JPS6116004A - 磁気ヘツド - Google Patents

磁気ヘツド

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JPS6116004A
JPS6116004A JP13769384A JP13769384A JPS6116004A JP S6116004 A JPS6116004 A JP S6116004A JP 13769384 A JP13769384 A JP 13769384A JP 13769384 A JP13769384 A JP 13769384A JP S6116004 A JPS6116004 A JP S6116004A
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JP
Japan
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magnetic head
glass
magnetic
gap
thin film
Prior art date
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Application number
JP13769384A
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English (en)
Inventor
Kazuo Ooya
大矢 一雄
Masao Kakizaki
柿崎 征夫
Sadao Iwatani
岩谷 貞夫
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TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
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Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
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Publication of JPS6116004A publication Critical patent/JPS6116004A/ja
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/187Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
    • G11B5/23Gap features
    • G11B5/235Selection of material for gap filler
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/187Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
    • G11B5/23Gap features
    • G11B5/232Manufacture of gap

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ■ 技術分野 本発明は磁気ヘッド、特に非晶質磁性合金を用いたフロ
ッピーディスク等のデジタル記録に用いるナローキャッ
プ型の磁気ヘッドに関するものである。
II  先行技術 近年、情報機器の性能の向上とOA化が進むなかで記録
媒体の1つであるフロッピーディスクの高性能化と小型
化が望まれている。
このような要求に応えて、8インチのフロッピーディス
クからさらに小型化された5、25インチのフロッピー
ディスクが開発されてきた。
また、@近さらに小型化し、記憶容量も8インチフロッ
ピーディスクと同容量の3.5インチのマイクロフロッ
ピーディスク(MFD)が実用化に向けて開発されてい
る。
このように小型化し、かつ大記憶容量をもったフロンピ
ーディスクを実現するには、高密度記録を実現しなけれ
ばならない。 高密度記録を実現するには、記録媒体と
磁気ヘッドとに関して新たな特性が要求される。
記録媒体では性能向上の1つとして高保磁力の磁性材料
の開発が必要になっている。
磁気へ’y トにも新たに特性の向上が要求される。 
従来、フロンビーディスク川の磁気ヘッドは、フロンピ
ーディスクの実用化の初期の段階では磁気へント用コア
材にパーマロイか使用されていた。
シカシ、パーマロイでは種々の問題がある。
例えば、 フロンピーヘントの使用周波数帯域(125
KHz 〜25−OKHz)とオーディオヘッドの使用
周波数帯域(20KHz以下)を比較すると、フロンピ
ーへンドの使用周波数帯域は高周波数の帯域である。
しかし、パーマロイは比抵抗が50〜150μΩCmと
小さいので、高周波帯域での実効透硼率は急激に減少し
、再生出力、S/N比、分解俺等の磁気特性が悪くなる
他方、同じく多様されているフェライトは比抵抗1xl
O6pLΩ cm と大きく、シかも磁気ギャップもガ
ラス溶着法を用いるので、強固な狭磁気ギャップが製造
できる。
したがって、最近ではフロッピー用磁気ヘッドのコア材
は、フェライトが主に使用されている。 そして、高密
度記録は、磁気ヘッドのコア材にフェライトを用いるこ
