JP5571833B2 - 不揮発性記憶素子及び不揮発性記憶素子の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、従来の不揮発性記憶素子50の構造の一例を示す断面図である。
[不揮発性記憶素子の構成]
図3(a)は、本発明の実施の形態に係る不揮発性記憶素子10の一構成例を示した断面図であり、図3(b)は、当該不揮発性記憶素子10に含まれる第2の抵抗変化層1062の平面図である。図3に示すように、本実施の形態における不揮発性記憶素子10は、抵抗変化型の不揮発性記憶素子であり、基板100、第1の配線101、第1の層間絶縁層102、第1のコンタクトプラグ104、抵抗変化素子20、第2の層間絶縁層108、第2のコンタクトプラグ110及び第2の配線111を備える。
図4(a)〜(j)は、本発明の実施の形態1における不揮発性記憶素子10の要部の製造方法の一例を示す断面図である。これらを用いて、本実施の形態1の不揮発性記憶素子10の要部の第1の製造方法について説明する。
図5(a)〜(i)は、本発明の実施の形態1における不揮発性記憶装置の第2の製造方法の一例を示す断面図である。図5において、図4と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。図5(c)以前の工程は、図4(a)〜(c)と同様であるので、説明を省略する。
図6は、本実施の形態に係る不揮発性記憶素子10(実施例)及び従来の不揮発性記憶素子50(従来例)のそれぞれにおける初期ブレイクダウン電圧を示すグラフである。従来例、実施例共に、測定した初期ブレイクダウン電圧のばらつき範囲をエラーバーで、また、初期ブレイクダウン電圧の平均値を○で示している。実施例では、従来例よりも大幅に初期ブレイクダウン電圧が低減している。
次に、実施の形態に係る不揮発性記憶素子10に対して電気的パルスを印加した場合の抵抗変化について説明する。
次に、本実施の形態に係る不揮発性記憶素子のメモリとしての動作例、すなわち情報の書き込み及び読み出しをする場合の動作例を、図面を参照して説明する。
本実施の形態における不揮発性記憶素子の第1の適用例として、1つの不揮発性記憶素子が1つのダイオードと1つの抵抗変化素子とで構成される不揮発性記憶装置について説明する。
図11は、本発明の実施の形態に係る不揮発性記憶素子が適用された不揮発性記憶装置の第1の適用例における構成を示すブロック図である。また、図12は、図11に示される不揮発性記憶装置におけるA部の構成(4ビット分の構成)を示す斜視図である。本適用例は、不揮発性記憶素子を抵抗変化素子とダイオードの直列接続にて構成したクロスポイント型のメモリセルを備えた不揮発性記憶装置である。
図13は、図11に示される不揮発性記憶装置の第1の適用例における不揮発性記憶素子の構成を示す断面図である。なお、図13では、図12のB部における構成が示されている。
図11及び図12に示した本適用例の不揮発性記憶装置におけるメモリセルアレイを、3次元に積み重ねることによって、多層化構造の不揮発性記憶装置を実現することができる。
本実施の形態における不揮発性記憶素子の第2の適用例として、1つの不揮発性記憶素子が1つのトランジスタと1つの抵抗変化素子とで構成される不揮発性記憶装置について説明する。
図15は、本発明の実施の形態に係る不揮発性記憶素子が適用された不揮発性記憶装置の第2の適用例における構成を示すブロック図である。また、図16は、図15に示される不揮発性記憶装置におけるC部の構成(2ビット分の構成)を示す断面図である。本適用例は、不揮発性記憶素子を抵抗変化素子とトランジスタとで構成した1トランジスタ−1不揮発性記憶素子(1T1R型)のメモリセルを備えた不揮発性記憶装置である。
100 基板
101 第1の配線
102 第1の層間絶縁層
103 第1のコンタクトホール
104 第1のコンタクトプラグ
105 第1の電極
106 抵抗変化層
1061 第1の抵抗変化層
1062 第2の抵抗変化層
106a 第1の金属酸化物
106b 第2の金属酸化物
106c 絶縁物
107 第2の電極
108 第2の層間絶縁層
109 第2のコンタクトホール
110 第2のコンタクトプラグ
111 第2の配線
200 不揮発性記憶装置
201 メモリ本体部
202 メモリセルアレイ
203 行選択回路/ドライバ
204 列選択回路/ドライバ
205 書き込み回路
206 センスアンプ
207 データ入出力回路
208 アドレス入力回路
209 制御回路
210 不揮発性記憶素子
211 上部配線
212 下部配線
213 上部電極
214 抵抗変化層
215 内部電極
216 電流制御層
217 下部電極
218 オーミック抵抗層
219 第2の抵抗変化層
300 不揮発性記憶装置
301 メモリ本体部
302 メモリセルアレイ
303 行選択回路/ドライバ
304 列選択回路
305 書き込み回路
306 センスアンプ
307 データ入出力回路
308 セルプレート電源
309 アドレス入力回路
310 制御回路
313 不揮発性記憶素子
314 上部電極
315 抵抗変化層
316 下部電極
BL0、BL1、… ビット線
M11、M12、… メモリセル
T11、T12、… トランジスタ
WL0、WL1、… ワード線
Claims (15)
- 第1の電極と、
第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極との間に介在し、前記第1の電極と前記第2の電極との間に与えられる電気的信号に基づいて抵抗値が可逆的に変化する抵抗変化層と
を備え、
前記抵抗変化層は、第1の抵抗変化層と第2の抵抗変化層との少なくとも2層からなり、
前記第1の抵抗変化層は、第1の金属酸化物で構成され、
前記第2の抵抗変化層は、全体が単一の平板状の領域に配置され、かつ第2の金属酸化物で単一の平板状に構成された第1の部分と絶縁物で単一の平板状に構成された第2の部分とからなり、
前記第2の金属酸化物の酸素不足度は、前記第1の金属酸化物の酸素不足度よりも小さく、
前記第2の抵抗変化層の前記第1の部分と前記第2の部分とは、前記第1の抵抗変化層の前記第2の抵抗変化層に面する主面の相異なる部分と接している
不揮発性記憶素子。 - 前記第2の抵抗変化層の膜厚が3nm以上10nm以下である
請求項1に記載の不揮発性記憶素子。 - 前記第2の抵抗変化層の前記第1の部分と前記第2の部分とは、前記第2の電極の前記第2の抵抗変化層に面する主面の相異なる部分と接している
請求項1に記載の不揮発性記憶素子。 - 前記第2の抵抗変化層の前記第1の部分は前記第2の抵抗変化層の側面を含まない部分であり、前記第2の抵抗変化層の前記第2の部分は前記第2の抵抗変化層の側面を含む部分である
請求項1に記載の不揮発性記憶素子。 - 前記絶縁物が、酸化物、窒化物、及び酸窒化物のうちの何れかである
請求項1に記載の不揮発性記憶素子。 - 前記第1の金属酸化物及び第2の金属酸化物の各々が、タンタル酸化物、ハフニウム酸化物、及びジルコニウム酸化物のうちの何れかである
請求項1に記載の不揮発性記憶素子。 - 電気パルスの印加に応じて酸素不足度が可逆的に変化する局所領域が、前記第2の金属酸化物の中に形成されている
請求項1に記載の不揮発性記憶素子。 - 前記第1の部分の寸法は、長さの比で、前記第2の抵抗変化層の寸法の半分以下である
請求項1に記載の不揮発性記憶素子。 - 第1の金属酸化物を構成する第1の金属と、第2の金属酸化物を構成する第2の金属とは、同じ金属である
請求項1に記載の不揮発性記憶素子。 - 第1の金属酸化物を構成する第1の金属と、第2の金属酸化物を構成する第2の金属とは、異なる金属である
請求項1に記載の不揮発性記憶素子。 - 半導体基板上に、第1の電極を形成する工程と、
前記第1の電極上に第1の金属酸化物を配置する工程と、
前記第1の金属酸化物上に絶縁物を単一の平板状に配置する工程と、
前記絶縁物を部分的に除去し、前記第1の金属酸化物を露出させる工程と、
前記絶縁物の除去部に前記第1の金属酸化物よりも酸素不足度が小さい第2の金属酸化物を単一の平板状に配置する工程と、
前記絶縁物上及び前記第2の金属酸化物上に第2の電極を形成する工程と
を含む不揮発性記憶素子の製造方法。 - 前記絶縁物を部分的に除去し、前記第1の金属酸化物を露出させる工程は、
前記絶縁物に貫通孔を形成することで前記第1の金属酸化物を露出する工程であり、
前記絶縁物の除去部に前記第1の金属酸化物よりも酸素不足度が小さい前記第2の金属酸化物を単一の平板状に配置する工程は、
前記貫通孔の内部及び前記絶縁物の上方に前記第2の金属酸化物を形成する工程と、
前記絶縁物上の前記第2の金属酸化物を除去する工程とを含む
請求項11に記載の不揮発性記憶素子の製造方法。 - 半導体基板上に、第1の電極を形成する工程と、
前記第1の電極上に第1の金属酸化物を配置する工程と、
前記第1の金属酸化物上に前記第1の金属酸化物よりも酸素不足度が小さい第2の金属酸化物を単一の平板状に配置する工程と、
前記第2の金属酸化物を部分的に除去し、前記第1の金属酸化物を露出させる工程と、
前記第1の金属酸化物上でかつ前記第2の金属酸化物の除去部に絶縁物を単一の平板状に配置する工程と、
前記絶縁物上及び前記第2の金属酸化物上に第2の電極を形成する工程と
を含む不揮発性記憶素子の製造方法。 - 前記第1の金属酸化物上でかつ前記第2の金属酸化物の除去部に絶縁物を単一の平板状に配置する工程は、
前記第1の金属酸化物及び前記第2の金属酸化物上に絶縁物を形成する工程と、
前記第2の金属酸化物上の絶縁物を除去する工程と
を含む請求項13に記載の不揮発性記憶素子の製造方法。 - さらに、前記第1の電極と前記第2の電極との間に電気パルスを印加することにより、前記第2の金属酸化物の中に、電気パルスの印加に応じて酸素不足度が可逆的に変化する局所領域を形成する工程を含む
請求項11から14のいずれかに記載の不揮発性記憶素子の製造方法。
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