薄膜を与える場合がある。
非晶質酸化物薄膜には、これらの正三価の金属酸化物のうちの1種が単独で含有されていてもよく、2種以上が含有されていてもよい。
ここで、正二価の金属酸化物としては、酸化亜鉛、および酸化マグネシウムなどが好ましい。非晶質酸化物薄膜には、酸化亜鉛、および酸化マグネシウムのうちの1種が単独で含有されていてもよく、2種以上が含有されていてもよい。
また、加熱処理を要することなく半導体薄膜を成膜できるので、熱に弱い樹脂材料などを基板としてもよい。
本実施形態の非晶質半導体の製造に用いられる酸素プラズマは、酸素を含むガスを励起することにより発生する高周波プラズマである。
印加周波数が1kHz未満では、酸素プラズマが安定しない場合があるので好ましくない。印加周波数が300MHzを超えると、酸素プラズマが発生しなかったり、不安定になったりする場合があり、また、高周波の電界の印加により、半導体を成膜する基板や、成膜された薄膜自体が加熱される場合があるので好ましくない。
なお、印加周波数は、好ましくは100kHz以上100MHz以下であり、より好ましくは1MHz以上50MHz以下である。13.56MHzのRFプラズマが最も好適である。
また、圧力が5Pa未満の圧力では、効果的に酸化することができない場合がある。
投入電力は、100W以上、好ましくは300W以上である。
本実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
(1)本実施形態によれば、酸素を含むガスを高周波で励起して発生した酸素プラズマに、前述した原子比で非晶質酸化物を含有する非晶質酸化物薄膜を暴露させることにより、非晶質の半導体薄膜を得ることができる。
このため、非晶質酸化物薄膜が、酸素プラズマにより低温状態で酸化されるので、半導体薄膜は、非晶質の構造を有しやすい。この非晶質の半導体薄膜は、表面および内部が酸化されやすいので、半導体特性が安定するようになる。
そして、酸素プラズマによって固定された酸素は、成膜時に固定された酸素と比べて離脱し難いので、半導体薄膜は、酸素の離脱によってキャリヤが増大し、半導体特性が損なわれる可能性が低い。
また、プラズマを使用することにより、基板温度を200℃以下の低温に保つことができるので、半導体薄膜は、フィルム等の耐熱性の低い基板上でも、成膜され得る。
また、酸素プラズマの発生条件を、印加周波数が1kHz以上300MHz以下、圧力が5Pa以上0.1MPa以下としているため、安定した酸素プラズマを発生させることができ、非晶質酸化物薄膜を加熱することなく、安定的に動作する半導体薄膜を得ることができる。
また、全金属酸化物中の酸化インジウムの含有量が50質量%を超えるので、原子比として、In/(In+N)が0.95以下となるため、非晶質の半導体薄膜は、移動度が低下するおそれが小さい。また、半導体薄膜は、結晶化する場合も少ない。
また、酸化亜鉛および酸化スズの組成は、原子比として、Zn/(Zn+Sn)が0.1以上0.9以下としたので、結晶化する場合も少ない。
前述した第1実施形態では、酸素を含むガスを高周波で励起して発生した酸素プラズマに、非晶質酸化物を含有する非晶質酸化物薄膜を暴露し、非晶質の半導体薄膜を形成したが、本第2実施形態では、酸素を含むガスを高周波で励起して発生した酸素プラズマに、非晶質酸化物薄膜を含有する非晶質酸化物薄膜を暴露し、結晶性の半導体薄膜を形成する。
なお、本実施形態では、前述した第1実施形態と同様の内容については、その説明を省略または簡略化する。
本実施形態の非晶質酸化物薄膜は、非晶質の酸化インジウムを主成分として含む。具体的には、非晶質酸化物薄膜は、50質量%以上の酸化インジウムを含む。なお、酸化インジウムの含有量は、70質量%以上であることが好ましく、80質量%以上であることがより好ましい。
非晶質酸化物薄膜に含まれる非晶質の酸化インジウムは、微結晶を含んでいる非晶質でも良いし、完全に非晶質でもよい。
正二価の金属酸化物としては、例えば、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化ニッケル、酸化銅および酸化コバルトなどが挙げられる。
非晶質酸化物薄膜には、これらの正二価の金属酸化物のうちの1種が単独で含有されていてもよく、2種以上が含有されていてもよい。
ここで、添加量が10質量%以上であると、酸化インジウムが結晶化しなくなったり、結晶化に時間が掛かりすぎたりする場合があるので好ましくない。
正三価の金属酸化物としては、例えば、酸化ホウ素、酸化アルミニウム、酸化ガリウム、酸化スカンジウム、酸化イットリウム、酸化ランタン、酸化ネオジム、酸化サマリウム、酸化ユウロピウム、酸化ガドリニウム、酸化ジスプロシウム、酸化ホルミウム、酸化エルビウム、酸化ツリウム、酸化イッテルビウムおよび酸化ルテチウムなどが挙げられる。
非晶質酸化物薄膜には、これらの正三価の金属酸化物のうちの1種が単独で含有されていてもよく、2種以上が含有されていてもよい。
ここで、添加量が10質量%以上であると、酸化インジウムが結晶化しなくなったり、結晶化に時間が掛かりすぎたりする場合があるので好ましくない。
なお、本実施形態の非晶質酸化物薄膜は、大型基板への対応、表面平滑性や面内の均一性などの理由から、スパッタリング法により形成されることが好ましい。
本実施形態の結晶性半導体の製造においては、非晶質酸化物薄膜は、前述した第1実施形態と同様の酸素プラズマにて処理される。
なお、本実施形態の酸素プラズマ処理における圧力は、好ましくは、5Pa以上0.1MPa以下であり、より好ましくは、50Pa以上0.01MPa未満、さらに好ましくは、100Pa以上1000Pa未満である。圧力が5Pa未満では、結晶化の進行が遅くなり、圧力が0.1MPaを超えると、プラズマが高温となって非晶質酸化物薄膜が加熱されるので好ましくない。
本実施形態によれば、前述した第1実施形態の効果、(3)および(4)に加え、以下のような効果を得ることができる。
(9)本実施形態によれば、前述した非晶質の酸化インジウムを主成分とする非晶質酸化物薄膜を、高周波電界中において酸素プラズマに暴露することで、結晶性の酸化インジウム半導体薄膜を得ることができる。
すなわち、酸化インジウムに加熱処理を施すことなく結晶化させることができ、熱および長時間通電に対する高い安定性を備えた結晶性の半導体薄膜を得ることができる。
また、酸素プラズマによって結晶性の半導体薄膜に酸素が固定されるので、酸化インジウムの結晶化に際して酸素欠損が低減される。これにより、半導体特性の優れた結晶性の半導体薄膜を得ることができる。
さらに、酸素プラズマによって固定された酸素は、熱固定された酸素と比べて離脱し難いので、酸素の離脱によってキャリヤが増大し、半導体特性が損なわれる可能性が低い。
また、酸素プラズマによって固定された酸素は、熱固定された酸素と比べて離脱し難いので、酸素の離脱によってキャリヤが増大し、半導体特性が損なわれる可能性が低い。
また、正二価の金属酸化物の添加量を全金属酸化物中において10質量%未満としたので、酸素プラズマによる酸化インジウムの結晶化を阻害するおそれが小さい。
また、正三価の金属酸化物の添加量を全金属酸化物中において10質量%未満としたので、酸素プラズマによる酸化インジウムの結晶化を阻害するおそれが小さい。
[比較例1−1]
RF(Radio Frequency)マグネトロンスパッタ装置(株式会社島津製作所製 商品名;HMS-552)を用い、アルゴンガス雰囲気中、室温において、ガラス上に厚さ100nmの酸化インジウム−酸化ガリウム−酸化亜鉛(IGZO)薄膜をスパッタ成膜した。
ターゲット(出光興産株式会社製)は、酸化インジウム、酸化ガリウム、酸化亜鉛(In:Ga:Zn=1:1:1 モル比)からなるものを用いた
比較例1−1で得られたIGZO薄膜を、周波数13.56MHz、アンプパワー500W、酸素圧力330Paの条件で発生させた酸素プラズマに10分間暴露した。このプラズマ処理の際の基板温度は、120℃未満であった。
比較例1−1で得られた非晶質酸化物薄膜としてのIGZO薄膜、および実施例1−1で得られた酸素プラズマに暴露したIGZO薄膜についてX線回折を行った。比較例1−1で得られた薄膜は、X線の回折ピークが観察されなかったので、非晶質である。また、実施例1−1で得られた酸素プラズマを暴露したIGZO薄膜も、X線の回折ピークが観察されなかったので、非晶質である。
実施例1−1のIGZO薄膜は、4.44E+3Ωcmであり、比較例1−1のIGZO薄膜は、2.95E−2Ωcmであった。したがって、酸素プラズマ処理を行うことにより、実施例1−1のIGZO薄膜は、比較例1−1のIGZO薄膜よりも比抵抗が大きくなるので、半導体薄膜であることがわかった。
実施例1−1のIGZO薄膜は、キャリヤ密度が1.18E+14/cm3、移動度が11.9cm2/V・secであった。一方、比較例1−1のIGZO薄膜は、キャリヤ密度が1.16E+19/cm3、移動度が18.2cm2/V・secであった。
したがって、比較例1−1のIGZO薄膜を酸素プラズマに暴露することにより、比較例1−1のIGZO薄膜よりもキャリヤ密度が低下した実施例1−1のIGZO薄膜が得られることがわかった。
また、比較例1−1のIGZO薄膜を酸素プラズマに暴露することにより、比較例1−1のIGZO薄膜よりも移動度が低下した実施例1−1のIGZO薄膜が得られることが分かった。
比較例1−1のIGZO薄膜を、通常の酸素雰囲気中でプラズマ処理した。
比較例1−1のIGZO薄膜を、同位体元素である18O2の雰囲気中でプラズマ処理した。
実施例1−2で得られた薄膜について、SIMS分析を行い、薄膜の18O/16Oの比を求めた。また、比較例1−2で得られた薄膜について、SIMS分析を行い、薄膜の18O2の比を求めた。図1に、これらの測定結果の関係を示す。通常の酸素を用いてプラズマ処理した比較例1−2の場合の18O/16Oの比を1.0E+0とし、18O2酸素を用いてプラズマ処理した実施例1−2の場合の18Oの増加量を示している。図1より、18O2酸素を用いてプラズマ処理した半導体薄膜は、表面から15nmの範囲で18Oが観察されている。よって、プラズマ処理により酸素が薄膜中に取り込まれていることがわかる。このように、非晶質酸化物薄膜が酸素プラズマに暴露されることにより、酸素が薄膜内部に取り込まれる。
表1および図1の関係から、酸素プラズマに暴露されたIGZO薄膜は、薄膜の内部に酸素が取り込まれるので、酸素プラズマに暴露されていないIGZO薄膜よりもキャリヤ濃度が低下するとともに、比抵抗が増加することがわかった。
酸化インジウム、酸化亜鉛(In:Zn=8:2 モル比)からなるターゲットを用いた以外は、実施例1−1および比較例1−1と同様にして酸化インジウム−酸化亜鉛(IZO)薄膜を形成した。
比較例1−3で得られた非晶質酸化物薄膜としてのIZO薄膜、および実施例1−3で得られた酸素プラズマに暴露したIZO薄膜についてX線回折を行った。比較例1−3で得られた薄膜は、X線の回折ピークが観察されなかったので、非晶質である。また、実施例1−3で得られた酸素プラズマを暴露したIZO薄膜も、X線の回折ピークが観察されなかったので、非晶質である。
実施例1−3のIZO薄膜は、2.86E+2Ωcmであり、比較例1−3のIZO薄膜は、2.56E−4Ωcmであった。したがって、酸素プラズマ処理を行うことにより、実施例1−3のIGZO薄膜は、比較例1−3のIZO薄膜よりも比抵抗が大きくなるので、半導体薄膜であることがわかった。
実施例1−3のIZO薄膜は、キャリヤ密度が1.95E+15/cm3、移動度が11.3cm2/V・secであった。一方、比較例1−3のIGZO薄膜は、キャリヤ密度が7.12E+20/cm3、移動度が34.2cm2/V・secであった。
したがって、比較例1−3のIZO薄膜を酸素プラズマに暴露することにより、比較例1−3のIZO薄膜よりもキャリヤ密度が低下した実施例1−3のIZO薄膜が得られることがわかった。
また、比較例1−3のIZO薄膜を酸素プラズマに暴露することにより、比較例1−3のIZO薄膜よりも移動度が低下した実施例1−3のIZO薄膜が得られることがわかった。
酸化インジウム、酸化スズ、酸化亜鉛(In:Sn:Zn=1:1:1 モル比)からなるターゲットを用いた以外は、実施例1−4および比較例1−4と同様にして酸化インジウム−酸化スズ−酸化亜鉛(ITZO)薄膜を形成した。
比較例1−4で得られた非晶質酸化物薄膜としてのITZO薄膜、および実施例1−4で得られた酸素プラズマに暴露したITZO薄膜についてX線回折を行った。比較例1−4で得られたITZO薄膜は、X線の回折ピークが観察されなかったので、非晶質である。また、実施例1−4で得られた酸素プラズマを暴露したITZO薄膜も、X線の回折ピークが観察されなかったので、非晶質である。
実施例1−4のITZO薄膜は、6.02E+0Ωcmであり、比較例1−4のITZO薄膜は、2.63E−3Ωcmであった。したがって、酸素プラズマ処理を行うことにより、実施例1−4のITZO薄膜は、比較例1−4のITZO薄膜よりも比抵抗が大きくなるので、半導体薄膜であることがわかった。
実施例1−4のITZO薄膜は、キャリヤ密度が5.35E+17/cm3、移動度が1.94cm2/V・secであった。一方、比較例1−4のITZO薄膜は、キャリヤ密度が5.51E+19/cm3、移動度が43.1cm2/V・secであった。
したがって、比較例1−4のITZO薄膜を酸素プラズマに暴露することにより、比較例1−4のITZO薄膜よりもキャリヤ密度が低下した実施例1−4のITZO薄膜が得られることがわかった。
また、比較例1−4のITZO薄膜を酸素プラズマに暴露することにより、比較例1−4のITZO薄膜よりも移動度が低下した実施例1−4のITZO薄膜が得られることがわかった。
酸化亜鉛、酸化スズ(Zn:Sn=6:4 モル比)からなるターゲットを用いた以外は、実施例1−1および比較例1−1と同様にして酸化亜鉛−酸化スズ(ZTO)薄膜を形成した。
比較例5で得られた非晶質酸化物薄膜としてのZTO薄膜、および実施例1−5で得られた酸素プラズマに暴露したZTO薄膜についてX線回折を行った。比較例1−5で得られたZTO薄膜は、X線の回折ピークが観察されなかったので、非晶質である。また、実施例1−5で得られた酸素プラズマを暴露したZTO薄膜も、X線の回折ピークが観察されなかったので、非晶質である。
実施例1−5のZTO薄膜は、1.61E+1Ωcmであり、比較例1−5のZTO薄膜は、7.75E−2Ωcmであった。したがって、酸素プラズマ処理を行うことにより、実施例1−5のZTO薄膜は、比較例1−5のZTO薄膜よりも比抵抗が大きくなるので、半導体薄膜であることがわかった。
実施例1−5のZTO薄膜は、キャリヤ密度が2.76E+17/cm3、移動度が1.4cm2/V・secであった。一方、比較例1−5のZTO薄膜は、キャリヤ密度が4.42E+18/cm3、移動度が18.2cm2/V・secであった。
したがって、比較例1−5のZTO薄膜を酸素プラズマに暴露することにより、比較例1−5のZTO薄膜よりもキャリヤ密度が低下した実施例1−5のZTO薄膜が得られることがわかった。
また、比較例1−5のZTO薄膜を酸素プラズマに暴露することにより、比較例1−5のZTO薄膜よりも移動度が低下した実施例1−5のZTO薄膜が得られることがわかった。
酸化亜鉛、酸化スズ、酸化イッテリビウム(Zn:Sn:Yb=20:76:4 モル比)からなるターゲットを用いた以外は、実施例1−1および比較例1−1と同様にして酸化亜鉛−酸化スズ−酸化イッテリビウム(ZTYbO)薄膜を形成した。
比較例6で得られた非晶質酸化物薄膜としてのZTYbO薄膜、および実施例1−6で得られた酸素プラズマに暴露したZTYbO薄膜についてX線回折を行った。比較例1−6で得られたZTYbO薄膜は、X線の回折ピークが観察されなかったので、非晶質である。また、実施例1−6で得られた酸素プラズマを暴露したZTYbO薄膜も、X線の回折ピークが観察されなかったので、非晶質である。
実施例1−6のZTYbO薄膜は、5.61E+0Ωcmであり、比較例1−6のZTYbO薄膜は、7.21E−2Ωcmであった。したがって、酸素プラズマ処理を行うことにより、実施例1−6のZTYbO薄膜は、比較例1−6のZTYbO薄膜よりも比抵抗が大きくなるので、半導体薄膜であることがわかった。
実施例1−6のZTYbO薄膜は、キャリヤ密度が6.36E+17/cm3、移動度が1.75cm2/V・secであった。一方、比較例1−6のZTYbO薄膜は、キャリヤ密度が4.34E+18/cm3、移動度が1.99cm2/V・secであった。
したがって、比較例1−6のZTYbO薄膜を酸素プラズマに暴露することにより、比較例1−6のZTYbO薄膜よりもキャリヤ密度が低下した実施例1−6のZTYbO薄膜が得られることがわかった。
また、比較例1−6のZTYbO薄膜を酸素プラズマに暴露することにより、比較例1−6のZTYbO薄膜よりも移動度が低下した実施例1−6のZTYbO薄膜が得られることがわかった。
酸化インジウム、酸化スズ(In:Sn=60:40 モル比)からなるターゲットを用いた以外は、実施例1−1および比較例1−1と同様にして酸化インジウム−酸化スズ(ITO)薄膜を形成した。
比較例1−7で得られた非晶質酸化物薄膜としてのITO薄膜、および実施例1−7で得られた酸素プラズマに暴露したITO薄膜についてX線回折を行った。比較例1−7で得られたZTYbO薄膜は、X線の回折ピークが観察されなかったので、非晶質である。また、実施例1−7で得られた酸素プラズマを暴露したITO薄膜も、X線の回折ピークが観察されなかったので、非晶質である。
実施例1−7のITO薄膜は、1.66E+0Ωcmであり、比較例1−7のITO薄膜は、8.66E−1Ωcmであった。したがって、酸素プラズマ処理を行うことにより、実施例1−7のITO薄膜は、比較例1−7のITO薄膜よりも比抵抗が大きくなるので、半導体薄膜であることがわかった。
実施例1−7のITO薄膜は、キャリヤ密度が1.29E+17/cm3、移動度が2.9cm2/V・secであった。一方、比較例1−7のITO薄膜は、キャリヤ密度が1.54E+18/cm3、移動度が46.8cm2/V・secであった。
したがって、比較例1−7のITO薄膜を酸素プラズマに暴露することにより、比較例1−7のITO薄膜よりもキャリヤ密度が低下した実施例1−7のITO薄膜が得られることがわかった。
また、比較例1−7のITO薄膜を酸素プラズマに暴露することにより、比較例1−7のITO薄膜よりも移動度が低下した実施例1−7のITO薄膜が得られることがわかった。
酸化インジウム、酸化スズ、酸化サマリウム(In:Sn:Sm=60:35:5 モル比)からなるターゲットを用いた以外は、実施例1−1および比較例1−1と同様にして酸化インジウム−酸化スズ−酸化サマリウム(ITSmO)薄膜を形成した。
比較例1−8で得られた非晶質酸化物薄膜としてのITSmO薄膜、および実施例8で得られた酸素プラズマに暴露したITSmO薄膜についてX線回折を行った。比較例1−8で得られたITSmO薄膜は、X線の回折ピークが観察されなかったので、非晶質である。また、実施例1−8で得られた酸素プラズマを暴露したITSmO薄膜も、X線の回折ピークが観察されなかったので、非晶質である。
実施例1−8のITSmO薄膜は、7.07E+1Ωcmであり、比較例1−8のITSmO薄膜は、7.95E−3Ωcmであった。したがって、酸素プラズマ処理を行うことにより、実施例1−8のITSmO薄膜は、比較例1−8のITSmO薄膜よりも比抵抗が大きくなるので、半導体薄膜であることがわかった。
実施例1−8のITSmO薄膜は、キャリヤ密度が6.02E+17/cm3、移動度が14.6cm2/V・secであった。一方、比較例1−8のITSmO薄膜は、キャリヤ密度が1.76E+19/cm3、移動度が44.6cm2/V・secであった。
したがって、比較例1−8のITSmO薄膜を酸素プラズマに暴露することにより、比較例1−8のITO薄膜よりもキャリヤ密度が低下した実施例1−8のITSmO薄膜が得られることがわかった。
また、比較例1−8のITSmO薄膜を酸素プラズマに暴露することにより、比較例1−8のITSmO薄膜よりも移動度が低下した実施例1−8のITSmO薄膜が得られることがわかった。
酸化インジウム、酸化サマリウム(In:Sm=90:10 モル比)からなるスパッタリングターゲットを用いた以外は、実施例1−1および比較例1−1と同様にして酸化インジウム−酸化サマリウム(ISmO)薄膜を形成した。
[実施例1−9および比較例1−9のISmO薄膜の評価]
比較例1−9で得られた非晶質酸化物薄膜としてのISmO薄膜、および実施例1−9で得られた酸素プラズマに暴露したISmO薄膜についてX線回折を行った。比較例1−9で得られたISmO薄膜は、X線の回折ピークが観察されなかったので、非晶質である。また、実施例1−9で得られた酸素プラズマを暴露したISmO薄膜も、X線の回折ピークが観察されなかったので、非晶質である。
実施例1−9のISmO薄膜は、9.53E+0Ωcmであり、比較例1−9のISmO薄膜は、5.18E−2Ωcmであった。したがって、酸素プラズマ処理を行うことにより、実施例1−9のISmO薄膜は、比較例1−9のISmO薄膜よりも比抵抗が大きくなるので、半導体薄膜であることがわかった。
実施例1−9のISmO薄膜は、キャリヤ密度が4.79E+17/cm3、移動度が1.4cm2/V・secであった。一方、比較例1−9のISmO薄膜は、キャリヤ密度が4.96E+18/cm3、移動度が24.3cm2/V・secであった。
したがって、比較例1−9のISmO薄膜を酸素プラズマに暴露することにより、比較例1−9のISmO薄膜よりもキャリヤ密度が低下した実施例1−9のISmO薄膜が得られることがわかった。
また、比較例1−9のISmO薄膜を酸素プラズマに暴露することにより、比較例1−9のISmO薄膜よりも移動度が低下した実施例1−9のISmO薄膜が得られることがわかった。
[比較例2−1]
RF(Radio Frequency)マグネトロンスパッタ装置(株式会社島津製作所製)を用い、酸素濃度を変化させたアルゴンガス存在下において、室温のガラス基板上に、厚さ100nmの酸化インジウム薄膜をスパッタ成膜した。
ターゲットは、酸化インジウムのみからなるものを用いた。
成膜中の酸素濃度を、0%、3%、5%、10%とした4種類の酸化インジウム薄膜を得た。
比較例2−1の酸化インジウム薄膜を素地薄膜とし、これらの素地薄膜を、周波数13.56MHz、アンプパワー500W、酸素圧力330Paの条件で発生させたプラズマに10分間暴露した。
成膜中の酸素濃度と成膜した酸化インジウム薄膜の比抵抗との関係を図2に示す。
比較例2−1においては、成膜中の酸素濃度の増加に伴い酸化インジウム薄膜の比抵抗は大きくなる。
プラズマ処理を施した実施例2−1の酸化インジウム薄膜の比抵抗は、1.0×100Ωcm以上であり、比較例2−1に比べて比抵抗が大きい。実施例2−1で形成した酸化インジウム薄膜は、半導体薄膜となっていることがわかる。
図3から明らかなように、比較例2−1の酸化インジウム薄膜(図3中のB、D、F、H)は、酸素濃度によらず、X線の回折ピークが観察されず、非晶質であることがわかる。
一方、プラズマ処理を施した実施例2−1の酸化インジウム薄膜(図3中のA、C、E、G)は、酸素濃度によらず、X線の回折ピークが観察され、結晶質であることがわかる。なお、このX線回折パターンは、酸化インジウムのビックスバイト構造の回折パターンである。
図4より、比較例2−1の酸化インジウム薄膜は、成膜中の酸素濃度の増加にともなって、キャリヤ密度は低下するが、低下は1.0×1018/cm3台までに止まる。一方、プラズマ処理を施した実施例2−1の酸化インジウム薄膜では、1.0×1017/cm3台のキャリヤ密度が得られ、半導体として有効であることがわかる。
図5より、成膜中の酸素濃度の増加により、酸化インジウム薄膜の移動度が低下することがわかる。しかし、その値は、1cm2/V・sec以上であり、アモルファスシリコン系の半導体薄膜に比べると、大きな値であった。
1質量%から3質量%の酸化亜鉛を含む酸化インジウムからなるターゲット(出光興産株式会社製)を用い、成膜中の酸素濃度を0%に固定した以外は、実施例2−1および比較例2−1と同様にして酸化インジウム薄膜を形成した。
酸化インジウム膜中の酸化亜鉛濃度と酸化インジウム薄膜の比抵抗との関係を図6に示す。
図6より明らかなように、プラズマ処理を施していない比較例2−2の酸化インジウム薄膜は、比抵抗が1.0×10−4Ωcm台であり、導電材料であることがわかる。
一方、プラズマ処理を施した実施例2−2の酸化インジウム薄膜は、1.0×101Ωcm台以上の比抵抗を示し、半導体であることがわかる。
図7から明らかなように、比較例2−2の酸化インジウム薄膜(図7中のB、D、F)は、酸化亜鉛濃度によらず、X線の回折ピークが観察されず、非晶質であることがわかる。
一方、プラズマ処理を施した実施例2−2の酸化インジウム薄膜(図7中のA、C、E)は、酸化亜鉛の含有量によらず、X線の回折ピークが観察され、結晶質であることがわかる。なお、このX線回折パターンは、酸化インジウムのビックスバイト構造の回折パターンである。
図8より、比較例2−2の酸化インジウム薄膜のキャリヤ密度は、1.0×1020/cm3台以上であり、導電体であることがわかる。一方、プラズマ処理を施した実施例2−2の酸化インジウム薄膜のキャリヤ密度は、1.0×1017/cm3台以下であり、実施例2−2の酸化インジウム薄膜は優れた半導体であることがわかる。
図9より、プラズマ処理を施した実施例2−2の酸化インジウム薄膜は、高いもので15cm2/V・sec以上の移動度を示し、優れた半導体特性、スイッチング特性を備えていることがわかる。
3質量%の酸化イッテルビウムを含む酸化インジウムからなるターゲットを用いた以外は、実施例2−1および比較例2−1と同様にして酸化インジウム薄膜を形成した。
成膜中の酸素濃度と成膜した酸化インジウム薄膜の比抵抗との関係を図10に示す。
図10より明らかなように、比較例2−3の酸化インジウム薄膜の比抵抗は、成膜中の酸素濃度の増加にともなって、1.0×10−3Ωcm台から1.0×10−2Ωcm台に変化するが、いずれにしても導電材料であることがわかる。
一方、実施例2−3の酸化インジウム薄膜は、1.0×100Ωcm台以上の比抵抗を示し、半導体であることがわかる。
図11から明らかなように、比較例2−3の酸化インジウム薄膜(図11中のB、D、F、H)は、酸素濃度によらず、X線の回折ピークが観察されず、非晶質であることがわかる。
一方、プラズマ処理を施した実施例2−3の酸化インジウム薄膜(図11中のA、C、E、G)は、酸素濃度によらず、X線の回折ピークが観察され、結晶質であることがわかる。なお、このX線回折パターンは、酸化インジウムのビックスバイト構造の回折パターンである。
図12より、比較例2−3の酸化インジウム薄膜のキャリヤ密度は、1.0×1020/cm3台から1.0×1018/cm3台まで変化するが、いずれにしても導電体であることがわかる。一方、プラズマ処理を施した実施例2−3の酸化インジウム薄膜のキャリヤ密度は、1.0×1017/cm3台であり、実施例2−3の酸化インジウム薄膜は優れた半導体であることがわかる。
図13より、プラズマ処理を施した実施例2−3の酸化インジウム薄膜は、高いもので2cm2/V・sec以上の移動度を示し、優れた半導体特性、スイッチング特性を備えていることがわかる。
3質量%の酸化亜鉛および2質量%の酸化イッテルビウムを含む酸化インジウムからなるターゲットを用い、成膜中の酸素濃度を1%に固定した以外は、実施例2−1と同様にして酸化インジウム薄膜を形成した。
本実施例においても、実施例2−1および実施例2−3と同様に、成膜直後の酸化インジウム薄膜は非晶質であったが、プラズマ処理により結晶化することがX線回折測定の結果判明した。
本実施例の酸化インジウム薄膜の比抵抗は、1.0×101Ωcm以上であり、半導体として有効であることがわかった。また、本実施例の酸化インジウム薄膜のキャリヤ密度は1.0×1017/cm3台以下であり、ノーマリーオフ状態の薄膜トランジスタを形成するのに十分な能力があることが分かった。
5質量%の酸化亜鉛を含む酸化インジウムからなるターゲットを用い、酸素濃度を変化させたアルゴンガスの存在下において、室温のガラス基板上に、厚さ50nmの酸化インジウム薄膜をスパッタ成膜した。
得られた酸化インジウム薄膜を酸素100%、内圧330Pa、13.56MHzのRFプラズマに5分間暴露した。このプラズマ処理におけるアンプパワーを、100W、200W、300W、400W、500Wとした5種類の酸化インジウム薄膜を得た。
図14より、プラズマ処理におけるアンプパワーが、300W付近より急激に比抵抗が増大することがわかる。また、X線回折測定の結果、比抵抗が増大したところの酸化インジウム薄膜は、結晶質であることが判明した。なお、プラズマ処理におけるアンプパワーは、基板の大きさ、プラズマを発生させる空間の容積などにより変化する。
酸素分圧が130Pa、530Paの場合、約10分の暴露で比抵抗が1.0×1010Ωcmとなり、半導体化している。また、X線回折測定においても、結晶ピークが観察され、結晶質であることが確認された。
1質量%から7.5質量%の酸化亜鉛を含む酸化インジウムからなるターゲットを用い、プラズマ処理における酸素分圧を変動させた以外は、実施例2−1および比較例2−1と同様にして酸化インジウム薄膜を形成した。
図16に、プラズマ処理における酸素分圧を変動させたときの、酸化亜鉛濃度と酸化インジウム薄膜の比抵抗との関係を示す。
酸素分圧130Paでプラズマ処理した場合、酸化インジウム薄膜の比抵抗は1.0×102Ωcm台以上であり、半導体として有効であることがわかる。酸素分圧330Paでプラズマ処理した場合、酸化亜鉛濃度が3質量%以下では、1.0×102Ωcm台であるが、酸化亜鉛の含有量が4質量%以上では、1.0×101Ωcm台であった。また、酸素圧力530Paでプラズマ処理した場合、酸化亜鉛の含有量が2〜3質量%で比抵抗が最大値をとり、その後1.0×100Ωcm台であったことから、導体であることがわかる。
また、その他、本発明の実施における具体的な材料および処理などは、本発明の目的を達成できる範囲で他の材料および処理などとしてもよい。
第1実施形態において、印加周波数の範囲が1kHz以上300MHz以下としたが、これに限らない。例えば、印加周波数の範囲が1kHz未満でもよい。この場合、酸化速度が遅くなるので、長時間の処理により所望のキャリヤ濃度を有する半導体薄膜が得られる場合もある。
一方、印加周波数の範囲が、300MHzを超えてもよい。この場合、酸化速度が速くなるので、効率的に半導体薄膜を製造することができるが、基板も加熱される場合があり、基板を選択する必要がある。
例えば、酸化ベリウム、酸化カルシウム、酸化ストロンチウム、酸化バリウム、酸化ラジウム、酸化カドミウム、酸化水銀などでもよい。
例えば、酸化セリウム、酸化プラセオジム、酸化プロメチウム、酸化テルビウムなどでもよい。
非晶質酸化物薄膜は、例えば、正二価の金属酸化物、正三価の金属酸化物、正四価の金属酸化物、正五価の金属酸化物、正六価の金属酸化物などの金属化合物のうちで、少なくともいずれか1種以上の金属酸化物を含むものであってもよい。
例えば、非晶質酸化物薄膜が酸化インジウムおよび正三価の金属化合物を主成分としてもよい。
例えば、非晶質酸化物薄膜が酸化亜鉛および正二価の金属化合物を主成分としてもよい。また、非晶質酸化物薄膜が酸化亜鉛および正三価の金属化合物を主成分としてもよい。そして、非晶質酸化物薄膜が酸化スズおよび正二価の金属化合物を主成分としてもよい。さらに、非晶質酸化物薄膜が酸化スズおよび正三価の金属化合物を主成分としてもよい。
その他の発生条件であっても、酸素プラズマを発生することができ、かつ、非晶質酸化物薄膜を酸化させることにより、電子キャリヤ濃度が低下した非晶質の半導体薄膜を得ることができれば、上述の第1実施形態と同様の優れた作用効果を得ることができる。
第2実施形態において、正二価の金属酸化物および正三価の金属酸化物を含む非晶質酸化物薄膜を例示したが、これに限らない。
非晶質酸化物薄膜は、正二価の金属酸化物および正三価の金属酸化物を含まないものであってもよく、これらのうちのいずれか一方のみを含むものであってもよい。
この場合でも、非晶質酸化物薄膜の主成分である酸化インジウムが、酸素プラズマにより結晶化されること、酸素プラズマによって半導体薄膜に酸素が固定されることに変わりはないから、上述の第2実施形態と同様の優れた作用効果を得ることができる。
その他の発生条件であっても、酸素プラズマを発生することができ、酸化インジウムを結晶化させることができれば、上述の第2実施形態と同様の優れた作用効果を得ることができる。
例えば、可撓性の樹脂材料を基板とする薄型表示装置の駆動素子、トランジスタなどの半導体素子、センサ、ダイオードなどの各種電気部品、液晶表示装置、太陽電池、タッチパネル、有機ELディスプレイなどに適用できる。
Claims (24)
- 酸素を含むガスを高周波で励起して発生した酸素プラズマに、非晶質酸化物を含有する非晶質酸化物薄膜を暴露してなる
ことを特徴とした半導体薄膜。 - 請求項1に記載の半導体薄膜であって、
前記酸素プラズマは、印加周波数が1kHz以上300MHz以下の条件で発生する
ことを特徴とした半導体薄膜。 - 請求項1または請求項2に記載の半導体薄膜であって、
前記酸素プラズマは、圧力が5Pa以上0.1MPa以下の条件で発生する
ことを特徴とした半導体薄膜。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の半導体薄膜であって、
前記非晶質酸化物薄膜は、スパッタリング法、イオンプレーティング法、真空蒸着法、ゾルゲル法、微粒子の塗布法のいずれかにより形成される
ことを特徴とした半導体薄膜。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の半導体薄膜であって、
前記非晶質酸化物薄膜は、酸化インジウムを主成分とする薄膜であり、酸化インジウムを除く正三価の金属酸化物を含む
ことを特徴とした半導体薄膜。 - 請求項5に記載の半導体薄膜であって、
前記正三価の金属酸化物は、酸化ホウ素、酸化アルミニウム、酸化ガリウム、酸化スカンジウム、酸化イットリウム、酸化ランタン、酸化ネオジム、酸化サマリウム、酸化ユウロピウム、酸化ガドリニウム、酸化ジスプロシウム、酸化ホルミウム、酸化エルビウム、酸化ツリウム、酸化イッテルビウム、酸化ルテチウムより選ばれた少なくともいずれか1種以上の金属酸化物である
ことを特徴とした半導体薄膜。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の半導体薄膜であって、
前記非晶質酸化物薄膜は、酸化インジウムおよび正二価の金属酸化物を主成分とする
ことを特徴とした半導体薄膜。 - 請求項7に記載の半導体薄膜であって、
前記正二価の金属酸化物は、酸化亜鉛、酸化マグネシウムより選ばれた少なくともいずれか1種以上の金属酸化物である
ことを特徴とした半導体薄膜。 - 請求項7に記載の半導体薄膜であって、
前記非晶質酸化物薄膜は、酸化ホウ素、酸化アルミニウム、酸化ガリウム、酸化スカンジウム、酸化イットリウム、酸化ランタン、酸化ネオジム、酸化サマリウム、酸化ユウロピウム、酸化ガドリニウム、酸化ジスプロシウム、酸化ホルミウム、酸化エルビウム、酸化ツリウム、酸化イッテルビウム、酸化ルテチウムより選ばれた少なくともいずれか1種以上の金属酸化物を含む
ことを特徴とした半導体薄膜。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の半導体薄膜であって、
前記非晶質酸化物薄膜は、酸化亜鉛および酸化スズを主成分とする
ことを特徴とした半導体薄膜。 - 請求項10に記載の半導体薄膜であって、
前記非晶質酸化物薄膜は、正三価の金属酸化物を含む
ことを特徴とした半導体薄膜。 - 請求項11に記載の半導体薄膜であって、
前記正三価の金属酸化物は、酸化ホウ素、酸化アルミニウム、酸化ガリウム、酸化インジウム、酸化スカンジウム、酸化イットリウム、酸化ランタン、酸化ネオジム、酸化サマリウム、酸化ユウロピウム、酸化ガドリニウム、酸化ジスプロシウム、酸化ホルミウム、酸化エルビウム、酸化ツリウム、酸化イッテルビウム、酸化ルテチウムより選ばれた少なくともいずれか1種以上の金属酸化物である
ことを特徴とした半導体薄膜。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の半導体薄膜であって、
前記非晶質酸化物薄膜は、酸化インジウムおよび酸化スズを主成分とする
ことを特徴とした半導体薄膜。 - 請求項13に記載の半導体薄膜であって、
前記非晶質酸化物薄膜は、酸化インジウムを除く正三価の金属酸化物を含む
ことを特徴とした半導体薄膜。 - 請求項13に記載の半導体薄膜であって、
前記正三価の金属酸化物は、酸化ホウ素、酸化アルミニウム、酸化ガリウム、酸化スカンジウム、酸化イットリウム、酸化ランタン、酸化ネオジム、酸化サマリウム、酸化ユウロピウム、酸化ガドリニウム、酸化ジスプロシウム、酸化ホルミウム、酸化エルビウム、酸化ツリウム、酸化イッテルビウム、酸化ルテチウムより選ばれた少なくともいずれか1種以上の金属酸化物である
ことを特徴とした半導体薄膜 - 請求項13に記載の半導体薄膜であって、
前記非晶質酸化物薄膜は、正二価の金属酸化物を含む
ことを特徴とした半導体薄膜。 - 請求項16に記載の半導体薄膜であって、
前記正二価の金属酸化物は、酸化亜鉛、酸化マグネシウムより選ばれた少なくともいずれか1種以上の金属酸化物である
ことを特徴とした半導体薄膜。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の半導体薄膜であって、
前記非晶質酸化物薄膜は酸化インジウムを主成分とする薄膜であり、前記酸素プラズマへの暴露により結晶化している
ことを特徴とした半導体薄膜。 - 請求項18に記載の半導体薄膜であって、
前記非晶質酸化物薄膜は、正二価の金属酸化物を含む
ことを特徴とした半導体薄膜。 - 請求項19に記載の半導体薄膜であって、
前記正二価の金属酸化物は、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化ニッケル、酸化銅および酸化コバルトより選ばれた少なくともいずれか1種以上の金属酸化物である
ことを特徴とした半導体薄膜。 - 請求項18ないし請求項21のいずれかに記載の半導体薄膜であって、
前記非晶質酸化物薄膜は、正三価の金属酸化物を含む
ことを特徴とした半導体薄膜。 - 請求項21に記載の半導体薄膜であって、
前記正三価の金属酸化物は、酸化ホウ素、酸化アルミニウム、酸化ガリウム、酸化スカンジウム、酸化イットリウム、酸化ランタン、酸化ネオジム、酸化サマリウム、酸化ユウロピウム、酸化ガドリニウム、酸化ジスプロシウム、酸化ホルミウム、酸化エルビウム、酸化ツリウム、酸化イッテルビウムおよび酸化ルテチウムより選ばれた少なくともいずれか1種以上の金属酸化物である
ことを特徴とした半導体薄膜。 - 酸素を含むガスを高周波で励起して発生した酸素プラズマに非晶質酸化物を含有して薄膜形成された非晶質酸化物薄膜を暴露する
ことを特徴とする半導体薄膜の製造方法。 - 請求項1ないし請求項22のいずれかに記載の半導体薄膜を備えた
ことを特徴とした半導体素子。
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