とによって、ある水準までは達成することができる。
ところで、さらに高密度記録を達成するためには、ra
気記録媒体であるフロッピーディスクの保磁力(Hc)
は初期の頃のHc=2700e (磁性体としてγ−F
e2O3を使用)から、高保磁力の記録媒体(磁性体と
してCoをトープしたCo−γ−Fe2O3を使用)の
Hc = 630 0eに移行している。
そして、さらに合金粉を磁性体としだ高保磁力の記録媒
体ではHc = 1300 0eに至っている。
従って、磁気ヘッド用コア材はこのような高保磁力記録
媒体に記録するために、高飽和磁束密度をもち、かつ高
周波帯域において実効透磁−にか減少しない材料の開発
が必要になってきた。
このため、磁気ヘッド用コア材としてセンタストと非晶
質合金とが注lコされている。
これらの材料は、フェライトと比較すると飽和磁束密度
も大きいので、高保磁力記録媒体への記録も可能になる
しかし、磁気ヘッドの問題は、コアの材質の磁気特性だ
けの問題でなく、信頼性の点から強固なナローギャップ
を有する磁気ベントのキャップ製造法の確立も必要であ
る。
センダストについては、銀ロウ溶接による接合が検討さ
れている。
しかし、41品質合金の場合には、結晶化温度が低いの
で、一定温度具1−の処理ができない。
特開昭55−110241号のように2.3の磁気ギャ
ップ製造方法に関する提案もあるが未だ十分な解決をみ
るには至っていない。
ナローキャップで高磁束密度の磁気ヘッドを実現する際
には、作製時の性能とともに、経時的な劣化が問題にな
る。
すなわち、非晶質磁性合金コア材とギャップ材との相対
的な温度特性、接着性または固着性、残留応力、比抵抗
等によって電磁変換特性が、経時的に、あるいは多数回
の走行により劣化する。
例えば、特にギャップ長の安定度と関係のある、分解能
、オーバーライド特性、消去特性等に大きな問題があっ
た。
■発明の具体的目的 本発明は、前記の問題を解決するためになされたもので
ある。
すなわち、非晶質合金を用いた磁気ヘッドにおいて、狭
ギャップ長の強固な磁気ギャップを有し5分解能がよく
、高密度記録が可能であり、しかも長時間使用ないし保
存しても電磁変換特性、特に分解能やオーバーライド特
性や消去特性等が劣化しない磁気へ一2ドを提供するこ
とを目的とする。
このような目的は、下記の本発明によって達成される。
すなわち本発明は。
非晶質磁性合金からなるコア半体を、ギャップ材を介し
てつきあわせ一体化してなる磁気ヘッドにおいて、 ギャップ材が1両コア半体の少なくともギャップ面に被
着されたSiおよびBのうちの1種以上からなる下地層
と、この下地層間に介在するガラス膜とからなることを
特徴とする磁気ヘッドである。
■ 発明の具体的構成 以下1本発明の具体的構成について詳細に説明する。
本発明の磁気ヘッドにおけるコアは1通常。
非晶質磁性合金の薄板から形成される。
非晶質磁性合金をコア材として用いるときには、コアと
しての特性が良好で、またきわめて長期にわたる使用に
よってもヘンドの媒体摺接面の偏摩耗が少なく、周波数
特性や出力レベル変動が少ない点で、良好な結果を得る
コア材として、非晶質磁性合金薄板を用いる場合、その
組成としては、磁気ヘッドのコア用のものとして知られ
ている種々の組成であってもよいが、特に飽和磁束密度
Bsが高く、高保磁力磁気記録媒体に好適であるという
点で、下記式CI)で示される組成であることが好まし
く1 。
式CI)TxTy 上記式中において、Tは、FeおよびCo。
またはFeおよびCoと他の遷移金属元素の1種以上と
の組合せを表わす。
この場合、必要に応じFeおよびCoとともに組合せ添
加される他の添加元素は、FeおよひCo以外の他の遷
移金属元素(Sc−Zn;Y−Cd;La−Hg;Ac
以に)テあり、例えばNi、Ti、Zr、Hf、V、N
b、Ta、Cr、MO,W、Mn、Ru、Rh、Pd、
Os、I r、PL等の1種類以上をその具体例として
挙げることができる。
一方、Xは、B、SiおよびB、またはBもしくはSi
およびBと他のガラス化元素の1種類以1との組合せを
表わす。
この場合、必要に応じ、B、またはSiおよびBととも
に組合せ添加される他のガラス化元素の例としては、P
、C,Ge、Sn、 A1等の1種類以上を挙げること
ができる。
他方、上記式CI)において、X+y= 100at%
であり、yは20〜27at%である。すなわち、Fe
およびCoを必須成分とする遷移金属元素性分量Xは7
3〜80at%であり、BまたはSiおよびBを必須成
分とするガラス化元素成分量yは20〜27at%であ
る。yが20at%未満となると、非晶質化が困難とな
り、また、27at%を越えると残留磁束密度Bsが減
少してしまう。
さらに、遷移金属元素成分中の必須成分FeおよびCo
の含有量は、それぞれFe;1.5−5.6at%およ
び、Co ; 45−78 、5at%ある。
Fe含有量が1.5at%未満(Co含有量が78.5
at%より大)、あるいは5.6at%を越えると、磁
歪が大きなものとなってしまい、また透磁率が減少する
Coが45at%未満となるとBsが減少してしまう。
この場合、上記式CI)において、Tは、上記含有量範
囲内にて、FeおよびCoのみからなっても、FeとC
oと上記した他の添加元素の1種以上からなってもよい
TがFeとCoのみからなる場合、Fe含有量は、1.
