JPS6117211A - 磁気ヘツド - Google Patents

磁気ヘツド

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JPS6117211A
JPS6117211A JP13869284A JP13869284A JPS6117211A JP S6117211 A JPS6117211 A JP S6117211A JP 13869284 A JP13869284 A JP 13869284A JP 13869284 A JP13869284 A JP 13869284A JP S6117211 A JPS6117211 A JP S6117211A
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JP
Japan
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magnetic head
thin film
glass
magnetic
gap
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Application number
JP13869284A
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English (en)
Inventor
Kazuo Ooya
大矢 一雄
Masao Kakizaki
柿崎 征夫
Sadao Iwatani
岩谷 貞夫
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TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
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Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
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Publication of JPS6117211A publication Critical patent/JPS6117211A/ja
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/187Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
    • G11B5/23Gap features
    • G11B5/232Manufacture of gap
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/187Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
    • G11B5/23Gap features
    • G11B5/235Selection of material for gap filler

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ■ 技術分野 本発明は磁気ヘッド、特に非晶質磁性合金を用いたフロ
ッピーディスク等のデジタル記録に用いるナローギャッ
プ型の磁気ヘッドに関するものである。
II  先行技術 近年、情報機器の性能の向上とOA化が進むなかで記録
媒体の1つであるフロッピーディスクの高性能化と小型
化が望まれている。
このような要求に応えて、8インチのフロッピーディス
クからさらに小型化された5、25インチのフロッピー
ディスクが開発されてきた。
また、最近さらに小型化し、記憶容量も8インチフロッ
ピーディスクと同容量の3.5インチのマイクロフロッ
ピーディスク(MFD)が実用化に向けて開発されてい
る。
このように小型化し、かつ大記憶容量をもったフロッピ
ーディスクを実現するには、高密度記録を実現しなけれ
ばならない。 高密度記録を実現するには、記録媒体と
磁気ヘッドとに関して新たな特性が要求される。
記録媒体では性能向上の1つとして高保磁力の磁性材料
の開発が必要になっている。
磁気ヘッドにも新たに特性の向上が要求される。 従来
、フロッピーディスク用の磁気ヘッドは、フロッピーデ
ィスクの実用化の初期の段階では磁気ヘッド用コア材に
パーマロイが使用されていた。
しかし、パーマロイでは種々の問題がある。
例えば、フロッピーヘッドの使用周波数帯域(125K
Hz 〜250KHz)とオーディオヘッドの使用周波
数帯域(20KHz以下)を比較すると、フロッピーヘ
ッドの使用周波数帯域は高周波数の帯域である。
シカし、パーマロイは比抵抗が50〜150ルΩC11
と小さいので、高周波帯域での実効透磁率は急激に減少
し、再生出力、S/N比、分解能等の磁気特性が悪くな
る。
他方、同じく多様されているフェライトは比抵抗IXl
X1061LQと大きく、しかも磁気ギャップもガラス
溶着法を用いるので、強固な狭磁気ギャップが製造でき
る。
したがって、最近ではフロッピー用磁気ヘッドのコア材
は、フェライトが主に使用されている。 そして、高密
度記録は、磁気ヘッドのコア材にフェライトを用いるこ
とによって、ある水準までは達成することができる。
ところで、さらに高密度記録を達成するためには、磁気
記録媒体であるフロッピーディスクの保磁力(He)は
初期の頃のHc=2700e (磁性体としてγ−Fe
2O3を使用)から、高保磁力の記録媒体(磁性体とし
てCOをドープしたCo−γ−Fe2O3を使用)のH
c = 630 0eに移行している。
そして、さらに合金粉を磁性体としだ高保磁力の記録媒
体ではHc = 1300 0eに至っている。
従って、磁気ヘッド用コア材はこのような高保磁力記録
媒体に記録するために、高飽和磁束密度をもち、かつ高
周波帯域において実効透磁率が減少しない材料の開発が
必要になってきた。
このため、磁気ヘッド用コア材としてセンダストと非晶
質合金とが注目されている。
これらの材料は、フェライトと比較すると飽和磁束密度
も大きいので、高保磁力記録媒体への記録も可能になる
しかし、磁気ヘッドの問題は、コアの材質の磁気特性だ
けの問題でなく、信頼性の点から強固なナローギャップ
を有する磁気ヘッドのギャップ製造法の確立も必要であ
る。
センダストについては、銀ロウ溶接による接合が検討さ
れている。
しかし、非晶質合金の場合には、結晶化温度が低いので
、一定温度以上の処理ができない。
特開昭55−110241号のように2.3の磁気ギャ
ップ製造方法に関する提案もあるが未だ十分な解決をみ
るには至っていない。
ナローギャップで高磁束密度の磁気ヘッドを実現する際
には、作製時の性能とともに、経時的な劣化が問題にな
る。
すなわち、非晶質磁性合金コア材とギャップ材との相対
的な温度特性、接着性または固着性、残留応力、比抵抗
等によって電磁変換特性が、経時的に、あるいは多数回
の走行により劣化する。
例えば、特にギヤ、ツブ長の安定度と関係のある、分解
能、オーバーライド特性、消去特性等に大きな問題があ
った。
■発明の具体的目的 本発明は、前記の問題を解決するためになされたもので
ある。
すなわち、非晶質合金を用いた磁気ヘッドにおいて、狭
ギャップ長の強固な磁気ギャップな有し、分解能がよく
、高密度記録が可能であり、しかも長時間使用ないし保
存しても電磁変換特性、特に分解能やオーバーライド特
性や消去特性等が劣化しない磁気ヘッドを、提供するこ
とを目的とする。
このような目的は、下記の本発明によって達成される。
すなわち本発明は、 非晶質磁性合金からなるコア半体を、ギャップ材を介し
てつきあわせ一体化してなる磁気ヘッドにおいて、 ギャップ材が、両コア半体の少なくともギャップ面に被
着された窒化物および炭化物セラミクスの1種以上から
なる薄膜と、この第2薄膜間に介在するガラス膜とから
なることを特徴とする磁気ヘッドである。
■ 発明の具体的構成 以下、本発明の具体的構成について詳細に説明する。
本発明の磁気ヘッドにおけるコアは、通常、非晶質磁性
合金の薄板から形成される。
非晶質磁性合金をコア材として用いるときには、コアと
しての特性が良好で、またきわめて長期にわたる使用に
よってもヘッドの媒体摺接面の偏摩耗が少なく、周波数
特性や出力レベル変動が少ない点で、良好な結果を得る
コア材として、非晶質磁性合金薄板を用いる場合、その
組成としては、磁気ヘッドのコア用のものとして知られ
ている種々の組成であってもよいが、特に飽和磁束密度
Bsが高く、高保磁力磁気記録媒体に好適であるという
点で、下記式(、I)で示される組成であることが好ま
しい。
式(I)TxTy 上記式中において、Tは、FeおよびGo、またはFe
およびCoと他の遷移金属元素の1種以上との組合せを
表わす。
この場合、必要に応じFeおよびCoとともに組合せ添
加される他の添加元素は、FeおよびCo以外の他の遷
移金属元素(Sc−Zn;YNCd;La−Hg;Ac
以上)であり、例えばNi、Ti、Zr、Hf、■、N
b、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Ru、Rh、Pd、
Os、Ir、Pt等の1種類以上な−その具体例として
挙げることができる。
一方、Xは、B、SiおよびB、またはBもしくはSi
およびBと他のガラス化元素の1種類以上との組合せを
表わす。
この場合、必要に応じ、B、またはSiおよびBととも
に組合せ添加される他のガラス化元素の例としては、P
、C,Ge、Sn、An等の1種類以上を挙げることが
できる。
他方、上記式CI)において、x+y= 100at%
であり、yは20〜27at%である。す・なわち、F
eおよびCOを必須成分とする遷移金属元素性分量Xは
73〜80at%であり、BまたはSiおよびBを必須
成分とするガラス化元素成分量yは20〜27at%で
ある。yが20at%未満となると、非晶質化が困難と
なり、また、27at%を越えると残留磁束密度Bsが
減少してしまう。
さらに、遷移金属元素成分中の必須成分FeおよびCo
の含有量は、それぞれFe;1.5〜5.6at%およ
び、Co;45〜78.5at%ある。
Fe含有量が1.5at%未満(Co含有量が78.5
at%より大)、あるいは5.6at%を越えると、磁
歪が大きなものとなってしまい、また透磁率が減少する
Coが45at%未満となるとBsが減少してしまう。
この場合、上記式CI)において、Tは、上記含有量範
囲内にて、FeおよびCoのみからなっても、FeとC
oと上記した他の添加元素の1種以上からなってもよい
TがFeとCoのみからなる場合、Fe含有量は、1.
5〜5.6at%、より好ましくは2〜5.5at%、
Co含有量は、67.4〜78.5at%、より好まし
くは67.5〜78at%である。TがFeおよびCO
に加え、他の元素の1種以上を含む場合、他の遷移金属
元素の1種以上は、通常、総計で最大25at%まで含
有することができる。
これ以上の含有量となると、Bsが低下し、表面性が悪
くなる等の不都合が生じる。
このような元素の1例としてはNiがある。
Ni添加は、Coを置換して、材料コストを低減する等
の効果があるが、Ni量か増大するとBsが減少するの
で、Ni含有量は、好ましくは8at%以下である。
一方、他の元素の1種以上としては、鉄族(Fe、Co
、Ni)以外の遷移金属元素であってよいが、鉄族以外
の遷移金属元素の1種以上は、総計12at%以下であ
ることが好ましい。 このとき、Bsの低下は少なく、
各添加元素特有のすぐれた効果が実現する。
このような元素としては、得に、Ru、Cr、Tiのう
ちの1種以上が好ましい。
特に、0.5〜8at%のRuを添加すると、耐摩耗性
が向上し、表面性や打抜加工性等が向上する。
また、1〜8at%のCrを添加すると、耐食性が向上
する。
そして、01.5〜8at%(1) Ruと、1〜8a
t%、特に2〜6at%のCrを併用添加すると、これ
らの効果はさらに向上し、より好ましい結果を得る。
また、0.05〜2at%のTiを、これらにかえ、よ
り好ましくはこれらに加えて添加するとより好ましい結
果をうる。
さらに、これらRu、Cr、Ti、Ni等に加え、Ta
、W、Mo等の1種゛以上を含有させることもできる。
なお、このようにFe、Co以外の他の遷移金属元素を
含有させる場合、これらの総計は20at%以下となり
、Co含有量が47.4〜78.5at%、より好まし
くは47.5〜78at%、またFe含有量が1.5〜
5.6at%、より好ましくは、2〜5.5at%とな
ることが好ましい。
これに対し、ガラス化元素成分Xは、B、あるいはSi
およびBを必須成分とする。
この場合、B含有量が3.3〜27at%、Si含有量
がO〜16.2at%となると、Bsが高くなり、薄板
の表面性が向上し、好ましい結果を得る。
そして、B含有量が14 、1〜26 、9at%、S
i含有量が0.1〜5.4at%となると、Bsがさら
に高くなり、表面性もさらに向上し、ざらにRu、Cr
等の添加元素の添加効′果も顕著となり、より好ましい
結果を得る。
なお、ガラス化元素成分X中には、必要に応じ、Siお
よびB以外の他の元素の1種以上が含まれていてもよい
。ただ、その総計が0.5at%を越えると非晶質化し
にくくなるので、その含有量はQ、5at%以下である
ことが好ましい。 以上詳述したような組成をもつ薄板
は、実質的に長範囲規則性をもたない非晶質体である。
 又、板厚は、概ね、10〜200pm程度である。 
このような非晶質磁性合金薄板は、不知の高速急冷法に
従い製造される。
すなわち、対応する組成の合金を、気相または液相から
超急冷する。 この場合、通常は、合金を融液となし、
液相から104℃/ s e c以上、通常104〜1
06℃/ s e cの冷却速度で超急冷し、固化させ
ることによって非晶質磁性合金を得る。
溶融状態の合金を超急冷するには、溶融合金をノズルか
ら噴射させ、双ロール法、片ロール法、遠心急冷法等公
知の種々の方式、なかでも片ロール法に従い急冷すれば
よい。
このような非晶質磁性合金薄板は、それを好ましくは絶
縁性接着剤層を介して積層して、所望の形状のコア半体
とされ、これを後述のように突き合わせて磁気ヘッド、
特にフロッピーディスク用、ビデオ映像用等の磁気ヘッ
ドとされる。
あるいは、薄板を積層せず、薄板自体を所望の形状のコ
ア半体となし、このコア半体を突き合わせて磁気ヘッド
、特にフロッピー用、ビデオ用等の磁気ヘッドとされる
このような磁気ヘッド用コア半体は、通常以下のように
して作製される。
まず、好ましくは、超急冷法によって得られた薄板に対
し、所定の熱処理を施す。
この熱処理としては、例えば、結晶化温度未満、キュリ
一点以上の温度で施す無磁場中での、特に内部歪取りを
目的とする焼鈍処理でもよく、また、結晶化温度および
キュリ一点未満の温度で行う、歪取りと磁気特性の改良
を目的とする磁場中での焼鈍処理であってもよい。
そして、この後者の磁場中での焼鈍処理としては、静磁
場、回転磁場等のいずれかを用いてもよい。 これら焼
鈍熱処理およびその条件は、非晶質磁性合金の組成と所
望の磁気特性とから、適宜選択して行えばよい。
次いで、通常は、このような非晶質磁性合金薄板を金型
により打抜き、所定の形状となし、一般に、その複数枚
を絶縁性接着剤により所定トラック巾となるよう積層し
て、コア半体を作製する。
なお、コア半体11は、第1図、第2図に示されるよう
な1字状、C字状等公知の種々の形状とすればよい。
次いで、これらコア半体は、以下のようなギャップ材を
介してつきあわされる。
すなわち、まず第1図、第2図に示されるように、窒化
物および/または炭化物系のセラミクスからなる薄膜1
2(以下第1層とする)を、スパッタリング法等を用い
て、コア半体ll上に形成する。
これらセラミクスとしては、窒化ケイ素、窒化ホウ素な
どの窒化物、炭化チタン、炭化モリブデン、炭化タング
ステン、炭化ケイ素などの炭化物を単独で用いてもよく
、また2種以上混合して用いてもよい。
この場合、これら窒化物、炭化物は、通常の量論組成の
ものでよく、またそれから多少偏倚した組成のものであ
って蔦よい。
これらセラミクスが2種以上含まれる場合、添加する窒
化物および/または炭化物は、主たる窒化物または炭化
物の20wt%以下、特に10wt%以下とすることが
好ましい。
このような第1層成分は、非晶質磁性合金およびガラス
薄膜との間で、高い密着強度を示す。
これらセラミクスの・スパッタリングに際しては、対応
する窒化物および/または炭化物をターゲットとすれば
よい。 また、その他のスパッタリング方式や条件等に
は特に制限はない。
なお、2種以上のセラミクスを含むとき、添加分が20
wt%以上になると、格子歪が生じやすく、薄膜にクラ
ックが入りやすいので、20wt%以下とすることが好
ましい。
この際、薄膜とコアの密着強度をあげるために被着体(
磁気へラドコア)の温度をあげるのが良い。 温度は、
被着体の結晶化温度以下である必要があり、好ましくは
250℃以下である。
なお、第1層薄膜と磁気ヘッドを形成する非晶質磁性合
金材料の熱膨張係数に差異があると、薄膜に応力が残留
し、薄膜にクラックが入るか、さらにすすんでコア半体
から薄膜が剥離してしまう。  しかし、前記セラミク
スの少なくメも1種以上からなる薄膜は、熱膨張係数6
0〜150X10唱(”0)−1であるので、このよう
な不都合はない。
このような第1層薄膜の厚みとしては、0゜05〜2.
0ルm、特に好ましくは0.1〜1.61Lmであるこ
とが好ましい。
膜厚が、2.0pmをこえると、十分な接着強度を得る
ための中間層の効果が失われるためである。” また、膜厚が0.05#Lmより少ないと、十分な密着
強度が得られないからである。
このような第1層薄膜12上にはガラス薄膜13を積層
する。
本発明では、ガラス薄膜13は例えば、低融点ガラス、
例えばPbO−B203系のガラスを用いる。
この場合、PbO80〜90wt%、B2O320〜1
0wt%程度が好ましい。
そして、必要な場合には融Aを下げる元素としてBi2
O3や■205等を加えて、所望の融点の低融点ガラス
とする。
ガラス薄膜は、通常、スパッタリングにより、積層する
ガラス薄膜13は、第1層薄膜12ケ良好に接着し、充
分強固なギャップを形成する。 しかも、第1層薄膜上
に設層する際に、セラミクス薄膜を損傷しない。
ガラス薄膜の軟化温度は500〜700℃であることが
好ましい。
さらに、ガラス薄膜の厚みは、所望の磁気ギャップ長の
0.05〜0.7程度であることが望ましい。
ガラス薄膜層が薄い場合、ギャップ長の0゜05未満で
あると、賓固な接着強度が得られない。
また、0.7より大であると、中間層であるCuまたは
Cu合金の薄膜により、ガラス薄膜層形成時の応力を吸
収することができず、小さなりラックが入ってしまう。
この場合、ガラス薄膜の厚みは、ギャップ長の、好まし
くは、0.1〜0.6である。
なお、ガラス薄膜の厚みは、0.1−1.0#Lmであ
ることが好ましい。
このようにして、少なくとも前部および後部ギャップ突
き合わせ面に、第1層薄膜12と、ガラス薄膜13とを
形成したコア半体11はギャップ突き合わせ面を突き合
わせてて一体化される。
この際、第3図に示されるようにガラス薄膜13.13
間にはガラス質14を配設する。
そして、これを熱処理して磁気ヘッドを形成する。
この場合、ガラス質13は、前部および後部ギャップ1
5に配設置する。
ここで用いるガラス質は、低融点ガラスを用いる。
この場合、その軟化温度は300〜500℃が好ましい
組成としては、特に、PbO−B2 o3系のガラスが
好適である。 そして通常PbO80〜90wt%、B
203 10〜20wt%とし、他に添加物としてBi
2O3またはv203などを添加して所望の軟化温度に
調整する。
このような低融点ガラスからなる粒状のガラス質14を
、ガラス薄膜13を積層した両ギャップ突合せ面近傍に
配設した後、磁気コア全体を300〜500℃で熱処理
する。 これにより、ガラス□薄膜13を積層したギャ
ップ突合せ面を融着し、ガラス膜とする。
ガラス薄膜を、機械的に充分接着し、しかも他のコア本
体や第1層を損傷しないためには、熱処理温度がガラス
質の軟化温度から溶融温度であることが必要である。
以上のようにして形成されたギャップは全体として44
m以下であることが好ましく、より好ましくは0.5〜
2.0pmである。 このとき、本発明の効果はより顕
著に実現する。
なお第1層薄膜12と、ガラス薄膜13との膜厚の総計
は、全体として、所望とする磁気ヘッドのギャップ長と
等しいか、または1.2倍以下とすることが必要である
このように作製される磁気ヘッドはフロッピーディスク
用の用途において、きわめて有用である。
なお、第4図には、第1図、第2図に示されるコア半体
を、第3図に示されるように突き合わせてなる2つのコ
アをスペーサー16を介して一体化して、3ギヤツプ型
のフロッピーヘッドとした例が示される。
■ 発明の具体的作用効果 本発明のセラミックス薄膜とガラス膜からなるギャップ
材を有し、非晶質磁性合金からなるコア半体を有する磁
気ヘッドは以下のような効果を有する。
すなわち、磁気抵抗の高い、安定性のきわめてよいギャ
ップが形成されるので、オーバーライド特性が良好で、
分解能が高い。
また、コア本体との密着性がよく、機械的、熱的にきわ
めて強固な狭ギャップが形成されるので使用に従い発生
するオーバーライド特性や分解能の劣化はきわめて少な
い。
そして、高温高湿でのギャップの耐性が良く、磁気特性
、特に分解能やオーバーライド特性が高温高湿での長期
間保存によっても劣化しにくい。
■ 発明の具体的実施例 以下に★施例をあげて、さらに本発明の効果を実証する
実施例 70 (5,5Fe−94,5Co) −24(10S
 i −90B) −6Ruからなる合金を用い、片ロ
ール法によって非晶質磁性合金薄板を得た。 板厚は5
0ILmとした。
この非晶質磁性合金薄板を焼鈍処理し、内部歪取りを行
つい、第1図、第2図に示されるコア半体を得た。
この非晶質磁性合金薄板上に、スパッタリングにより、
下記表1に示されるセラミクスを膜厚0.25#Lmに
て被着し第1層とした。
次に、第2層として、コーニング社製(C−1416)
を膜厚0.5ILmに設層した。 この軟化温度は58
0℃である。
このコア半体をつきあわせ、ビーズ状のガラス質〔コー
ニング社製ガラス(8463))を、第3図に示される
ように、磁気ギャップ近傍に設置し、温度400℃にて
熱処理して、第4図に示されるようなスリーギャップの
磁気ヘッドとした。
ギャップ長は1.51Lmで、ある。
別に比較のために、ギャップ材として、1゜511、m
厚のTi箔を用い、熱硬化性樹脂で固着して磁気ヘッド
を作製した。
これら各サンプルについて以下の測定を行なった。
1)分解能 内周を125K)1g(この際の出力をIFとする)で
書き込みを行い、外周を250KHz(この際の出力を
2Fとする)で書き込み、録再の出力を測定して2F/
l’Fを百分率で示し、分解能とする。
この分解能を初期のものと200パス後のもので測低す
る。
2)オーバーライド(0マey write)特性12
5KH2(出力=IF)−1?書き込みを行った後に、
250KHz(出力=2F)で消去しながら書き込みを
行い(重ね書き)、2Fを書き込み後のIFの出力lF
′を測定する。
’  IF′72Fをオーバーライド特性として表す。
 単位はdBである。 この消去率を初期のものと20
0パス後のもので測定する。 ・ 3)保存性 40℃、90%RHで、240時間後の上記のオーバー
ライド特性の変化率を測定する。
これらの結果を表1に示す。
表1に示される結果により本発明の効果が明らかである
すなわち本発明の組成、膜厚からなるギャップ材からな
る磁気ヘッドは初期、多数回走行後、劣悪な条件下での
保存後とも、すぐれた分解能、オーバーライド特性、お
よび消去特性を示すことがわかる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のコア半体の1例を示す斜視図、第2図
は本発明のコア半体の別の例を示す斜視図である。 第3図は、第1図に示すコア半体と第2図に示すコア半
体を突き合わせたときの正面図、第4図は、第3図に示
すコアからなるスリーヘッド型の磁気ヘッドを示す斜視
図である。 “11・・・コア本体 12・・・薄膜 13・・・ガラス薄膜 14・・・ガラス質 第2図

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)非晶質磁性合金からなるコア半体を、ギャップ材
    を介してつきあわせ一体化してなる磁気ヘッドにおいて
    、 ギャップ材が、両コア半体の少なくとも ギャップ面に被着された窒化物および炭化物セラミクス
    の1種以上からなる薄膜と、この第2薄膜間に介在する
    ガラス膜とからなることを特徴とする磁気ヘッド。
  2. (2)窒化物および炭化物セラミクスが、窒化ケイ素、
    窒化ホウ素、炭化チタン、炭化モリブデン、炭化タング
    ステンおよび炭化ケイ素である特許請求の範囲第1項に
    記載の磁気ヘッド。
  3. (3)薄膜の膜厚が0.05〜2μmである特許請求の
    範囲第1項または一第2項に記載の磁気ヘッド。
  4. (4)ガラス膜が、ガラス薄膜を第2層上に設層し、し
    かもガラス薄膜間にガラス質を配設した後、熱処理して
    形成される特許請求の範囲第1項ないし第3項のいずれ
    かに記載の磁気ヘッド。
  5. (5)ガラス薄膜が、軟化温度500〜700℃である
    特許請求の範囲第1項ないし第4項のいずれかに記載の
    磁気ヘッド。
  6. (6)ガラス質が、軟化温度300〜500℃である特
    許請求の範囲第1項ないし第5項のいずれかに記載の磁
    気ヘッド。
  7. (7)ガラス薄膜の厚みが0.1〜1μmである特許請
    求の範囲第1項ないし第6項のいずれかに記載の磁気ヘ
    ッド。
  8. (8)熱処理温度がガラス質の軟化温度から溶融温度で
    ある特許請求の範囲第1項ないし第7項のいずれかに記
    載の磁気ヘッド。
  9. (9)磁気ヘッドのギャップ長が4μm以下である特許
    請求の範囲第1項ないし第8項のいずれかに記載の磁気
    ヘッド。
  10. (10)第1層、第2層およびガラス薄膜の膜厚の総計
    が所望とする磁気ヘッドのギャップ長と等しいか、また
    は1.2倍以下であるように設層する特許請求の範囲第
    1項ないし第9項のいずれかに記載の磁気ヘッド。
  11. (11)非晶質磁性合金がFeとCoとBまたはBおよ
    びSiとを主体とし、Ru、CrおよびTiの1種以上
    を含む組成からなる特許請求の範囲第1項ないし第10
    項のいずれかに記載の磁気ヘッド。
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