JPS6116005A - 磁気ヘツド - Google Patents
磁気ヘツドInfo
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- JPS6116005A JPS6116005A JP13769484A JP13769484A JPS6116005A JP S6116005 A JPS6116005 A JP S6116005A JP 13769484 A JP13769484 A JP 13769484A JP 13769484 A JP13769484 A JP 13769484A JP S6116005 A JPS6116005 A JP S6116005A
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- glass
- magnetic
- thin film
- film
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
- G11B5/23—Gap features
- G11B5/235—Selection of material for gap filler
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
- G11B5/23—Gap features
- G11B5/232—Manufacture of gap
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
■ 技術分野
本発明は、磁気ヘッド、特に非晶質磁性合金を用いたフ
ロッピーディスク等のデジタル記録に用いるナローギャ
ップ型の磁気ヘッドに関するものである。
ロッピーディスク等のデジタル記録に用いるナローギャ
ップ型の磁気ヘッドに関するものである。
II 先行技術
近年、情報機器の性能の向上とOA化が進むなかで記憶
媒体の一つであるフロッピーディスクの高性能と小型化
が望まれている。
媒体の一つであるフロッピーディスクの高性能と小型化
が望まれている。
このような要求に応えて、8インチのフロッピーディス
クからさらに小型化された5、25インチのフロッピー
ディスクが開発されてきた。゛ また、最近さらに小型化し、記憶容量も8インチフロッ
ピーディスクと同容量の3.5インチのマイクロフロン
ピーディスク(MFD)が実用化に向けて開発されてい
る。
クからさらに小型化された5、25インチのフロッピー
ディスクが開発されてきた。゛ また、最近さらに小型化し、記憶容量も8インチフロッ
ピーディスクと同容量の3.5インチのマイクロフロン
ピーディスク(MFD)が実用化に向けて開発されてい
る。
このように小型化し、かつ大記憶容量をもったフロッピ
ーディスクを実現するためには、高密度記録を実現しな
ければならない。 高密度記録を実現するためには、記
録媒体と磁気ヘッドとに関して新たな特性が要求される
。
ーディスクを実現するためには、高密度記録を実現しな
ければならない。 高密度記録を実現するためには、記
録媒体と磁気ヘッドとに関して新たな特性が要求される
。
記録媒体では性能向上の1つとして高保磁力の磁性材料
の開発が必要になっている。
の開発が必要になっている。
磁気ヘッドにも新たに特性の向上が要求される。 従来
、フロッピーディスク用の磁気ヘッドは、フロッピーデ
ィスクの実用化の初期の段階では磁気ヘッド用コア材に
パーマロイが使用されていた。
、フロッピーディスク用の磁気ヘッドは、フロッピーデ
ィスクの実用化の初期の段階では磁気ヘッド用コア材に
パーマロイが使用されていた。
しかし、パーマロイでは種々の問題がある。
例えば、フロッピーヘッドの使用周波数帯域(125K
Hz−250KHz)とオーディオヘッドの使用周波数
帯域(20KHz以下)を比較すると、フロッピーヘッ
ドの使用周波数帯域は高周波数の帯域である。
Hz−250KHz)とオーディオヘッドの使用周波数
帯域(20KHz以下)を比較すると、フロッピーヘッ
ドの使用周波数帯域は高周波数の帯域である。
しかし、パーマロイは比抵抗が50〜150用Ωcmと
小さいので、高周波帯域での実効透磁率は急激に減少し
、再生出力、S/N比、分解能等の磁気特性が悪くなる
。
小さいので、高周波帯域での実効透磁率は急激に減少し
、再生出力、S/N比、分解能等の磁気特性が悪くなる
。
他方、同しく多様されているフェライトは比抵抗lX1
06 鉢ΩCIOと大きく、しかも磁気キャンプもガラ
ス溶着法を用いるので、強固な狭磁気ギャップが製造で
きる。
06 鉢ΩCIOと大きく、しかも磁気キャンプもガラ
ス溶着法を用いるので、強固な狭磁気ギャップが製造で
きる。
したがって、最近ではフロッピー用磁気ヘッドのコア材
は、フェライトが主に使用されている。 そして、高密
度記録は、磁気ベントのコア材にフェライトを用いるこ
とによって、ある水準までは達成することができる。
は、フェライトが主に使用されている。 そして、高密
度記録は、磁気ベントのコア材にフェライトを用いるこ
とによって、ある水準までは達成することができる。
ところで、さらに高密度記録を達成するためには、磁気
