JPH02225336A - 磁気ヘッド並びにその製造方法及び磁気記録再生装置 - Google Patents

磁気ヘッド並びにその製造方法及び磁気記録再生装置

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JPH02225336A
JPH02225336A JP1044478A JP4447889A JPH02225336A JP H02225336 A JPH02225336 A JP H02225336A JP 1044478 A JP1044478 A JP 1044478A JP 4447889 A JP4447889 A JP 4447889A JP H02225336 A JPH02225336 A JP H02225336A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 未発IIJIは、磁気記録再生装置に用いる磁気ヘッド
に係り、特に磁気特性、耐摩耗性、耐久性及び量産性に
優れた磁気ヘッド並びにその製造方法及び磁気記録再生
装置に関する。
〔従来の技術〕
従来の磁気I\ラッド、磁気コア材としてフェライトが
用いられていた。該磁気コアの接合には、非磁性であり
、また、フェライトの熱膨張係数と合い、しかも耐候性
、耐摩耗性、強度なども必要とされることから接合温度
が700℃程度のガラスが使用されていた。一般にガラ
スは、接合温度が高いものほど、熱膨張係数が小さく、
耐候性、耐摩耗性、強度などが優れている。
近年、VTRなどの磁気記録再生装置の高密度記録化を
図るために、記録媒体の高保持力化、記録テープやディ
スクの高速化などが進められ、磁気ヘッドには磁気コア
材として飽和磁束密度が5oooa以上の高い値を有す
る磁性合金膜が使用されるようになった。このような磁
気ヘッドは、支持基板に形成した磁性合金膜からなる一
対の磁気コアが非磁性ギャップ材を介して互いに突き合
わせ、ガラスで接合した構造となっている。このため、
この磁気ヘッドを製造するにあたり、接合ガラスと支持
基板の熱膨張係数を磁性合金膜のそれに合わせる必要が
ある。この磁性合金膜としては、現在、CO系非晶質合
金やセンダスト系合金(Fe−8i−AQ系合金)が特
に注目を集めている。一般にこのような合金は熱膨張係
数がフェライトより大きく、Co系非晶質合金で120
X10−7/℃前後、センダスト系合金で150X10
−’/”C01J後である。このため、磁気コアの接合
には磁性合金膜の熱膨張係数と同程度のガラスを用いる
必要がある。この熱膨張差が大きいと、磁性合金膜に応
力がかかり、磁気特性が劣化したり、磁性合金膜やガラ
スがはがれてしまう問題が発生する。したがって、フェ
ライトヘッドに用いる接合ガラスは、磁性合金膜を用い
る磁気ヘッドにはもはや使用することはできない。そこ
で、熱膨張係数が大きいPbOを主成分とするpbo−
B20.系ガラスが用いられていた。この系のガラスは
PbOの含有量が多いほど、熱膨張係数が大きく、シか
も接合温度を500℃以下と低くできるという特徴があ
る。このため、この系のガラスは磁性合金膜としてCo
系非晶質合金を用いる場合には、この合金を結晶化させ
ることなく接合できるので、特に有効に用いられてきた
。しかし、フェライトヘッドに使用されていた接合ガラ
スと比較すると、機械的性質や耐候性が著しく劣るため
、磁気ヘッドの加工・組立て・洗浄時にクラック、ワレ
、洗浄液による侵食等が発生しやすいという問題があっ
た。これが原因で磁気ヘッドの製造歩留りが低かった。
また、記録テープなどを走行させたときに、ガラス接合
部にキズがつきやすく、更に摩耗しやすいという問題も
あった。これが原因で、記録媒体が磁気ヘッドに付着し
、磁気特性を劣化させた。そこで、これらの問題を解決
するために、特開昭62−78128号公報及び同62
−88109号公報に記載のようなガラス組成物や磁気
ヘッドが提案されている。これらの従来の発明には、熱
膨張係数が100×10−7i℃以下のV2O5−P2
O5−8b2o、系ガラスが用いられている。磁性合金
膜としてセンダスト系合金を用いる場合には、この合金
の耐熱温度が約650℃であるので、磁気コアの接合は
、この耐熱温度未満で行う必要がある。この温度以上で
はセンダスト系合金の磁気特性が著しく劣化する。
この点、低温でガラス接合できる1)bo−B20゜系
ガラスは問題はない。しかし、センダンスト系合金は熱
膨張係数が150X10−7/℃程度と非常に大きいた
め、PbO−B2O,系ガラスでさえもこれに合わせる
ことは不可能であった。この系のガラスでは、熱膨張を
大きくしてもせいぜい130×10−’/”C程度であ
る。また、この系のガラスは、熱膨張係数が大きいほど
、接合温度が低くなるが、機械的性質や耐候性がより劣
化するという問題があった。そこで、これらの問題を解
決するために、特開昭61−158860号公報に記載
のような接着剤が提案されている。この従来の発明は、
PbOを主成分とするpbo−B2O5−5iO,系ガ
ラスにN a O、やCaOを配合することによって、
熱膨張係数をセンダスト系合金のそれに合わせるといっ
たものである。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記従来技術は、磁性合金膜を用いた高性能磁気ヘッド
に適した接合ガラスが用いられていないため、磁気ヘッ
ドの磁気特性、耐摩耗性、耐久性、量産性などをそれぞ
れ満足したものでなかった。
特開昭62−78128号公報及び同62−88109
号公報に記載された発明では、磁性合金膜と接合ガラス
の熱膨張係数のマツチングが悪いため、磁性合金膜の磁
気特性劣化、及び磁性合金膜または接合ガラスのはがれ
が発生するといった問題があった。また、特開昭61−
