JPH0562804B2 - - Google Patents
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- JPH0562804B2 JPH0562804B2 JP60154184A JP15418485A JPH0562804B2 JP H0562804 B2 JPH0562804 B2 JP H0562804B2 JP 60154184 A JP60154184 A JP 60154184A JP 15418485 A JP15418485 A JP 15418485A JP H0562804 B2 JPH0562804 B2 JP H0562804B2
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Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
［技術分野］
本発明は磁気ヘツド、特にその電磁変換特性、
耐摩耗性、耐蝕性の改善に関するものである。 ［従来技術］ 近年普及しつつある家庭用ビデオレコーダにお
いては、磁気テープと磁気ヘツドの相対速度が非
常に大きいのでこのような装置において用いられ
る記録再生用の磁気ヘツドは、磁気特性や耐摩耗
性の点で有利なセンダストやフエライトが多く使
われていた。しかしながら、近年記録密度を高く
するためにメタルテープなどの高保磁力磁気記録
媒体が出現しているが、これらの媒体は高保磁力
を有しているので、従来使用されているフエライ
トコアでは十分な出力特性を得ることはできなか
つた。このためここ数年ではセンダストやフエラ
イトに代わり、スパツタ法で作成したCo（コバル
ト）−Nb（ニオブ）−Zr（ジルコニエム）がコアと
して使用されている。これらは高い耐摩耗性を有
し、しかも、高周波領域での磁気特性が優れてい
ること、又組成を調整することで磁歪の全くない
合金を作ることが可能であること、又スパツタ法
で作成するため膜厚が0.1μｍ以下という極めて薄
いものから30μｍ程度のものまで自由に作成が可
能であるなどの多くの長所を持つている。ところ
が、耐蝕試験（温度40℃，湿度95％の雰囲気中に
168時間放置）を行つてみると変色が起きること
がわかつた。 ［目的］ 本発明は以上の問題を解決するために成された
もので、本発明はCo−Nb−Zrの欠点の１つであ
る耐蝕性を、耐摩耗性及び高周波域での磁気特性
を損なうことなく大きく改善することができる磁
気ヘツドを提供することを目的とする。 ［発明の構成］ 以上の目的を達成するために、本発明において
は、COx、Zry、Nbz、Alw（Ｘ＋Ｙ＋Ｚ＋Ｗ＝
100）なる原子組成を有する非晶質合金膜とで磁
気コアの少なくとも一部分が構成されており、非
晶質合金膜の組成は原子組成で前記のＸ，Ｙ，
Ｚ，Ｗが夫々75≦Ｘ≦95、５≦Ｙ≦20、０＜Ｚ≦
20、０＜Ｗ≦５となるようにした。 ［実施例］ 以下図面に示す実施例に基づき本発明を詳細に
説明する。 本発明による優れた耐蝕性を有する非晶質合金
の組成は以下の様に示される。 COx、Zry、Nbz、Alw ただし75≦Ｘ≦95、５≦Ｙ≦20、０＜Ｚ≦20、
０＜Ｗ≦５、そしてＸ＋Ｙ＋Ｚ＋Ｗ＝100である。 このうちメタル系磁気ヘツドとしてフエライト
より飽和磁束密度Bsが高く、かつ非晶質化する
ためには75≦Ｘ≦95、５≦Ｙ≦20である必要があ
る。また磁歪を調整するため０＜Ｚ≦20であるの
が好ましく、また耐蝕性を向上するために０＜Ｗ
≦５であることが望ましい。以下上記の組成の非
晶質合金の形成例について説明する。 第１表に７種類の異なつた組成の非晶質合金と
その飽和磁束密度Bs、保磁率Xc、及び耐蝕試験
の結果を示す。
耐摩耗性、耐蝕性の改善に関するものである。 ［従来技術］ 近年普及しつつある家庭用ビデオレコーダにお
いては、磁気テープと磁気ヘツドの相対速度が非
常に大きいのでこのような装置において用いられ
る記録再生用の磁気ヘツドは、磁気特性や耐摩耗
性の点で有利なセンダストやフエライトが多く使
われていた。しかしながら、近年記録密度を高く
するためにメタルテープなどの高保磁力磁気記録
媒体が出現しているが、これらの媒体は高保磁力
を有しているので、従来使用されているフエライ
トコアでは十分な出力特性を得ることはできなか
つた。このためここ数年ではセンダストやフエラ
イトに代わり、スパツタ法で作成したCo（コバル
ト）−Nb（ニオブ）−Zr（ジルコニエム）がコアと
して使用されている。これらは高い耐摩耗性を有
し、しかも、高周波領域での磁気特性が優れてい
ること、又組成を調整することで磁歪の全くない
合金を作ることが可能であること、又スパツタ法
で作成するため膜厚が0.1μｍ以下という極めて薄
いものから30μｍ程度のものまで自由に作成が可
能であるなどの多くの長所を持つている。ところ
が、耐蝕試験（温度40℃，湿度95％の雰囲気中に
168時間放置）を行つてみると変色が起きること
がわかつた。 ［目的］ 本発明は以上の問題を解決するために成された
もので、本発明はCo−Nb−Zrの欠点の１つであ
る耐蝕性を、耐摩耗性及び高周波域での磁気特性
を損なうことなく大きく改善することができる磁
気ヘツドを提供することを目的とする。 ［発明の構成］ 以上の目的を達成するために、本発明において
は、COx、Zry、Nbz、Alw（Ｘ＋Ｙ＋Ｚ＋Ｗ＝
100）なる原子組成を有する非晶質合金膜とで磁
気コアの少なくとも一部分が構成されており、非
晶質合金膜の組成は原子組成で前記のＸ，Ｙ，
Ｚ，Ｗが夫々75≦Ｘ≦95、５≦Ｙ≦20、０＜Ｚ≦
20、０＜Ｗ≦５となるようにした。 ［実施例］ 以下図面に示す実施例に基づき本発明を詳細に
説明する。 本発明による優れた耐蝕性を有する非晶質合金
の組成は以下の様に示される。 COx、Zry、Nbz、Alw ただし75≦Ｘ≦95、５≦Ｙ≦20、０＜Ｚ≦20、
０＜Ｗ≦５、そしてＸ＋Ｙ＋Ｚ＋Ｗ＝100である。 このうちメタル系磁気ヘツドとしてフエライト
より飽和磁束密度Bsが高く、かつ非晶質化する
ためには75≦Ｘ≦95、５≦Ｙ≦20である必要があ
る。また磁歪を調整するため０＜Ｚ≦20であるの
が好ましく、また耐蝕性を向上するために０＜Ｗ
≦５であることが望ましい。以下上記の組成の非
晶質合金の形成例について説明する。 第１表に７種類の異なつた組成の非晶質合金と
その飽和磁束密度Bs、保磁率Xc、及び耐蝕試験
の結果を示す。
【表】
本実施例において非晶質合金は真空槽内を１×
10-4Paに排気後、純度99.999％×Ar（アルゴン）
を導入して0.6Paで結晶化ガラス（熱膨張係数α
＝110×10-7）上に第１表に符号１〜７で示す組
成の非晶質合金を約１時間スパツタすることによ
り形成した。この時の膜厚は2μｍであつた。 これらの膜の耐蝕性を調べるために、温度50
℃、湿度95％で168時間放置し膜の変色度を調べ
た。 第１表からわかるようにAlの添加が耐蝕性の
向上に有効に作用し、その量が増える程耐蝕性が
向上することがわかる。しかしAlの添加量が６
％では保持率Hcが増大するため、Alの添加量は
６％未満が適当である。 次に第１図に示すように前記のようにして非晶
質合金をスパツタしたガラス基板１Ａ，１Ａを非
晶質合金膜が対向するように貼り合わせる。第１
図Ａは基板１Ａをガラスの基板から示したもので
ある。又第１図Ｂは２つの基板１Ａ，１Ａを非晶
質合金膜１Ｂ，１Ｂが対向するように貼り合わせ
たことを示している。このようにして磁気テープ
摺動面を研摩仕上げして擬似ヘツドを作成した。 次に市販のビデオテープレコーダ（VTR）に
この擬似ヘツドを取り付け、市販のCoドープ
γFe2O3テープによる240時間走行後の偏摩耗量
Δd（第２図参照）を調べた。第２表にこの偏摩耗
量を組成に応じて示した。なおこの実験に使用し
たヘツド形状は厚さ630μｍ、幅2.5mmで非晶質合
金の厚み、即ちトラツク幅は30μｍであつた。
10-4Paに排気後、純度99.999％×Ar（アルゴン）
を導入して0.6Paで結晶化ガラス（熱膨張係数α
＝110×10-7）上に第１表に符号１〜７で示す組
成の非晶質合金を約１時間スパツタすることによ
り形成した。この時の膜厚は2μｍであつた。 これらの膜の耐蝕性を調べるために、温度50
℃、湿度95％で168時間放置し膜の変色度を調べ
た。 第１表からわかるようにAlの添加が耐蝕性の
向上に有効に作用し、その量が増える程耐蝕性が
向上することがわかる。しかしAlの添加量が６
％では保持率Hcが増大するため、Alの添加量は
６％未満が適当である。 次に第１図に示すように前記のようにして非晶
質合金をスパツタしたガラス基板１Ａ，１Ａを非
晶質合金膜が対向するように貼り合わせる。第１
図Ａは基板１Ａをガラスの基板から示したもので
ある。又第１図Ｂは２つの基板１Ａ，１Ａを非晶
質合金膜１Ｂ，１Ｂが対向するように貼り合わせ
たことを示している。このようにして磁気テープ
摺動面を研摩仕上げして擬似ヘツドを作成した。 次に市販のビデオテープレコーダ（VTR）に
この擬似ヘツドを取り付け、市販のCoドープ
γFe2O3テープによる240時間走行後の偏摩耗量
Δd（第２図参照）を調べた。第２表にこの偏摩耗
量を組成に応じて示した。なおこの実験に使用し
たヘツド形状は厚さ630μｍ、幅2.5mmで非晶質合
金の厚み、即ちトラツク幅は30μｍであつた。
【表】
【表】
第２表より明らかなようにAlの添加量は偏摩
耗量に全く影響がないことがわかつた。 次に従来のMn−Znフエライトを用いたビデオ
ヘツドと本発明による非晶質合金を用いた磁気ヘ
ツドの特性の比較を行なつた。 本発明の磁気ヘツドは次のようにして作成し
た。 0.6Paのアルゴン（Ar）中で結晶化ガラス上に
スパツタリングで第１表に示す組成の非晶質合金
膜を形成した。非晶質合金膜の厚みは10μｍであ
る。更にこの上にSiO2薄膜を0.1μｍスパツタリン
グで形成した。更に再び10μｍの非晶質合金、続
いて0.1μｍのSiO2薄膜というように順次積槽を行
ない、トラツク幅30.2μｍの非晶質合金部を作成
した。 これと結晶化ガラスを貼り合せ、第３図に示す
磁気ヘツドを作成した。第３図Ａは完成した磁気
ヘツドの断面図を示している。第３図Ａにおいて
符号１Ａで示されているものは基板となる結晶化
ガラス、又符号１Ｂは前記のようにして形成した
非晶質合金の膜である。又第３図Ｂは形成した磁
気ヘツドの上面図を示している。第３図Ｂに示す
ように磁気ヘツドは左右のコア半体５Ａ，５Ｂか
ら形成されている。コア半体５Ａ，５Ｂは第３図
Ａに示した基板を突き合わせたものである。コア
半体５Ｂには巻線窓５Ｃが形成されており、コア
半体５Ａ，５Ｂは巻線窓の一部分、又巻線窓の下
の切り欠き部分の一部分において溶着用ガラス３
Ａ，３Ｂにより固定されている。上記のようにし
て形成した磁気ヘツドを市販のVTRの回転シリ
ンダに搭載し、又同時に上記の非晶質合金磁気ヘ
ツドと同等のトラツク幅をもつ従来方式の単結晶
Mn−Znフエライト磁気ヘツドの特性比較を行な
つた。 特性評価用の磁気記録媒体としてはメタルテー
プを使用し、5MHzにおける基準シグナルの自己
録再感度の相対比を従来のMn−Zn単結晶フエラ
イトヘツドを0dBとして第３表に示した。
耗量に全く影響がないことがわかつた。 次に従来のMn−Znフエライトを用いたビデオ
ヘツドと本発明による非晶質合金を用いた磁気ヘ
ツドの特性の比較を行なつた。 本発明の磁気ヘツドは次のようにして作成し
た。 0.6Paのアルゴン（Ar）中で結晶化ガラス上に
スパツタリングで第１表に示す組成の非晶質合金
膜を形成した。非晶質合金膜の厚みは10μｍであ
る。更にこの上にSiO2薄膜を0.1μｍスパツタリン
グで形成した。更に再び10μｍの非晶質合金、続
いて0.1μｍのSiO2薄膜というように順次積槽を行
ない、トラツク幅30.2μｍの非晶質合金部を作成
した。 これと結晶化ガラスを貼り合せ、第３図に示す
磁気ヘツドを作成した。第３図Ａは完成した磁気
ヘツドの断面図を示している。第３図Ａにおいて
符号１Ａで示されているものは基板となる結晶化
ガラス、又符号１Ｂは前記のようにして形成した
非晶質合金の膜である。又第３図Ｂは形成した磁
気ヘツドの上面図を示している。第３図Ｂに示す
ように磁気ヘツドは左右のコア半体５Ａ，５Ｂか
ら形成されている。コア半体５Ａ，５Ｂは第３図
Ａに示した基板を突き合わせたものである。コア
半体５Ｂには巻線窓５Ｃが形成されており、コア
半体５Ａ，５Ｂは巻線窓の一部分、又巻線窓の下
の切り欠き部分の一部分において溶着用ガラス３
Ａ，３Ｂにより固定されている。上記のようにし
て形成した磁気ヘツドを市販のVTRの回転シリ
ンダに搭載し、又同時に上記の非晶質合金磁気ヘ
ツドと同等のトラツク幅をもつ従来方式の単結晶
Mn−Znフエライト磁気ヘツドの特性比較を行な
つた。 特性評価用の磁気記録媒体としてはメタルテー
プを使用し、5MHzにおける基準シグナルの自己
録再感度の相対比を従来のMn−Zn単結晶フエラ
イトヘツドを0dBとして第３表に示した。
【表】
第３表に示すようにMn−Zn単結晶による磁気
コアを有する磁気ヘツドの録再感度を0dBとする
と表の一番下のAlの組成の一番多いヘツドが従
来例と同じ録再感度であるのに比べ、他の発明に
よる組成を有するコアから成る磁気ヘツドは従来
に比べて大幅に感度が上昇していることがわか
る。即ち本発明による磁気ヘツドは5MHzという
高周波帯域において、従来と同等又はそれ以上の
記録再生特性を得ることができた。 ［効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれ
ば、COx、Zry、Nbz、Alw（Ｘ＋Ｙ＋Ｚ＋Ｗ＝
100）なる原子組成を有し、且、Ｘ，Ｙ，Ｚ，Ｗ
を夫々75≦Ｘ≦95、５≦Ｙ≦20、０＜Ｚ≦20、０
＜Ｗ≦５とした非晶質合金膜で磁気コアの少なく
とも一部分を構成することにより、即ちCO、Zr、
Nb、よりなる従来の合金に対し少量のAlをコア
の材質として添加することで耐蝕性を大きく向上
させることができる。このCO−Zr−Nb−Alか
ら成る高耐蝕性非晶質合金をコアとした磁気ヘツ
ドは、従来のMn−Zn単結晶フエライトヘツドの
耐摩耗性、自己記録再生感度特性に比較して同等
もしくはそれ以上の特性を得ることができる。
コアを有する磁気ヘツドの録再感度を0dBとする
と表の一番下のAlの組成の一番多いヘツドが従
来例と同じ録再感度であるのに比べ、他の発明に
よる組成を有するコアから成る磁気ヘツドは従来
に比べて大幅に感度が上昇していることがわか
る。即ち本発明による磁気ヘツドは5MHzという
高周波帯域において、従来と同等又はそれ以上の
記録再生特性を得ることができた。 ［効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれ
ば、COx、Zry、Nbz、Alw（Ｘ＋Ｙ＋Ｚ＋Ｗ＝
100）なる原子組成を有し、且、Ｘ，Ｙ，Ｚ，Ｗ
を夫々75≦Ｘ≦95、５≦Ｙ≦20、０＜Ｚ≦20、０
＜Ｗ≦５とした非晶質合金膜で磁気コアの少なく
とも一部分を構成することにより、即ちCO、Zr、
Nb、よりなる従来の合金に対し少量のAlをコア
の材質として添加することで耐蝕性を大きく向上
させることができる。このCO−Zr−Nb−Alか
ら成る高耐蝕性非晶質合金をコアとした磁気ヘツ
ドは、従来のMn−Zn単結晶フエライトヘツドの
耐摩耗性、自己記録再生感度特性に比較して同等
もしくはそれ以上の特性を得ることができる。
第１図は耐摩耗性を調べるために作成した擬似
ヘツドの構成を示すもので第１図Ａは結晶質ガラ
スからなる基板の平面図、第１図Ｂは非晶質合金
膜を形成した基板を貼り合わせた際の断面図、第
２図は第１図Ａ，Ｂに示した擬似ヘツドに摩耗試
験を行なつた後の偏摩耗を示した説明図、第３図
Ａは本発明により作成した磁気ヘツドの断面図、
第３図Ｂは本発明による磁気ヘツドの上面図であ
る。 １Ａ……基板、１Ｂ……非晶質合金、５Ａ，５
Ｂ……コア半体。
ヘツドの構成を示すもので第１図Ａは結晶質ガラ
スからなる基板の平面図、第１図Ｂは非晶質合金
膜を形成した基板を貼り合わせた際の断面図、第
２図は第１図Ａ，Ｂに示した擬似ヘツドに摩耗試
験を行なつた後の偏摩耗を示した説明図、第３図
Ａは本発明により作成した磁気ヘツドの断面図、
第３図Ｂは本発明による磁気ヘツドの上面図であ
る。 １Ａ……基板、１Ｂ……非晶質合金、５Ａ，５
Ｂ……コア半体。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ COx、Zry、Nbz、Alw（Ｘ＋Ｙ＋Ｚ＋Ｗ＝
100）の原子組成を有する非晶質合金膜で磁気コ
アの少なくとも一部分が構成されており、 前記非晶質合金膜の組成は原子組成で前記の
Ｘ，Ｙ，Ｚ，Ｗが夫々75≦Ｘ≦95、５≦Ｙ≦20、
０＜Ｚ≦20、０＜Ｗ≦５であることを特徴とする
磁気ヘツド。 ２ 前記磁気コアの磁気記録媒体摺接部に前記非
晶質合金膜が配置されることを特徴とする特許請
求の範囲第１項に記載の磁気ヘツド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15418485A JPS6215805A (ja) | 1985-07-15 | 1985-07-15 | 磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15418485A JPS6215805A (ja) | 1985-07-15 | 1985-07-15 | 磁気ヘツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6215805A JPS6215805A (ja) | 1987-01-24 |
| JPH0562804B2 true JPH0562804B2 (ja) | 1993-09-09 |
Family
ID=15578670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15418485A Granted JPS6215805A (ja) | 1985-07-15 | 1985-07-15 | 磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6215805A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6488907A (en) * | 1987-09-30 | 1989-04-03 | Canon Denshi Kk | Magnetic head |
| JPH01116905A (ja) * | 1987-10-30 | 1989-05-09 | Canon Electron Inc | 磁気ヘッド |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5633453A (en) * | 1979-08-27 | 1981-04-03 | Takeshi Masumoto | Iron-base amorphous alloy having high magnetic flux density and small magnetostriction |
| JPS5898824A (ja) * | 1981-12-09 | 1983-06-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気ヘツド |
| JPS6039157A (ja) * | 1983-08-12 | 1985-02-28 | Hitachi Ltd | 非晶質磁性合金の製造方法 |
-
1985
- 1985-07-15 JP JP15418485A patent/JPS6215805A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5633453A (en) * | 1979-08-27 | 1981-04-03 | Takeshi Masumoto | Iron-base amorphous alloy having high magnetic flux density and small magnetostriction |
| JPS5898824A (ja) * | 1981-12-09 | 1983-06-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気ヘツド |
| JPS6039157A (ja) * | 1983-08-12 | 1985-02-28 | Hitachi Ltd | 非晶質磁性合金の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6215805A (ja) | 1987-01-24 |
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