記録媒体であるフロッピーディスクの保磁力(He)は
初期の頃のHc=2700e(磁性体としてγ−Fe2
O3を使用)から、高保磁力の記録媒体(磁性体として
CoをトープしたCo−γ−Fe2O3を使用)のHc
= 630 0eに移行している。
記録媒体であるフロッピーディスクの保磁力(He)は
初期の頃のHc=2700e(磁性体としてγ−Fe2
O3を使用)から、高保磁力の記録媒体(磁性体として
CoをトープしたCo−γ−Fe2O3を使用)のHc
= 630 0eに移行している。
そして、さらに合金粉を磁性体としだ高保磁力の記録媒
体ではHc = l 300 0eに至っている。
体ではHc = l 300 0eに至っている。
従って、磁気ヘッド用コア材はこのような高保磁力記録
媒体に記録するために、高飽和磁束密度をもち、かつ高
周波帯域において実効透磁;Vが減少しない材料の開発
が必要になってきた。
媒体に記録するために、高飽和磁束密度をもち、かつ高
周波帯域において実効透磁;Vが減少しない材料の開発
が必要になってきた。
このため、磁気ヘッド用コア材としてセンダストと非晶
質合金とが注目されている。
質合金とが注目されている。
これらの材料は、フェライトと比較すると飽和磁束密度
も大きいので、高保磁力記録媒体への記録も可能になる
。
も大きいので、高保磁力記録媒体への記録も可能になる
。
しかし、磁気ヘッドの問題は、コアの材質の磁気特性だ
けの問題でなく、信頼性の点から強固なナローギャップ
を41する磁気へ・ンドのギャップ製造法の確立も必要
である。
けの問題でなく、信頼性の点から強固なナローギャップ
を41する磁気へ・ンドのギャップ製造法の確立も必要
である。
センダストについては、銀ロウ溶接による接合が検討さ
れている。
れている。
しかし、非晶質合金の場合には、結晶化温度が低いので
、一定温度以上の処理ができない。
、一定温度以上の処理ができない。
特開+1i’J55−110241号のように2.3の
磁気ギャップ製造方法に関する提案もあるが未だ十分な
解決をみるには至っていない。
磁気ギャップ製造方法に関する提案もあるが未だ十分な
解決をみるには至っていない。
ナローギャップで高磁束密度の磁気ヘッドを−実現する
際には、作製時の性能とともに、経時的な劣化が問題に
なる。
際には、作製時の性能とともに、経時的な劣化が問題に
なる。
すなわち、非晶質磁性合金コア材とギャップ材との相対
的な温度特性、接着性または固着性、残留応力、比抵抗
等によって電磁変換特性が、経時的に、あるいは多数回
の走行により劣化する。
的な温度特性、接着性または固着性、残留応力、比抵抗
等によって電磁変換特性が、経時的に、あるいは多数回
の走行により劣化する。
例えば、特にギャップ長の安定度と関係のある、分解能
、オーバーライド特性、消去特性等に大きな問題があっ
た。
、オーバーライド特性、消去特性等に大きな問題があっ
た。
■ 発明の目的
本発明は、前記の問題を解決するためになされたもので
ある。
ある。
すなわち、非晶質合金を用いた磁気ヘッドにおいて、狭
ギャップ長の強固な磁気ギャップを有し、分解能がよ〈
、高密度記録が可能であり、しかも長時間使用ないし保
存しても電磁変換特性、特に分解能やオーバーライド特
性や消去特性等が劣化しない磁気ヘッドを提供すること
を目的とする。
ギャップ長の強固な磁気ギャップを有し、分解能がよ〈
、高密度記録が可能であり、しかも長時間使用ないし保
存しても電磁変換特性、特に分解能やオーバーライド特
性や消去特性等が劣化しない磁気ヘッドを提供すること
を目的とする。
このような目的は、下記の本発明によって達成される。
すなわち本発明は、
非晶質磁性合金からなるコア半休を、ギャップ材を介し
てつきあわせ一体化してなる磁気ヘッドにおいて、 ギャップ材が1両コア半休の少なくともギャップ面に被
着されたA文、 Z r 、 M o 。
てつきあわせ一体化してなる磁気ヘッドにおいて、 ギャップ材が1両コア半休の少なくともギャップ面に被
着されたA文、 Z r 、 M o 。
W 、 T i 、 T aおよびNbのうちの少なく
とも1種以上からなる薄膜と、この薄膜間にはさまれた
ガラス膜とからなることを特徴とする磁気ヘッドである
。
とも1種以上からなる薄膜と、この薄膜間にはさまれた
ガラス膜とからなることを特徴とする磁気ヘッドである
。
■ 発明の具体的構成
以下、本発明の具体的構成について詳細に説明する。
本発明の磁気ヘッドにおけるコアは、通常、非晶質磁性
合金の薄板から形成される。
合金の薄板から形成される。
非晶質磁性合金をコア材として用いるときには、コアと
しての特性が良好で、またきわめて長期にわたる使用に
よってもヘッドの媒体摺接面の偏摩耗が少なく、周波数
特性や出力レベル変動が少ない点で、良好な結果を得る
。
しての特性が良好で、またきわめて長期にわたる使用に
よってもヘッドの媒体摺接面の偏摩耗が少なく、周波数
特性や出力レベル変動が少ない点で、良好な結果を得る
。
コア材として、非晶質磁性合金薄板を用いる場合、その
組成としては、磁気へンドのコア用のものとして知られ
ている種々の組成であってもよいが、特に飽和磁束密度