158860号公報に記載された発明では、磁性合金膜
と接合ガラスの熱膨張係数のマツチングは配慮されてい
るが、接合ガラスの機械的性質や耐候性が劣るため、磁
気ヘッドの加工・組立て・洗浄において、クラック、ワ
レ、洗浄液による侵食等が発生するといった問題があっ
た。しかも、この磁気ヘッドに記録テープなどを走行さ
せたときに、ガラス接合部にキズがつき、更に摩耗する
といった問題もあった。
本発明の目的は磁性合金膜の熱膨張係数に合わせること
ができ、さらに従来のガラスより変形温度が低く、しか
も硬度が高いガラスを磁気コアの接合に用いることによ
って磁気特性、耐摩耗性、耐久性及び量産性の優れた磁
気ヘッド及びその製造方法を提供することにある。
本発明の他の目的は、上記目的を達成するための磁気ヘ
ッド用接合ガラスを提供することにある。
また、上記磁気ヘッドを用いた高性能磁気記録再生装置
を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記l]的を達成するために、本発明は、支持基板及び
この支持基板に設けられた磁性合金膜とを備えた磁気コ
アと、一対の前記磁気コアの間隙をあけて対向する前記
磁性合金膜間に設けられて前記一対の磁気コアを一体化
すると共に熱膨張係数が1. OOX 10−7/℃を
越える範囲のPbO−P2O,−p、05系の接合ガラ
スと、を備えた磁気ヘッドである。ここで、接合ガラス
は更に5b20.。
B i20.、BaO,TQ2O5Fe2O3,TiO
,。
Z n O、Cd O、M g○及びAa2O5のうち
少なくとも一種以上の成分を含むものがよい。
また1本発明は、支持基板及びこの支持基板に設けられ
た磁性合金膜とを備えた磁気コアと、対の前記磁気コア
の間隙をあけて対向する荊記磁性合金膜間に設けられて
前記一対の磁気コアを一体化すると共に下記(])〜(
3)の条件を全て充たす接合ガラスと、を備えた磁気ヘ
ッドである。
(1)接合ガラスの熱膨張係数は、100XiO−7〜
1.60 x 10−’/”Cの範囲で制御できる。
(2)接合ガラスの変形温度は、500℃以下である。
(3)接合ガラスのマイクロビッカース硬度Hvは32
0以上である。
前記条件のうち、条件(2)の変形温度は4.30℃以
下であり、条件(3)のHvは330以上であるものが
特によい。
前記磁気ヘッドにおいて、前記磁性合金膜の具体例とし
てはCo系非晶質合金、センダスト系合金、パーマロイ
、アルパーム又はFe−C系合金であるものが挙げられ
る。また、前記磁性合金膜の熱膨張係数は、11.OX
l、O−’〜1.70 X 10〜7/℃であるものが
挙げられる。
前記磁気ヘッドにおいて、前記支持基板の具体例として
熱膨張係数は100×10−7/℃以上であり且つHv
は600以上であるもの、または非磁性セラミックスで
あるものが挙げられる。
また、本発明は、pbo−■、○s  P2O5系のガ
ラスであって、その熱膨張係数は100×10−7/℃
を越える範囲のものである磁気ヘッド用接合ガラスであ
る。
また、本発明は下記(1)〜(3)の条件を全て充たす
磁気ヘッド用接合ガラスである。
(1)接合ガラスの熱膨張係数は、100×10−’〜
160X10″″7/℃の範囲で制御できる。
(2)接合ガラスの変形温度は、500℃以下である。
(3)接合ガラスのマイクロビッカース硬度H■は32
0以上である。
前記磁気ヘッド用接合ガラスにおいて、pboの含有量
は25wt%以上であるもの又は、P2O、の含有量は
55wt%以下であるものが挙げられる。
また1本発明はpboを25〜65 w t%、P2O
,を15〜55wt%及びP2O,を15〜5゜wt%
の範囲で主成分として含む磁気ヘッド用接合ガラスであ
る。ここで、pboを30〜65wt%、V、 O,を
15〜55wt%及びP2O5を20〜40wt%の範
囲で含むものが特によい。
また、成分として更にS b2O5、B i2O5及び
BaOのうち少なくとも一種以上を20wt%以下含有
するものがよい、また、成分として更にTQ2O5Fe
12.、Tie、、ZnO,CaO。
MgO及びAl1,0.のうち少なくとも一種以上を1
0wt%以下含有するものがよい。
また、本発明は支持基板にトラック溝を有するギャップ
突き合わせ面を形成する工程と、ギャップ突き合わせ面
に磁性合金膜をスパッタする工程と、磁性合金膜の耐熱
温度以下でトラック溝に請求項9又は10に記載の接合
ガラスを充填する工程と、不要なガラスと磁性合金膜と
を研磨除去し所定部位を切断して一対の磁気コアブロッ
クを形成する工程と、ギャップ突き合わせ面に非磁性ギ
ャップ材をスパッタする工程と、各ギャップ突き合わせ
面を突き合わせ、磁性合金膜の耐熱温度以下で接合する
工程と、それを磁気ヘッド単位に切断する工程と、を含
む磁気ヘッドの製造方法である。
また、本発明は磁気記録媒体に情報の記録をし又はそれ
から情報を読み取る前記接合ガラスで接合された磁気ヘ
ッドと、磁気ヘッドの邸動部と、磁気ヘッドによる情報
処理を制御する制御部と。
を備えた磁気記録再生装置である。
本発明の磁気ヘッドは、メタルテープや蒸着テープなど
に使用される高保持力記録媒体にも十分に対応でき、し
かも記録テープの相対速度が5.8m/sec以上でも
安定して使用できる高性能磁気ヘッドとしてVTRやD
ATなどの磁気記録再生装置に好適に用いられるもので
ある。また、本発明の磁気ヘッドは磁気ディスクを用い
た磁気記録再生装置などにも有効に用いることができる
〔作用〕
本発明の磁気ヘッドは、支持基板に磁性合金膜が設けら
れた構造の一対の磁気コアを熱膨張係数100×10−
’/”Cを越える範囲のpbo−v、o、−p、o、系
ガラスで接合することによって、磁性合金膜の磁気特性
を劣化させることなく、磁気ヘッドの耐摩耗性、耐久性