5−5.6at%、よJJ好ましくは2〜5.5at%
、Co含有量は、67.4−78.5at%、より好ま
しくは67.5〜78at%である。
TがFeおよびCoに加え、他の元素の1挿具」−を含
む場合、他の遷移金属元素の1種以上は、通常、総計で
最大25at%まで含有することができる。
これ以上の含有量となると、Bsが低下し。
表面性が悪くなる等の不都合が生じる。
このような元素の1例としてはNiがある。
Ni添加は、Coを置換して、材料コストを低減する等
の効果があるが、Ni量が増大するとBSが減少するの
で、Ni含有量は、好ましくは8at%以下である。
一方、他の元素の1挿具」二としては、鉄族(Fe、C
o、Ni)以外の遷移金属元素であってよいか、鉄族以
外の遷移金属元素の1種以上は、総計12at%以下で
あることが好ましい。 このとき、Bsの低下は少なく
、各添加元素特有のすぐれた効果が実現する。
このような元素としては、畳に、Ru、Cr、Tiのう
ちの1種以上が好ましい。
特に、0.5〜8’at%のRuを添加すると、耐摩耗
性が向上し、表面性や打抜加工性等が向上する。
また、1〜8at%のCrを添加すると、耐食性が向ト
する。
そして、0.5−8at%のRuと、1−8at%、特
に2〜6at%のCrを併用添加すると、これら・の効
果はさらに向上し、より好ましい結果を得る。
また、0.05−2at%のTiを、これらにかえ、よ
り好ましくはこれらに加えて添加するとより好ましい結
果をうる。
さらに、これらRu、Cr、Ti、Ni等に加え、Ta
、W、Mo等の1種以上を含有させることもできる。
なお、このようにFe、Co以外の他の遷移金属元素を
含有させる場合、これらの総計は20at%以下となり
、Co含有量が47.4〜78.5at%、より好まし
くは47.5〜78at%、またFe含有量が1.5−
5.6at%、より好ましくは、2〜5.5at%とな
ることが好ましい。
これに対し、ガラス化元素成分又は、B、あるいはSt
およびBを必須成分とする。
この場合、B含有量が3.3−27at%、Si含有量
が0−16.2at%となると、Bsが高くなり、薄板
の表面性が向上し、好ましい結果を得る。
そして、B含有量が14.1〜26.9at%、St含
有量が0.1〜5.4at%となると、BSがさらに高
くなり1表面性もさらに向上し、さらにRu、Cr等の
添加元素の添加効果もIO著となり、より好ましい結果
を得る。
なお、ガラス化元素成分X中には、必要に応じ、Stお
よびB以外の他の元素の1種以上が含まれていてもよい
。ただ、その総計が0.5at%を越えると非晶質化し
にくくなるので、その含有量は0.5at%以下である
ことが好ましい。
以上詳述したような組成をもつ薄板は、実質的に長範囲
規則性をもたない非晶質体である。
また、板厚は、概ね、10〜200 μm程度である。
このような非晶質磁性合金薄板は、公知の高速急冷法に
従い製造される。
すなわち、対応する組成の合金を、気相または液相から
超急冷する。 この場合、通常は、合金を融液となし、
液相から104℃/ s e c以1−1通常104〜
106℃/secの冷却速度で超急冷し、固化させるこ
とによって非晶質磁性合金を得る。
溶融状態の合金を超急冷するには、溶融合金をノズルか
ら噴射させ、双ロール法、片ロール法、遠心急冷法等公
知の種々の方式、なかでも片ロール法に従い急冷すれば
よい。
このような非晶質磁性合金薄板は、それを好ましくは絶
縁性接着剤層を介して積層して、所望の形状のコア半体
とされ、これを後述のように突き合わせて磁気ヘッド、
特にフロ・ンピーディスク用、ビデオ映像用等の磁気ヘ
ッドとされる。
あるいは、薄板を積層せず、薄板自体を所望の形状のコ
ア半体となし、このコア半体を突き合わせて磁気ヘッド
、特にフロッピー用、ビデオ用等の磁気ヘッドとされる
このような磁気ヘッド用コア半体は、通常以下のように
して磁気ヘッドとされる。
まず、好ましくは、超急冷法によって得られた薄板に対
し、所定の熱処理を施す。
この熱処理としては、例えば、結晶化温度未満、キュリ
一点以上の温度で施す無磁場中での、特に内部歪取りを
目的とする焼鈍処理でもよく、また、結晶化温度および
キュリ一点未満の温度で行う、歪取りと磁気特性の改良
を目的とする磁場中での焼鈍処理であってもよい。
そして、この後者の磁場中での焼鈍処理としては、静磁
場、回転磁場等のいずれかを用いてもよい、 これら焼
鈍熱処理およびその条件は、非晶質磁性合金の組成と所
望の磁気特性とから、適宜選択して行えばよい。
次いで、通常は、このような非晶質磁性合金薄板を金型
により打抜き、所定の形状となし、一般に、その複数枚
を絶縁性接着剤により所定トラック巾となるよう積層し
て、コア半体を作製する。
なお、コア半体11は、第1図、第2図に示されるよう
な1字状、C字状等公知の種々の形状とすればよい。
次いで、これらコア半体は、以下のようなキャップ材を
介してつきあわされる。
すなわち、第1図、第2図に1例として示すようにコア
半体ll上の少なくともギャップ端面には、Si、Hの
うちの1種以上からなる下地層12を設層するに の下地層12は、Si、Bの単一元素や合金を用いてス
パッタリング法や蒸着法を用いて設層することができる
このような下地層は、Si、B単独でも良い。
またSi、Hの2種でもよいが、そのときには、添加元
素は、主たる元素の10wt%以下、より好ましくは5
wt%以下であることが好ましい。
このような下地層成分は、酸素との親和力の大きい元素
からなるので、非晶質磁性合金の表面の酸化膜と相互拡
散をして、高い密着強度を得ることができる。
一般に、相異する成分の膜を積層する場合、多層膜間に
共通の元素がないときには、薄膜形成の初期の段階で、
同軸成長が行なわれるので、格子歪が大きくなり、薄膜
に残留応力が導入されてしまう。
これに対し、下地層成分Si、Bは、非晶質合金基材元
素と共通のものであるので、成膜時の格子歪が小さく、
残留応力が導入されることが回避される。
同様に、後述のガラス薄膜形成に際しても、残留応力の
導入は回避される。
なお、2種以上の元素を含むとき、添加分が10wt%
以上になると金属間化合物と共晶合金になり、熱膨張係
数の差異により、薄膜にクラックが入りやすいので10
wt%以下とすることが好ましい。
被着に際しては、磁気ギャップ用の薄膜と磁気ヘッドの
コアの密着強度をあげるために被着体(磁気へラドコア
)の温度をあげるのが良い。 温度は、被着体の結晶化
温度以下である必要があり、好ましくは250℃以下で
ある。
なお、下地層と磁気ヘッドを形成する非晶質磁性合金材
料の熱膨張係数に差異があると、薄膜に応力が残留し、
薄膜にクラックが入るか、さらにすすんでコア半体から
薄膜が剥離してしまう、 しかし、Si、Hの少なくと
も1挿具−4二からなる薄膜は、熱膨張係数6O−15
0X10−6 (’C)−1であるので、このような不
都合はない。
このような下地層の厚みとしては、0.05〜2.0μ
m特に好ましくは0.1〜1.6μmであることが好ま
しい。
膜厚が、2.0gmをこえると、十分な接着強度を得る
ための中間層の効果が失われるためである。
つまり、下地層成分は酸化されやすい元素であるので、
高温高湿(例えば40℃ 90%RH)で保存すると、
薄膜が酸化され、ギャップ強度が弱くなり、また体積膨
張し、磁気ギャップにクラックが入ってしまい、特性の
劣化をまねく。
また、膜厚が0.051Lmより少ないと、十分な密着
強度が得られないからである。
このような下地層12上にはガラス薄膜13を積層する
本発明では、ガラス薄膜13は例えば、低融点ガラス、
例えばPbO−B203系のガラスを用いる。
この場合、PbO80〜90wt%、B2O320〜1
0wt%程度が好ましい。
そして、必要な場合には融点を下げる元素としてBi2
O3やV2O5等を加えて、所望の融点の低融点ガラス
とする。
ガラス薄膜は、通常、スパッタリングにより、積層する
ガラス創13は、下地層12と良好に接着し、充分強固
なキャッグを形成する。 し かも、下地層上に設層す
る際にSi、B薄膜を損傷しない。
ガラス薄膜の軟化温度は500〜700℃であることか
好ましい。
さらに、ガラス薄膜の厚みは、所望の磁気ギャップ長の
0.05〜0.7程度であることが望ましい。
ガラス薄膜層が薄い場合、ギャップ長の005未満であ
ると、強固な接着強度が得られない。
また、0.7より大であると、下地・層であるSi、B
薄膜により、ガラス薄膜層形成時の応力を吸収すること
ができず、小さなりう・ンクが入ってしまう。
この場合、ガラス薄膜の厚みは、ギャップ長・の、好ま
しくは、0.1〜0.6である。
なお、ガラス薄膜の厚みは、0.1〜1.0μmである
ことが好ましい。
このようにして、少なくとも前部および後部キャップ突
き合わせ面に、下地層12と、ガラス薄膜13とを形成
したコア半体11はギャップ突き合わせ面を突き合わせ
てて一体化される。
この際、第3図に示されるようにガラス薄膜13.13
間にはガラス質14を配設する。
そして、これを熱処理して磁気ヘッドを形成する。
この場合、ガラス質34は、前部および後部ギヤ、プ1
5に配設する。
ここで用いるガラス質は、低融点ガラスを用いる。
この場合、その軟化温度は300〜500℃が好ましい
組成としては、特に、PbO−B203系のガラスか好
適である。 そして通常PbO80〜90wt%、B2
O310〜20wt%とし、他に添加物としてBi2O
3またはV2O3などを添加して所望の軟化温度に調整
する。
このような低融点ガラスからなる粒状のガラス質14を
、ガラス薄膜13を積層した両キャップ突合せ面近傍に
配設した後、磁気コア全体を300〜500℃で熱処理
する。 これにより、ガラス薄ll!213を積層した
キャップ突合せ面を融着し、ガラス膜とする。
ガラス薄膜を、機械的に充分接着し、しかも他のコア本
体や下地層を損傷しないためには。
熱処理温度がガラス質の軟化温度から溶融温度であるこ
とか必要である。
以上のようにして形成されたギャップは全体として4p
Lm以下であることが好ましく、より好ましくは05〜
2.、OILmである。 このとき1本発明の効果はよ
り顕著に実現する。
なお下地層12とガラスQll!213との膜厚の総計
は、全体として、所望とする磁気ヘッドのギャップ長と
等しいか、または1.2倍以下とすることが必要である
このように作製される磁気ヘッドはフロッピーディスク
用等の用途において、きわめてイ1用である。
なお、第4図には、第1図、第2図に示されるコア半体
を、第3図に示されるように突き合わせてなる2つのコ
アをスペーサー16を介して一体化して、3ギヤツプ型
のフロッピーヘッドとした例が示される。
■ 発明の其体的作用効果 本発明のSi、Hの少なくとも1種以上からなる下地層
と、ガラス膜とから形成されるキャップをイ]する磁気
ヘッドは、以下のような効果を有する。
すなわち、磁気ギャップからのもれ磁界もシャープであ
り磁気再生効率が良好である。
しかも、オーバーライド特性や、分解能や、消去特性も
良好である。
そして、劣悪な条件下で長時間走行させたり、保存した
場合でも、磁気ギャップからのもれ磁界をシャープに保
つことがでy、オーバーライド特性や、分解能や、消去
特性がよく高密度記録を行うことができる。
しかも、きわめて強固なナローギャンプを形成すること
ができる。
■ 発明の具体的実施例 以下に実施例をあげて、さらに本発明の効果を実証する
実施例 70 (5,5Fe−94,5Co) −24(10S
+ −90B) −6Ruかもなる合金を融液となし、
この融液をノズルから噴射して、片ロール法によって非
晶質磁性合金薄板を得た。 板厚は50)imであった
この非晶質磁性合金薄板を焼鈍処理し、内部歪取りを行
った。
この非晶質磁性合金薄板上に、スパッタリングにより、
下記表1に示される薄膜を、被着し下地層とした。
次にこの上に、コーニング社製(c −1416)を表
1に示されるように設層した。  この軟化温度は58
0℃である。
以上のコア半体をそれぞれ第1図、第2図の形状となし
、これらをつきあわせた。
そして、ビーズ状のガラス質〔コーニング社製ガラス(
8463))を、第3図に示されるように、磁気ギャッ
プ近傍に設置し、温度400℃にて熱処理して、第4図
に示されるようなスリーキャップの磁気ヘッドとした。
ギャップ長は1.5gmである。
別に比較のために、ギャップ材として、1゜5μm厚の
Ti箔を用い、熱硬化性樹脂で固着して磁気ヘッドを作
製した。
これら各サンプルについて以下の測定を行なった。
l)分解能 内周を125KHz(この際の出力をIFとする)で古
き込みを行い、外周を250KHz(この際の出力を2
Fとする)で書き込み。
録再の出力を測定して2F/IFを百分率で示し、分解
能とする。
この分解能を初期のものと200パス後のもので測低す
る。
?)オーバーライド(0マerwrite)特性125
K)Iz(出力=lF)で書き込みを行った後に、25
0KHz(出力=2F)で消去しながら書き込みを行い
(重ね書き)、2Fを書き込み後のIFの出力lF′を
測定する。
1F′/2Fをオーバーライド特性として表す。 単位
はdBである。 この消去率を初期のものと200パス
後のもので測定する。
3)保存性 40℃190%RHで、240時間後の上記のオーバー
ライド特性の変化率を測定する。
これらの結果を表1に示す6 表1に示される結果により本発明の効果が明らかである
すなわち本発明の組成、膜厚からなるキャップ材からな
る磁気ヘッドは初期、多数回走行後、劣悪な条件下での
保存後とも、すぐれた分解能、オーバーライド特性を示
すことがわかる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のコアを体の1例を示す斜視図、第2図
は本発明のコア半体の別の例を示す斜視図である。 第3図は、第1図に示すコア゛ト体と第2図に示すコア
半体を突き合わせたときの正面図、第4図は、第3図に
示すコアからなるスリーヘント型の磁気ヘッドを示す斜
視図である。 11・・・コア本体 12・・・下地層 13・・・ガラス薄膜 14・・・ガラス質 第2図

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)非晶質磁性合金からなるコア半体を、ギャップ材
    を介してつきあわせ一体化してなる磁気ヘッドにおいて
    、 ギャップ材が、両コア半体の少なくとも ギャップ面に被着されたSiおよびBのうちの1種以上
    からなる下地層と、この下地層間に介在するガラス膜と
    からなることを特徴とする磁気ヘッド。
  2. (2)下地層の膜厚が0.05〜2μmである特許請求
    の範囲第1項に記載の磁気ヘッ ド。
  3. (3)ガラス膜が、ガラス薄膜を下地層上に設層し、し
    かもガラス薄膜間にガラス質を配設した後、熱処理して
    形成される特許請求の範囲第1項または第2項に記載の
    磁気ヘッド。
  4. (4)ガラス薄膜が、軟化温度500〜700℃である
    特許請求の範囲第1項ないし第3項のいずれかに記載の
    磁気ヘッド。
  5. (5)ガラス質が、軟化温度300〜500℃である特
    許請求の範囲第1項ないし第4項のいずれかに記載の磁
    気ヘッド。
  6. (6)ガラス薄膜の厚みが0.1〜0.5μmである特
    許請求の範囲第1項ないし第5項のいずれかに記載の磁
    気ヘッド。
  7. (7)熱処理温度がガラス質の軟化温度から溶融温度で
    ある特許請求の範囲第1項ないし第6項のいずれかに記
    載の磁気ヘッド。
  8. (8)磁気ヘッドのギャップ長が4μm以下である特許
    請求の範囲第1項ないし第7項のいずれかに記載の磁気
    ヘッド。
  9. (9)下地層およびガラス膜からなる膜厚の総計が所望
    とする磁気ヘッドのギャップ長と等しいか、または1.
    2倍以下であるように設層する特許請求の範囲第1項な
    いし第8項のいずれかに記載の磁気ヘッド。
  10. (10)非晶質磁性合金がFeとCoとBまたはBおよ
    びSiを主体とし、Ru、CrおよびTiの1種以上を
    含む組成からなる特許請求の範囲第1項ないし第9項の
    いずれかに記載の磁気ヘッド。
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