Bsが高く、高保磁力磁気記録媒体に好適であるという
点で、下記式(I)で示される組成であることが好まし
い。
組成としては、磁気へンドのコア用のものとして知られ
ている種々の組成であってもよいが、特に飽和磁束密度
Bsが高く、高保磁力磁気記録媒体に好適であるという
点で、下記式(I)で示される組成であることが好まし
い。
式CI) Tx’Ty
上記式中において、Tは、FeおよびCo。
またはFeおよびCoと他の遷移金属元素の1種以上と
の組合せを表わす。
の組合せを表わす。
この場合、必要に応じFeおよびCoとともに組合せ添
加される他の添加元素は、FeおよびCO以外の他の遷
移金属元素(Sc−Zn:Y−Cd ; La−Hg
; Ac以上)であり、例えば、T i 、T i、Z
r、Hf、V、Nb。
加される他の添加元素は、FeおよびCO以外の他の遷
移金属元素(Sc−Zn:Y−Cd ; La−Hg
; Ac以上)であり、例えば、T i 、T i、Z
r、Hf、V、Nb。
Ta、Cr、Mo、W、Mn、Ru、Rh、Pd、O5
、Ir、Pt等の1種類以上をその具体例として挙げる
ことができる。
、Ir、Pt等の1種類以上をその具体例として挙げる
ことができる。
一方、Xは、B、SiおよびB、またはBもしくはSt
およびBと他のガラス化元素の1種類以上との組合せを
表わす。
およびBと他のガラス化元素の1種類以上との組合せを
表わす。
この場合、必要に応じ、B、またはStおよびBととも
に組合せ添加される他のガラス化元素の例としては、P
、C,Ge、Sn、An等の1種類以−ヒを挙げること
ができる。
に組合せ添加される他のガラス化元素の例としては、P
、C,Ge、Sn、An等の1種類以−ヒを挙げること
ができる。
他方、」二足式(1)において、x+y= 100at
%であり、yは20〜27at%である。すなわち、F
eおよびCOを必須成分とする遷移金属元素性分量Xは
73〜80at%であり、BまたはSiおよびBを必須
成分とするガラス化元素成分量yは20〜27at%で
ある。yが20at%未満となると、非晶質化が困難と
なり、また、27at%を越えると残留磁束密度Bsが
減少してしまう。
%であり、yは20〜27at%である。すなわち、F
eおよびCOを必須成分とする遷移金属元素性分量Xは
73〜80at%であり、BまたはSiおよびBを必須
成分とするガラス化元素成分量yは20〜27at%で
ある。yが20at%未満となると、非晶質化が困難と
なり、また、27at%を越えると残留磁束密度Bsが
減少してしまう。
さらに、遷移金属元素成分中の必須成分FeおよびCo
の含有量は、それぞれFe;1.5−5.6at%およ
び、Co ; 45−78 、5at%ある。
の含有量は、それぞれFe;1.5−5.6at%およ
び、Co ; 45−78 、5at%ある。
Fe含有量が1.5at%未満(Co含有量が78.5
at%より人)、あるいは5.6at%を越えると、磁
歪が大きなものとなってしまい。
at%より人)、あるいは5.6at%を越えると、磁
歪が大きなものとなってしまい。
また透f!i率が減少する。
Coが45at%未満となるとBsが減少してしまう。
この場合、上記式CI)において、Tは、上記含有り3
B内にて、FeおよびCOのみからなっても、FeとC
Oと上記した他の添加元素の1挿具−トからなってもよ
い。
B内にて、FeおよびCOのみからなっても、FeとC
Oと上記した他の添加元素の1挿具−トからなってもよ
い。
TがFeとCOのみからなる場合、Fe含有量は、1
、5〜5 、6a’t%、より好ましくは2−5.5a
t%、Co含有量は、67.4−78.5at%、より
好ましくは67.5〜78at%である。TがFeおよ
びCOに加え、他の元素の1種以上を含むfi−4合、
他の遷移金属元素の1種以上は、通常、総計で最大25
at%まで含イ1することができる。
、5〜5 、6a’t%、より好ましくは2−5.5a
t%、Co含有量は、67.4−78.5at%、より
好ましくは67.5〜78at%である。TがFeおよ
びCOに加え、他の元素の1種以上を含むfi−4合、
他の遷移金属元素の1種以上は、通常、総計で最大25
at%まで含イ1することができる。
これ以]−の含有量となると、Bsが低下し、表面性が
悪くなる等の不都合が生じる。
悪くなる等の不都合が生じる。
このような元素の1例としてはNiがある。
Ni添加は、COを置換して、材料コストを低減する等
の効果があるが、Nitが増大するとBsが減少するの
で、Ni含有量は、好ましくは8at%以下である。
の効果があるが、Nitが増大するとBsが減少するの
で、Ni含有量は、好ましくは8at%以下である。
一方、他の元素の1種以上としては、鉄族(Fe、Co
、Ni)以外の8移金属元素であってよいが、鉄族以外
の遷移金属元素の1秤量には、総jl12at%以下で
あることが好ましい。 このとき、Bsの低Fは少なく
、各添加元素特有のすぐれた効果が実現する。
、Ni)以外の8移金属元素であってよいが、鉄族以外
の遷移金属元素の1秤量には、総jl12at%以下で
あることが好ましい。 このとき、Bsの低Fは少なく
、各添加元素特有のすぐれた効果が実現する。
このような元素としては、牡にRu、Cr、Tiのうち
の1秤量」二が好ましい。
の1秤量」二が好ましい。
特に、0.5〜8at%のRuを添加すると、耐摩耗性
が向1−シ、表面性や打抜加重性等が向1−する。
が向1−シ、表面性や打抜加重性等が向1−する。
また、1〜8at%のCrを添加すると、耐食性が向上
する。
する。
そして、0.5−8at%のRuと、l−8at%、特
に2〜6at%のCrを併用添加すると、これらの効果
はさらに向−トし、より好ましい結果を得る。
に2〜6at%のCrを併用添加すると、これらの効果
はさらに向−トし、より好ましい結果を得る。
また、0.05〜2at%のTiを、これらにかえ、よ
り好ましくはこれらに加えて添加するとより好ましい結
果をうる。
り好ましくはこれらに加えて添加するとより好ましい結
果をうる。
さらに、これらRu、Cr、Ti、NI等に加え、Ta
、W、MO等の1種以上を含有させることもできる。
、W、MO等の1種以上を含有させることもできる。
なお、このようにFe、CO以外の他の遷移金属元素を
含有させる場合、これらの総計は20at%以下となり
、Co含有量が47.4〜78.5at%、より好まし
くは475〜78at%、またFe含有量が1.5〜5
.6at%、より好ましくは、2〜5.5at%となる
ことが好ましい。
含有させる場合、これらの総計は20at%以下となり
、Co含有量が47.4〜78.5at%、より好まし
くは475〜78at%、またFe含有量が1.5〜5
.6at%、より好ましくは、2〜5.5at%となる
ことが好ましい。
これに対し、ガラス化元素成分Xは、BあるいはSiお
よびBを必須成分とする。
よびBを必須成分とする。
この場合、B含有量が3.3−27at%、Si含有量
が0−18.2at%となると、Bsが高くなり、薄板
の表面性が向上し、好ましい結果を得る。
が0−18.2at%となると、Bsが高くなり、薄板
の表面性が向上し、好ましい結果を得る。
そして、B含有量が14.1〜26.9at%、Si含
有量が0.1−5.4at%となると、Bsがさらに高
くなり、表面性もさらに向上し、ざらにRu、Cr等の
添加元素の故加効果も顕著となり、より好ましい結果を
得る。
有量が0.1−5.4at%となると、Bsがさらに高
くなり、表面性もさらに向上し、ざらにRu、Cr等の
添加元素の故加効果も顕著となり、より好ましい結果を
得る。
なお、ガラス化元素成分X中には、必要に応じ、Siお
よびB以外の他の元素の1挿具りが含まれていてもよい
、ただ、その総計が0.5at%を越えると非晶質化し
にくくなるので、その含有量は0.5at%以下である
ことが好ましい。 以上詳述したような組成をもつ薄板
は、実質的に長範囲規則性をもたない非晶質体である。
よびB以外の他の元素の1挿具りが含まれていてもよい
、ただ、その総計が0.5at%を越えると非晶質化し
にくくなるので、その含有量は0.5at%以下である
ことが好ましい。 以上詳述したような組成をもつ薄板
は、実質的に長範囲規則性をもたない非晶質体である。
また、板厚は、概ね、lO〜200gm程度である。
このような非晶質磁性合金薄板は、公知の高速急冷法
に従い製造される。
に従い製造される。
すなわち、対応する組成の合金を、気相または液相から
超急冷する。 この場合、通常は、合金を融液となし、
液相から104℃/ s e c以」−1通常104〜
108℃/ s e cの冷却速度で超急冷し、固化さ
せることによって非晶質磁性合金を得る。
超急冷する。 この場合、通常は、合金を融液となし、
液相から104℃/ s e c以」−1通常104〜
108℃/ s e cの冷却速度で超急冷し、固化さ
せることによって非晶質磁性合金を得る。
溶融状態の合金を超急冷するには、溶融合金をノズルか
ら噴射させ、双ロール法、片ロール法、遠心急冷法等公
知の種々の方式、なかでも片ロール法に従い急冷すれば
よい。
ら噴射させ、双ロール法、片ロール法、遠心急冷法等公
知の種々の方式、なかでも片ロール法に従い急冷すれば
よい。
このような非晶質磁性合金薄板は、それを好ましくは絶
縁性接着剤層を介して積層して、所、望の形状のコア半
休とされ、これを後述のように突き合わせて磁気ヘッド
、特にフロッピーディスク用、ビデオ映像用等の磁気ヘ
ッドとされる。
縁性接着剤層を介して積層して、所、望の形状のコア半
休とされ、これを後述のように突き合わせて磁気ヘッド
、特にフロッピーディスク用、ビデオ映像用等の磁気ヘ
ッドとされる。
あるいは、薄板を積層せず、薄板自体を所望の形状のコ
ア半休となし、このコア半休を突き合わせて磁気へフド
、特にフロッピー用、ビデオ用等の磁気ヘッドとされる
。
ア半休となし、このコア半休を突き合わせて磁気へフド
、特にフロッピー用、ビデオ用等の磁気ヘッドとされる
。
このような磁気ヘッド用コア半休は、通常以下のように
して、磁気ヘッドとされる。
して、磁気ヘッドとされる。
まず、好ましくは、超急冷法によって得られた薄板に対
し、所定の熱処理を施す。
し、所定の熱処理を施す。
この熱処理としては、例えば、結晶化温度未満、キュリ
一点以上の温度で施す無磁場中での、特シこ内部歪取り