及び量産性を向上または改善することができる。
上記pbo−v、o、−p、o、系ガラスは熱膨張係数
を100xlO”−’ 〜160xlO″″’/”Cの
範囲で自由に制御できるので、磁性合金膜やその支持基
板の熱膨張係数に合わせることができる。このため、磁
性合金膜に応力がかかり、その磁気特性が劣化したり、
磁性合金膜やガラスがはがれてしまう恐れは低くなる。
また、このガラスは変形温度が500℃以下と低いので
、磁性合金膜に熱的な悪影響を与えることなく、磁気コ
アを接合できる。ガラス接合はガラス組成により異なる
が、変形温度より70〜150℃程度高い温度で行う。
この接合温度が高いと、磁性合金膜の磁気特性が劣化し
、磁気ヘッドに悪影響を及ぼす。さらに、このガラスは
マイクロビッカース硬度Hvが320以上と高いので、
記録テープを相対速度5.8rl/secで磁気ヘッド
に走行させたときに、ガラス接合部にキズがつきにくく
、特に摩耗しやすいという問題は発生しない、その他に
も、このガラスは耐候性や硬度以外の機械的性質に優れ
ているので、磁気ヘッドの加工・組立て・洗浄時にクラ
ンク、ワレ、洗浄液による侵食などが発生しにくい。さ
らに、磁気ヘッドのより高性能化を図るためには、本発
明によるガラスとして熱膨張係数を100×10”−’
〜160X10−7/℃の範囲で自由に制御できしかも
変形温度430℃以下及びマイクロビッカース硬度I−
f v 330以上のpbo−P2O5−p、○、系ガ
ラスを用いた方が良い。変形温度を430℃以下にする
ことによって接合温度を500℃以下にできるので、各
種磁性合金膜に対応できるようになる。また、マイクロ
ビッカース硬度Hvを330以上にすることによって、
記録テープの相対速度を5.8m/sec以上にしても
、ガラス接合部は摩耗量が少ない。
本発明によるp b o−P2O,−P2O,系ガラス
において、pboは熱膨張係数の増大(熱膨張係数の制
御)、高硬度化及び耐候性の向上、P2O5は、変形温
度の低下及び加工性の向上、p、o、はガラス安定性の
向上及び高硬度化に貢献する成分である。このガラスは
少なくともPbOの含有量を25wt%以上、またはV
2O5の含有量を55wt%以下にする必要がある。p
boが25wt%未満またはv2O5が55wt%を超
えると、ガラスの熱膨張係数が100xlO−77’C
未満となり、しかも良好な耐候性が得られなくなる。好
ましくは、主成分としてPbO25〜65wt%、V2
O,15〜55wt%及びP、0,15〜50wし%の
組成範囲からなるガラスが適している。
pboが65wt%を超えると、またV2O5が15w
t%未満では、ガラスがもろくなり、磁気ヘッド用接合
ガラスとして使用しにくくなる。
P2O,が15wt%未満では加熱によって結晶化を起
こしやすくなり、良好な接着強度が得られない、一方、
50wt%を超えると、ガラスの変形温度が上昇するた
め、接合温度が高くなり、磁性合金膜に悪影響を及ぼす
。さらに組成を主成分としてPbO30〜65wt%、
V2O,15〜55wし%及びP、0S20〜40wj
%に限定することによってより好ましいガラスを作製す
ることができる。すなわち、熱膨張係数を100〜16
0×10−7/℃の範囲で自由に制御でき、しかも変形
温度430℃以下及びマイクロビッカース硬度Hv33
0以上のガラスを得ることができる。ガラスの化学耐久
性及び機械的性質をより向りさせるため、ガラス成分と
して、さらにsb、o、。
Bi2O,及びBaOのうち少なくとも一種(以上)を
20wt%以下含有することが望ましい。しかし、20
wt%を超えるとガラスの変形温度が上昇し、接合温度
が高くなりすぎる。特に、5b2o。
やBi2O5は20wt%を超えると結晶化を起こしや
すくなる。また、熱膨張係数が小さくなりすぎる。
さらに、ガラス成分として、TQ20.Fe2O、、T
ie、、ZnO,CdO,MgO及びAQ。
0、のうち少なくとも一種以上を10wt%以下に含有
しても良い、TQ、OとCdOはガラスの変形温度の低
下に効果があるが、10wt%を超えると結晶化を起こ
しやすくなる。Fe、03゜ZnO,MgO及びA、Q
20.はガラスの化学的耐久性及び機械的性質に効果が
あるが、10wt%を超えると上記同様に結晶化を起こ
しやすくなり、しかも熱膨張係数が減少する。
本発明の磁気ヘッドには、上記接合ガラスを用いるので
磁性合金膜としてCO系非晶質合金またはセンダスト系
合金が有効に用いられる。これらの合金は磁気ヘッドに
使用するにあたり、フェライトより熱的性質が劣るが、
飽和磁束密度が8000G以上とフェライトより著しく
大きいため、磁気ヘッドの高性能化を図ることができる
。また、磁性合金膜を非磁性絶縁体膜を介し多層化する
ことによって、より高性能を図ることもできる。その他
の磁性合金膜として、パーマロイ、アルパーム、Fe−
C系合金などを用いても良い。さらに、本発明の磁気ヘ
ッドには、磁性合成膜を形成する支持基板として、熱膨
張係数100×10”−’/“C以上及びマイクロピン
カース硬度Hv 600以上の材料を用いるため、磁性
合金膜の熱膨張係数に合わせることができ、しかも記録
テープなどを走行させたときの摩耗量が少ない。さらに
、好ましくは非磁性セラミックスであることが望まれる
非磁性であることによって、磁気ヘッドは高周波領域に
おける磁気特性の劣化が発生しないため。
広帯域において良好な記録再生特性を示す磁気ヘッドが
得られる。
したがって、本発明の磁気ヘッドはメタルテープや装着
テープなどに使用される高保持力記録媒体に対しても十
分な記録ができ、しかも磁気ヘッドと記録テープとの相
対速度を大きくしても長時間安定して使用できるので、
VTRなどの磁気記録再生装置の高密度記録化を著しく
図ることができる。
現在のV HS −V T Rのテープ相対速度は5.
