JPWO2008126365A1 - 不揮発性記憶装置、不揮発性記憶素子および不揮発性記憶素子アレイ - Google Patents
不揮発性記憶装置、不揮発性記憶素子および不揮発性記憶素子アレイ Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2008126365A1 JPWO2008126365A1 JP2008535812A JP2008535812A JPWO2008126365A1 JP WO2008126365 A1 JPWO2008126365 A1 JP WO2008126365A1 JP 2008535812 A JP2008535812 A JP 2008535812A JP 2008535812 A JP2008535812 A JP 2008535812A JP WO2008126365 A1 JPWO2008126365 A1 JP WO2008126365A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- resistance
- nonvolatile memory
- resistance value
- memory element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000015654 memory Effects 0.000 title claims description 761
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 122
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 122
- 229910003070 TaOx Inorganic materials 0.000 claims abstract description 57
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 169
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 163
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 140
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 106
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 82
- 239000000463 material Substances 0.000 description 80
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 78
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 78
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 58
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 58
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 58
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 52
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 46
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 44
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 44
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 42
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 36
- 238000000034 method Methods 0.000 description 36
- 239000010408 film Substances 0.000 description 30
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 20
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 18
- 238000005001 rutherford backscattering spectroscopy Methods 0.000 description 18
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 16
- 230000008569 process Effects 0.000 description 14
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 12
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 10
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 10
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 10
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 10
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 8
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 8
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 8
- 230000006870 function Effects 0.000 description 8
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 6
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 6
- 238000001552 radio frequency sputter deposition Methods 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 6
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 6
- 229910000314 transition metal oxide Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910017135 Fe—O Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018279 LaSrMnO Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018553 Ni—O Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052774 Proactinium Inorganic materials 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910003077 Ti−O Inorganic materials 0.000 description 2
- -1 WO 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910007746 Zr—O Inorganic materials 0.000 description 2
- UQZIWOQVLUASCR-UHFFFAOYSA-N alumane;titanium Chemical compound [AlH3].[Ti] UQZIWOQVLUASCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 2
- 229910002056 binary alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 239000002159 nanocrystal Substances 0.000 description 2
- ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N nobelium Chemical compound [No] ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 2
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 2
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 2
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0021—Auxiliary circuits
- G11C13/003—Cell access
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0007—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements comprising metal oxide memory material, e.g. perovskites
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body
- H01L27/10—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration
- H01L27/101—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration including resistors or capacitors only
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B63/00—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices
- H10B63/20—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices comprising selection components having two electrodes, e.g. diodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/011—Manufacture or treatment of multistable switching devices
- H10N70/021—Formation of the switching material, e.g. layer deposition
- H10N70/026—Formation of the switching material, e.g. layer deposition by physical vapor deposition, e.g. sputtering
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/20—Multistable switching devices, e.g. memristors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/821—Device geometry
- H10N70/826—Device geometry adapted for essentially vertical current flow, e.g. sandwich or pillar type devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/881—Switching materials
- H10N70/883—Oxides or nitrides
- H10N70/8833—Binary metal oxides, e.g. TaOx
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C2213/00—Indexing scheme relating to G11C13/00 for features not covered by this group
- G11C2213/30—Resistive cell, memory material aspects
- G11C2213/32—Material having simple binary metal oxide structure
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C2213/00—Indexing scheme relating to G11C13/00 for features not covered by this group
- G11C2213/70—Resistive array aspects
- G11C2213/74—Array wherein each memory cell has more than one access device
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C2213/00—Indexing scheme relating to G11C13/00 for features not covered by this group
- G11C2213/70—Resistive array aspects
- G11C2213/76—Array using an access device for each cell which being not a transistor and not a diode
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C2213/00—Indexing scheme relating to G11C13/00 for features not covered by this group
- G11C2213/70—Resistive array aspects
- G11C2213/79—Array wherein the access device being a transistor
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S257/00—Active solid-state devices, e.g. transistors, solid-state diodes
- Y10S257/903—FET configuration adapted for use as static memory cell
- Y10S257/904—FET configuration adapted for use as static memory cell with passive components,, e.g. polysilicon resistors
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S257/00—Active solid-state devices, e.g. transistors, solid-state diodes
- Y10S257/924—Active solid-state devices, e.g. transistors, solid-state diodes with passive device, e.g. capacitor, or battery, as integral part of housing or housing element, e.g. cap
Abstract
Description
R0がRL<R0を満たす。
101 不揮発性記憶素子
102 抵抗
103 第1端子
104 第2端子
105 電源
106 第1出力端子
107 第2出力端子
108 不揮発性記憶素子
109 抵抗素子
111 第1電極
112 第2電極
113 可変抵抗層
114 金属層
115 固定抵抗層
120 基板
130 不揮発性記憶装置
200 不揮発性記憶装置
201 メモリ本体部
202 メモリアレイ
203 行選択回路/ドライバ
204 列選択回路/ドライバ
205 書き込み回路
206 センスアンプ
207 データ入出力回路
208 アドレス入力回路
209 制御回路
300 不揮発性記憶装置
301 メモリ本体部
302 メモリアレイ
303 行選択回路/ドライバ
304 列選択回路
305 書き込み回路
306 センスアンプ
307 データ入出力回路
308 セルプレート電源
309 アドレス入力回路
310 制御回路
BL0、BL1、… ビット線
WL0、WL1、… ワード線
PL0、PL1、… プレート線
M111、M112、… メモリセル
T11、T12、… トランジスタ
VR111、VR112、… 不揮発性記憶部
FR111、FR112、… 固定抵抗部
VR111’、VR112’、… 不揮発性記憶素子
FR20、FR21、… 固定抵抗素子
M211、M212、… メモリセル
VR211、VR212、… 不揮発性記憶部
FR211、FR212、… 固定抵抗部
D211、D212、… 整流素子
VR211’、VR212’、… 不揮発性記憶素子
FR30、FR31、… 固定抵抗素子
[不揮発性記憶装置および不揮発性記憶素子の構成]
図1は、本発明の第1実施形態に係る不揮発性記憶装置の一構成例を示す回路図である。図2は、図1の不揮発性記憶素子の一構成例を示す断面図である。
次に、不揮発性記憶素子101の製造方法についてより詳細に説明する。
次に、不揮発性記憶素子101のメモリとしての動作例、すなわち情報の書き込み/読み出しをする場合の動作例を、図面を参照して説明する。
図6は、本発明の第1実施形態において第1電極と第2電極との間に印加される電気的パルスの一例を示す図である。図6に示すように、本実施形態で印加される電気的パルスの一例は矩形パルスである。図6において、Vは電気的パルスの電圧、δtは電気的パルスのパルス幅である。δtは例えば100nsec、Vの絶対値は例えば1.2Vから4Vの範囲である。電気的パルスの極性を異ならせることで、可変抵抗層113の抵抗状態を変化させることができる。
次に、不揮発性記憶素子101における電流−電圧特性について、比較例と対比しながら説明する。
次に、タンタル酸化物で構成される可変抵抗層113の組成について説明する。
次に、不揮発性記憶素子101の可変抵抗層113の製造工程におけるO2流量比と抵抗率との関係について説明する。
図15に、電極面積と素子の初期抵抗値の関係を、一例として抵抗率が6mΩcmの可変抵抗層の場合について示す。図15から素子面積の減少にともなって抵抗値が増加することがわかる。素子の初期抵抗値が図示される100〜1000Ωの範囲で、抵抗変化現象が確認された。抵抗率が同じ可変抵抗膜を使用した場合、素子面積を小さくすると初期抵抗値が高くなり良好な抵抗変化現象が認められない。一方、素子面積が大きい場合には、初期抵抗値が低くなり素子に十分な電圧を印加することが難しくなる。以上のように、素子の初期抵抗値には、適切な範囲があると考えられる。図14のβ点よりも酸素含有率が高い組成では、適切な初期抵抗値を得るためには素子面積を拡大する必要がある。しかし、記憶素子の面積を拡大させることはコスト面および電圧印加の点で課題がある。従って、現実的には可変抵抗層の酸素含有率には上限が設けられる。
次に、不揮発性記憶素子101において電極間に印加する電気的パルスの幅と可変抵抗層113の抵抗値との関係について説明する。
次に、電極間に同極性の電気的パルスを連続して印加した場合における不揮発性記憶素子101の抵抗値変化およびインプリント性について説明する。
次に、本実施形態に係る不揮発性記憶素子のリテンション特性について説明する。
なお、本実施形態では、図1に示すとおり、可変抵抗層113が、下方に設けられた第2電極112と、上方に設けられた第1電極111とによって挟まれるように構成されており、しかも可変抵抗層113の両端部と第1電極111の両端部とが断面視で揃っているが、これは一例であり、本発明はこのような構成に限定されるわけではない。
比較例として、図2に示す不揮発性記憶素子を作成し、抵抗を接続せずに電気的パルスを印加して動作の確認をした。第1電極および第2電極にはPtを用いた。第1電極および第2電極の厚さは200nmとした。第1電極および第2電極の大きさは約3μm2とした。可変抵抗層の厚さは20nmとした。可変抵抗層の形成のための条件は表1の通りとした。比較例において、可変抵抗層に含まれるタンタル酸化物をTaOxと表した場合、Xは1.2であった。比較例では抵抗を接続せず、不揮発性記憶装置の構成としては図1の回路から抵抗102を取り除いたものとした。
実施例として、図3および図4に示す不揮発性記憶装置を作成し、電気的パルスを印加して動作の確認をした。第1電極、第2電極および金属層にはPtを用いた。第1電極、第2電極および金属層の厚さは200nmとした。第1電極、第2電極および金属層の大きさは約3μm2とした。可変抵抗層の厚さは20nmとした。可変抵抗層の形成のための条件は比較例と同じとし、表1の通りとした。実施例において、可変抵抗層に含まれるタンタル酸化物をTaOxと表した場合、Xは1.2であった。固定抵抗層の材料には、Ni−Fe−Oを用いた。固定抵抗層の抵抗値は約1000Ωとなるように調整した。