を目的とする焼鈍処理でもよく、また、結晶化温度およ
びキュリ一点未満の温度で行う、歪取りと磁気特性の改
良を目的とする磁場中での焼鈍処理であってもよい。
一点以上の温度で施す無磁場中での、特シこ内部歪取り
を目的とする焼鈍処理でもよく、また、結晶化温度およ
びキュリ一点未満の温度で行う、歪取りと磁気特性の改
良を目的とする磁場中での焼鈍処理であってもよい。
そして、この後者の磁場中での焼鈍処理としては、静磁
場、回転磁場等のいずれかを用いてもよい。 これら焼
鈍熱処理およびその条件は、非晶質磁性合金の組成と所
望の磁気特性とから、適宜選択して行えばよい。
場、回転磁場等のいずれかを用いてもよい。 これら焼
鈍熱処理およびその条件は、非晶質磁性合金の組成と所
望の磁気特性とから、適宜選択して行えばよい。
次いで1通常は、このような非晶質磁性合金薄板を金型
により打抜き、所定の形状となし、一般に、その複数枚
を絶縁性接着剤により所定トランクTI]となるよう積
層して、コア半休を作製する。
により打抜き、所定の形状となし、一般に、その複数枚
を絶縁性接着剤により所定トランクTI]となるよう積
層して、コア半休を作製する。
なお、コア半体11は、第1図、第2図に示されるよう
な1字状、C字状等公知の種々の形状とすればよい。
な1字状、C字状等公知の種々の形状とすればよい。
次いで、これらコア゛r9体は、以Fのようなギャップ
材を介してつきあわされる。
材を介してつきあわされる。
すなわち、第1図、第2図に1例として示すようにコア
半休11hの少なくともギャップ端面には、AJI 、
Zr 、Mo 、Ti 、W、Ta 。
半休11hの少なくともギャップ端面には、AJI 、
Zr 、Mo 、Ti 、W、Ta 。
Nbのうちの少なくとも1挿具−にからなる薄膜12を
設層する。
設層する。
この薄膜12は、A文、Zr、Mo、Ti 。
W 、 T a 、 N bの単一金属や合金を用いて
スパッタリング法や蒸着法を用いて設層することができ
る。
スパッタリング法や蒸着法を用いて設層することができ
る。
このような第1層は、 An’、 Z r 、Mo 。
T i 、 W 、 T a 、 N b単独でも良い
。 また。
。 また。
A l 、 Z r 、 M o 、 T i 、 W
、 T a 、 N b (7) 2種以上であって
もよいが、そのときには、添加元素の1種以上は、主た
る元素の20wt%以下であることが好ましく、特に、
Lout%以下であることが好ましい。
、 T a 、 N b (7) 2種以上であって
もよいが、そのときには、添加元素の1種以上は、主た
る元素の20wt%以下であることが好ましく、特に、
Lout%以下であることが好ましい。
A I 、 Z r 、 M o 、 T i 、 W
、 T a 、 N bの少なくとも1種以上からな
る薄膜は、比抵抗が小さいので、高周波帯域にて渦電流
を生じ、そのために、磁気ギャップの磁気抵抗が大きく
なり、磁気再生効率も良くなるので、分解能もよくなる
。
、 T a 、 N bの少なくとも1種以上からな
る薄膜は、比抵抗が小さいので、高周波帯域にて渦電流
を生じ、そのために、磁気ギャップの磁気抵抗が大きく
なり、磁気再生効率も良くなるので、分解能もよくなる
。
なお、2種以上の元素を含むとき、スパッタリング法で
は過飽和固溶体になりやすいが、添加性が20wt%以
七になると金属間化合物を形成しやすく、薄膜にクラッ
クが入りやすいので20wt%以下とすることが好まし
い。
は過飽和固溶体になりやすいが、添加性が20wt%以
七になると金属間化合物を形成しやすく、薄膜にクラッ
クが入りやすいので20wt%以下とすることが好まし
い。
この際、磁気キャンプ用の薄膜と磁気へンドのコアの密
着強度をあげるために被着体(磁気へラドコア)の温度
をあげるのが良い。 温度は、被着体の結晶化温度以下
である必要があり、好ましくは250℃以下である。
着強度をあげるために被着体(磁気へラドコア)の温度
をあげるのが良い。 温度は、被着体の結晶化温度以下
である必要があり、好ましくは250℃以下である。
なお、第1層と磁気ヘッドを形成する非晶質磁性合金材
料の熱膨張係数に差異があると、薄n9に応力が残留し
、薄膜にクラックが入るか、さらにすすんでコア半休か
ら薄膜が剥離してしまう。
料の熱膨張係数に差異があると、薄n9に応力が残留し
、薄膜にクラックが入るか、さらにすすんでコア半休か
ら薄膜が剥離してしまう。
しかし、A l 、 Z r 、 M o 、 T i
、 W 。
、 W 。
Ta、Nbの少なくとも1挿具−Lからなる薄膜は、磁
気ヘッド川のコア材と熱膨張係数がほぼ同じなので、こ
のような不都合がない。
気ヘッド川のコア材と熱膨張係数がほぼ同じなので、こ
のような不都合がない。
これらの元素は、カラスの形成元素または修飾元素であ
るので、このA文、 Z r 、 M o 。
るので、このA文、 Z r 、 M o 。
Ti、W、Ta、Nbの少なくとも1挿置りからなる薄
膜間には挟まれたガラス膜を構成する低融点カラス、あ
るいは非晶質磁性合金と反応し、相互に拡散するため、
ガラス薄膜およびコ・ ア寥体と強固に密着する。 その結果、強固な磁気キャ
ンプを形成することができるにのような薄膜の厚みとし
ては、0.05〜2.0Bm、特に好ましくは0.1〜
1.EBtmであることが好ましい。
膜間には挟まれたガラス膜を構成する低融点カラス、あ
るいは非晶質磁性合金と反応し、相互に拡散するため、
ガラス薄膜およびコ・ ア寥体と強固に密着する。 その結果、強固な磁気キャ
ンプを形成することができるにのような薄膜の厚みとし
ては、0.05〜2.0Bm、特に好ましくは0.1〜
1.EBtmであることが好ましい。
膜厚が、2.0pmをこえると、十分な接着強度を得る
ための中間層の効果が失われるためである。
ための中間層の効果が失われるためである。
つまり、第1層成分は酸化されやすい元素であるので、
高温高湿(例えば40℃ 90%RH)で保存すると、
薄膜が酸化ξれ、体積膨張し、磁気ギャップにクラック
が入ってしまい、特性の劣化をまねく。
高温高湿(例えば40℃ 90%RH)で保存すると、
薄膜が酸化ξれ、体積膨張し、磁気ギャップにクラック
が入ってしまい、特性の劣化をまねく。
また、膜厚が0.05gmより少ないと、十分な密着強
度が得られないからである。
度が得られないからである。
薄膜12]−には、第1図、第2図に例示するようにガ
ラス薄膜13を積層する。
ラス薄膜13を積層する。
本発明では、カラス薄v13は、低融点カラスのPbO
−B2O3系のガラスを用い、Pb080−90wt%
、B2.0310−20wt%程度とし、必要な場合に
は融点を下げる元素としてBi2O3やv205等を加
えて所望の融点の低融点ガラスとする。
−B2O3系のガラスを用い、Pb080−90wt%
、B2.0310−20wt%程度とし、必要な場合に
は融点を下げる元素としてBi2O3やv205等を加
えて所望の融点の低融点ガラスとする。
カラス薄@13は、通常スパッタリングにより積層する
。
。
ガラス#膜13は、薄膜12と良好に接着し、充分強固
なギャップを形成する。 し かも、設層する際に、
下地層としての薄膜を損傷しない。
なギャップを形成する。 し かも、設層する際に、
下地層としての薄膜を損傷しない。
カラス薄膜13の軟化温度は500〜700°Cである
ことが好ましい。
ことが好ましい。
ガラス1lliJ13の厚みは、所望の磁気ギャップ長
のO9σ5〜0.7程度であることが好ましい。 ガラ
ス薄膜層が薄い場合、ギャップ長の0.05未満である
と、強固な接着強度が得られない。
のO9σ5〜0.7程度であることが好ましい。 ガラ
ス薄膜層が薄い場合、ギャップ長の0.05未満である
と、強固な接着強度が得られない。
また、’0.7より大であると、下地層である薄膜によ
り、ガラス薄膜形成時の応力を吸収することができずに
、小さなりラックが入ってしまう。
り、ガラス薄膜形成時の応力を吸収することができずに
、小さなりラックが入ってしまう。
この場合、ガラス薄膜の厚みは、ギャップ長の好ましく
は0.1〜0.6であることが好ましい。
は0.1〜0.6であることが好ましい。
なお、ガラス薄膜の厚みは、0.1−1.0川lである
ことが好ましい。
ことが好ましい。
このようにして、少なくとも前部および後部ギャップ突
合せ面に、薄11312と、ガラス薄膜13とを形成し
たコア半体11はギャップ突合せ面を突合せて、一体化
する。
合せ面に、薄11312と、ガラス薄膜13とを形成し
たコア半体11はギャップ突合せ面を突合せて、一体化
する。
この際、第3図に示されるようにガラス薄膜13.13
間にはガラス質14を配設する。
間にはガラス質14を配設する。
そして、これを熱処理してギャップ突き合せ面を融着す
る。
る。
この場合、ガラス質14は、前部および後部ギャップ1
5に配設する。
5に配設する。
ここで用いるガラス質14は、低融点ガラスを用いる。
この場合、その軟化温度は300〜500℃が好ましい
。
。
組成としては、特に、PbO−B2O3系のガラスが好
適である。
適である。
そして、通常Pb0 80〜90wt%、B2O310
〜20wt%とし、他に添加物としてBi2O3または
v205などを添加して所望の軟化温度に調整する。
〜20wt%とし、他に添加物としてBi2O3または
v205などを添加して所望の軟化温度に調整する。
このような低融点ガラスからなる粒状のガラス質14を
ガラス薄膜13を積層した両ギャップ突合せ面近傍に配
設した後、磁気コア全体を300〜500℃で熱処理す
る。 これにより、カラス81!l!13をa層したギ
ャップ突合せ面を融着し、全体をガラス膜とする。
ガラス薄膜13を積層した両ギャップ突合せ面近傍に配
設した後、磁気コア全体を300〜500℃で熱処理す
る。 これにより、カラス81!l!13をa層したギ
ャップ突合せ面を融着し、全体をガラス膜とする。
ガラス薄膜を機械的に充分接着し、しかも他のコア本体
や薄膜2を損傷しないためには、熱処理温度が、ガラス
質の軟化温度から溶融温度であることが必要である。
や薄膜2を損傷しないためには、熱処理温度が、ガラス
質の軟化温度から溶融温度であることが必要である。
以上のようにして形成されたギャップは、全体として4
に麿以下であることが好ましく、より門Iましくは0.
5〜2,0井腸である。 −のとき、本発明の効果は
より顕著に実現する。
に麿以下であることが好ましく、より門Iましくは0.
5〜2,0井腸である。 −のとき、本発明の効果は
より顕著に実現する。
なお、薄H12と、ガラス薄膜13との膜厚の総計は、
全体として、所望とする磁気へ一2Fのギャップ長と等
しいか、または1.2倍以下とすることが必要である。
全体として、所望とする磁気へ一2Fのギャップ長と等
しいか、または1.2倍以下とすることが必要である。
このようにして作製される磁気ヘッドは、フロッピーデ
ィスク用の用途において、きわめて有用である。
ィスク用の用途において、きわめて有用である。
なお、第4図には、第1図、第2図に示されるコア半休
を、第3図に示されるように突き合わせてなる2つのコ
アを、スペーサーを介して一体化して、3ギヤツプ型の
フロッピーヘッドとした例が示される。
を、第3図に示されるように突き合わせてなる2つのコ
アを、スペーサーを介して一体化して、3ギヤツプ型の
フロッピーヘッドとした例が示される。
■ 発明の具体的効果
本発明のAn 、Zr 、Mo 、Ti 、W。
Ta、Nbの少なくとも1挿具りを有する薄膜とカラス
薄膜からなるギャップ材を有し、Fe、Go、Siおよ
びBを主体とする非晶質磁性合金からなるコア半休を有
するが磁気ヘッドは以下のような効果を有する。
薄膜からなるギャップ材を有し、Fe、Go、Siおよ
びBを主体とする非晶質磁性合金からなるコア半休を有
するが磁気ヘッドは以下のような効果を有する。
すなわち、磁気抵抗の高いギャップが形成さ九るので、
オーバーライド特性が良好で分解能が高い。
オーバーライド特性が良好で分解能が高い。
そして、コア本体との密着性がよく、ガラス質との密着
性もよいので、強固な磁気ギャップが形成され、保存性
、耐久性がよい。
性もよいので、強固な磁気ギャップが形成され、保存性
、耐久性がよい。
また、ガラス薄膜間の密着性も、ガラス質を配設するの
で、熱的機械的に安定であり、強固なナローギャンプが
形成される。
で、熱的機械的に安定であり、強固なナローギャンプが
形成される。
これらの結果、使用ないし経時に従い発生するオーバー
ライド特性や分解能の劣化はきわめて少ない。
ライド特性や分解能の劣化はきわめて少ない。
■ 発明の具体的実施例
以下に実施例をあげて、未発明の効果を実証する。
実施例
70 (5,5Fe−94,5Co)−24(10Si
−90B)−BRu からなる合金を用い1片ロール法によって非晶質磁性合
金薄板を得た。 板厚は50#L、11とした。
−90B)−BRu からなる合金を用い1片ロール法によって非晶質磁性合
金薄板を得た。 板厚は50#L、11とした。
この非晶質磁性合金薄板を焼鈍処理し、内部歪取りを行
った。
った。
次に、この非晶質磁性合金薄板上に、スパッタリングに
より、下記表に示される金属を膜厚0 、5 gff+
にて被着し、下地層薄膜とした。
より、下記表に示される金属を膜厚0 、5 gff+
にて被着し、下地層薄膜とした。
次に、第2層カラス薄膜として、コーニング社製(c−
1416)を膜厚0.25p+wに設層した。 この軟
化温度は580℃である6以上のコア半休の形状は第1
図、第2図の形状とし、これらをつきあわせた。
1416)を膜厚0.25p+wに設層した。 この軟
化温度は580℃である6以上のコア半休の形状は第1
図、第2図の形状とし、これらをつきあわせた。
そして、ビーズ状のガラス質〔コーニング社製ガラス(
8463))を、第3図に示されるように、磁気ギャッ
プ近傍に設置し、温度400℃にて熱処理して、wS4
図に示されるようなスリーギャップの磁気ヘッドとした
。
8463))を、第3図に示されるように、磁気ギャッ
プ近傍に設置し、温度400℃にて熱処理して、wS4
図に示されるようなスリーギャップの磁気ヘッドとした
。
キャンプ長は1.、5 g園である。
別に比較のために、ギャップ材として1.5gm厚のT
i箔を用い、熱硬化性樹脂で固着して磁気ヘッドを作製
した。
i箔を用い、熱硬化性樹脂で固着して磁気ヘッドを作製
した。
これら各サンプルについて以下の測定を行った。
1)分解能
内周を125KHz(この際の出力をIFとする)で書
き込みを行い、外周を250KHz(この際の出力を2
Fとする)で書き込み、録再の出力を測定して2F/I
Fを百分率で示し、分解能とする。
き込みを行い、外周を250KHz(この際の出力を2
Fとする)で書き込み、録再の出力を測定して2F/I
Fを百分率で示し、分解能とする。
この分解能を初期のものと200パス後のもので測定す
る。
る。
2)オーバーライド(0マer write)特性12
5KHz(出力=IF)で書き込みを行った後に、25
0KHz(出力=2F)で消去しながら書き込みを行い
(重ね書き)2Fを書き込み後のIFの出力IF’ を
測定する。
5KHz(出力=IF)で書き込みを行った後に、25
0KHz(出力=2F)で消去しながら書き込みを行い
(重ね書き)2Fを書き込み後のIFの出力IF’ を
測定する。
1F’/2Fをオーバーライド特性として表しす。
単位はdBである。
単位はdBである。
この消去率を、初期のものと200パス後のもので測定
する。
する。
3)保存性
40℃、90%RHで、240時間後の上記のオーバー
ライド特性の変化率を測定する。
ライド特性の変化率を測定する。
これらの結果を表1に示す。
表1に示される結果により本発明の効果が明らかである
。
。
すなわち本発明の組成、膜厚からなるギャップ材からな
る磁気ヘッドは初期、多数回走行後、劣悪な条件下での
保存後とも、すぐれた多解能およびオーバーライド特性
を示すことが:かる。
る磁気ヘッドは初期、多数回走行後、劣悪な条件下での
保存後とも、すぐれた多解能およびオーバーライド特性
を示すことが:かる。
第1図は本発明のコア半休の1例を示す斜視図、第2図
は、本発明のコア半休の別の例を示す斜視図である。 第3図は、第1図に示すコア半休と、第2図に示すコア
半休を突き合わせたときの正面図、第4図は、第3図に
示すコアからなるスリーへラド型の磁気ヘッドを示す斜
視図である。 11・・・コア半休。 12・・・薄膜。 13・・・ガラス薄膜。 14・・・ガラス質
は、本発明のコア半休の別の例を示す斜視図である。 第3図は、第1図に示すコア半休と、第2図に示すコア
半休を突き合わせたときの正面図、第4図は、第3図に
示すコアからなるスリーへラド型の磁気ヘッドを示す斜
視図である。 11・・・コア半休。 12・・・薄膜。 13・・・ガラス薄膜。 14・・・ガラス質
Claims (10)
- (1)非晶質磁性合金からなるコア半体を、ギャップ材
を介してつきあわせ一体化してなる磁気ヘッドにおいて
、 ギャップ材が、両コア半休の少なくとも ギャップ面に被着されたAl、Zr、Mo、W、Ti、
TaおよびNbのうちの少なくとも1種以上からなる薄
膜と、この薄膜間にはさまれたガラス膜とからなること
を特徴とする磁気ヘッド。 - (2)薄膜の膜厚が0.05〜2.0μmである特許請
求の範囲第1項に記載の磁気ヘッド。 - (3)ガラス膜が、ガラス薄膜を薄膜上に設層し、しか
もガラス薄膜間にガラス質を配設した後、熱処理して形
成される特許請求の範囲第1項または第2項に記載の磁
気ヘッド。 - (4)ガラス薄膜が、軟化温度500〜700℃である
特許請求の範囲第1項ないし第3項のいずれかに記載の
磁気ヘッド。 - (5)ガラス質が、軟化温度300〜500℃である特
許請求の範囲第1項ないし第4項のいずれかに記載の磁
気ヘッド。 - (6)ガラス薄膜の厚みが0.1〜1μmである特許請
求の範囲第1項ないし第5項のいずれかに記載の磁気ヘ
ッド。 - (7)熱処理温度が、ガラス質の軟化温度から溶融温度
である特許請求の範囲第1項ないし第6項のいずれかに
記載の磁気ヘッド。 - (8)磁気ヘッドのギャップ長が4μm以下である特許
請求の範囲第1項ないし第7項のいずれかに記載の磁気
ヘッド。 - (9)第1層とガラス膜からなる膜厚の総計が、所望と
する磁気ヘッドのギャップ長と等しいか、または1.2
倍以下であるように設層する特許請求の範囲第1項ない
し第8項のいずれかに記載の磁気ヘッド。 - (10)非晶質磁性合金がFeとCoとBまたはBおよ
びSiとを主体とし、Ru、CrおよびTiの1種以上
を含む組成からなる特許請求の範囲第1項ないし第9項
のいずれかに記載の磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13769484A JPS6116005A (ja) | 1984-07-03 | 1984-07-03 | 磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13769484A JPS6116005A (ja) | 1984-07-03 | 1984-07-03 | 磁気ヘツド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6116005A true JPS6116005A (ja) | 1986-01-24 |
Family
ID=15204619
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13769484A Pending JPS6116005A (ja) | 1984-07-03 | 1984-07-03 | 磁気ヘツド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6116005A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4796133A (en) * | 1986-06-03 | 1989-01-03 | Alps Electric Co., Ltd. | Floating magnetic head |
-
1984
- 1984-07-03 JP JP13769484A patent/JPS6116005A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4796133A (en) * | 1986-06-03 | 1989-01-03 | Alps Electric Co., Ltd. | Floating magnetic head |
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