8m/secであるが、将来、VTRは高密度記録化を
より図るためにさらに相対速度が高速化される0本発明
の磁気ヘッドは5 、8 m /sec以上の速度でも
十分に対応できる。
〔実施例〕
本発明を実施例により説明する。
第1図に代表的な磁気ヘッドの斜視図を示す。
1.1′は磁性合金膜、2,2′はこの磁性合金膜を形
成するための支持基板、3,3′は磁気コアを接合に用
いるガラスである。4,4′は接合ガラスが磁性合金膜
を侵食しないようにするための反応防止膜である。5は
ギャップ突き合わせ部で、非磁性絶縁体膜を介し、作動
ギャップを形成している。6はコイル巻線窓である。
上記磁性合金膜1,1′は、好ましくは第2図に示すよ
うに非磁性絶縁体111120,21,22゜20’、
21’、22’を介し、多層化した方が良い。
次に第1図で示した磁気ヘッドの製造方法について説明
する。第3図に示すように、支持基板2にコイル巻線窓
用の溝7とトラック溝8を設け、ギャップ突き合わせ面
を形成する0次に第4図に示すように、ギャップ突き合
わせ面に磁性合金膜1及び反応防止膜4をスパッタし、
この磁性合金膜の耐熱温度以下でトラック溝8に接合ガ
ラス3を充填する。この磁性合金膜は先に述べたように
、単層ではな(、非磁性M縁体膜を介し、多層化させた
方が良い。次に第5図に示すように、不要なガラスと磁
性合金膜を研磨し除去することによって、コイル巻線窓
用の溝7と所要のトラック幅tをギャップ突き合わせ面
に形成し、−点鎖線Aで切断し、一対の磁気コアブロッ
ク9,10をtJ造する。これらの磁気コアブロックの
ギャップ突き合わせ面にそれぞれ非磁性ギャップ材11
を所定量スパッタし、第6図に示すように突き合わせ。
磁性合金膜の耐熱温度以下で接合した。次に。
点鎖線B及びB′で順次切断し、第1図で示した磁気ヘ
ッドを製造する。
実施例に用いた磁性合金膜を第1表に示す。これからも
わかるようにGo系非晶質合金及びセンダスト系合金は
フェライトの飽和磁束密度である4、 OOO〜500
0Gに比べ、2倍以上の飽和磁束密度をもつので、磁気
ヘッドの高性能化に与える影響は多大である。しかし、
フェライトより熱膨張係数が大きいので、支持基板や接
合ガラスはその熱膨張係数にある程度合わせる必要があ
る。
また、フェライトより耐熱温度が低いため、磁気コアの
接合は、この耐熱温度以下で行う必要がある。
実施例に用いた支持基板を第2表に示す、支持基板は磁
気ヘッドの耐摩耗性の点でマイクロビッカース硬度Hv
が少なくとも600は必要である。
さらに、支持基板はこれに形成される磁性合金膜の熱膨
張係数にある程度合わせる必要があったので、第1表に
示した磁性合金膜AのCo系非晶質合金Co@s−N 
b13  Z r4には、第2表a〜cの支持基板を用
いた。また、磁性合金膜Bのセンダスト系台金F8□−
8i、−AQ7には、第2表C及びdの支持基板を用い
た。
高飽和磁束密度を有する磁性合金膜からなる磁気コアノ
接合ガラストして、pbo−v、o、−p、o。
系ガラスを検討した。この代表的なガラスの組成と特性
を第3〜6表に示す。これらのガラスの製造方法は、ガ
ラス原料を所定量配合し、電気炉中で1050℃で2時
間溶融させ、所定の受は具に流し込みガラスブロックを
得た。また、比較のため従来ガラスの組成と特性を第7
表に示す、なお、各ガラスの特性は以下の測定方法によ
って求めた。
(1)熱膨張係数及び変形温度 5φX30mの円柱に加工したガラスを測定試料として
、熱膨張計を用いて、空気中、昇温速度5℃/麿inで
測定した。
(2)マイクロビッカース硬度Hv 圧子荷重100gf及び荷重時間15secの条件で測
定した。
(3)耐水性 一辺が511flの立方体に加工したガラス片を70℃
の蒸留水40ccに2時間浸したときの重量減少率で評
価した。
従来ガラスは第7表かられかるように、PbO−B、○
□を基本系とするガラスであり、熱膨張係数が大きいガ
ラスはど、変形温度及び硬度が低く。
しかも耐水性が悪い傾向を示す。第7表のN(L(62
)〜(64)のガラスは硬度などの機械的性質及び耐水
性などの化学的性質を向上させるために、S i O,
やAQ203を含有している。しかし、このような酸化
物は熱膨張係数を小さくするという問題がある。Tfi
在、多種多様の低温接合ガラスとして、実用化されてい
るガラスは、同&(62)〜(64)のようなP b 
O−B2O5−S i O。
AQ20□系ガラスである。しかし、このようなガラス
においても、磁性合金膜を用いた磁気コアの接合ガラス
としては、硬度が小さく、しかも耐水性が悪い、しかも
、熱膨張係数の範囲が各種磁性合金膜のその範囲に適合
していない、このため、磁気ヘッドの量産性、耐久性、
信頼性などの点で問題があった。PbO−B、03の2
元系ガラスでは、第7表の&(65)のガラスのように
、熱膨張係数を大きくしようとしても、せいぜい130
×10””/”C程度である。このようなガラスの熱膨
張係数をより上昇させるためには、第7表のNo(66
)〜(69)のガラスのように、重金R酸化物やアルカ
リ金属酸化物などを含む必要がある。
しかし、硬度がより低くなり、しかも耐水性が著しく悪
いので、磁気コアの結合には用いることはできない。し
たがって、従来ガラスでは、磁性合金膜からなる磁気コ
アの接合ガラスとしては適していない。
次に、本発明によ7) P b o−V2O5−p、o
f系ガラスについて説明する。この3元系のガラスは第
3表かられかるように、Pboの含有量が25wt%未
満及びV2O,の含有量が55wt%を超えるガラスN
ci 1では熱膨張係数がl OOX 10−″7/℃
未満と小さく、シかも耐水性が悪いという問題がある。
また、V2O,の含有量が15wt%未満及びPbOの
含有量が65wt%を超えるガラスNα9ではガラスが
もろくなり、加工性に劣るという問題がある。さらに、
P2O,の含有量が15wt%未満のガラスNci 1
0及び17は加熱によって結晶化を起こすため、良好な
流動性が得られず、接着強度が小さいという問題がある
。一方、p 2. o 、の含有量が50wt%を超え
るガラス勤16及び23では、変形温度が500’Cを
超えるため、接合温度が高くなりすぎるという問題があ
