KR950011127B1 - 자기헤드 - Google Patents
자기헤드 Download PDFInfo
- Publication number
- KR950011127B1 KR950011127B1 KR1019920018685A KR920018685A KR950011127B1 KR 950011127 B1 KR950011127 B1 KR 950011127B1 KR 1019920018685 A KR1019920018685 A KR 1019920018685A KR 920018685 A KR920018685 A KR 920018685A KR 950011127 B1 KR950011127 B1 KR 950011127B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- thin film
- magnetic
- head
- based thin
- magnetic head
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
내용 없음.
Description
제 1 도는 종래의 자기헤드 구조로서,
(a)도는 제 1 실시예 구조도.
(b)도는 제 2 실시예 구조도.
(c)도는 제 3 실시예 구조도.
제 2 도는 본 발명의 자기헤드 구조도로서,
(a)도는 제 1 실시예 구조도.
(b)나는 제 2 실시예 구조도.
(c)도는 제 3 실시예 구조도.
제 3 도는 본 발명의 다층 박막 구조 확대도.
제 4 도는 본 발명의 다층박막의 각층 두께에 따른 특성 그래프.
제 5 도는 주파수에 따른 출력 변화 그래프.
본 발명의 자기 헤드의 연자성 금속 박막에 관한 것으로, 특히 연자성 금속 박막 구조를 다층 박막 형태로 형성시킴으로서 내부 응력 감소, 부착력 개선 및 자기특성의 향상을 도모하는데 적합한 자기헤드에 관한 것이다.
최근 VTR, 캠코오더(comcorder)등의 자기 기록·재생장치에 있어서는 기록밀도의 고밀도화 및 고주파화등이 진행되어 있고 이 고밀도 기록에 대응하여 기록 매체로서 자성분(磁性粉)에 Fe, Co, Ni등의 강자성 금속의 분말을 이용한 메탈테이프(Me-tal Tape)나, 강자성 금속 재료를 증착등의 방법으로 베이스 필름(bass film)상에 부착한 증착 테이프등이 실용화 되고 있다.
이와 같은 자기 기록 매체는 높은 항자력을 가지므로 기록 재생에 쓰이는 자기헤드의 재료로서는 고포화 자속밀도를 갖는 것이 요구된다.
종래 헤드 재료로서 많이 사용되는 페라이트(ferrite)재로서는 포화자속밀도가 낮아서 고항자력 매체에 대응할 수가 없다.
따라서 고항자력 기록 매체에 대응하기 위해서 페라이트등의 자성 기판상에 고포화 자속밀도를 갖는 연자성 박막을 성막하고 이들 연자성 박막상에 비자성 박막(Gap용)을 형성한후 접합하여 구성한 형태인 MIG(Metal-In-Gap) 타입 헤드를 이용하는 추세에 있다.
제 1 도는 통상의 MIG 자기 헤드의 구조도로서, (a)도는 갭(Gap)과 연자성 박막 부착면이 평행한 구조이고, (b)도는 갭과 연자성 박막이 경사진 TSS(Tilted Sendust Sputtered) 헤드구조, (c)도는 크로스타입(Cross type) 헤드 구조이다.
이와 같은 MIG 헤드는 공정상 페라이트 코어(1)(1a)에 트랙홈과 권선홈 가공을 행하고(도면생략) 스퍼터링 방법에 의하여 헤드 갭 접합면에 연자성 박막(2)으로서 코발트게 비정질 합금이나 센더스트(Sendust) 합금(Fe-Al-Si)을 성막한다.
그리고 페라이트(1)(1a)를 맞대어 헤드 갭에 갭(3) 물질을 형성하고 권선홈에 글라스(4)를 넣은 후 열처리하여 본딩하고 본딩된 바아(Bar)를 절단하여 제 1 도와 같은 단위편의 헤드코어를 얻는다.
이때 글라스 본딩 공정에서는 센더스트의 열적 안전성 및 연자기 특성을 고려한 적절한 온도(550~630℃)에서 열처리가 필요하며 필요 이상의 고온에서는 자기 특성을 열화시킨다.