本実施形態によれば、半導体製造プロセスと親和性の高い材料を用いて、動作の高速化を図ることができ、かつ安定して可逆的な書き換え特性を示す不揮発性記憶装置および不揮発性記憶素子が得られる。
第2実施形態に係る不揮発性記憶装置は、第1実施形態に係る不揮発性記憶素子を備える不揮発性記憶装置であって、ワード線とビット線との交点(立体交差点)にアクティブ層を介在させた、いわゆるクロスポイント型のものである。
図22は、本発明の第2実施形態に係る不揮発性記憶装置の構成を示すブロック図である。図22に示すように、本実施形態に係る不揮発性記憶装置200は、半導体基板上に、メモリ本体部201を備えており、このメモリ本体部201は、不揮発性記憶素子アレイ202(メモリセルアレイ)と、行選択回路/ドライバ203と、列選択回路/ドライバ204と、情報の書き込みを行うための書き込み回路205と、選択ビット線に流れる電流量を検出しデータ「1」または「0」と判定するセンスアンプ206と、端子DQを介して入出力データの入出力処理を行うデータ入出力回路207とを具備している。また、不揮発性記憶装置200は、外部から入力されるアドレス信号を受け取るアドレス入力回路208と、外部から入力されるコントロール信号に基づいて、メモリ本体部201の動作を制御する制御回路209とをさらに備えている。
次に、書き込み時および読み出し時における第2実施形態に係る不揮発性記憶装置の動作例について図22を参照しつつ説明する。以下では、可変抵抗層が高抵抗状態の場合を情報「1」に、低抵抗状態の場合を情報「0」にそれぞれ割り当てるものとして説明するが、抵抗状態と情報との対応関係はこれに限られるものではない(以下同じ)。
本実施形態では、各メモリセルの不揮発性記憶部VRに固定抵抗部FRが直列に接続されているため、可変抵抗層が低抵抗状態に変化した際のブレークダウンが防止できる。本実施形態によれば、半導体製造プロセスと親和性の高い材料を用いて、動作の高速化を図ることができ、かつ安定して可逆的な書き換え特性を示す不揮発性記憶素子アレイおよび不揮発性記憶装置が得られる。
本変形例に係る不揮発性記憶装置200’は、不揮発性記憶装置200において、各メモリセルM111、M112、…から固定抵抗部FR111、FR112、…を省き、その代わりにビット線BL0、BL1、BL2、…に固定抵抗素子FR20、FR21、FR22、…を設けている。本変形例に係る不揮発性記憶装置において、その他の点は上述の不揮発性記憶装置200と同様であるから、共通する部分については同一の符号および名称を付して説明を省略する。
第3実施形態に係る不揮発性記憶装置は、第1実施形態に係る不揮発性記憶素子を備える不揮発性記憶装置であって、1トランジスタ/1不揮発性記憶部(1T/1R型)のものである。
図25は、本発明の第3実施形態に係る不揮発性記憶装置の構成を示すブロック図である。図25に示すように、本実施形態に係る不揮発性記憶装置300は、半導体基板上に、メモリ本体部301を備えており、このメモリ本体部301は、不揮発性記憶素子アレイ302(メモリセルアレイ)と、行選択回路/ドライバ303と、列選択回路/ドライバ304と、情報の書き込みを行うための書き込み回路305と、選択ビット線に流れる電流量を検出し、データ「1」または「0」と判定するセンスアンプ306と、端子DQを介して入出力データの入出力処理を行うデータ入出力回路307とを具備している。また、不揮発性記憶装置300は、セルプレート電源(VCP電源)308と、外部から入力されるアドレス信号を受け取るアドレス入力回路309と、外部から入力されるコントロール信号に基づいて、メモリ本体部301の動作を制御する制御回路310とをさらに備えている。
次に、書き込み時および読み出し時における第3実施形態に係る不揮発性記憶装置の動作例について図25を参照しつつ説明する。
本実施形態では、各メモリセルの不揮発性記憶部VRに固定抵抗部FRが直列に接続されているため、可変抵抗層が低抵抗状態に変化した際のブレークダウンが防止できる。本実施形態によれば、半導体製造プロセスと親和性の高い材料を用いて、動作の高速化を図ることができ、かつ安定して可逆的な書き換え特性を示す不揮発性記憶素子アレイおよび不揮発性記憶装置が得られる。
本変形例に係る不揮発性記憶装置300’は、不揮発性記憶装置300において、各メモリセルM211、M212、…から固定抵抗部FR211、FR212、…を省き、その代わりにビット線BL0、BL1、BL2、…に固定抵抗素子FR30、FR31、FR32、…を設けている。本変形例に係る不揮発性記憶装置において、その他の点は上述の不揮発性記憶装置300と同様であるから、共通する部分については同一の符号および名称を付して説明を省略する。
R0がRL<R0を満たす。
[不揮発性記憶装置および不揮発性記憶素子の構成]
図1は、本発明の第1実施形態に係る不揮発性記憶装置の一構成例を示す回路図である。図2は、図1の不揮発性記憶素子の一構成例を示す断面図である。
次に、不揮発性記憶素子101の製造方法についてより詳細に説明する。
次に、不揮発性記憶素子101のメモリとしての動作例、すなわち情報の書き込み/読み出しをする場合の動作例を、図面を参照して説明する。
次に、不揮発性記憶素子101における電流−電圧特性について、比較例と対比しながら説明する。
次に、タンタル酸化物で構成される可変抵抗層113の組成について説明する。
次に、不揮発性記憶素子101の可変抵抗層113の製造工程におけるO2流量比と抵抗率との関係について説明する。
図15に、電極面積と素子の初期抵抗値の関係を、一例として抵抗率が6mΩcmの可変抵抗層の場合について示す。図15から素子面積の減少にともなって抵抗値が増加することがわかる。素子の初期抵抗値が図示される100〜1000Ωの範囲で、抵抗変化現象が確認された。抵抗率が同じ可変抵抗膜を使用した場合、素子面積を小さくすると初期抵抗値が高くなり良好な抵抗変化現象が認められない。一方、素子面積が大きい場合には、初期抵抗値が低くなり素子に十分な電圧を印加することが難しくなる。以上のように、素子の初期抵抗値には、適切な範囲があると考えられる。図14のβ点よりも酸素含有率が高い組成では、適切な初期抵抗値を得るためには素子面積を拡大する必要がある。しかし、記憶素子の面積を拡大させることはコスト面および電圧印加の点で課題がある。従って、現実的には可変抵抗層の酸素含有率には上限が設けられる。
次に、不揮発性記憶素子101において電極間に印加する電気的パルスの幅と可変抵抗層113の抵抗値との関係について説明する。
次に、電極間に同極性の電気的パルスを連続して印加した場合における不揮発性記憶素子101の抵抗値変化およびインプリント性について説明する。
次に、本実施形態に係る不揮発性記憶素子のリテンション特性について説明する。
なお、本実施形態では、図1に示すとおり、可変抵抗層113が、下方に設けられた第2電極112と、上方に設けられた第1電極111とによって挟まれるように構成されており、しかも可変抵抗層113の両端部と第1電極111の両端部とが断面視で揃っているが、これは一例であり、本発明はこのような構成に限定されるわけではない。
比較例として、図2に示す不揮発性記憶素子を作成し、抵抗を接続せずに電気的パルスを印加して動作の確認をした。第1電極および第2電極にはPtを用いた。第1電極および第2電極の厚さは200nmとした。第1電極および第2電極の大きさは約3μm2とした。可変抵抗層の厚さは20nmとした。可変抵抗層の形成のための条件は表1の通りとした。比較例において、可変抵抗層に含まれるタンタル酸化物をTaOxと表した場合、Xは1.2であった。比較例では抵抗を接続せず、不揮発性記憶装置の構成としては図1の回路から抵抗102を取り除いたものとした。
実施例として、図3および図4に示す不揮発性記憶装置を作成し、電気的パルスを印加して動作の確認をした。第1電極、第2電極および金属層にはPtを用いた。第1電極、第2電極および金属層の厚さは200nmとした。第1電極、第2電極および金属層の大きさは約3μm2とした。可変抵抗層の厚さは20nmとした。可変抵抗層の形成のための条件は比較例と同じとし、表1の通りとした。実施例において、可変抵抗層に含まれるタンタル酸化物をTaOxと表した場合、Xは1.2であった。固定抵抗層の材料には、Ni−Fe−Oを用いた。固定抵抗層の抵抗値は約1000Ωとなるように調整した。
本実施形態によれば、半導体製造プロセスと親和性の高い材料を用いて、動作の高速化を図ることができ、かつ安定して可逆的な書き換え特性を示す不揮発性記憶装置および不揮発性記憶素子が得られる。
第2実施形態に係る不揮発性記憶装置は、第1実施形態に係る不揮発性記憶素子を備える不揮発性記憶装置であって、ワード線とビット線との交点(立体交差点)にアクティブ層を介在させた、いわゆるクロスポイント型のものである。
図22は、本発明の第2実施形態に係る不揮発性記憶装置の構成を示すブロック図である。図22に示すように、本実施形態に係る不揮発性記憶装置200は、半導体基板上に、メモリ本体部201を備えており、このメモリ本体部201は、不揮発性記憶素子アレイ202(メモリセルアレイ)と、行選択回路/ドライバ203と、列選択回路/ドライバ204と、情報の書き込みを行うための書き込み回路205と、選択ビット線に流れる電流量を検出しデータ「1」または「0」と判定するセンスアンプ206と、端子DQを介して入出力データの入出力処理を行うデータ入出力回路207とを具備している。また、不揮発性記憶装置200は、外部から入力されるアドレス信号を受け取るアドレス入力回路208と、外部から入力されるコントロール信号に基づいて、メモリ本体部201の動作を制御する制御回路209とをさらに備えている。
次に、書き込み時および読み出し時における第2実施形態に係る不揮発性記憶装置の動作例について図22を参照しつつ説明する。以下では、可変抵抗層が高抵抗状態の場合を情報「1」に、低抵抗状態の場合を情報「0」にそれぞれ割り当てるものとして説明するが、抵抗状態と情報との対応関係はこれに限られるものではない(以下同じ)。
本実施形態では、各メモリセルの不揮発性記憶部VRに固定抵抗部FRが直列に接続されているため、可変抵抗層が低抵抗状態に変化した際のブレークダウンが防止できる。本実施形態によれば、半導体製造プロセスと親和性の高い材料を用いて、動作の高速化を図ることができ、かつ安定して可逆的な書き換え特性を示す不揮発性記憶素子アレイおよび不揮発性記憶装置が得られる。
本変形例に係る不揮発性記憶装置200’は、不揮発性記憶装置200において、各メモリセルM111、M112、…から固定抵抗部FR111、FR112、…を省き、その代わりにビット線BL0、BL1、BL2、…に固定抵抗素子FR20、FR21、FR22、…を設けている。本変形例に係る不揮発性記憶装置において、その他の点は上述の不揮発性記憶装置200と同様であるから、共通する部分については同一の符号および名称を付して説明を省略する。
第3実施形態に係る不揮発性記憶装置は、第1実施形態に係る不揮発性記憶素子を備える不揮発性記憶装置であって、1トランジスタ/1不揮発性記憶部(1T/1R型)のものである。