る。第3表のその他のガラスは、PbO25〜65wt
%、720515〜55wt%及びP2O。
15〜50wt%の組成範囲に属し、上記のような問題
はなく、第7表の従来ガラスに比較しても、熱膨張特性
、変形温度、硬度及び耐水性が非常に優れている。また
、硬度以外の機械的性質も優れていた。
次に、上記組成範囲に属すガラスの特性について説明す
る。第7〜9図はガラス組成と特性の関係を示したもの
である。プロット点近傍に記した数字は第3表のガラス
にαである。第7図では、p、o、の含有量を一定とし
、Pboの量XとV2O,の含有量の影響を調べた。そ
の結果、PbOを増加させ、V2O,を減少させると、
熱膨張係数、変形温度及び硬度が増加することがねがっ
た。前記量Xが25〜65wt%の範囲では。
熱膨張係数が100〜160xlO−7/℃1i形温度
が320〜430℃及びマイクロビッカース硬度Hvが
320〜370の範囲で変化する。また耐水性は第3表
かられかるように良好な結果が得られている。第8図で
は、Pboの含有量を一定とし、■20.とP2O,の
含有量の影響を調べた。
その結果、P2O,の量yを増加させ、V2O5を減少
させると、熱膨張係数の変化はほとんど認められないが
、変形温度及び硬度が上昇することがわかった。前記量
yが15〜50wt%の範囲では、熱膨張係数は約11
0×10−’/”Cと一定であり、変形温度が310〜
500℃及びマイクロビッカース硬度Hvが320〜4
30の範囲で変化する。
また、耐水性は第3表かられかるように良好な結果が得
られている。第9図では、V2O,の含有量を一定とし
、、pboとP2O3の含有量の影響を調べた。その結
果、pboのjtzを増加させ、P2O、を減少させる
と、熱膨張係数は増加し、変形温度及び硬度が低くなる
ことがわがった。前記量2が25〜55wt%の範囲で
は、熱膨張係数が100〜1−50 X 10″″7/
℃、変形温度が4.60〜340℃及びマイクロビッカ
ース硬度Hvが420〜330の範囲で変化する。また
、耐水性は第3表かられかるように、良好な結果が得ら
れている。
以上より、各ガラス成分の主な働きは、PbOが熱膨張
係数の制御、V2O5が変形温度の低下及びP2O5が
硬度の上昇に効果があることがわかる。
したがって、PbO25〜65wt%、■20515〜
55wt%及びP2O515〜50 w t%の組成範
囲にあるガラスは、熱膨張係数を100〜150X10
″″77℃の範囲で自由に制御でき、しかも変形温度5
00℃以下及びマイクロビッカース硬度Hv 320以
上という従来ガラスより優れた特性をもつので、磁性合
金膜からなる磁気コアの接合に適している。さらに、ガ
ラス組成をPbO30〜65wt%、V、0515〜5
5w+、%及びP2O,20〜40wt%に限定すると
、第3表のHa 3〜8 、12〜14及び19〜21
のように、熱膨張係数を上記同様に制御することができ
るとともに、変形温度を430℃以下と低くでき、しか
もマイクロビッカース硬度Hvを330以上と大きくで
きるので、より磁気コアの接合ガラスとして有効である
第4表のガラスはpbo−v2o、−p2o、の3元系
をもとに、さらに成分として5b203、Bi2O,ま
たはBaOを加えたものである。これらの酸化物を加え
ると、第4表から明らかなように硬度及び耐水性がより
向上するという特徴がある。しかし、これらの含有量が
20wt:%を超えると、Na25,31及び34のガ
ラスのように変形温度が上昇したり、結晶化を起こすと
いう問題がある。このため、第4表のその他のガラスの
ようにS b20.、 B i、○、及びBaOのうち
一種以上を20wt%以下の含有量にする必要がある。
第5表及び第6表のガラスはpbo−v、os−P2O
,の3元系をもとに、さらに成分としてTQ20.Cd
O,Fe2O,、Tie、、ZnO。
MKOまたはAQ、03を加えたものである。また、H
a 43 、44 、48 、50及び51のガラスに
は上記成分のsb、o3を含む、TQ、OやCdOを含
むガラスNα39〜42.45〜47及び49は、これ
らの成分を含まないガラスより変形温度が低く、しかも
熱膨張係数が若干大きいという特徴がある。しかし、T
Q、○やCdOの含有量が10wt%を超えると、Nα
39や45のガラスのように、結晶化を起こし、さらに
耐水性も悪くなるという問題がある。この耐水性を向上
させるために、Na 43 、44 、48 、50及
び51のガラスのように、sb、o3をさらに加えた。
この結果、耐水性は第9表に示したガラスと同程度のも
のとなった。Fe2O5、’rio、、ZnO,MgO
及びA1120、を含むガラスNci52〜61は、こ
れらの成分を加えることによって、硬度及び耐水性が向
上している。しかし、これらの含有量が1.、 Ow 
t%を超えると、&53.55,57.59及び61の
ガラスのように、結晶化を起こし、しかも熱膨張係数が
小さくなるという問題がある。このため、T Q 、 
O、Cd O、F e 203 、 T i O2,Z
 n O。
MgO及びAl2O5の含有量は10wし%以下にする
必要がある。
第1表の磁性合金膜、第2表の支持基板及び第3〜7表
中の代表的な接合ガラスを用いて、第1図に示した磁気
ヘッドを作製し評価した。
〈実施例1〉 磁性合金膜として、Go系非晶質合金であるC o、3
− N bl、 −Z r4を、その支持基板としてM
 n −Z n系フェライトを用いた。接合ガラスには
、磁性合金膜の耐熱温度、及び磁性合金膜と支持基板の
熱膨張係数を考慮し、第3〜7表中から適当なものを選
んだ。これらの材料を用いて第1図の磁気ヘッドを作製
した。その3f価結果を第8表に示す。ここで、接合温
度は磁気ヘッドを作製する際のガラス充填及びガラス接
合するための温度である。この温度はガラスが10’p
oise程度の粘度を示す温度であり、使用するガラス
によって異なる。ヘッド製造歩留りは磁気ヘッドを作製
する際の加工及び組立ての歩留りである。ヘッドチップ
強度は得られた磁気ヘッドチップがどの程度の荷重によ
り破壊するかを測定したものである。
テープ摺動試験(摩耗特性)は得られた磁気ヘッドをV
TRのシリンダーに取り付け、メタルテープを相対速度
3.75m/sec、5.8m/sec及び]、、 1
. m / seeで300時間走行させ、磁気ヘッド
のテープ摺動面をamすることによって、ガラス接合部
のへこみやキズの付き具合い、さらに記録媒体の付着具
合いから耐摩耗性や耐久性を判断した。
従来ガラスIQ(62)〜(64)を磁気コアの接合に
用いた場合には、これらの熱膨張係数がC。
、3−Nb、、−Zr4非晶質合金及びM n −Z 
n系フェライトのそれとある程度合っているので、66
〜78%のヘッド製造歩留りが得られた。しかし、これ
らのガラスは機械的性質に劣るので、良好なベツドチッ
プ強度が得られず信頼性に欠ける。
テープ摺動試験では、テープの相対速度が3.75m/
secのときには良好な結果が得られたが。
5 、8 m /sec及びl1m/secのときには
、ガラス接合部のへこみが大きく、しかもテープの摺動
キズがついていた。さらに、接合ガラスと磁性合金膜の
境には記録媒体が付着していた。記録媒体が磁気ヘッド
に付着すると、磁気ヘッドの磁気特性を劣化させる。
従来ガラスNo(65)及び(66)を接合ガラスに用
いた場合には、ヘッド製造歩留り及びベツドチップ強度
が著しく低い。これは、Na(65)及び(66)のガ
ラスの熱膨張係数がCo、、−Nb□、−Zr4非晶質
合金やM n −Z n系フェライトより大きく、しか
もこれらの機械的性質及び耐水性が劣るために、クラッ
ク、カケ及び洗浄液による侵食が多発したことが原因で
ある。また、テープ摺動試験では、Nu(62)〜(6
4)のガラスを用いた場合よりガラス接合部の摩耗量が
大きく、磁気ヘッドの信頼性に著しく欠ける。
以上より、従来ガラス&(62)〜(66)を用いた磁
気ヘッドは満足のいくものでなかった。これら比較例に
対し、実施例ではCO□3  ub、。
Zr、非晶質合金やM n −Z n系フェライトの熱
膨張係数にある程度合うガラスNa2,3,4゜28及
び5を用いた場合には、機械的性質や耐水性が優れてい
るのでヘッド製造歩留り、ベツドチップ強度及びテープ
摺動試験において良好な結果が得られた。また、磁気特
性の劣化も確認されなかった。しかし、Na 2のガラ
スではマイクロビッカース硬度Hvが320と他のガラ
スより低いため、11 m / secのテープ相対速
度では、ガラス接合部の摩耗量が大きかった。Nα3の
ガラスのマイクロビッカース硬度Hvが330であるこ
とから、マイクロビッカース硬度I(vが330以上で
あれば、l1m/secのテープ相対速度においても良
好な摩耗特性が得られることがわかった。
方、&6及び42のガラスでは、熱膨張係数が大きいた
め、ガラス接合部に引張り応力がかかり。
ガラスとしては、破壊しやすい状態にあったので、ヘッ
ド製造歩留り及びヘッドチップ強度は、上記実施例のガ
ラスよりは低かった。テープ摺動試験においては、Nc
 6及び42のガラスは硬度が高いためにテープの相対
速度が1.1 m / secであっても、Na2のガ
ラスのように1M耗の点では問題はなかった。したがっ
て、特にN+13.4.28及ば5のガラスを用いた磁
気ヘッドは磁気特性、耐摩耗性、耐久性及び量産性に優
れている。また、このような磁気ヘッドは、VTRなど
の磁気記録再生装置の高性能化に多大な効果をもたらす
〈実施例2〉 磁性合金膜として、 Col1.−Nb、3−Zr、非
晶質合金を、その支持基板としてM g O−N i 
O系セラミックスを用いて第1図の磁気ヘッドを作製し
た。磁気コアの接合に用いたガラス及び磁気ヘッドの評
価結果を第9表に示す。接合ガラスにはCOs3N b
 13  Z r 4非晶質合金が結晶化を起こさない
温度範囲で作業できるものを選んだ。
なお、評価法は実施例1と同様である。
従来ガラス&(62)〜(66)を用いた比較例の磁気
ヘッドは、ヘッド製造歩留り、ヘッドチップ強度及びテ
ープ摺動試験において満足のいくものではなかった。こ
れらに対し、実施例の磁気ヘッドはNo 50のガラス
を用いた磁気ヘッド以外は良好な結果が得られた。また
、磁気特性の劣化は認められなかった。特に、NQl、
2,38.47及び44のガラスを用いた磁気ヘッドに
おいては、第9表から明らかなように、優れた結果が得
られている。これは&12,38,4.7及び44のガ
ラスがCo、ffN bl、  ’l、 r4非晶質合
金やMg0−N i O系セラミックスの熱膨張係に近
く、しかも機械的性質及び耐水性に優れているためであ
る。
さらに、これらの磁気ヘッドは、支持基板として、非磁
性材であるM g O−N i O系セラミックスを用
いているため、高周波記録再生特性が実施例1の磁気ヘ
ッドより優れていた。Na 50のガラスを用いた磁気
ヘッドはこのガラスの熱膨張係数がGo、3−Nb13
−Z r4非晶質合金やMg0−N i O系セラミッ
クスのそれらより大きいために、ヘッド製造歩留り及び
ヘッドチップ強度が実施例の他の磁気ヘッドより低い。
また、Nα37のガラスを用いた磁気ヘッドは、ガラス
の熱膨張係数がM g O−N i O系セラミックス
に対し小さすぎるため、ヘッド製造歩留り及びヘッドチ
ップ強度が若干低い、Nn40のガラスを用いた場合に
は、このガラスのマイクロビッカース硬度Hvが320
と他の実施例のガラスより低いため、11m/5f3Q
のテープ相対速度ではガラス接合部の摩耗量が大きかっ
た。その他の実施例のガラスはマイクロビッカース硬度
Hvが330以上と高い。
以上より、Nn12,38.47及び44のガラスを用
いた磁気ヘッドは磁気特性、耐摩耗性、耐久性及び量産
性に優れているので、VTRなどの磁気記録再生装置の
高性能化に多大な効果をもたらす。
〈実施例3〉 磁性合金膜として、COs:l−N b、、−Z r、
非晶質合金をその支持基板としてM n O−N i 
O系セラミックスを用いて第1図の磁気ヘッドを作製し
た。磁気コアの接合に用いたガラス及び磁気ヘッドの評
価結果を第10表に示す。接合ガラスにはCo、、−N
b、、−Z r’、非晶質合金が結晶化を起こさない温
度範囲で作業できるものを選んだ。
なお、評価法は実施例1と同様である。
従来ガラスNci(63)〜(67)を用いた比較例の
磁気ヘッドは、ヘッド製造歩留り、ヘッドチップ強度及
びテープ摺動試験において満足のいくものではなかった
。これらに対し、実施例の磁気ヘッドは良好な結果が得
られた。また、磁気特性の劣化は認められなかった。特
に、Na27,38及び48のガラスを用いた磁気ヘッ
ドにおいては、第10表から明らかなように、優れた結
果が得られている。これは、Nα27,38及び48の
ガラスがGo、、、−Nb□、−Zr4非晶質合金やM
 n 0−Ni0系セラミツクスの熱膨張係数に近く、
しかも機械的性質及び耐水性に優れているためである。
さらに、これらの磁気ヘッドは、支持基板として非磁性
材であるM n O−N iO系セラミックスを用いて
いるため、実施例2の磁気ヘッドと同様に高周波記録画
性特性が実施例1の磁気ヘッドより優れていた。Na2
4..56及び42を用いた磁気ヘッドはこれらのガラ
スの熱膨張係数がGo、1i−Nb、、−Zr4非晶質
合金やM n O−NiO系セラミックスのそれらに少
し合わないので、ヘッド製造歩留り及びヘッドチップ強
度が若干低い、また、&49のガラスを用いた磁気ヘッ
ドは、ガラスの硬度などの機械的性質が若干力るので、
Nn27,28,38及び48のガラスを用いた磁気ヘ
ッドのような特性が得られなかった。
以上より、N1127.38及び48のガラスを用いた
磁気ヘッドは磁気特性、耐摩耗性、耐久性及び量産性に
優れているので、VTRなどの磁気記録再生装置の高性
能化に多大な効果をもたらす。
〈実施例4〉 磁性合金膜として、センダスト系合金であるF e B
 4  S x g  A Q 7を、その支持基板と
してM、 n O−N i O系セラミックスを用いて
、第1図の磁気ヘッドを作製した、磁気コアの接合に用
いたガラス及び磁気ヘッドの評価結果を第11表に示す
。なお、評価法は実施例1と同様である。
従来ガラスNQ(65)〜(69)を用いた比較例の磁
気ヘッドは、ヘッド製造歩留り及びヘッドチップ強度が
著しく低く、しかもガラス接合部が非常に摩耗しやすい
ため、高性能磁気記録再生装置には使用できない、これ
らに対し、第11表から明らかなように実施例の磁気ヘ
ッドは良好な結果が得られた。特に、Nα19,6及び
30のガラスを用いた磁気ヘッドにおいては、優れた結
果が得られている。これらはNn19,6及び30のガ
ラスの熱膨張係数がMn○−NiO系セラミックスのそ
れに近いことが原因である。さらに、これらの磁気ヘッ
ドの磁気特性には劣化が認められず、しかも、高周波領
域において記録再生特性が優れていた。しかし、Nn1
3及び20のガラスを用いた磁気ヘッドには、Fe、、
−5ig−Afi7合金の熱膨張係数に対し、Nα13
及び20のガラスの熱膨張係数が小さすぎるため、磁気
特性の劣化が生じた。Nci7及び8のガラスを用いた
磁気ヘッドは、磁気特性の劣化は認められなかったが、
Nα7及び8のガラスの熱膨張係がM n O−N i
 O系セラミックスのそれより大きいため、ヘッド製造
歩留りがその他の実施例の磁気ヘッドより低い。
以上より、N(119,6及び30のガラスを用いた磁
気ヘッドは磁気特性、耐摩耗性、耐久性及び量産性に優
れているので、VTRなどの磁気記録再生装置の高性能
化に多大な効果をもたらす。
〈実施例5〉 磁性合金膜としてF e@4  S l、  A Q7
合金を、その支持基板としてTiO2−NiO−CaO
系セラミックスを用いて、第1図の磁気ヘッドを作製し
た。磁気コアの接合に用いたガラス及び磁気ヘッドの評
価結果を第12表に示す。なお、評価法は実施例1と同
様である。
従来ガラスNα(65)〜(67)を用いた比較例の磁
気ヘッドは、ヘッド製造歩留り及びヘッドチップ強度が
著しく低く、しかもガラス接合部が非常に摩耗しやすい
ため、高性能磁気記録再生装置には使用できない。これ
らに対し、第12表から明らかなように、実施例の磁気
ヘッドは良好な結果が得られた。特にNo、29.30
及び51のガラスを用いた磁気ヘッドにおいては、優れ
た結果が得られている。これは、Nα29,30及び5
1のガラスの熱膨張係数がTie2−NiO−CaO系
セラミックスのそれに近いことが原因である。
さらに、これらの磁気ヘッドの磁気特性には劣化が認め
られず、しかも高周波領域で良好な記録再生特性を示し
た。しかし、Na36及び20のガラスを用いた磁気ヘ
ッドには、このガラスの熱膨張係数がFe、14−8i
、−Aj2.合金のそれより小さすぎるために、磁気特
性の劣化が生じた。Nα18及び41のガラスを用いた
磁気ヘッドは磁気特性の劣化は認められなかったが、こ
れらのガラスの熱膨張係数がTie、−NiO−CaO
系セラミックスのそれより大きいため、ヘッド製造歩留
り及びヘッドチップ強度がその他の実施例の磁気ヘッド
より低い。
以上より、Nn29,30及び51のガラスを用いた磁
気ヘッドは磁気特性、耐摩耗性、耐久性及び量産性に優
れているので、VTRなどの磁気記録再生装置の高性能
化に多大な効果をもたらす。
尚、第10図は前記磁気ヘッドを備えたVTRの概略構
成図を示す、磁気ヘッドであるビデオヘッド11は、そ
れにより収集した情報を処理する色信号処理部12及び
輝度信号処理部13等から成る制御部と接続され、情報
記録媒体であるカセット14の記録テープ15との間で
情報を読み出し、再生、及び記録できるようになってい
る。またビデオヘッド11はモータ16及びモータ駆動
部17を含む駆動部に接続されている。
〔発明の効果〕
本発明によれば、支持基板に形成した磁性合金膜からな
る一対の磁気コアを熱膨張係数が100×10−7/℃
以上ノpbo−v、○s  P2O5系ガラスで接合す
ることによって、磁性合金膜の磁気特性を劣化させるこ
となく、耐摩耗性、耐久性及び量産性に優れた高性能磁
気ヘッドを提供することができる。この系のガラスは熱
膨張係数を100〜1.60X10−7/”Cの範囲で
自由に制御できるので、高飽和に磁束密度の各種磁性合
金膜の熱膨張係数に合わせることができる。しかも、こ
の系のガラスは変形温度が500℃以下と低いので磁性
合金膜へ熱的悪影響を与えずに接合することができる。
特に変形温度が430℃以下のガラスが上記磁気ヘッド
には有効である。さらにこの系のガラスはマイクロビッ
カース硬度Hvが320以上と高いので、磁気コアのガ
ラス接合部の′fJj摩耗性を向上させることができる
。特にマイクロビッカース硬度Hvが330以上のガラ
スが上記磁気ヘッドには有効である。また、この系のガ
ラスは、硬度以外の機械的性質や耐水性にも優れている
ので、上記磁気ヘッドの信頼性を改善させることができ
る。この系のガラスは、好ましくは成分としてさらに、
S b203.B i20.。
Bad、T”Q20.Fe2O5、Tie□、ZnO。
CclO,MgO及びAg2O,のうち少なくとも一種
以上を含むことによって、機械的性質や射水性などをよ
り向上させることができ、上記磁気ヘッドの高性能化に
より効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例における磁気ヘッドの斜視図
、第2図は第1図の磁気ヘッドのテープ摺動面、第3〜
6図は第1図の磁気ヘットの製造方法における各工程の
説明図である。第7〜9図ft、P bo−V2O,−
P2O5系ガラスの組成と特性の関係を示した図、第1
0図はVTRの概略構成図である。 1.1′・・・磁性合金膜、2.2′ ・支持基板、3
.3′ ・・接合ガラス、4.4’ ・・・反応防++
7.1唖、5・ ギャップ突き合わせ部、6・・・コイ
ル巻線窓、20.20’  、21.21’  、22
.22’  ・・・非磁性絶縁体膜、7・・コイル巻線
窓用溝。 8・・・トラック溝、9,10・・磁気コアブロック。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、支持基板及びこの支持基板に設けられた磁性合金膜
    とを備えた磁気コアと、一対の前記磁気コアの間隙をあ
    けて対向する前記磁性合金膜間に設けられて前記一対の
    磁気コアを一体化すると共に熱膨張係数が100×10
    ^−^7/℃を越える範囲のPbO−V_2O_5−P
    _2O_5系の接合ガラスと、を備えた磁気ヘッド。 2、請求項1において接合ガラスは更にSb_2O_3
    、Bi_2O_3、BaO、Tl_2O、Fe_2O_
    3、TiO_2、ZnO、CdO、MgO及びAl_2
    O_3のうち少なくとも一種以上の成分を含む磁気ヘッ
    ド。 3、支持基板及びこの支持基板に設けられた磁性合金膜
    とを備えた磁気コアと、一対の前記磁気コアの間隙をあ
    けて対向する前記磁性合金膜間に設けられて前記一対の
    磁気コアを一体化すると共に下記(1)〜(3)の条件
    を全て充たす接合ガラスと、を備えた磁気ヘッド。 (1)接合ガラスの熱膨張係数は、100×10^−^
    7〜160×10^−^7/℃の範囲で制御できる。 (2)接合ガラスの変形温度は、500℃以下である。 (3)接合ガラスのマイクロビッカース硬度Hvは32
    0以上である。 4、PbO−V_2O_5−P_2O_5系のガラスで
    あって、その熱膨張係数は100×10^−^7/℃を
    越える範囲のものである磁気ヘッド用接合ガラス。 5、下記(1)〜(3)の条件を全て充たす磁気ヘッド
    用接合ガラス。 (1)接合ガラスの熱膨張係数は、100×10^−^
    7〜160×10^−^7/℃の範囲で制御できる。 (2)接合ガラスの変形温度は、500℃以下である。 (3)接合ガラスのマイクロビッカース硬度Hvは32
    0以上である。 6、PbOを25〜65wt%、V_2O_5を15〜
    55wt%及びP_2O_5を15〜50wt%の範囲
    で主成分として含む磁気ヘッド用接合ガラス。 7、請求項6において、成分として更にSb_2O_3
    、Bi_2O_3及びBaOのうち少なくとも一種以上
    を20wt%以下含有し、又はTl_2O、Fe_2O
    _3、TiO_2、ZnO、CdO、MgO及びAl_
    2O_3のうち少なくとも一種以上を10wt%以下含
    有する磁気ヘッド用接合ガラス。 8、支持基板にトラック溝を有するギャップ突き合わせ
    面を形成する工程と、ギャップ突き合わせ面に磁性合金
    膜をスパッタする工程と、磁性合金膜の耐熱温度以下で
    トラック溝に請求項9又は10に記載の接合ガラスを充
    填する工程と、不要なガラスと磁性合金膜とを研磨除去
    し所定部位を切断して一対の磁気コアブロックを形成す
    る工程と、ギャップ突き合わせ面に非磁性ギャップ材を
    スパッタする工程と、各ギャップ突き合わせ面を突き合
    わせ、磁性合金膜の耐熱温度以下で接合する工程と、そ
    れを磁気ヘッド単位に切断する工程と、を含む磁気ヘッ
    ドの製造方法。 9、支持基板及びこの支持基板に設けられた磁性合金膜
    とを備えた磁気コアと、一対の前記磁気コアの間隙をあ
    けて対向する前記磁性合金膜間に設けられて前記一対の
    磁気コアを一体化すると共に熱膨張係数が100×10
    ^−^7/℃を越える範囲のPbO−V_2O_5−P
    _2O_5系の接合ガラスと、を備えた磁気ヘッドと、
    該磁気ヘッドの駆動部と、磁気ヘッドによる情報記録媒
    体との間の情報処理を制御する制御部と、を備えた磁気
    記録再生装置。 10、支持基板及びこの支持基板に設けられた磁性合金
    膜とを備えた磁気コアと、一対の前記磁気コアの間隙を
    あけて対向する前記磁性合金膜間に設けられて前記一対
    の磁気コアを一体化すると共に下記(1)〜(3) (1)接合ガラスの熱膨張係数は、100×10^−^
    7〜160×10^−^7/℃の範囲で制御できる。 (2)接合ガラスの変形温度は、500℃以下である。 (3)接合ガラスのマイクロビッカース硬度Hvは32
    0以上である。 の条件を全て充たす接合ガラスと、を備えた磁気ヘッド
    と、該磁気ヘッドの駆動部と、磁気ヘッドによる情報記
    録媒体との間の情報処理を制御する制御部と、を備えた
    磁気記録再生装置。 11、請求項9又は10において、磁気ヘッドと情報記
    録媒体とが接触し、その相対速度が5.8m/sec以
    上である磁気記録再生装置。
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