그러므로 낮은 온도(450~550℃)에서 융착될 수 있는 저융점 글라스를 쓰는 방법도 있지만 이것 또한 내구성이 낮아 자기 헤드의 신뢰성을 떨어뜨리게 된다.
따라서 센더스트의 열적 안정성을 높이기 위해 센더스트 합금에 Cr을 첨가한 Fe-Al-Si-Cr 형태의 박막을 사용하여 고강도 글라스를 이용한 헤드가 쓰여지고 있다.
이러한 종래의 MIG 헤드는 센더스트 또는 열적 안정성을 높이기 위해 센더스트 +Cr을 단일층으로 구성한 경우는 박막이 수 μ이상으로 두꺼워 지면서 자성막의 구조가 주상(株狀)구조로 바뀌므로서 박막 내부응력이 증가하게 된다.
따라서 박막 재료의 자기 특성 및 페라이트 기판에의 부착성에도 나쁜 영향을 미치게 된다.
이에 본 발명은 이러한 문제점을 개선하기 위해 안출한 것으로, Fe-Al-Si계 자성박과과 Fe-Al-Si-Cr계 자성박막을 교대로 복수개 적층하므로서 자성 특성 향상, 박막 내부 응력 감소 및 박막의 부착력 개선, 내식성 및 내열성을 향상시키는데 그 목적이 있다.
이하 본 발명을 설명한다.
본 발명은 페라이트 기판상에 자성막이 형성된 MIG(Metal-In-Gap)헤드에 있어서, Fe-Al-Si계 박막과 Fe-Al-Si-Cr 박막을 교대로 복수개 적층한 자성막 구조로 이루어진 자기헤드로 되어 있다.
이때 Fe-Al-Si계 박막과 Fe-Al-Si-Cr계 박막의 각 단일층의 두께는 0.1~1㎛로 하이 바람직하다.
그리고 여기에서 Fe-Al-Si계 합금을 Fea-Alb-Sic로 조성하되 중량 %로서 75≤a≤94,2≤b≤10,4≤c≤15로 이루어지고, Fe-Al-Si-Cr계 합금은 FeaAlbSicCrd로 조성하되 중량 %로서 65≤a≤93,2≤b≤10,4≤c≤15,1≤d≤10로 이루어진다.
제 2 도는 본 발명의 구조로서, 제 1 도와 같은 타입(Type)으로 이루어지되 다층 박막구조로 되어 있다.
제 3 도는 제 2 도에서의 다층 박막을 확대한 단면도로서, 기판(5)상에 Fe-Al-Si-Cr계 박막(A)과 Fe-Al-Si계 박막(B)을 교대로 복수개 적층한다.
다음은 실시예를 통하여 설명한다.
Fe82Al1, Si11및 Fe77Al6Si9Cr8의 중량 %로 조성된 2개의 타아겟(target)을 이용하여 2원 스퍼터(sputter) 장치에서 아래와 같은 조건으로 스퍼터링 하였다. 이때 박막 특성 평가용의 기판으로는 CaTiO3비자성 세라믹기판(자성특성 평가용)과 단결정 페라이트 기판(박막 내부 응력 및 부착성 평가용)을 이용하였다.
스퍼터 조건 퍼터링 파워(RF)=100~300watt
(양 타아겟 통일) 티아겟과 기판간격=50mm
기판온도=~20℃(수냉)
초기진공도=5×10-7Torr
아르곤가스압력=3~8×10-3Torr
Fe-Al-Si계 박막과 Fe-Al-Si-Cr계 박막인 자성 박막의 전체를 20㎛되게 적층 형성한 후 질소 분위기에서 550℃로 1시간 열처리 하였다.
이후 갭용인 SiO2를 스퍼터링하고 양 코어(I-Core, C-Core)를 글라스 본딩하고 절단하여 단위편의 헤드를 얻었다.
제 4 도는 적층박막의 각층 두께에 따른 특성치를 나타낸 것으로, 보자력(Hc) 및 막내부응력(σ)은 작을수록 양호하고, 초투자율(μi)은 클수록 양호하다. 이때 박막 두께는 0.1~1㎛ 범위에서 양호한 특성을 나타냄을 알 수 있었다.
제 5 도는 주파수에 따른 기록재생 출력 변화를 나타낸 거스로, 5MHZ에서 약 2dB, 7MHZ에서 약 3dB의 성능 향상 효과가 있었다.
이상에서와 같이 본 발명은 Fe-Al-Si계 박막과 Fe-Al-Si-Cr계 박막의 적층 구조를 형성함으로서 보자력 및 박막 내부 응력이 작고 투자율이 증가되어 자성 특성 및 박막의 기계적 특성이 우수한 헤드를 얻을 수 있다.
Claims (3)
- 페라이트(Ferrite) 기판상에 자성막이 형성된 MIG(Metal-In-Gap) 헤드에 있어서, 철(Fe)-알루미늄(Al)-실리콘(Si)계 박막과 철(Fe)-알루미늄(Al)-실리콘(Si)-크롬(Cr)계 박막을 교대로 복수개 적층한 자성막 구조로 이루어짐을 특징으로 하는 자기헤드.
- 제 1 항에서 Fe-Al-Si계 박막과 Fe-Al-Si-Cr계 박막의 각 단일층의 두께가 0.1~1.0㎛로 이루어짐을 특징으로 하는 자기헤드.
- 제 1 항에 있어서, Fe-Al-Si계 박막은 Fea-Alb-Sic로 조성하되 중량 %로서 75≤a≤94,2≤b≤10,4≤c≤15, Fe-Al-Si-Cr계 박막은 FeaAlbSicCrd로 조성하되 중량 %로서 65≤a≤93,2≤b≤10,4≤c≤15,1≤d≤10로 이루어짐을 특징으로 하는 자기헤드.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920018685A KR950011127B1 (ko) | 1992-10-12 | 1992-10-12 | 자기헤드 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920018685A KR950011127B1 (ko) | 1992-10-12 | 1992-10-12 | 자기헤드 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR940009946A KR940009946A (ko) | 1994-05-24 |
| KR950011127B1 true KR950011127B1 (ko) | 1995-09-28 |
Family
ID=19340980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019920018685A KR950011127B1 (ko) | 1992-10-12 | 1992-10-12 | 자기헤드 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR950011127B1 (ko) |
-
1992
- 1992-10-12 KR KR1019920018685A patent/KR950011127B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR940009946A (ko) | 1994-05-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5126907A (en) | Thin film magnetic head having at least one magnetic core member made at least partly of a material having a high saturation magnetic flux density | |
| US4868698A (en) | Magnetic head | |
| EP0206658A2 (en) | Magnetic head | |
| US5227940A (en) | Composite magnetic head | |
| JPS63191310A (ja) | 複合磁気ヘツド | |
| EP0168825A2 (en) | Magnetic alloy thin film | |
| KR950011127B1 (ko) | 자기헤드 | |
| JPH06215325A (ja) | 積層型磁気ヘッドコア | |
| US4641213A (en) | Magnetic head | |
| JPS58100412A (ja) | 軟質磁性材料の製法 | |
| JPH03131006A (ja) | 磁気ヘッド | |
| KR100324730B1 (ko) | 자기헤드의제조방법 | |
| KR950001603B1 (ko) | 적층자기헤드 | |
| KR100232141B1 (ko) | 자기헤드의 제조 방법 | |
| KR100239478B1 (ko) | 자기헤드 제조방법 | |
| JP2782994B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| KR100200861B1 (ko) | 기록 재생용 자기헤드 및 그 제조방법 | |
| JPH0483313A (ja) | 軟磁性薄膜並びに磁気ヘッド | |
| JPH02216604A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JP3147434B2 (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPS6043202A (ja) | 垂直磁気記録再生装置 | |
| JPH04305807A (ja) | Ｃｏ基軟磁性薄膜及びこれを用いた磁気ヘッド | |
| JPS63173215A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPS6399507A (ja) | 軟磁性膜 | |
| JPS6399508A (ja) | 軟磁性膜 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| G160 | Decision to publish patent application | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20020830 Year of fee payment: 8 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |