JP7753339B2 - 銅張積層板及びその形成方法 - Google Patents

銅張積層板及びその形成方法

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Description

本開示は、銅張積層板及びその形成方法に関する。特に、本開示は、誘電体コーティングを有する銅張積層板及びその形成方法に関する。
銅張積層板(Copper-clad laminate、CCL)は、導電性銅箔の2つの層の上又は間に積層された誘電体材料を含む。その後の作業によって、そのようなCCLがプリント回路基板(printed circuit board、PCB)に変換される。PCBを形成するために使用される場合、導電性銅箔は、選択的にエッチングされて、層間に穿孔されたスルーホールを有する回路を形成し、金属化、すなわちめっきされて、多層PCB中の層間の導電性を確立する。したがって、CCLは、優れた熱機械的安定性を示さなければならない。PCBはまた、使用中だけでなく、はんだ付けなどの製造作業中にも過度に高い温度に日常的にさらされる。したがって、それらは、変形することなく200℃を超える連続温度で機能しなければならず、吸湿に抵抗しながら劇的な温度変動に耐えなければならない。CCLの誘電体層は、導電層間のスペーサとして作用し、導電性を遮断することによって電気信号損失及びクロストークを最小限に抑えることができる。誘電体層の誘電率(絶対誘電率)が低いほど、層を通る電気信号の速度が高くなる。したがって、材料の分極率だけでなく、温度及び周波数に依存する低い誘電正接は、高周波用途にとって非常に重要である。したがって、PCB及び他の高周波用途で使用することができる改善された誘電体材料及び誘電体層が望まれる。
第1の態様によれば、銅張積層板は、銅箔層と、銅箔層を覆う誘電体コーティングと、を含み得る。誘電体コーティングは、樹脂マトリックス成分と、セラミックフィラー成分と、を含み得る。セラミックフィラー成分は、第1のフィラー材料を含み得る。誘電体コーティングは、約20ミクロン以下の平均厚さを有し得る。
別の態様によれば、銅張積層板は、銅箔層と、銅箔層を覆う誘電体コーティングと、を含み得る。誘電体コーティングは、樹脂マトリックス成分と、セラミックフィラー成分と、を含み得る。セラミックフィラー成分は、第1のフィラー材料を含み得る。第1のフィラー材料の粒径分布は、少なくとも約0.2ミクロンかつ約1.6以下のD10、少なくとも約0.5ミクロンかつ約2.7ミクロン以下のD50、及び少なくとも約0.8ミクロンかつ約4.7ミクロン以下のD90を有し得る。
更に別の態様によれば、銅張積層板は、銅箔層と、銅箔層を覆う誘電体コーティングと、を含み得る。誘電体コーティングは、樹脂マトリックス成分と、セラミックフィラー成分と、を含み得る。セラミックフィラー成分は、第1のフィラー材料を含み得る。第1のフィラー材料は、約5ミクロン以下の平均粒径、及び約5以下の粒径分布スパン(particle size distribution span、PSDS)を更に有し得、PSDSは、(D90-D10)/D50に等しく、D90は、第1のフィラー材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10は、第1のフィラー材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50は、第1のフィラー材料のD50粒径分布測定値に等しい。
別の態様によれば、プリント回路基板は、銅張積層板を含み得る。銅張積層板は、銅箔層と、銅箔層を覆う誘電体コーティングと、を含み得る。誘電体コーティングは、樹脂マトリックス成分と、セラミックフィラー成分と、を含み得る。セラミックフィラー成分は、第1のフィラー材料を含み得る。誘電体コーティングは、約20ミクロン以下の平均厚さを有し得る。
更に別の態様によれば、プリント回路基板は、銅張積層板を含み得る。銅張積層板は、銅箔層と、銅箔層を覆う誘電体コーティングと、を含み得る。誘電体コーティングは、樹脂マトリックス成分と、セラミックフィラー成分と、を含み得る。セラミックフィラー成分は、第1のフィラー材料を含み得る。第1のフィラー材料の粒径分布は、少なくとも約0.2ミクロンかつ約1.6以下のD10、少なくとも約0.5ミクロンかつ約2.7ミクロン以下のD50、及び少なくとも約0.8ミクロンかつ約4.7ミクロン以下のD90を有し得る。
別の態様によれば、プリント回路基板は、銅張積層板を含み得る。銅張積層板は、銅箔層と、銅箔層を覆う誘電体コーティングと、を含み得る。誘電体コーティングは、樹脂マトリックス成分と、セラミックフィラー成分と、を含み得る。セラミックフィラー成分は、第1のフィラー材料を含み得る。第1のフィラー材料は、約5ミクロン以下の平均粒径、及び約5以下の粒径分布スパン(PSDS)を更に有し得、PSDSは、(D90-D10)/D50に等しく、D90は、第1のフィラー材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10は、第1のフィラー材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50は、第1のフィラー材料のD50粒径分布測定値に等しい。
別の態様によれば、銅張積層板を形成する方法は、銅箔層を提供することと、樹脂マトリックス前駆体成分とセラミックフィラー前駆体成分とを合わせて、形成混合物を形成することと、形成混合物を、銅箔を覆う誘電体コーティングに形成することと、を含み得る。セラミックフィラー前駆体成分は、第1のフィラー前駆体材料を含み得る。誘電体コーティングは、約20ミクロン以下の平均厚さを有し得る。
更に別の態様によれば、銅張積層板を形成する方法は、銅箔層を提供することと、樹脂マトリックス前駆体成分とセラミックフィラー前駆体成分とを合わせて、形成混合物を形成することと、形成混合物を、銅箔を覆う誘電体コーティングに形成することと、を含み得る。セラミックフィラー前駆体成分は、第1のフィラー前駆体材料を含み得る。第1のフィラー材料の粒径分布は、少なくとも約0.2ミクロンかつ約1.6以下のD10、少なくとも約0.5ミクロンかつ約2.7ミクロン以下のD50、及び少なくとも約0.8ミクロンかつ約4.7ミクロン以下のD90を有し得る。
別の態様によれば、銅張積層板を形成する方法は、銅箔層を提供することと、樹脂マトリックス前駆体成分とセラミックフィラー前駆体成分とを合わせて、形成混合物を形成することと、形成混合物を、銅箔を覆う誘電体コーティングに形成することと、を含み得る。セラミックフィラー前駆体成分は、第1のフィラー前駆体材料を含み得る。第1のフィラー前駆体材料は、約5ミクロン以下の平均粒径、及び約5以下の粒径分布スパン(PSDS)を更に有し得、PSDSは、(D90-D10)/D50に等しく、D90は、第1のフィラー前駆体材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10は、第1のフィラー前駆体材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50は、第1のフィラー前駆体材料のD50粒径分布測定値に等しい。
別の態様によれば、プリント回路基板を形成する方法は、銅箔層を提供することと、樹脂マトリックス前駆体成分とセラミックフィラー前駆体成分とを合わせて、形成混合物を形成することと、形成混合物を、銅箔を覆う誘電体コーティングに形成することと、を含み得る。セラミックフィラー前駆体成分は、第1のフィラー前駆体材料を含み得る。誘電体コーティングは、約20ミクロン以下の平均厚さを有し得る。
更に別の態様によれば、プリント回路基板を形成する方法は、銅箔層を提供することと、樹脂マトリックス前駆体成分とセラミックフィラー前駆体成分とを合わせて、形成混合物を形成することと、形成混合物を、銅箔を覆う誘電体コーティングに形成することと、を含み得る。セラミックフィラー前駆体成分は、第1のフィラー前駆体材料を含み得る。第1のフィラー材料の粒径分布は、少なくとも約0.2ミクロンかつ約1.6以下のD10、少なくとも約0.5ミクロンかつ約2.7ミクロン以下のD50、及び少なくとも約0.8ミクロンかつ約4.7ミクロン以下のD90を有し得る。
別の態様によれば、プリント回路基板を形成する方法は、銅箔層を提供することと、樹脂マトリックス前駆体成分とセラミックフィラー前駆体成分とを合わせて、形成混合物を形成することと、形成混合物を、銅箔を覆う誘電体コーティングに形成することと、を含み得る。セラミックフィラー前駆体成分は、第1のフィラー前駆体材料を含み得る。第1のフィラー前駆体材料は、約5ミクロン以下の平均粒径、及び約5以下の粒径分布スパン(PSDS)を更に有し得、PSDSは、(D90-D10)/D50に等しく、D90は、第1のフィラー前駆体材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10は、第1のフィラー前駆体材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50は、第1のフィラー前駆体材料のD50粒径分布測定値に等しい。
実施形態は、例として示されており、添付の図面に限定されない。
本明細書に記載の実施形態による銅張積層板の形成方法を示す図を含む。 本明細書に記載の実施形態に従って形成された銅張積層板の構成を示す図解を含む。 本明細書に記載の実施形態によるプリント回路基板の形成方法を示す図を含む。 本明細書に記載の実施形態に従って形成されたプリント回路基板の構成を示す図解を含む。
当業者は、図中の要素が簡略化及び明瞭化を目的として示されており、必ずしも縮尺通りに描かれていないことを理解する。
以下の説明は、教示の特定の実施態様及び実施形態に焦点を当てている。詳細な説明は、特定の実施形態を説明するのを助けるために提供されており、本開示又は教示の範囲又は適用性に関する限定として解釈されるべきではない。本明細書で提供される本開示及び教示に基づいて、他の実施形態を使用することができることが理解されよう。
用語「備える(comprises)」、「備える(comprising)」、「含む(includes)」、「含む(including)」、「有する(has)」、「有する(having)」、又はそれらの任意の他の変形は、非排他的包含を網羅することを意図している。例えば、特徴のリストを含む方法、物品、又は装置は、必ずしもそれらの特徴に限定されるものではないが、明示的に列挙されていない他の特徴、あるいはそのような方法、物品、又は装置に固有の他の特徴を含み得る。更に、矛盾する記載がない限り、「又は」は、包含的なorを指し、排他的なorを指すのではない。例えば、条件A又はBは、以下のいずれか1つによって満たされる:Aが真であり(又は存在し)、かつBが偽である(又は存在しない)、Aが偽であり(又は存在せず)、かつBが真である(又は存在する)、並びにA及びBの両方が真である(又は存在する)。
本明細書に記載される実施形態は、概して、銅箔層と、銅箔層を覆う誘電体コーティングと、を含み得る銅張積層板を対象とする。特定の実施形態によれば、誘電体コーティングは、樹脂マトリックス成分と、セラミックフィラー成分と、を含み得る。
最初に銅張積層板を形成する方法について言及すると、図1は、本明細書に記載の実施形態による銅張積層板を形成するための形成方法100を示す図を含む。特定の実施形態によれば、形成方法100は、銅箔層を提供する第1のステップ110と、樹脂マトリックス前駆体成分とセラミックフィラー前駆体成分とを合わせて、形成混合物を形成する第2のステップ120と、形成混合物を、銅箔層を覆う誘電体コーティングに形成して銅張積層板を形成する第3のステップ130と、を含み得る。
特定の実施形態によれば、セラミックフィラー前駆体成分は、形成方法100によって形成された銅張積層板の性能を改善し得る特定の特性を有し得る第1のフィラー前駆体材料を含み得る。
特定の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、特定の径分布を有し得る。本明細書に記載される実施形態の目的のために、材料の粒径分布、例えば、第1のフィラー前駆体材料の粒径分布は、粒径分布D値D10、D50、及びD90の任意の組み合わせを使用して記載され得る。粒径分布からのD10値は、粒子の10%がその値よりも小さく、粒子の90%がその値よりも大きい粒径値として定義される。粒径分布からのD50値は、粒子の50%がその値よりも小さく、粒子の50%がその値よりも大きい粒径値として定義される。粒径分布からのD90値は、粒子の90%がその値よりも小さく、粒子の10%がその値よりも大きい粒径値として定義される。本明細書に記載される実施形態の目的のために、特定の材料の粒径測定は、レーザ回折分光法を使用して行われる。
特定の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、特定の径分布D10値を有し得る。例えば、第1のフィラー前駆体材料のD10は、少なくとも約0.2ミクロン、例えば、少なくとも約0.3ミクロン、又は少なくとも約0.4ミクロン、又は少なくとも約0.5ミクロン、又は少なくとも約0.6ミクロン、又は少なくとも約0.7ミクロン、又は少なくとも約0.8ミクロン、又は少なくとも約0.9ミクロン、又は少なくとも約1.0ミクロン、又は少なくとも約1.1ミクロン、又は更には少なくとも約1.2ミクロンであり得る。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料のD10は、約1.6ミクロン以下、例えば、約1.5ミクロン以下、又は更には約1.4ミクロン以下であり得る。第1のフィラー前駆体材料のD10は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー前駆体材料のD10は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、特定の径分布D50値を有し得る。例えば、第1のフィラー前駆体材料のD50は、少なくとも約0.5ミクロン、例えば、少なくとも約0.6ミクロン、又は少なくとも約0.7ミクロン、又は少なくとも約0.8ミクロン、又は少なくとも約0.9ミクロン、又は少なくとも約1.0ミクロン、又は少なくとも約1.1ミクロン、又は少なくとも約1.2ミクロン、又は少なくとも約1.3ミクロン、又は少なくとも約1.4ミクロン、又は少なくとも約1.5ミクロン、又は少なくとも約1.6ミクロン、又は少なくとも約1.7ミクロン、又は少なくとも約1.8ミクロン、又は少なくとも約1.9ミクロン、又は少なくとも約2.0ミクロン、又は少なくとも約2.1ミクロン、又は更には少なくとも約2.2ミクロンであり得る。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料のD50は、約2.7ミクロン以下、例えば、約2.6ミクロン以下、又は約2.5ミクロン以下、又は更には約2.4ミクロン以下であり得る。第1のフィラー前駆体材料のD50は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー前駆体材料のD50は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、特定の径分布D90値を有し得る。例えば、第1のフィラー前駆体材料のD90は、少なくとも約0.8ミクロン、例えば、少なくとも約0.9ミクロン、又は少なくとも約1.0ミクロン、又は少なくとも約1.1ミクロン、又は少なくとも約1.2ミクロン、又は少なくとも約1.3ミクロン、又は少なくとも約1.4ミクロン、又は少なくとも約1.5ミクロン、又は少なくとも約1.6ミクロン、又は少なくとも約1.7ミクロン、又は少なくとも約1.8ミクロン、又は少なくとも約1.9ミクロン、又は少なくとも約2.0ミクロン、又は少なくとも約2.1ミクロン、又は少なくとも約2.2ミクロン、又は少なくとも約2.3ミクロン、又は少なくとも約2.4ミクロン、又は少なくとも約2.5ミクロン、又は少なくとも約2.6ミクロン、又は更には少なくとも約2.7ミクロンであり得る。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料のD90は、約8.0ミクロン以下、例えば、約7.5ミクロン以下、又は約7.0ミクロン以下、又は約6.5ミクロン以下、又は約6.0ミクロン以下、又は約5.5ミクロン以下、又は約5.4ミクロン以下、又は約5.3ミクロン以下、又は約5.2ミクロン以下、又は更には約5.1ミクロン以下であり得る。第1のフィラー前駆体材料のD90は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー前駆体材料のD90は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、レーザ回折分光法を使用して測定される特定の平均粒径を有し得る。例えば、第1のフィラー前駆体材料の平均粒径は、約10ミクロン以下、例えば、約9ミクロン以下、又は約8ミクロン以下、又は約7ミクロン以下、又は約6ミクロン以下、又は約5ミクロン以下、又は約4ミクロン以下、又は約3ミクロン以下、又は更には約2ミクロン以下であり得る。第1のフィラー前駆体材料の平均粒径は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー前駆体材料の平均粒径は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、特定の粒径分布スパン(PSDS)を有するものとして記載されてもよく、PSDSは、(D90-D10)/D50に等しく、D90は、第1のフィラー前駆体材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10は、第1のフィラー前駆体材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50は、第1のフィラー前駆体材料のD50粒径分布測定値に等しい。例えば、第1のフィラー前駆体材料のPSDSは、約5以下、例えば、約4.5以下、又は約4.0以下、又は約3.5以下、又は約3.0以下、又は更には約2.5以下であり得る。第1のフィラー前駆体材料のPSDSは、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー前駆体材料のPSDSは、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、ブルナウアー-エメット-テラー(Brunauer-Emmett-Teller、BET)表面積分析(窒素吸着)を使用して測定される特定の平均表面積を有するものとして記載され得る。例えば、第1のフィラー前駆体材料は、約10m/g以下、例えば、約9.9m/g以下、又は約9.5m/g以下、又は約9.0m/g以下、又は約8.5m/g以下、又は約8.0m/g以下、又は約7.5m/g以下、又は約7.0m/g以下、又は約6.5m/g以下、又は約6.0m/g以下、又は約5.5m/g以下、又は約5.0m/g以下、又は約4.5m/g以下、又は約4.0m/g以下、又は更には約3.5m以下の平均表面積を有し得る。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、少なくとも約1.2m/g、例えば、少なくとも約2.2m/gの平均表面積を有し得る。第1のフィラー前駆体材料の平均表面積は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー前駆体材料の平均表面積は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、特定の材料を含み得る。特定の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、シリカ系化合物を含み得る。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、シリカ系化合物からなり得る。他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、シリカを含み得る。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、シリカからなり得る。
更に他の実施形態によれば、形成混合物は、特定の含有量のセラミックフィラー前駆体成分を含み得る。例えば、セラミックフィラー前駆体成分の含有量は、第1の形成混合物の総体積に対して少なくとも約30体積%、例えば、少なくとも約31体積%、又は少なくとも約32体積%、又は少なくとも約33体積%、又は少なくとも約34体積%、又は少なくとも約35体積%、又は少なくとも約36体積%、又は少なくとも約37体積%、又は少なくとも約38体積%、又は少なくとも約39体積%、又は少なくとも約40体積%、又は少なくとも約41体積%、又は少なくとも約42体積%、又は少なくとも約43体積%、又は少なくとも約44体積%、又は少なくとも約45体積%、又は少なくとも約46体積%、又は少なくとも約47体積%、又は少なくとも約48体積%、又は少なくとも約49体積%、又は少なくとも約50体積%、又は少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は更には少なくとも約54体積%であり得る。更に他の実施形態によれば、セラミックフィラー前駆体成分の含有量は、形成混合物の総体積に対して約57体積%以下、例えば、約56体積%以下、又は更には約55体積%以下であり得る。セラミックフィラー前駆体成分の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。セラミックフィラー前駆体成分の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、セラミックフィラー前駆体成分は、特定の含有量の第1のフィラー前駆体材料を含み得る。例えば、第1のフィラー前駆体材料の含有量は、セラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して少なくとも約80体積%、例えば、少なくとも約81体積%、又は少なくとも約82体積%、又は少なくとも約83体積%、又は少なくとも約84体積%、又は少なくとも約85体積%、又は少なくとも約86体積%、又は少なくとも約87体積%、又は少なくとも約88体積%、又は少なくとも約89体積%、又は更には少なくとも約90体積%であり得る。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料の含有量は、セラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して約100体積%以下、例えば、約99体積%以下、又は約98体積%以下、又は約97体積%以下、又は約96体積%以下、又は約95体積%以下、又は約94体積%以下、又は約93体積%以下、又は更には約92体積%以下であり得る。第1のフィラー前駆体材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー前駆体材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、セラミックフィラー前駆体成分は、第2のフィラー前駆体材料を含み得る。
他の実施形態によれば、第2のフィラー前駆体材料は、特定の材料を含み得る。例えば、第2のフィラー前駆体材料は、高誘電率セラミック材料、例えば、少なくとも約14の誘電率を有するセラミック材料を含み得る。特定の実施形態によれば、第2のフィラー前駆体材料は、任意の高誘電率セラミック材料、例えば、TiO、SrTiO、ZrTi、MgTiO、CaTiO、BaTiO、又はそれらの任意の組み合わせを含み得る。
更に他の実施形態によれば、第2のフィラー前駆体材料は、TiOを含み得る。更に他の実施形態によれば、第2のフィラー前駆体材料は、TiOからなり得る。
更に他の実施形態によれば、セラミックフィラー前駆体成分は、特定の含有量の第2のフィラー前駆体材料を含み得る。例えば、第2のフィラー前駆体材料の含有量は、セラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して少なくとも約1体積%、例えば、少なくとも約2体積%、又は少なくとも約3体積%、又は少なくとも約4体積%、又は少なくとも約5体積%、又は少なくとも約6体積%、又は少なくとも約7体積%、又は少なくとも約8体積%、又は少なくとも約9体積%、又は少なくとも約10体積%であり得る。更に他の実施形態によれば、第2のフィラー前駆体材料の含有量は、セラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して約20体積%以下、例えば、約19体積%以下、又は約18体積%以下、又は約17体積%以下、又は約16体積%以下、又は約15体積%以下、又は約14体積%以下、又は約13体積%以下、又は約12体積%以下であり得る。第2のフィラー前駆体材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。第2のフィラー前駆体材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、セラミックフィラー前駆体成分は、特定の含有量の非晶質材料を含み得る。例えば、セラミックフィラー前駆体成分は、少なくとも約98%、又は更には少なくとも約99%などの少なくとも約97%の非晶質材料を含み得る。非晶質材料の含有量は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。非晶質材料の含有量は、上記の値のいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、樹脂マトリックス前駆体成分は、特定の材料を含み得る。例えば、樹脂マトリックス前駆体成分は、パーフルオロポリマーを含み得る。更に他の実施形態によれば、樹脂マトリックス前駆体成分は、パーフルオロポリマーからなり得る。
更に他の実施形態によれば、樹脂マトリックス前駆体成分のパーフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(tetrafluoroethylene、TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(hexafluoropropylene、HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせを含み得る。他の実施形態によれば、樹脂マトリックス前駆体成分のパーフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせからなり得る。
更に他の実施形態によれば、樹脂マトリックス前駆体成分のパーフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(polytetrafluoroethylene、PTFE)、パーフルオロアルコキシポリマー樹脂(perfluoroalkoxy、PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(fluorinated ethylene propylene、FEP)、又はそれらの任意の組み合わせを含み得る。更に他の実施形態によれば、樹脂マトリックス前駆体成分のパーフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、パーフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせからなり得る。
更に他の実施形態によれば、形成混合物は、特定の含有量の樹脂マトリックス前駆体成分を含み得る。例えば、樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、形成混合物の総体積に対して少なくとも約45体積%、例えば、少なくとも約46体積%、又は少なくとも約47体積%、又は少なくとも約48体積%、又は少なくとも約49体積%、又は少なくとも約50体積%、又は少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は少なくとも約54体積%、又は更には少なくとも約55体積%であり得る。更に他の実施形態によれば、樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、形成混合物の総体積に対して約63体積%以下、又は約62体積%以下、又は約61体積%以下、又は約60体積%以下、又は約59体積%以下、又は約58体積%以下、又は更には約57体積%以下である。樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、形成混合物は、特定の含有量のパーフルオロポリマーを含み得る。例えば、パーフルオロポリマーの含有量は、形成混合物の総体積に対して少なくとも約45体積%、例えば、少なくとも約46体積%、又は少なくとも約47体積%、又は少なくとも約48体積%、又は少なくとも約49体積%、又は少なくとも約50体積%、又は少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は少なくとも約54体積%、又は更には少なくとも約55体積%であり得る。更に他の実施形態によれば、パーフルオロポリマーの含有量は、形成混合物の総体積に対して約63体積%以下、例えば、約62体積%以下、又は約61体積%以下、又は約60体積%以下、又は約59体積%以下、又は約58体積%以下、又は更には約57体積%以下であり得る。パーフルオロポリマーの含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。パーフルオロポリマーの含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
ここで、形成方法100に従って形成された銅張積層板の実施形態について言及すると、図2は、銅張積層板200の図を含む。図2に示すように、銅張積層板200は、銅箔層202と、銅箔層202の表面を覆う誘電体コーティング205と、を含み得る。特定の実施形態によれば、誘電体コーティング205は、樹脂マトリックス成分210及びセラミックフィラー成分220を含み得る。
特定の実施形態によれば、セラミックフィラー成分220は、銅張積層板200の性能を改善し得る特定の特性を有し得る第1のフィラー材料を含み得る。
特定の実施形態によれば、セラミックフィラー成分220の第1のフィラー材料は、特定の径分布を有し得る。本明細書に記載される実施形態の目的のために、材料の粒径分布、例えば、第1のフィラー材料の粒径分布は、粒径分布D値D10、D50、及びD90の任意の組み合わせを使用して記載され得る。粒径分布からのD10値は、粒子の10%がその値よりも小さく、粒子の90%がその値よりも大きい粒径値として定義される。粒径分布からのD50値は、粒子の50%がその値よりも小さく、粒子の50%がその値よりも大きい粒径値として定義される。粒径分布からのD90値は、粒子の90%がその値よりも小さく、粒子の10%がその値よりも大きい粒径値として定義される。本明細書に記載される実施形態の目的のために、特定の材料の粒径測定は、レーザ回折分光法を使用して行われる。
特定の実施形態によれば、セラミックフィラー成分220の第1のフィラー材料は、特定の径分布D10値を有し得る。例えば、第1のフィラー材料のD10は、少なくとも約0.2ミクロン、例えば、少なくとも約0.3ミクロン、又は少なくとも約0.4ミクロン、又は少なくとも約0.5ミクロン、又は少なくとも約0.6ミクロン、又は少なくとも約0.7ミクロン、又は少なくとも約0.8ミクロン、又は少なくとも約0.9ミクロン、又は少なくとも約1.0ミクロン、又は少なくとも約1.1ミクロン、又は更には少なくとも約1.2ミクロンであり得る。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料のD10は、約1.6ミクロン以下、例えば、約1.5ミクロン以下、又は更には約1.4ミクロン以下であり得る。第1のフィラー材料のD10は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー材料のD10は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、セラミックフィラー成分420の第1のフィラー材料は、特定の径分布D50値を有し得る。例えば、第1のフィラー材料のD50は、少なくとも約0.5ミクロン、例えば、少なくとも約0.6ミクロン、又は少なくとも約0.7ミクロン、又は少なくとも約0.8ミクロン、又は少なくとも約0.9ミクロン、又は少なくとも約1.0ミクロン、又は少なくとも約1.1ミクロン、又は少なくとも約1.2ミクロン、又は少なくとも約1.3ミクロン、又は少なくとも約1.4ミクロン、又は少なくとも約1.5ミクロン、又は少なくとも約1.6ミクロン、又は少なくとも約1.7ミクロン、又は少なくとも約1.8ミクロン、又は少なくとも約1.9ミクロン、又は少なくとも約2.0ミクロン、又は少なくとも約2.1ミクロン、又は更には少なくとも約2.2ミクロンであり得る。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料のD50は、約2.7ミクロン以下、例えば、約2.6ミクロン以下、又は約2.5ミクロン以下、又は更には約2.4ミクロン以下であり得る。第1のフィラー材料のD50は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー材料のD50は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、セラミックフィラー成分420の第1のフィラー材料は、特定の径分布D90値を有し得る。例えば、第1のフィラー材料のD90は、少なくとも約0.8ミクロン、例えば、少なくとも約0.9ミクロン、又は少なくとも約1.0ミクロン、又は少なくとも約1.1ミクロン、又は少なくとも約1.2ミクロン、又は少なくとも約1.3ミクロン、又は少なくとも約1.4ミクロン、又は少なくとも約1.5ミクロン、又は少なくとも約1.6ミクロン、又は少なくとも約1.7ミクロン、又は少なくとも約1.8ミクロン、又は少なくとも約1.9ミクロン、又は少なくとも約2.0ミクロン、又は少なくとも約2.1ミクロン、又は少なくとも約2.2ミクロン、又は少なくとも約2.3ミクロン、又は少なくとも約2.4ミクロン、又は少なくとも約2.5ミクロン、又は少なくとも約2.6ミクロン、又は更には少なくとも約2.7ミクロンであり得る。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料のD90は、約8.0ミクロン以下、例えば、約7.5ミクロン以下、又は約7.0ミクロン以下、又は約6.5ミクロン以下、又は約6.0ミクロン以下、又は約5.5ミクロン以下、又は約5.4ミクロン以下、又は約5.3ミクロン以下、又は約5.2ミクロン以下、又は更には約5.1ミクロン以下であり得る。第1のフィラー材料のD90は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー材料のD90は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、セラミックフィラー成分220の第1のフィラー材料は、レーザ回折分光法を使用して測定される特定の平均粒径を有し得る。例えば、第1のフィラー材料の平均粒径は、約10ミクロン以下、例えば、約9ミクロン以下、又は約8ミクロン以下、又は約7ミクロン以下、又は約6ミクロン以下、又は約5ミクロン以下、又は約4ミクロン以下、又は約3ミクロン以下、又は更には約2ミクロン以下であり得る。第1のフィラー材料の平均粒径は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー材料の平均粒径は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、セラミックフィラー成分220の第1のフィラー材料は、特定の粒径分布スパン(PSDS)を有するものとして記載されてもよく、PSDSは、(D90-D10)/D50に等しく、D90は、第1のフィラー材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10は、第1のフィラー材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50は、第1のフィラー材料のD50粒径分布測定値に等しい。例えば、第1のフィラー材料のPSDSは、約5以下、例えば、約4.5以下、又は約4.0以下、又は約3.5以下、又は約3.0以下、又は更には約2.5以下であり得る。第1のフィラー材料のPSDSは、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー材料のPSDSは、上記の値のいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、セラミックフィラー成分220の第1のフィラー材料は、ブルナウアー-エメット-テラー(BET)表面積分析(窒素吸着)を使用して測定される特定の平均表面積を有するものとして記載され得る。例えば、第1のフィラー材料は、約10m/g以下、例えば、約9.9m/g以下、又は約9.5m/g以下、又は約9.0m/g以下、又は約8.5m/g以下、又は約8.0m/gm/g以下、又は約7.5m/g以下、又は約7.0m/g以下、又は約6.5m/g以下、又は約6.0m/g以下、又は約5.5m/g以下、又は約5.0m/g以下、又は約4.5m/g以下、又は約4.0m/g以下、又は更には約3.5m以下の平均表面積を有し得る。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料は、少なくとも約1.2m/g、例えば、少なくとも約2.2m/gの平均表面積を有し得る。第1のフィラー材料の平均表面積は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー材料の平均表面積は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、セラミックフィラー成分220の第1のフィラー材料は、特定の材料を含み得る。特定の実施形態によれば、第1のフィラー材料は、シリカ系化合物を含み得る。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料は、シリカ系化合物からなり得る。他の実施形態によれば、第1のフィラー材料は、シリカを含み得る。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料は、シリカからなり得る。
更に他の実施形態によれば、誘電体コーティング205は、特定の含有量のセラミックフィラー成分220を含み得る。例えば、セラミックフィラー成分220の含有量は、誘電体コーティング205の総体積に対して少なくとも約30体積%、例えば、少なくとも約31体積%、又は少なくとも約32体積%、又は少なくとも約33体積%、又は少なくとも約34体積%、又は少なくとも約35体積%、又は少なくとも約36体積%、又は少なくとも約37体積%、又は少なくとも約38体積%、又は少なくとも約39体積%、又は少なくとも約40体積%、又は少なくとも約41体積%、又は少なくとも約42体積%、又は少なくとも約43体積%、又は少なくとも約44体積%、又は少なくとも約45体積%、又は少なくとも約46体積%、又は少なくとも約47体積%、又は少なくとも約48体積%、又は少なくとも約49体積%、又は少なくとも約50体積%、又は少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は更には少なくとも約54体積%であり得る。更に他の実施形態によれば、セラミックフィラー成分420の含有量は、誘電体コーティング400の総体積に対して約57体積%以下、例えば、約56体積%以下、又は更には約55体積%以下であり得る。セラミックフィラー成分220の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。セラミックフィラー成分220の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、セラミックフィラー成分220は、特定の含有量の第1のフィラー材料を含み得る。例えば、第1のフィラー材料の含有量は、セラミックフィラー成分220の総体積に対して少なくとも約80体積%、例えば、少なくとも約81体積%、又は少なくとも約82体積%、又は少なくとも約83体積%、又は少なくとも約84体積%、又は少なくとも約85体積%、又は少なくとも約86体積%、又は少なくとも約87体積%、又は少なくとも約88体積%、又は少なくとも約89体積%、又は更には少なくとも約90体積%であり得る。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料の含有量は、セラミックフィラー成分220の総体積に対して約100体積%以下、例えば、約99体積%以下、又は約98体積%以下、又は約97体積%以下、又は約96体積%以下、又は約95体積%以下、又は約94体積%以下、又は約93体積%以下、又は更には約92体積%以下であり得る。第1のフィラー材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、セラミックフィラー成分220は、第2のフィラー材料を含み得る。
更に他の実施形態によれば、セラミックフィラー成分220の第2のフィラー材料は、特定の材料を含み得る。例えば、第2のフィラー材料は、高誘電率セラミック材料、例えば、少なくとも約14の誘電率を有するセラミック材料を含み得る。特定の実施形態によれば、セラミックフィラー成分220の第2のフィラー材料は、任意の高誘電率セラミック材料、例えば、TiO、SrTiO、ZrTi、MgTiO、CaTiO、BaTiO、又はそれらの任意の組み合わせを含み得る。
更に他の実施形態によれば、セラミックフィラー成分220の第2のフィラー材料は、TiOを含み得る。更に他の実施形態によれば、第2のフィラー材料は、TiOからなり得る。
更に他の実施形態によれば、セラミックフィラー成分220は、特定の含有量の第2のフィラー材料を含み得る。例えば、第2のフィラー材料の含有量は、セラミックフィラー成分220の総体積に対して少なくとも約1体積%、例えば、少なくとも約2体積%、又は少なくとも約3体積%、又は少なくとも約4体積%、又は少なくとも約5体積%、又は少なくとも約6体積%、又は少なくとも約7体積%、又は少なくとも約8体積%、又は少なくとも約9体積%、又は少なくとも約10体積%であり得る。更に他の実施形態によれば、第2のフィラー材料の含有量は、セラミックフィラー成分220の総体積に対して約20体積%以下、例えば、約19体積%以下、又は約18体積%以下、又は約17体積%以下、又は約16体積%以下、又は約15体積%以下、又は約14体積%以下、又は約13体積%以下、又は約12体積%以下であり得る。第2のフィラー材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。第2のフィラー材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、セラミックフィラー成分220は、特定の含有量の非晶質材料を含み得る。例えば、セラミックフィラー成分220は、少なくとも約98%、又は更には少なくとも約99%などの少なくとも約97%の非晶質材料を含み得る。非晶質材料の含有量は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。非晶質材料の含有量は、上記の値のいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、樹脂マトリックス成分210は、特定の材料を含み得る。例えば、樹脂マトリックス成分210は、パーフルオロポリマーを含み得る。更に他の実施形態によれば、樹脂マトリックス成分410は、パーフルオロポリマーからなり得る。
更に他の実施形態によれば、樹脂マトリックス成分410のパーフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせを含み得る。他の実施形態によれば、樹脂マトリックス成分410のパーフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせからなり得る。
更に他の実施形態によれば、樹脂マトリックス成分410のパーフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、パーフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせを含み得る。更に他の実施形態によれば、樹脂マトリックス成分410のパーフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、パーフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせからなり得る。
更に他の実施形態によれば、誘電体コーティング200は、特定の含有量の樹脂マトリックス成分210を含み得る。例えば、樹脂マトリックス成分210の含有量は、誘電体コーティング200の総体積に対して少なくとも約50体積%、例えば、少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は少なくとも約54体積%、又は更には少なくとも約55体積%であり得る。更に他の実施形態によれば、樹脂マトリックス成分210の含有量は、誘電体コーティング200の総体積に対して約63体積%以下、又は約62体積%以下、又は約61体積%以下、又は約60体積%以下、又は約59体積%以下、又は約58体積%以下、又は更には約57体積%以下である。樹脂マトリックス成分210の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。樹脂マトリックス成分210の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体コーティング205は、特定の材料を含み得る。例えば、パーフルオロポリマーの含有量は、誘電体コーティング405の総体積に対して少なくとも約50体積%、例えば、少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は少なくとも約54体積%、又は更には少なくとも約55体積%であり得る。更に他の実施形態によれば、パーフルオロポリマーの含有量は、誘電体コーティング200の総体積に対して約63体積%以下、例えば、約62体積%以下、又は約61体積%以下、又は約60体積%以下、又は約59体積%以下、又は約58体積%以下、又は更には約57体積%以下であり得る。パーフルオロポリマーの含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。パーフルオロポリマーの含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体コーティング205は、X線回折を使用して測定される特定の気孔率を含み得る。例えば、基板205の気孔率は、約10体積%以下、例えば、約9体積%以下、又は約8体積%以下、又は約7体積%以下、又は約6体積%以下、又は更には約5体積%以下であり得る。誘電体コーティング205の気孔率は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体コーティング205の気孔率は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
特定の実施形態によれば、誘電体コーティング205は、特定の平均厚さを有し得る。例えば、誘電体コーティング205の平均厚さは、少なくとも約0.1ミクロン、例えば、少なくとも約0.5ミクロン、又は少なくとも約1ミクロン、又は少なくとも約2ミクロン、又は少なくとも約3ミクロン、又は少なくとも約4ミクロン、又は更には少なくとも約5ミクロンであり得る。更に他の実施形態によれば、誘電体コーティング205の平均厚さは、約20ミクロン以下、例えば、約18ミクロン以下、又は約16ミクロン以下、又は約14ミクロン以下、又は約12ミクロン以下、又は更には約10ミクロン以下であり得る。誘電体コーティング205の平均厚さは、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体コーティング405の平均厚さは、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体コーティング205は、5GHz、20%RHの間の範囲で測定される特定の誘電正接(dissipation factor、Df)を有し得る。例えば、誘電体コーティング205は、約0.005以下、例えば、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下の誘電正接を有し得る。誘電体コーティング205の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体コーティング205の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体コーティング205は、5GHz、80%RHの間の範囲で測定される特定の誘電正接(Df)を有し得る。例えば、誘電体コーティング205は、約0.005以下、例えば、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下の誘電正接を有し得る。誘電体コーティング205の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体コーティング205の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体コーティング205は、10GHz、20%RHの間の範囲で測定される特定の誘電正接(Df)を有し得る。例えば、誘電体コーティング205は、約0.005以下、例えば、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下の誘電正接を有し得る。誘電体コーティング205の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体コーティング205の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体コーティング205は、10GHz、80%RHの間の範囲で測定される特定の誘電正接(Df)を有し得る。例えば、誘電体コーティング205は、約0.005以下、例えば、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下の誘電正接を有し得る。誘電体コーティング205の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体コーティング205の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体コーティング205は、28GHz、20%RHの間の範囲で測定される特定の誘電正接(Df)を有し得る。例えば、誘電体コーティング205は、約0.005以下、例えば、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下の誘電正接を有し得る。誘電体コーティング205の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体コーティング205の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体コーティング205は、28GHz、80%RHの間の範囲で測定される特定の誘電正接(Df)を有し得る。例えば、誘電体コーティング205は、約0.005以下、例えば、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下の誘電正接を有し得る。誘電体コーティング205の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体コーティング205の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体コーティング205は、39GHz、20%RHの間の範囲で測定される特定の誘電正接(Df)を有し得る。例えば、誘電体コーティング205は、約0.005以下、例えば、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下の誘電正接を有し得る。誘電体コーティング205の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体コーティング205の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体コーティング205は、39GHz、80%RHの間の範囲で測定される特定の誘電正接(Df)を有し得る。例えば、誘電体コーティング205は、約0.005以下、例えば、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下の誘電正接を有し得る。誘電体コーティング205の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体コーティング205の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体コーティング205は、76~81GHz、20%RHの間の範囲で測定される特定の誘電正接(Df)を有し得る。例えば、誘電体コーティング205は、約0.005以下、例えば、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下の誘電正接を有し得る。誘電体コーティング205の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体コーティング205の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体コーティング205は、76~81GHz、80%RHの間の範囲で測定される特定の誘電正接(Df)を有し得る。例えば、誘電体コーティング205は、約0.005以下、例えば、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下の誘電正接を有し得る。誘電体コーティング205の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体コーティング205の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間かつそれらを含む範囲内であり得ることが更に理解されよう。更に他の実施形態によれば、誘電体コーティング205は、IPC-TM-650 2.4.24 Rev.Cガラス転移温度及びTMAによるZ軸熱膨張に従って測定される特定の熱膨張係数を有し得る。例えば、誘電体コーティング205は、約80ppm/℃以下の熱膨張係数を有し得る。
更に他の実施形態によれば、銅張積層板201は、IPC-TM-650 2.4.24 Rev.Cガラス転移温度及びTMAによるZ軸熱膨張に従って測定される特定の熱膨張係数を有し得る。例えば、銅張積層板201は、約45ppm/℃以下の熱膨張係数を有し得る。
本明細書に記載される任意の銅張積層板は、銅張積層板のコーティングと任意の銅箔層との間に追加のポリマー系層を含み得ることが理解されよう。また本明細書に記載されるように、追加のポリマー系層は、本明細書に記載されるようなフィラーを含んでもよく(すなわち、充填ポリマー層)、又はフィラーを含まなくてもよい(すなわち、非充填ポリマー層)。
次に、プリント回路基板を形成する方法について言及すると、図3は、本明細書に記載の実施形態によるプリント回路基板を形成するための形成方法300を示す図を含む。特定の実施形態によれば、形成方法300は、銅箔層を提供する第1のステップ310と、樹脂マトリックス前駆体成分とセラミックフィラー前駆体成分とを合わせて、形成混合物を形成する第2のステップ320と、形成混合物を、銅箔層を覆う誘電体コーティングに形成して、銅張積層板を形成する第3のステップ330と、銅張積層板をプリント回路基板に形成する第4のステップ340と、を含み得る。
形成方法100に関連して本明細書で提供される全ての説明、詳細、及び特性は、形成方法300の対応する態様に更に適用され得るか、又はそれを説明し得ることが理解されよう。
ここで、形成方法300に従って形成されたプリント回路基板の実施形態について言及すると、図4は、プリント回路基板400の図を含む。図4に示されるように、プリント回路基板400は、銅箔層402と、銅箔層402の表面を覆う誘電体コーティング405と、を含み得る銅張積層板401を含み得る。特定の実施形態によれば、誘電体コーティング405は、樹脂マトリックス成分410及びセラミックフィラー成分420を含み得る。
この場合も、誘電体コーティング205及び/又は銅張積層板200に関して本明細書で提供される全ての説明は、プリント回路基板200の全ての構成要素を含むプリント回路基板400の修正態様に更に適用され得ることが理解されよう。
多くの異なる態様及び実施形態が可能である。これらの態様及び実施形態のいくつかを本明細書に記載する。本明細書を読んだ後、当業者は、それらの態様及び実施形態が単なる例示であり、本発明の範囲を限定するものではないことを理解するであろう。実施形態は、以下に列挙される実施形態のうちのいずれか1つ以上に従うことができる。
実施形態1.銅張積層板であって、銅箔層と、銅箔層を覆う誘電体コーティングと、を含み、誘電体コーティングが、樹脂マトリックス成分と、セラミックフィラー成分と、を含み、セラミックフィラー成分が、第1のフィラー材料を含み、誘電体コーティングが、約20ミクロン以下の平均厚さを有する、銅張積層板。
実施形態2.銅張積層板であって、銅箔層と、銅箔層を覆う誘電体コーティングと、を含み、誘電体コーティングが、樹脂マトリックス成分と、セラミックフィラー成分と、を含み、セラミックフィラー成分が、第1のフィラー材料を含み、第1のフィラー材料の粒径分布が、少なくとも約0.2ミクロンかつ約1.6以下のD10、少なくとも約0.5ミクロンかつ約2.7ミクロン以下のD50、及び少なくとも約0.8ミクロンかつ約4.7ミクロン以下のD90を含む、銅張積層板。
実施形態3.銅張積層板であって、銅箔層と、銅箔層を覆う誘電体コーティングと、を含み、誘電体コーティングが、樹脂マトリックス成分と、セラミックフィラー成分と、を含み、セラミックフィラー成分が、第1のフィラー材料を含み、第1のフィラー材料が、約5ミクロン以下の平均粒径及び約5以下の粒径分布スパン(PSDS)を更に含み、PSDSが、(D90-D10)/D50に等しく、D90が、第1のフィラー材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10が、第1のフィラー材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50が、第1のフィラー材料のD50粒径分布測定値に等しい、銅張積層板。
実施形態4.第1のフィラー材料の粒径分布が、少なくとも約0.2ミクロンかつ約1.6以下のD10を含む、実施形態1、2、及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態5.第1のフィラー材料の粒径分布が、少なくとも約0.5ミクロンかつ約2.7ミクロン以下のD50を含む、実施形態1、2、及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態6.第1のフィラー材料の粒径分布が、少なくとも約0.8ミクロンかつ約4.7ミクロン以下のD90を含む、実施形態1、2、及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態7.第1のフィラー材料が、約10ミクロン以下の平均粒径を更に含む、実施形態1に記載の銅張積層板。
実施形態8.第1のフィラー材料が、約10ミクロン以下の平均粒径を含む、実施形態1、2、及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態9.第1のフィラー材料が、約5以下の粒径分布スパン(PSDS)を含み、PSDSが、(D90-D10)/D50に等しく、D90が、第1のフィラー材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10が、第1のフィラー材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50が、第1のフィラー材料のD50粒径分布測定値に等しい、実施形態1、2、及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態10.第1のフィラー材料が、約10m/g以下の平均表面積を更に含む、実施形態1、2、及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態11.第1のフィラー材料が、シリカ系化合物を含む、実施形態1、2、及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態12.第1のフィラー材料が、シリカを含む、実施形態1、2、及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態13.樹脂マトリックスが、パーフルオロポリマーを含む、実施形態1、2、及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態14.パーフルオロポリマーが、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせを含む、実施形態13に記載の銅張積層板。
実施形態15.パーフルオロポリマーが、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、パーフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせを含む、実施形態13に記載の銅張積層板。
実施形態16.パーフルオロポリマーが、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、パーフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせからなる、実施形態13に記載の銅張積層板。
実施形態17.樹脂マトリックス成分の含有量が、誘電体コーティングの総体積に対して少なくとも約50体積%である、実施形態1、2、及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態18.樹脂マトリックス成分の含有量が、誘電体コーティングの総体積に対して約63体積%以下である、実施形態1、2、及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態19.パーフルオロポリマーの含有量が、誘電体コーティングの総体積に対して少なくとも約50体積%である、実施形態13に記載の銅張積層板。
実施形態20.パーフルオロポリマーの含有量が、誘電体コーティングの総体積に対して約63体積%以下である、実施形態13に記載の銅張積層板。
実施形態21.セラミックフィラー成分の含有量が、誘電体コーティングの総体積に対して少なくとも約30体積%である、実施形態1、2、及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態22.セラミックフィラー成分の含有量が、誘電体コーティングの総体積に対して約57体積%以下である、実施形態1、2、及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態23.第1のフィラー材料の含有量が、セラミックフィラー成分の総体積に対して少なくとも約80体積%である、実施形態1、2、及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態24.第1のフィラー材料の含有量が、セラミックフィラー成分の総体積に対して約100体積%以下である、実施形態1、2及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態25.セラミックフィラー成分が、第2のフィラー材料を更に含む、実施形態1、2、及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態26.第2のフィラー材料が高誘電率セラミック材料を含む、実施形態25に記載の銅張積層板。
実施形態27.高誘電率セラミック材料が、少なくとも約14の誘電率を有する、実施形態26に記載の銅張積層板。
実施形態28.セラミックフィラー成分が、TiO、SrTiO、ZrTi、MgTiO、CaTiO、BaTiO、又はそれらの任意の組み合わせを更に含む、実施形態26に記載の銅張積層板。
実施形態29.第2のフィラー材料の含有量が、セラミックフィラー成分の総体積に対して少なくとも約1体積%である、実施形態25に記載の銅張積層板。
実施形態30.第2のフィラー材料の含有量が、セラミックフィラー成分の総体積に対して約20体積%以下である、実施形態25に記載の銅張積層板。
実施形態31.セラミックフィラー成分が、少なくとも約97%の非晶質である、実施形態1、2、及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態32.誘電体コーティングが、約10体積%以下の気孔率を含む、実施形態1、2、及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態33.銅張積層板が、約10体積%以下の気孔率を含む、実施形態1、2、及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態34.誘電体コーティングが、少なくとも約1ミクロンの平均厚さを含む、実施形態1、2、及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態35.誘電体コーティングが、約20ミクロン以下の平均厚さを含む、実施形態1、2、及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態36.誘電体コーティングが、約0.005以下の誘電正接(5GHz、20%RH)を含む、実施形態1、2、及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態37.誘電体コーティングが、約0.001以下の誘電正接(5GHz、20%RH)を含む、実施形態1、2、及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態38.誘電体コーティングが、約80ppm/℃以下の熱膨張係数(全軸)を含む、実施形態1、2、及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態39.銅張積層板が、銅箔層と誘電体コーティングとの間に少なくとも約6lb/inの剥離強度を含む、実施形態1、2、及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態40.誘電体コーティングが、約0.05%以下の吸湿を含む、実施形態1、2、及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態41.銅箔層が、少なくとも約6ミクロンの平均厚さを含む、実施形態1、2、及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態42.銅箔層が、約36ミクロン以下の平均厚さを含む、実施形態1、2、及び3のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態43.銅張積層板を備えるプリント回路基板であって、銅張積層板が、銅箔層と、銅箔層を覆う誘電体コーティングと、を含み、誘電体コーティングが、樹脂マトリックス成分と、セラミックフィラー成分と、を含み、セラミックフィラー成分が、第1のフィラー材料を含み、誘電体コーティングが、20ミクロン以下の平均厚さを有する、プリント回路基板。
実施形態44.銅張積層板を備えるプリント回路基板であって、銅張積層板が、銅箔層と、銅箔層を覆う誘電体コーティングと、を含み、誘電体コーティングが、樹脂マトリックス成分と、セラミックフィラー成分と、を含み、セラミックフィラー成分が、第1のフィラー材料を含み、第1のフィラー材料の粒径分布が、少なくとも約0.2ミクロンかつ約1.6以下のD10、少なくとも約0.5ミクロンかつ約2.7ミクロン以下のD50、及び少なくとも約0.8ミクロンかつ約4.7ミクロン以下のD90を含む、プリント回路基板。
実施形態45.銅張積層板を備えるプリント回路基板であって、銅張積層板が、銅箔層と、銅箔層を覆う誘電体コーティングと、を含み、誘電体コーティングが、樹脂マトリックス成分と、セラミックフィラー成分と、を含み、セラミックフィラー成分が、第1のフィラー材料を含み、第1のフィラー材料が、約5ミクロン以下の平均粒径及び約5以下の粒径分布スパン(PSDS)を更に含み、PSDSが、(D90-D10)/D50に等しく、D90が、第1のフィラー材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10が、第1のフィラー材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50が、第1のフィラー材料のD50粒径分布測定値に等しい、プリント回路基板。
実施形態46.第1のフィラー材料の粒径分布が、少なくとも約0.2ミクロンかつ約1.6以下のD10を含む、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態47.第1のフィラー材料の粒径分布が、少なくとも約0.5ミクロンかつ約2.7ミクロン以下のD50を含む、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態48.第1のフィラー材料の粒径分布が、少なくとも約0.8ミクロンかつ約4.7ミクロン以下のD90を含む、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態49.第1のフィラー材料が、約10ミクロン以下の平均粒径を更に含む、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態50.第1のフィラー材料が、約10ミクロン以下の平均粒径を含む、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態51.第1のフィラー材料が、約5以下の粒径分布スパン(PSDS)を含み、PSDSが、(D90-D10)/D50に等しく、D90が、第1のフィラー材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10が、第1のフィラー材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50が、第1のフィラー材料のD50粒径分布測定値に等しい、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態52.第1のフィラー材料が、約10m/g以下の平均表面積を更に含む、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態53.第1のフィラー材料が、シリカ系化合物を含む、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態54.第1のフィラー材料が、シリカを含む、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態55.樹脂マトリックスが、パーフルオロポリマーを含む、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態56.パーフルオロポリマーが、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせを含む、実施形態55に記載のプリント回路基板。
実施形態57.パーフルオロポリマーが、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、パーフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせを含む、実施形態55に記載のプリント回路基板。
実施形態58.パーフルオロポリマーが、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、パーフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせからなる、実施形態55に記載のプリント回路基板。
実施形態59.樹脂マトリックス成分の含有量が、誘電体コーティングの総体積に対して少なくとも約50体積%である、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態60.樹脂マトリックス成分の含有量が、誘電体コーティングの総体積に対して約63体積%以下である、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態61.パーフルオロポリマーの含有量が、誘電体コーティングの総体積に対して少なくとも約50体積%である、実施形態55に記載のプリント回路基板。
実施形態62.パーフルオロポリマーの含有量が、誘電体コーティングの総体積に対して約63体積%以下である、実施形態55に記載のプリント回路基板。
実施形態63.セラミックフィラー成分の含有量が、誘電体コーティングの総体積に対して少なくとも約50体積%である、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態64.セラミックフィラー成分の含有量が、誘電体コーティングの総体積に対して約57体積%以下である、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態65.第1のフィラー材料の含有量が、セラミックフィラー成分の総体積に対して少なくとも約80体積%である、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態66.第1のフィラー材料の含有量が、セラミックフィラー成分の総体積に対して約100体積%以下である、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態67.セラミックフィラー成分が、第2のフィラー材料を更に含む、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態68.第2のフィラー材料が、高誘電率セラミック材料を含む、実施形態67に記載のプリント回路基板。
実施形態69.高誘電率セラミック材料が、少なくとも約14の誘電率を有する、実施形態68に記載のプリント回路基板。
実施形態70.セラミックフィラー成分が、TiO、SrTiO、ZrTi、MgTiO、CaTiO、BaTiO、又はそれらの任意の組み合わせを更に含む、実施形態68に記載のプリント回路基板。
実施形態71.第2のフィラー材料の含有量が、セラミックフィラー成分の総体積に対して少なくとも約1体積%である、実施形態67に記載のプリント回路基板。
実施形態72.第2のフィラー材料の含有量が、セラミックフィラー成分の総体積に対して約20体積%以下である、実施形態67に記載のプリント回路基板。
実施形態73.セラミックフィラー成分が、少なくとも約97%の非晶質である、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態74.誘電体コーティングが、約10体積%以下の気孔率を含む、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態75.銅張積層板が、約10体積%以下の気孔率を含む、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態76.誘電体コーティングが、少なくとも約1ミクロンの平均厚さを含む、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態77.誘電体コーティングが、約20ミクロン以下の平均厚さを含む、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態78.誘電体コーティングが、約0.005以下の誘電正接(5GHz、20%RH)を含む、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態79.誘電体コーティングが、約0.0014以下の誘電正接(5GHz、20%RH)を含む、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態80.誘電体コーティングが、約80ppm/℃以下の熱膨張係数(全軸)を含む、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態81.銅張積層板が、銅箔層と誘電体コーティングとの間に少なくとも約6lb/inの剥離強度を含む、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態82.誘電体コーティングが、約0.05%以下の吸湿を含む、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態83.銅箔層が、少なくとも約6ミクロンの平均厚さを含む、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態84.銅箔層が、約36ミクロン以下の平均厚さを含む、実施形態43、44、及び45のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態85.銅張積層板を形成する方法であって、銅箔層を提供することと、樹脂マトリックス前駆体成分とセラミックフィラー前駆体成分とを合わせて、形成混合物を形成することと、形成混合物を、銅箔を覆う誘電体コーティングに形成することと、を含み、誘電体コーティングが、約20ミクロン以下の平均厚さを有する、方法。
実施形態86.銅張積層板を形成する方法であって、銅箔層を提供することと、樹脂マトリックス前駆体成分とセラミックフィラー前駆体成分とを合わせて、形成混合物を形成することと、形成混合物を、銅箔を覆う誘電体コーティングに形成することと、を含み、セラミックフィラー前駆体成分が、第1のフィラー前駆体材料を含み、第1のフィラー前駆体材料の粒径分布が、少なくとも約0.2ミクロンかつ約1.6ミクロン以下のD10、少なくとも約0.5ミクロンかつ約2.7ミクロン以下のD50、及び少なくとも約0.8ミクロンかつ約4.7ミクロン以下のD90を含む、方法。
実施形態87.銅張積層板を形成する方法であって、銅箔層を提供することと、樹脂マトリックス前駆体成分とセラミックフィラー前駆体成分とを合わせて、形成混合物を形成することと、形成混合物を、銅箔を覆う誘電体コーティングに形成することと、を含み、セラミックフィラー前駆体成分が、第1のフィラー前駆体材料を含み、第1のフィラー前駆体材料が、約5ミクロン以下の平均粒径及び約5以下の粒径分布スパン(PSDS)を更に含み、PSDSが、(D90-D10)/D50に等しく、D90が、第1のフィラー前駆体材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10が、第1のフィラー前駆体材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50が、第1のフィラー前駆体材料のD50粒径分布測定値に等しい、方法。
実施形態88.第1のフィラー前駆体材料の粒径分布が、少なくとも約0.2ミクロンかつ約1.6ミクロン以下のD10を含む、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態89.第1のフィラー前駆体材料の粒径分布が、少なくとも約0.5ミクロンかつ約2.7ミクロン以下のD50を含む、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態90.第1のフィラー前駆体材料の粒径分布が、少なくとも約0.8ミクロンかつ約4.7ミクロン以下のD90を含む、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態91.第1のフィラー前駆体材料が、約10ミクロン以下の平均粒径を更に含む、実施形態85に記載の方法。
実施形態92.第1のフィラー前駆体材料が、約10ミクロン以下の平均粒径を含む、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態93.第1のフィラー前駆体材料が、約5以下の粒径分布スパン(PSDS)を含み、PSDSが、(D90-D10)/D50に等しく、D90が、第1のフィラー前駆体材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10が、第1のフィラー前駆体材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50が、第1のフィラー前駆体材料のD50粒径分布測定値に等しい、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態94.第1のフィラー前駆体材料が、約10m/g以下の平均表面積を更に含む、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態95.第1のフィラー前駆体材料が、シリカ系化合物を含む、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態96.第1のフィラー前駆体材料が、シリカを含む、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態97.樹脂マトリックス前駆体成分が、パーフルオロポリマーを含む、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態98.パーフルオロポリマーが、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせを含む、実施形態97に記載の方法。
実施形態99.パーフルオロポリマーが、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、パーフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせを含む、実施形態97に記載の方法。
実施形態100.パーフルオロポリマーが、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、パーフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせからなる、実施形態97に記載の方法。
実施形態101.樹脂マトリックス前駆体成分の含有量が、誘電体コーティングの総体積に対して少なくとも約50体積%である、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態102.樹脂マトリックス前駆体成分の含有量が、誘電体コーティングの総体積に対して約63体積%以下である、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態103.パーフルオロポリマーの含有量が、誘電体コーティングの総体積に対して少なくとも約50体積%である、実施形態97に記載の方法。
実施形態104.パーフルオロポリマーの含有量が、誘電体コーティングの総体積に対して約63体積%以下である、実施形態97に記載の方法。
実施形態105.セラミックフィラー前駆体成分の含有量が、誘電体コーティングの総体積に対して少なくとも約50体積%である、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態106.セラミックフィラー前駆体成分の含有量が、誘電体コーティングの総体積に対して約57体積%以下である、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態107.第1のフィラー前駆体材料の含有量が、セラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して少なくとも約80体積%である、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態108.第1のフィラー前駆体材料の含有量が、セラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して約100体積%以下である、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態109.セラミックフィラー前駆体成分が、第2のフィラー前駆体材料を更に含む、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態110.第2のフィラー前駆体材料が、高誘電率セラミック材料を含む、実施形態109に記載の方法。
実施形態111.高誘電率セラミック材料が、少なくとも約14の誘電率を有する、実施形態110に記載の方法。
実施形態112.セラミックフィラー前駆体成分が、TiO、SrTiO、ZrTi、MgTiO、CaTiO、BaTiO、又はそれらの任意の組み合わせを更に含む実施形態110の方法。
実施形態113.第2のフィラー前駆体材料の含有量が、セラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して少なくとも約1体積%である、実施形態109に記載の方法。
実施形態114.第2のフィラー前駆体材料の含有量が、セラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して約20体積%以下である、実施形態109に記載の方法。
実施形態115.セラミックフィラー前駆体成分が少なくとも約97%の非晶質である、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態116.誘電体コーティングが、約10体積%以下の気孔率を含む、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態117.銅張積層板が、約10体積%以下の気孔率を含む、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態118.誘電体コーティングが、少なくとも約1ミクロンの平均厚さを含む、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態119.誘電体コーティングが、約20ミクロン以下の平均厚さを含む、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態120.誘電体コーティングが、約0.005以下の誘電正接(5GHz、20%RH)を含む、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態121.誘電体コーティングが、約0.0014以下の誘電正接(5GHz、20%RH)を含む、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態122.誘電体コーティングが、約80ppm/℃以下の熱膨張係数(全軸)を含む、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態123.銅張積層板が、銅箔層と誘電体コーティングとの間に少なくとも約6lb/inの剥離強度を含む、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態124.誘電体コーティングが、約0.05%以下の吸湿を含む、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態125.銅箔層が、少なくとも約6ミクロンの平均厚さを含む、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態126.銅箔層が、約36ミクロン以下の平均厚さを含む、実施形態85、86、及び87のいずれか1つに記載の方法。
実施形態127.プリント回路基板を形成する方法であって、銅箔層を提供することと、樹脂マトリックス前駆体成分とセラミックフィラー前駆体成分とを合わせて、形成混合物を形成することと、形成混合物を、銅箔を覆う誘電体コーティングに形成することと、を含み、誘電体コーティングが、約20ミクロン以下の平均厚さを有する、方法。
実施形態128.プリント回路基板を形成する方法であって、銅箔層を提供することと、樹脂マトリックス前駆体成分とセラミックフィラー前駆体成分とを合わせて、形成混合物を形成することと、形成混合物を、銅箔を覆う誘電体コーティングに形成することと、を含み、セラミックフィラー前駆体成分が、第1のフィラー前駆体材料を含み、第1のフィラー前駆体材料の粒径分布が、少なくとも約0.2ミクロンかつ約1.6ミクロン以下のD10、少なくとも約0.5ミクロンかつ約2.7ミクロン以下のD50、及び少なくとも約0.5ミクロンかつ約4.7ミクロン以下のD90を含む、方法。
実施形態129.プリント回路基板を形成する方法であって、銅箔層を提供することと、樹脂マトリックス前駆体成分とセラミックフィラー前駆体成分とを合わせて、形成混合物を形成することと、形成混合物を、銅箔を覆う誘電体コーティングに形成することと、を含み、セラミックフィラー前駆体成分が、第1のフィラー前駆体材料を含み、第1のフィラー前駆体材料が、約5ミクロン以下の平均粒径及び約5以下の粒径分布スパン(PSDS)を更に含み、PSDSが、(D90-D10)/D50に等しく、D90が、第1のフィラー前駆体材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10が、第1のフィラー前駆体材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50が、第1のフィラー前駆体材料のD50粒径分布測定値に等しい、方法。
実施形態130.第1のフィラー前駆体材料の粒径分布が、少なくとも約0.2ミクロンかつ約1.6ミクロン以下のD10を含む、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
実施形態131.第1のフィラー前駆体材料の粒径分布が、少なくとも約0.5ミクロンかつ約2.7ミクロン以下のD50を含む、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
実施形態132.第1のフィラー前駆体材料の粒径分布が、少なくとも約0.8ミクロンかつ約4.7ミクロン以下のD90を含む、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
実施形態133.第1のフィラー前駆体材料が、約10ミクロン以下の平均粒径を更に含む、実施形態132に記載の方法。
実施形態134.第1のフィラー前駆体材料が、約10ミクロン以下の平均粒径を含む、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
実施形態135.第1のフィラー前駆体材料が、約5以下の粒径分布スパン(PSDS)を含み、PSDSが、(D90-D10)/D50に等しく、D90が、第1のフィラー前駆体材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10が、第1のフィラー前駆体材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50が、第1のフィラー前駆体材料のD50粒径分布測定値に等しい、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
実施形態136.第1のフィラー前駆体材料が、約10m/g以下の平均表面積を更に含む、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
実施形態137.第1のフィラー前駆体材料が、シリカ系化合物を含む、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
実施形態138.第1のフィラー前駆体材料が、シリカを含む、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
実施形態139.樹脂マトリックス前駆体成分が、パーフルオロポリマーを含む、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
実施形態140.パーフルオロポリマーが、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせを含む、実施形態139に記載の方法。
実施形態141.パーフルオロポリマーが、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、パーフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせを含む、実施形態139に記載の方法。
実施形態142.パーフルオロポリマーが、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、パーフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせからなる、実施形態139に記載の方法。
実施形態143.樹脂マトリックス前駆体成分の含有量が、誘電体コーティングの総体積に対して少なくとも約50体積%である、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
実施形態144.樹脂マトリックス前駆体成分の含有量が、誘電体コーティングの総体積に対して約63体積%以下である、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
実施形態145.パーフルオロポリマーの含有量が、誘電体コーティングの総体積に対して少なくとも約50体積%である、実施形態139に記載の方法。
実施形態146.パーフルオロポリマーの含有量が、誘電体コーティングの総体積に対して約63体積%以下である、実施形態139に記載の方法。
実施形態147.セラミックフィラー前駆体成分の含有量が、誘電体コーティングの総体積に対して少なくとも約30体積%である、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
実施形態148.セラミックフィラー前駆体成分の含有量が、誘電体コーティングの総体積に対して約57体積%以下である、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
実施形態149.第1のフィラー前駆体材料の含有量が、セラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して少なくとも約80体積%である、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
実施形態150.第1のフィラー前駆体材料の含有量が、セラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して約100体積%以下である、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
実施形態151.セラミックフィラー前駆体成分が、第2のフィラー前駆体材料を更に含む、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
実施形態152.第2のフィラー前駆体材料が、高誘電率セラミック材料を含む、実施形態151に記載の方法。
実施形態153.高誘電率セラミック材料が、少なくとも約14の誘電率を有する、実施形態152に記載の方法。
実施形態154.セラミックフィラー前駆体成分が、TiO、SrTiO、ZrTi、MgTiO、CaTiO、BaTiO、又はそれらの任意の組み合わせを更に含む実施形態152の方法。
実施形態155.第2のフィラー前駆体材料の含有量が、セラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して少なくとも約1体積%である、実施形態151の方法。
実施形態156.第2のフィラー前駆体材料の含有量が、セラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して約20体積%以下である、実施形態151の方法。
実施形態157.セラミックフィラー前駆体成分が、少なくとも約97%の非晶質である、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
実施形態158.誘電体コーティングが、約10体積%以下の気孔率を含む、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
実施形態159.銅張積層板が、約10体積%以下の気孔率を含む、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
実施形態160.誘電体コーティングが、少なくとも約1ミクロンの平均厚さを含む、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
実施形態161.誘電体コーティングが、約20ミクロン以下の平均厚さを含む、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
実施形態162.誘電体コーティングが、約0.005以下の誘電正接(5GHz、20%RH)を備える、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
実施形態163.誘電体コーティングが、約0.0014以下の誘電正接(5GHz、20%RH)を備える、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
実施形態164.誘電体コーティングが、約80ppm/℃以下の熱膨張係数(全軸)を含む、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
実施形態165.銅張積層板が、銅箔層と誘電体コーティングとの間に少なくとも約6lb/inの剥離強度を含む、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
実施形態166.誘電体コーティングが、約0.05%以下の吸湿を含む、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
実施形態167.銅箔層が、少なくとも約6ミクロンの平均厚さを含む、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
実施形態168.銅箔層が、約36ミクロン以下の平均厚さを含む、実施形態127、128、及び129のいずれか1つに記載の方法。
一般的な説明又は実施例で上述した活動の全てが必要とされるわけではなく、特定の活動の一部が必要とされなくてもよく、記載した活動に加えて1つ以上の更なる活動が行われてもよいことに留意されたい。更に、活動が列挙される順序は、必ずしもそれらが行われる順序ではない。
利益、他の利点、及び問題の解決策は、特定の実施形態に関して上述されている。しかしながら、利益、利点、問題の解決策、及び任意の利益、利点、又は解決策をもたらすかより顕著にする可能性がある任意の特徴は、請求項のいずれか又は全ての重要な、必要な、又は本質的な特徴として解釈されるべきではない。
本明細書に記載の実施形態の明細書及び図解は、様々な実施形態の構造の一般的な理解を提供することを意図している。明細書及び図解は、本明細書に記載の構造又は方法を使用する装置及びシステムの全ての要素及び特徴の網羅的かつ包括的な説明として役立つことを意図するものではない。別個の実施形態が単一の実施形態中に組み合わせて提供されてもよく、逆に、簡潔にするために単一の実施形態の文脈において説明されている様々な特徴が、別々に又は任意の部分的組み合わせで提供されてもよい。更に、範囲で記載された値への言及は、その範囲内の各々の値全てを含む。本明細書を読んで初めて、当業者に明らかとなる場合がある。本開示の範囲から逸脱することなく、構造的置換、論理的置換、又は別の変更を行うことができるように、他の実施形態を使用し、本開示から導出することができる。したがって、本開示は、限定的ではなく例示的なものと見なされるべきである。

Claims (12)

  1. 銅張積層板であって、
    銅箔層と、前記銅箔層を覆う誘電体コーティングと、を含み、前記誘電体コーティングが、
    樹脂マトリックス成分と、
    セラミックフィラー成分と、を含み、
    前記セラミックフィラー成分が、第1のフィラー材料を含み、前記誘電体コーティングが、約20ミクロン以下の平均厚さを有し、
    前記セラミックフィラー成分の含有量が、前記誘電体コーティングの総体積に対して少なくとも30体積%であり、
    前記第1のフィラー材料がシリカを含み、かつ、少なくとも約0.5ミクロンかつ約2.7ミクロン以下のD50粒径分布を有し、
    前記誘電体コーティングが、約8体積%以下の気孔率を含み、
    前記第1のフィラー材料が、約5以下の粒径分布スパン(PSDS)を含み、PSDSが、(D 90 -D 10 )/D 50 に等しく、D 90 が、前記第1のフィラー材料のD 90 粒径分布測定値に等しく、D 10 が、前記第1のフィラー材料のD 10 粒径分布測定値に等しく、D 50 が、前記第1のフィラー材料のD 50 粒径分布測定値に等しく、
    前記誘電体コーティングが、約0.005以下の誘電正接(5GHz、20%RH)を含む、
    銅張積層板。
  2. 前記第1のフィラー材料が、約10ミクロン以下の平均粒径を更に含む、
    請求項1に記載の銅張積層板。
  3. 前記第1のフィラー材料が、約10m/g以下の平均表面積を更に含む、
    請求項1に記載の銅張積層板。
  4. 前記第1のフィラー材料が、シリカ系化合物を含む、
    請求項1に記載の銅張積層板。
  5. 前記第1のフィラー材料が、シリカを含む、
    請求項1に記載の銅張積層板。
  6. 前記樹脂マトリックス成分が、パーフルオロポリマーを含む、
    請求項1に記載の銅張積層板。
  7. 前記樹脂マトリックス成分の含有量が、前記誘電体コーティングの総体積に対して少なくとも約50体積%かつ約63体積%以下である、
    請求項1に記載の銅張積層板。
  8. 前記セラミックフィラー成分の含有量が、前記誘電体コーティングの総体積に対して少なくとも約30体積%かつ約57体積%以下である、
    請求項1に記載の銅張積層板。
  9. 前記第1のフィラー材料の含有量が、前記セラミックフィラー成分の総体積に対して少なくとも約80体積%かつ約100体積%以下である、
    請求項1に記載の銅張積層板。
  10. 銅張積層板を備えるプリント回路基板であって、前記銅張積層板が、
    銅箔層と、前記銅箔層を覆う誘電体コーティングと、を含み、前記誘電体コーティングが、
    樹脂マトリックス成分と、
    セラミックフィラー成分と、を含み、
    前記セラミックフィラー成分が、第1のフィラー材料を含み、
    前記誘電体コーティングが、20ミクロン以下の平均厚さを有し、
    前記セラミックフィラー成分の含有量が、前記誘電体コーティングの総体積に対して少なくとも30体積%であり、
    前記第1のフィラー材料がシリカを含み、かつ、少なくとも約0.5ミクロンかつ約2.7ミクロン以下のD50粒径分布を有し、
    前記誘電体コーティングが、約8体積%以下の気孔率を含み、
    前記第1のフィラー材料が、約5以下の粒径分布スパン(PSDS)を含み、PSDSが、(D 90 -D 10 )/D 50 に等しく、D 90 が、前記第1のフィラー材料のD 90 粒径分布測定値に等しく、D 10 が、前記第1のフィラー材料のD 10 粒径分布測定値に等しく、D 50 が、前記第1のフィラー材料のD 50 粒径分布測定値に等しく、
    前記誘電体コーティングが、約0.005以下の誘電正接(5GHz、20%RH)を含む、
    プリント回路基板。
  11. 前記第1のフィラー材料が、約10ミクロン以下の平均粒径を更に含む、
    請求項10に記載のプリント回路基板。
  12. 銅張積層板を形成する方法であって、前記方法が、
    銅箔層を提供することと、
    樹脂マトリックス前駆体成分とセラミックフィラー前駆体成分とを合わせて、形成混合物を形成することと、
    前記形成混合物を、前記銅箔層を覆う誘電体コーティングに形成することと、を含み、
    前記誘電体コーティングが、約20ミクロン以下の平均厚さを有し、
    前記セラミックフィラー前駆体成分が、第1のフィラー前駆体材料を含み、
    前記セラミックフィラー前駆体成分の含有量が、前記形成混合物の総体積に対して少なくとも30体積%であり、
    前記第1のフィラー前駆体材料がシリカを含み、かつ、少なくとも約0.5ミクロンかつ約2.7ミクロン以下のD50粒径分布を有し、
    前記誘電体コーティングが、約8体積%以下の気孔率を含み、
    前記第1のフィラー前駆体材料が、約5以下の粒径分布スパン(PSDS)を含み、PSDSが、(D 90 -D 10 )/D 50 に等しく、D 90 が、前記第1のフィラー前駆体材料のD 90 粒径分布測定値に等しく、D 10 が、前記第1のフィラー前駆体材料のD 10 粒径分布測定値に等しく、D 50 が、前記第1のフィラー前駆体材料のD 50 粒径分布測定値に等しく、
    前記誘電体コーティングが、約0.005以下の誘電正接(5GHz、20%RH)を含む、
    方法。
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