図25は、本発明の第3実施形態に係る不揮発性記憶装置の構成を示すブロック図である。図25に示すように、本実施形態に係る不揮発性記憶装置300は、半導体基板上に、メモリ本体部301を備えており、このメモリ本体部301は、不揮発性記憶素子アレイ302(メモリセルアレイ)と、行選択回路/ドライバ303と、列選択回路/ドライバ304と、情報の書き込みを行うための書き込み回路305と、選択ビット線に流れる電流量を検出し、データ「1」または「0」と判定するセンスアンプ306と、端子DQを介して入出力データの入出力処理を行うデータ入出力回路307とを具備している。また、不揮発性記憶装置300は、セルプレート電源(VCP電源)308と、外部から入力されるアドレス信号を受け取るアドレス入力回路309と、外部から入力されるコントロール信号に基づいて、メモリ本体部301の動作を制御する制御回路310とをさらに備えている。
次に、書き込み時および読み出し時における第3実施形態に係る不揮発性記憶装置の動作例について図25を参照しつつ説明する。
本実施形態では、各メモリセルの不揮発性記憶部VRに固定抵抗部FRが直列に接続されているため、可変抵抗層が低抵抗状態に変化した際のブレークダウンが防止できる。本実施形態によれば、半導体製造プロセスと親和性の高い材料を用いて、動作の高速化を図ることができ、かつ安定して可逆的な書き換え特性を示す不揮発性記憶素子アレイおよび不揮発性記憶装置が得られる。
本変形例に係る不揮発性記憶装置300’は、不揮発性記憶装置300において、各メモリセルM211、M212、…から固定抵抗部FR211、FR212、…を省き、その代わりにビット線BL0、BL1、BL2、…に固定抵抗素子FR30、FR31、FR32、…を設けている。本変形例に係る不揮発性記憶装置において、その他の点は上述の不揮発性記憶装置300と同様であるから、共通する部分については同一の符号および名称を付して説明を省略する。
101 不揮発性記憶素子
102 抵抗
103 第1端子
104 第2端子
105 電源
106 第1出力端子
107 第2出力端子
108 不揮発性記憶素子
109 抵抗素子
111 第1電極
112 第2電極
113 可変抵抗層
114 金属層
115 固定抵抗層
120 基板
130 不揮発性記憶装置
200 不揮発性記憶装置
201 メモリ本体部
202 メモリアレイ
203 行選択回路/ドライバ
204 列選択回路/ドライバ
205 書き込み回路
206 センスアンプ
207 データ入出力回路
208 アドレス入力回路
209 制御回路
300 不揮発性記憶装置
301 メモリ本体部
302 メモリアレイ
303 行選択回路/ドライバ
304 列選択回路
305 書き込み回路
306 センスアンプ
307 データ入出力回路
308 セルプレート電源
309 アドレス入力回路
310 制御回路
BL0、BL1、… ビット線
WL0、WL1、… ワード線
PL0、PL1、… プレート線
M111、M112、… メモリセル
T11、T12、… トランジスタ
VR111、VR112、… 不揮発性記憶部
FR111、FR112、… 固定抵抗部
VR111’、VR112’、… 不揮発性記憶素子
FR20、FR21、… 固定抵抗素子
M211、M212、… メモリセル
VR211、VR212、… 不揮発性記憶部
FR211、FR212、… 固定抵抗部
D211、D212、… 整流素子
VR211’、VR212’、… 不揮発性記憶素子
FR30、FR31、… 固定抵抗素子
Claims (11)
- 第1電極と、
第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に配置され、前記第1電極および前記第2電極間に与えられる電気的信号に基づいて低抵抗状態と低抵抗状態よりも抵抗値が高い高抵抗状態とを含む複数の抵抗状態の間で可逆的に抵抗値が変化する可変抵抗層と、
前記第1電極と接続された第1端子と、
前記第2電極と接続された第2端子とを備え、
前記可変抵抗層は、少なくともタンタル酸化物を含み、当該タンタル酸化物をTaOxと表した場合に、0<x<2.5を満足するように構成され、
前記可変抵抗層が低抵抗状態にあるときの第1電極と第2電極との間の抵抗値をRLとし、
前記可変抵抗層が高抵抗状態にあるときの第1電極と第2電極との間の抵抗値をRHとし、
前記第1端子から前記第1電極と前記可変抵抗層と前記第2電極とを経由して前記第2端子に至る電流経路のうち、前記可変抵抗層を除いた部分の抵抗値をR0とするとき、
R0がRL<R0を満たす、不揮発性記憶装置。 -
前記可変抵抗層は、少なくともタンタル酸化物を含み、当該タンタル酸化物をTaOxと表した場合に、0<x≦1.9を満足するように構成されている、請求項1に記載の不揮発性記憶装置。
-
前記可変抵抗層は、少なくともタンタル酸化物を含み、当該タンタル酸化物をTaOxと表した場合に、0.5≦x≦1.9を満足するように構成されている、請求項1に記載の不揮発性記憶装置。
-
前記可変抵抗層は、少なくともタンタル酸化物を含み、当該タンタル酸化物をTaOxと表した場合に、0.8≦x≦1.9を満足するように構成されている、請求項1に記載の不揮発性記憶装置。
- 第1電極と、
第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に配置され、前記第1電極および前記第2電極間に与えられる電気的信号に基づいて可逆的に抵抗値が変化する可変抵抗層とを備え、
前記可変抵抗層は、タンタル酸化物を含み、当該タンタル酸化物をTaOxと表した場合に、0<x<2.5を満足するように構成され、
前記可変抵抗層と直列に固定抵抗部が設けられている、不揮発性記憶素子。 - 前記電流経路において前記可変抵抗層と直列に抵抗器が設けられ、
前記抵抗器の抵抗値をR0とするとき、
R0がRL<R0を満たす、請求項1に記載の不揮発性記憶装置。 - 半導体基板と、
前記半導体基板上に前記半導体基板の主面に平行な面内において互いに平行に形成された複数の第1の電極配線と、
前記半導体基板上に前記半導体基板の主面に平行な面内において互いに平行にかつ前記複数の第1の電極配線と立体交差するように形成された複数の第2の電極配線と、
前記複数の第1の電極配線および前記複数の第2の電極配線の立体交差点に対応して設けられた不揮発性記憶素子とを備え、
前記不揮発性記憶素子は、その対応する第1の電極配線と第2の電極配線とを接続するように直列に配設された、不揮発性記憶部と固定抵抗部とを備え、
前記不揮発性記憶部は、第1電極と、第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間に配置され、前記第1電極および前記第2電極間に与えられる電気的信号に基づいて低抵抗状態と低抵抗状態よりも抵抗値が高い高抵抗状態とを含む複数の抵抗状態の間で可逆的に抵抗値が変化する可変抵抗層とを備え、
前記可変抵抗層は、タンタル酸化物を含み、当該タンタル酸化物をTaOxと表した場合に、0<x<2.5を満足するように構成されており、
前記可変抵抗層が低抵抗状態にあるときの第1電極と第2電極との間の抵抗値をRLとし、
前記可変抵抗層が高抵抗状態にあるときの第1電極と第2電極との間の抵抗値をRHとし、
前記固定抵抗部の抵抗値をR0とするとき、
R0がRL<R0を満たす、不揮発性記憶素子アレイ。 - 半導体基板と、
前記半導体基板上に前記半導体基板の主面に平行な面内において互いに平行に形成された複数の第1の電極配線と、
前記半導体基板上に前記半導体基板の主面に平行な面内において互いに平行にかつ前記複数の第1の電極配線と立体交差するように形成された複数の第2の電極配線と、
前記複数の第1の電極配線および前記複数の第2の電極配線の立体交差点に対応して対応する第1の電極配線と第2の電極配線とを接続するように配設された不揮発性記憶素子と、
前記複数の第1の電極配線および前記複数の第2の電極配線のいずれか一方のそれぞれに設けられた抵抗器とを備え、
前記不揮発性記憶素子は、第1電極と、第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間に配置され、前記第1電極および前記第2電極間に与えられる電気的信号に基づいて低抵抗状態と低抵抗状態よりも抵抗値が高い高抵抗状態とを含む複数の抵抗状態の間で可逆的に抵抗値が変化する可変抵抗層とを備え、
前記可変抵抗層は、タンタル酸化物を含み、当該タンタル酸化物をTaOxと表した場合に、0<x<2.5を満足するように構成されており、
前記可変抵抗層が低抵抗状態にあるときの第1電極と第2電極との間の抵抗値をRLとし、
前記可変抵抗層が高抵抗状態にあるときの第1電極と第2電極との間の抵抗値をRHとし、
前記抵抗器の抵抗値をR0とするとき、
R0がRL<R0を満たす、不揮発性記憶素子アレイ。 - 半導体基板と、
前記半導体基板上に前記半導体基板の主面に平行な面内において互いに平行に形成された複数のビット線と、
前記半導体基板上に前記半導体基板の主面に平行な面内においてかつ前記複数のビット線と立体交差するように形成された複数のワード線と、
前記半導体基板上に前記半導体基板の主面に平行な面内において互いに平行にかつ前記複数のワード線と一対一に対応するようにかつ前記複数のビット線と立体交差するように形成された複数のプレート線と、
前記複数のビット線および前記複数のワード線の立体交差点に対応して、対応するビット線とプレート線とを接続するように直列に配設されたトランジスタおよび不揮発性記憶素子とを備え、
前記トランジスタは少なくとも1個の制御端子と2個の主端子とを備え、前記制御端子は対応するワード線と接続され、2個の主端子はビット線とプレート線とを電気的に接続するように配設され、
前記不揮発性記憶素子のそれぞれは、直列に接続された不揮発性記憶部と固定抵抗部とを備え、
前記不揮発性記憶部は、第1電極と、第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間に配置され、対応して設けられている前記トランジスタを介して前記第1電極および前記第2電極間に与えられる電気的信号に基づいて低抵抗状態と低抵抗状態よりも抵抗値が高い高抵抗状態とを含む複数の抵抗状態の間で可逆的に抵抗値が変化する可変抵抗層とを備え、
前記可変抵抗層は、タンタル酸化物を含み、当該タンタル酸化物をTaOxと表した場合に、0<x<2.5を満足するように構成されており、
前記可変抵抗層が低抵抗状態にあるときの第1電極と第2電極との間の抵抗値をRLとし、
前記可変抵抗層が高抵抗状態にあるときの第1電極と第2電極との間の抵抗値をRHとし、
前記固定抵抗部の抵抗値をR0とするとき、
R0がRL<R0を満たす、不揮発性記憶素子アレイ。 - 半導体基板と、
前記半導体基板上に前記半導体基板の主面に平行な面内において互いに平行に形成された複数のビット線と、
前記半導体基板上に前記半導体基板の主面に平行な面内においてかつ前記複数のビット線と立体交差するように形成された複数のワード線と、
前記半導体基板上に前記半導体基板の主面に平行な面内において互いに平行にかつ前記複数のワード線と一対一に対応するようにかつ前記複数のビット線と立体交差するように形成された複数のプレート線と、
前記複数のビット線および前記複数のワード線の立体交差点に対応して、対応するビット線とプレート線とを接続するように直列に配設されたトランジスタおよび不揮発性記憶素子と、
前記複数のビット線および前記複数のプレート線のいずれか一方のそれぞれに設けられた抵抗器とを備え、
前記トランジスタは少なくとも1個の制御端子と2個の主端子とを備え、前記制御端子は対応するワード線と接続され、2個の主端子はビット線とプレート線とを電気的に接続するように配設され、
前記不揮発性記憶素子は、第1電極と、第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間に配置され、対応して設けられている前記トランジスタを介して前記第1電極および前記第2電極間に与えられる電気的信号に基づいて低抵抗状態と低抵抗状態よりも抵抗値が高い高抵抗状態とを含む複数の抵抗状態の間で可逆的に抵抗値が変化する可変抵抗層とを備え、
前記可変抵抗層は、タンタル酸化物を含み、当該タンタル酸化物をTaOxと表した場合に、0<x<2.5を満足するように構成されており、
前記可変抵抗層が低抵抗状態にあるときの第1電極と第2電極との間の抵抗値をRLとし、
前記可変抵抗層が高抵抗状態にあるときの第1電極と第2電極との間の抵抗値をRHとし、
前記抵抗器の抵抗値をR0とするとき、
R0がRL<R0を満たす、不揮発性記憶素子アレイ。 - 半導体基板と、
前記半導体基板上に前記半導体基板の主面に平行な面内において互いに平行に形成された複数のビット線と、
前記半導体基板上に前記半導体基板の主面に平行な面内においてかつ前記複数のビット線と立体交差するように形成された複数のワード線と、
前記半導体基板上に前記半導体基板の主面に平行な面内において互いに平行にかつ前記複数のワード線と一対一に対応するようにかつ前記複数のビット線と立体交差するように形成された複数のプレート線と、
前記複数のビット線および前記複数のワード線の立体交差点に対応して、対応するビット線とプレート線とを接続するように直列に配設されたトランジスタおよび不揮発性記憶素子とを備え、
前記不揮発性記憶素子は、第1電極と、第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間に配置され、対応して設けられている前記トランジスタを介して前記第1電極および前記第2電極間に与えられる電気的信号に基づいて低抵抗状態と低抵抗状態よりも抵抗値が高い高抵抗状態とを含む複数の抵抗状態の間で可逆的に抵抗値が変化する可変抵抗層とを備え、
前記可変抵抗層は、タンタル酸化物を含み、当該タンタル酸化物をTaOxと表した場合に、0<x<2.5を満足するように構成されており、
前記可変抵抗層が低抵抗状態にあるときの第1電極と第2電極との間の抵抗値をRLとし、
前記可変抵抗層が高抵抗状態にあるときの第1電極と第2電極との間の抵抗値をRHとし、
前記トランジスタのON状態における抵抗値をR0とするとき、
R0がRL<R0を満たす、不揮発性記憶素子アレイ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007086514 | 2007-03-29 | ||
JP2007086514 | 2007-03-29 | ||
PCT/JP2008/000766 WO2008126365A1 (ja) | 2007-03-29 | 2008-03-27 | 不揮発性記憶装置、不揮発性記憶素子および不揮発性記憶素子アレイ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP4252110B2 JP4252110B2 (ja) | 2009-04-08 |
JPWO2008126365A1 true JPWO2008126365A1 (ja) | 2010-07-22 |
Family
ID=39863525
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008535812A Active JP4252110B2 (ja) | 2007-03-29 | 2008-03-27 | 不揮発性記憶装置、不揮発性記憶素子および不揮発性記憶素子アレイ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US8058636B2 (ja) |
JP (1) | JP4252110B2 (ja) |
WO (1) | WO2008126365A1 (ja) |
Families Citing this family (69)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4308884B2 (ja) * | 2007-04-09 | 2009-08-05 | パナソニック株式会社 | 抵抗変化型記憶装置、不揮発性スイッチング装置 |
WO2009041041A1 (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-02 | Panasonic Corporation | 不揮発性記憶素子及び不揮発性半導体記憶装置、並びにそれらの読み出し方法及び書き込み方法 |
CN102790073B (zh) * | 2008-08-20 | 2015-01-14 | 松下电器产业株式会社 | 电阻变化型非易失性存储装置以及存储器单元的形成方法 |
JP5395799B2 (ja) * | 2008-09-12 | 2014-01-22 | 株式会社東芝 | 不揮発性記憶装置 |
KR101493874B1 (ko) * | 2008-11-12 | 2015-02-16 | 삼성전자주식회사 | 비휘발성 메모리 소자 |
JP4795485B2 (ja) * | 2008-12-05 | 2011-10-19 | パナソニック株式会社 | 不揮発性記憶素子及びその製造方法 |
US8350245B2 (en) | 2008-12-10 | 2013-01-08 | Panasonic Corporation | Variable resistance element and nonvolatile semiconductor memory device using the same |
KR101127236B1 (ko) * | 2008-12-29 | 2012-03-29 | 주식회사 하이닉스반도체 | 저항성 메모리 소자의 제조 방법 |
KR20120016044A (ko) * | 2009-03-27 | 2012-02-22 | 휴렛-팩커드 디벨롭먼트 컴퍼니, 엘.피. | 진성 다이오드를 갖는 스위칭 가능한 접합부 |
US8391051B2 (en) * | 2009-04-10 | 2013-03-05 | Panasonic Corporation | Method of programming nonvolatile memory element |
CN102047423B (zh) * | 2009-04-30 | 2013-11-20 | 松下电器产业株式会社 | 非易失性存储元件及非易失性存储装置 |
US8809829B2 (en) * | 2009-06-15 | 2014-08-19 | Macronix International Co., Ltd. | Phase change memory having stabilized microstructure and manufacturing method |
JP2011040613A (ja) * | 2009-08-12 | 2011-02-24 | Toshiba Corp | 不揮発性記憶装置 |
US8766233B2 (en) * | 2009-10-09 | 2014-07-01 | Nec Corporation | Semiconductor device with variable resistance element and method for manufacturing the same |
KR101107659B1 (ko) * | 2010-02-05 | 2012-01-20 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 패키지 |
WO2011118185A1 (ja) * | 2010-03-25 | 2011-09-29 | パナソニック株式会社 | 不揮発性記憶素子の駆動方法および不揮発性記憶装置 |
US8634235B2 (en) | 2010-06-25 | 2014-01-21 | Macronix International Co., Ltd. | Phase change memory coding |
US8259485B2 (en) | 2010-08-31 | 2012-09-04 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Multilayer structures having memory elements with varied resistance of switching layers |
US8723154B2 (en) * | 2010-09-29 | 2014-05-13 | Crossbar, Inc. | Integration of an amorphous silicon resistive switching device |
US8377718B2 (en) * | 2010-11-10 | 2013-02-19 | Micron Technology, Inc. | Methods of forming a crystalline Pr1-xCaxMnO3 (PCMO) material and methods of forming semiconductor device structures comprising crystalline PCMO |
US8692222B2 (en) | 2010-12-27 | 2014-04-08 | Panasonic Corporation | Nonvolatile memory element and method of manufacturing the nonvolatile memory element |
JP5598338B2 (ja) | 2011-01-13 | 2014-10-01 | ソニー株式会社 | 記憶装置およびその動作方法 |
US8633566B2 (en) * | 2011-04-19 | 2014-01-21 | Micron Technology, Inc. | Memory cell repair |
US8891293B2 (en) | 2011-06-23 | 2014-11-18 | Macronix International Co., Ltd. | High-endurance phase change memory devices and methods for operating the same |
US8866121B2 (en) | 2011-07-29 | 2014-10-21 | Sandisk 3D Llc | Current-limiting layer and a current-reducing layer in a memory device |
US8681530B2 (en) * | 2011-07-29 | 2014-03-25 | Intermolecular, Inc. | Nonvolatile memory device having a current limiting element |
US8659001B2 (en) | 2011-09-01 | 2014-02-25 | Sandisk 3D Llc | Defect gradient to boost nonvolatile memory performance |
JP5899474B2 (ja) | 2011-09-16 | 2016-04-06 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 不揮発性記憶素子、不揮発性記憶装置、不揮発性記憶素子の製造方法、及び不揮発性記憶装置の製造方法 |
US8637413B2 (en) | 2011-12-02 | 2014-01-28 | Sandisk 3D Llc | Nonvolatile resistive memory element with a passivated switching layer |
US8698119B2 (en) | 2012-01-19 | 2014-04-15 | Sandisk 3D Llc | Nonvolatile memory device using a tunnel oxide as a current limiter element |
US8686386B2 (en) | 2012-02-17 | 2014-04-01 | Sandisk 3D Llc | Nonvolatile memory device using a varistor as a current limiter element |
US8563366B2 (en) * | 2012-02-28 | 2013-10-22 | Intermolecular Inc. | Memory device having an integrated two-terminal current limiting resistor |
US9111610B2 (en) | 2012-04-20 | 2015-08-18 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Method of driving nonvolatile memory element and nonvolatile memory device |
US9001550B2 (en) | 2012-04-27 | 2015-04-07 | Macronix International Co., Ltd. | Blocking current leakage in a memory array |
KR101929940B1 (ko) * | 2012-05-09 | 2018-12-17 | 삼성전자 주식회사 | 하이브리드형 저항성 메모리 소자, 그 작동 방법 및 그 제조 방법 |
JP5810056B2 (ja) * | 2012-09-10 | 2015-11-11 | 株式会社東芝 | 記憶装置 |
JP5571833B2 (ja) | 2012-09-14 | 2014-08-13 | パナソニック株式会社 | 不揮発性記憶素子及び不揮発性記憶素子の製造方法 |
CN103811655A (zh) * | 2012-11-06 | 2014-05-21 | 华邦电子股份有限公司 | 非易失性存储器 |
US8964442B2 (en) | 2013-01-14 | 2015-02-24 | Macronix International Co., Ltd. | Integrated circuit 3D phase change memory array and manufacturing method |
US20140241031A1 (en) | 2013-02-28 | 2014-08-28 | Sandisk 3D Llc | Dielectric-based memory cells having multi-level one-time programmable and bi-level rewriteable operating modes and methods of forming the same |
TWI493549B (zh) * | 2013-03-05 | 2015-07-21 | Nat Univ Tsing Hua | 電阻式隨機存取記憶體 |
US9042158B2 (en) | 2013-05-21 | 2015-05-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Nonvolatile semiconductor memory device with protective resistance film |
US9559300B2 (en) * | 2013-09-20 | 2017-01-31 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Resistive random access memory device and manufacturing method thereof |
US9601194B2 (en) * | 2014-02-28 | 2017-03-21 | Crossbar, Inc. | NAND array comprising parallel transistor and two-terminal switching device |
US9246091B1 (en) * | 2014-07-23 | 2016-01-26 | Intermolecular, Inc. | ReRAM cells with diffusion-resistant metal silicon oxide layers |
US9972385B2 (en) | 2014-11-04 | 2018-05-15 | Hewlett Packard Enterprise Development Lp | Memory array driver |
US9672906B2 (en) | 2015-06-19 | 2017-06-06 | Macronix International Co., Ltd. | Phase change memory with inter-granular switching |
US9735766B2 (en) * | 2015-07-31 | 2017-08-15 | Arm Ltd. | Correlated electron switch |
US10777566B2 (en) | 2017-11-10 | 2020-09-15 | Macronix International Co., Ltd. | 3D array arranged for memory and in-memory sum-of-products operations |
US10719296B2 (en) | 2018-01-17 | 2020-07-21 | Macronix International Co., Ltd. | Sum-of-products accelerator array |
US10957392B2 (en) | 2018-01-17 | 2021-03-23 | Macronix International Co., Ltd. | 2D and 3D sum-of-products array for neuromorphic computing system |
US10242737B1 (en) | 2018-02-13 | 2019-03-26 | Macronix International Co., Ltd. | Device structure for neuromorphic computing system |
US10635398B2 (en) | 2018-03-15 | 2020-04-28 | Macronix International Co., Ltd. | Voltage sensing type of matrix multiplication method for neuromorphic computing system |
US10664746B2 (en) | 2018-07-17 | 2020-05-26 | Macronix International Co., Ltd. | Neural network system |
US11138497B2 (en) | 2018-07-17 | 2021-10-05 | Macronix International Co., Ltd | In-memory computing devices for neural networks |
US11636325B2 (en) | 2018-10-24 | 2023-04-25 | Macronix International Co., Ltd. | In-memory data pooling for machine learning |
US10672469B1 (en) | 2018-11-30 | 2020-06-02 | Macronix International Co., Ltd. | In-memory convolution for machine learning |
US11562229B2 (en) | 2018-11-30 | 2023-01-24 | Macronix International Co., Ltd. | Convolution accelerator using in-memory computation |
US11934480B2 (en) | 2018-12-18 | 2024-03-19 | Macronix International Co., Ltd. | NAND block architecture for in-memory multiply-and-accumulate operations |
KR20200092759A (ko) * | 2019-01-25 | 2020-08-04 | 삼성전자주식회사 | 가변 저항 메모리 장치 |
US11119674B2 (en) | 2019-02-19 | 2021-09-14 | Macronix International Co., Ltd. | Memory devices and methods for operating the same |
US10783963B1 (en) | 2019-03-08 | 2020-09-22 | Macronix International Co., Ltd. | In-memory computation device with inter-page and intra-page data circuits |
US11132176B2 (en) | 2019-03-20 | 2021-09-28 | Macronix International Co., Ltd. | Non-volatile computing method in flash memory |
US10910393B2 (en) | 2019-04-25 | 2021-02-02 | Macronix International Co., Ltd. | 3D NOR memory having vertical source and drain structures |
US11737274B2 (en) | 2021-02-08 | 2023-08-22 | Macronix International Co., Ltd. | Curved channel 3D memory device |
US11916011B2 (en) | 2021-04-14 | 2024-02-27 | Macronix International Co., Ltd. | 3D virtual ground memory and manufacturing methods for same |
US11710519B2 (en) | 2021-07-06 | 2023-07-25 | Macronix International Co., Ltd. | High density memory with reference memory using grouped cells and corresponding operations |
US20230125070A1 (en) * | 2021-10-25 | 2023-04-27 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Multilevel memory device and method |
US11974422B2 (en) * | 2021-11-04 | 2024-04-30 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Semiconductor device |
Family Cites Families (58)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3063506D1 (en) * | 1979-08-31 | 1983-07-07 | Fujitsu Ltd | A tantalum thin film capacitor and process for producing the same |
JP2707283B2 (ja) | 1988-08-31 | 1998-01-28 | 昭和電工株式会社 | 金属の連続鋳造方法 |
JPH07263647A (ja) | 1994-02-04 | 1995-10-13 | Canon Inc | 電子回路装置 |
JP3929513B2 (ja) * | 1995-07-07 | 2007-06-13 | ローム株式会社 | 誘電体キャパシタおよびその製造方法 |
JP3432359B2 (ja) * | 1996-06-28 | 2003-08-04 | 沖電気工業株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
US6130835A (en) * | 1997-12-02 | 2000-10-10 | International Business Machines Corporation | Voltage biasing for magnetic RAM with magnetic tunnel memory cells |
US5991193A (en) * | 1997-12-02 | 1999-11-23 | International Business Machines Corporation | Voltage biasing for magnetic ram with magnetic tunnel memory cells |
US6204139B1 (en) | 1998-08-25 | 2001-03-20 | University Of Houston | Method for switching the properties of perovskite materials used in thin film resistors |
EP1153434A1 (en) * | 1999-02-17 | 2001-11-14 | International Business Machines Corporation | Microelectronic device for storing information and method thereof |
JP2001168301A (ja) * | 1999-12-09 | 2001-06-22 | Nec Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2002269968A (ja) * | 2001-03-13 | 2002-09-20 | Canon Inc | 強磁性体メモリの情報再生方法 |
US6700813B2 (en) * | 2001-04-03 | 2004-03-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Magnetic memory and driving method therefor |
US7109056B2 (en) * | 2001-09-20 | 2006-09-19 | Micron Technology, Inc. | Electro-and electroless plating of metal in the manufacture of PCRAM devices |
JP3749847B2 (ja) * | 2001-09-27 | 2006-03-01 | 株式会社東芝 | 相変化型不揮発性記憶装置及びその駆動回路 |
US6839269B2 (en) * | 2001-12-28 | 2005-01-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic random access memory |
JP4248187B2 (ja) * | 2002-03-27 | 2009-04-02 | シャープ株式会社 | 集積回路装置及びニューロ素子 |
US6643159B2 (en) * | 2002-04-02 | 2003-11-04 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Cubic memory array |
AU2003201760A1 (en) * | 2002-04-04 | 2003-10-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Phase-change memory device |
US6687179B2 (en) * | 2002-04-10 | 2004-02-03 | Micron Technology, Inc. | Method and system for writing data in an MRAM memory device |
KR100480622B1 (ko) * | 2002-10-16 | 2005-03-31 | 삼성전자주식회사 | 유전 특성 및 누설 전류 특성이 개선된 유전막을 갖는반도체 메모리 소자 및 그 제조방법 |
JP2004193282A (ja) * | 2002-12-10 | 2004-07-08 | Renesas Technology Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP4105537B2 (ja) * | 2002-12-24 | 2008-06-25 | 株式会社村上開明堂 | エレクトロクロミック素子 |
JP3822569B2 (ja) * | 2003-02-28 | 2006-09-20 | 株式会社東芝 | 半導体装置およびその製造方法 |
KR100505679B1 (ko) * | 2003-03-19 | 2005-08-03 | 삼성전자주식회사 | 반도체 메모리 소자 및 그 제조방법 |
US7050327B2 (en) * | 2003-04-10 | 2006-05-23 | Micron Technology, Inc. | Differential negative resistance memory |
US6927120B2 (en) | 2003-05-21 | 2005-08-09 | Sharp Laboratories Of America, Inc. | Method for forming an asymmetric crystalline structure memory cell |
KR100773537B1 (ko) | 2003-06-03 | 2007-11-07 | 삼성전자주식회사 | 한 개의 스위칭 소자와 한 개의 저항체를 포함하는비휘발성 메모리 장치 및 그 제조 방법 |
JP2005064050A (ja) * | 2003-08-14 | 2005-03-10 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置及びそのデータ書き込み方法 |
JP2005093597A (ja) * | 2003-09-16 | 2005-04-07 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 薄膜キャパシタ及びその製造方法 |
US6903361B2 (en) * | 2003-09-17 | 2005-06-07 | Micron Technology, Inc. | Non-volatile memory structure |
KR100519777B1 (ko) * | 2003-12-15 | 2005-10-07 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자의 캐패시터 및 그 제조 방법 |
TWI355661B (en) | 2003-12-18 | 2012-01-01 | Panasonic Corp | Method for using a variable-resistance material as |
JP4385778B2 (ja) * | 2004-01-29 | 2009-12-16 | ソニー株式会社 | 記憶装置 |
JP4365737B2 (ja) * | 2004-06-30 | 2009-11-18 | シャープ株式会社 | 可変抵抗素子の駆動方法及び記憶装置 |
KR100642635B1 (ko) * | 2004-07-06 | 2006-11-10 | 삼성전자주식회사 | 하이브리드 유전체막을 갖는 반도체 집적회로 소자들 및그 제조방법들 |
KR100609699B1 (ko) | 2004-07-15 | 2006-08-08 | 한국전자통신연구원 | 급격한 금속-절연체 전이 반도체 물질을 이용한 2단자반도체 소자 및 그 제조 방법 |
JP4830275B2 (ja) | 2004-07-22 | 2011-12-07 | ソニー株式会社 | 記憶素子 |
KR100734832B1 (ko) * | 2004-12-15 | 2007-07-03 | 한국전자통신연구원 | 금속 산화막의 전류 스위칭을 이용한 정보 저장 장치 |
KR100697275B1 (ko) * | 2005-01-03 | 2007-03-21 | 삼성전자주식회사 | 다층유전막을 가지는 커패시터 및 그 형성방법 |
US7656696B2 (en) | 2005-02-14 | 2010-02-02 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Resistive memory device having resistor part for controlling switching window |
WO2006109622A1 (ja) * | 2005-04-12 | 2006-10-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 電気素子,メモリ装置,および半導体集積回路 |
WO2006114904A1 (en) * | 2005-04-22 | 2006-11-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Non volatile memory cell and semiconductor memory device |
JP2006319028A (ja) * | 2005-05-11 | 2006-11-24 | Nec Corp | スイッチング素子、書き換え可能な論理集積回路、およびメモリ素子 |
JP2006351061A (ja) * | 2005-06-14 | 2006-12-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | メモリ回路 |
JP2007026492A (ja) * | 2005-07-13 | 2007-02-01 | Sony Corp | 記憶装置及び半導体装置 |
JP2007027537A (ja) * | 2005-07-20 | 2007-02-01 | Sharp Corp | 可変抵抗素子を備えた半導体記憶装置 |
WO2007013174A1 (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-01 | Fujitsu Limited | 抵抗記憶素子及び不揮発性半導体記憶装置 |
US7521705B2 (en) * | 2005-08-15 | 2009-04-21 | Micron Technology, Inc. | Reproducible resistance variable insulating memory devices having a shaped bottom electrode |
US7251154B2 (en) * | 2005-08-15 | 2007-07-31 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus providing a cross-point memory array using a variable resistance memory cell and capacitance |
JP4396621B2 (ja) * | 2005-12-02 | 2010-01-13 | ソニー株式会社 | 記憶素子及び記憶装置 |
KR100684908B1 (ko) * | 2006-01-09 | 2007-02-22 | 삼성전자주식회사 | 다수 저항 상태를 갖는 저항 메모리 요소, 저항 메모리 셀및 그 동작 방법 그리고 상기 저항 메모리 요소를 적용한데이터 처리 시스템 |
JP4398945B2 (ja) * | 2006-02-23 | 2010-01-13 | シャープ株式会社 | 不揮発性半導体記憶装置及びデータ書き換え方法 |
US8027184B2 (en) * | 2006-03-06 | 2011-09-27 | Nec Corporation | Semiconductor storage device and operating method of the same |
US20070267621A1 (en) * | 2006-05-19 | 2007-11-22 | Infineon Technologies Ag | Resistive memory device |
KR100716655B1 (ko) * | 2006-06-29 | 2007-05-09 | 주식회사 하이닉스반도체 | 지르코늄산화막과 탄탈륨산화막이 적층된 유전막 형성 방법및 그를 이용한 캐패시터의 제조 방법 |
US20080094874A1 (en) * | 2006-10-23 | 2008-04-24 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Multiple-read resistance-variable memory cell structure and method of sensing a resistance thereof |
EP2077580B1 (en) * | 2006-11-17 | 2011-11-30 | Panasonic Corporation | Nonvolatile memory element, nonvolatile memory device, nonvolatile semiconductor device, and method for manufacturing nonvolatile memory element |
JP4745395B2 (ja) * | 2006-11-17 | 2011-08-10 | パナソニック株式会社 | 抵抗変化型記憶装置 |
-
2008
- 2008-03-27 WO PCT/JP2008/000766 patent/WO2008126365A1/ja active Application Filing
- 2008-03-27 JP JP2008535812A patent/JP4252110B2/ja active Active
- 2008-03-27 US US12/302,468 patent/US8058636B2/en active Active
-
2011
- 2011-09-27 US US13/246,483 patent/US8217489B2/en active Active
-
2012
- 2012-05-30 US US13/483,808 patent/US8492875B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2008126365A1 (ja) | 2008-10-23 |
US8058636B2 (en) | 2011-11-15 |
JP4252110B2 (ja) | 2009-04-08 |
US20120235111A1 (en) | 2012-09-20 |
US20090250678A1 (en) | 2009-10-08 |
US8492875B2 (en) | 2013-07-23 |
US20120074369A1 (en) | 2012-03-29 |
US8217489B2 (en) | 2012-07-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4252110B2 (ja) | 不揮発性記憶装置、不揮発性記憶素子および不揮発性記憶素子アレイ | |
JP5207894B2 (ja) | 不揮発性記憶素子の製造方法 | |
JP5475058B2 (ja) | 抵抗変化型不揮発性記憶装置 | |
JP4253038B2 (ja) | 不揮発性記憶素子およびその製造方法、並びにその不揮発性記憶素子を用いた不揮発性半導体装置 | |
JP4460646B2 (ja) | 不揮発性記憶素子、不揮発性記憶装置、および不揮発性半導体装置 | |
JP4299882B2 (ja) | 不揮発性記憶素子およびその製造方法、並びにその不揮発性記憶素子を用いた不揮発性半導体装置 | |
US8279658B2 (en) | Method of programming variable resistance element and nonvolatile storage device | |
JP5351363B1 (ja) | 不揮発性記憶素子および不揮発性記憶装置 | |
JP5395314B2 (ja) | 不揮発性記憶素子および不揮発性記憶装置 | |
JP2009135370A (ja) | 不揮発性記憶素子およびその製造方法、並びにその不揮発性記憶素子を用いた不揮発性半導体装置 | |
JP2010287582A (ja) | 不揮発性記憶素子およびその製造方法、並びにその不揮発性記憶素子を用いた不揮発性半導体装置 | |
JP2010021381A (ja) | 不揮発性記憶素子およびその製造方法、並びにその不揮発性記憶素子を用いた不揮発性半導体装置 | |
JP2011044443A (ja) | 不揮発性記憶素子およびその製造方法、並びにその不揮発性記憶素子を用いた不揮発性半導体装置 | |
JP5291270B1 (ja) | 不揮発性記憶素子、不揮発性記憶装置、及び不揮発性記憶素子の書き込み方法 | |
CN113228254A (zh) | 电阻变化型非易失性存储元件及使用了其的电阻变化型非易失性存储装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081224 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090120 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4252110 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120130 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130130 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130130 Year of fee payment: 4 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |