JP6109890B2 - 電子機器 - Google Patents

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Description

トランジスタで構成された回路を有する電子機器および電子システムに関する。例えば
、液晶表示パネルに代表される電気光学装置を部品として搭載した電子機器に関する。
近年、電子書籍等の表示装置の開発が活発に進められている。特に、メモリ性を有する
表示素子を用いて、画像を表示する技術は、消費電力の削減に大きく貢献するため、活発
に開発が進められている(特許文献1)。
また、タッチセンサを搭載した表示装置が注目されている。タッチセンサを搭載した表示
装置は、タッチパネル又はタッチスクリーンなどと呼ばれている(以下、これを単に「タ
ッチパネル」とも呼ぶ)。また、光方式のタッチセンサを搭載した表示装置が、特許文献
2に開示されている。
特開2006−267982号公報 特開2001−292276号公報
使用者が、場所を選ばず情報を閲覧、さらには画面に表示されたキーボードに直接触れる
、またはスタイラスペンなどを用いて間接的に触れることにより情報を入力でき、その入
力情報を利用することができる新規の電子機器を提供することを課題の一とする。使用者
が、情報を閲覧、さらには画面に表示されたキーボードに触れることにより情報を入力で
きる電子機器を実現するため、単位面積当たりのフォトセンサの受光面積と画素電極面積
を共に広くする画素構成とすることも課題の一つとする。
また、キーボード表示などの静止画モードと、動画モードの両方を1つの画面で実現する
新規の電子機器を提供することも課題の一とする。
また、静止画モードにおいて、ある表示領域の一部に静止画を表示した後は、その表示領
域の表示素子への電力の供給を停止し、その後もその静止画を視認可能な状態を長時間維
持することで消費電力を抑えることも課題の一つとする。
また、電力の限られた携帯情報端末などの電子機器の省エネルギー化に有利な電子システ
ムを構成することも課題の一つとする。
外光を利用して画像表示を行う表示部を有する電子機器において、表示部にはフォトセン
サを用いるタッチ入力機能を有し、表示部の少なくとも一部にキーボードのボタンを表示
し、使用者が所望のキーをタッチすることにより情報を入力して表示部に所望のキーに対
応した表示を行う。
フォトセンサは、表示部に入射する外光を検出するとともに、使用者が指先で表示部の所
望位置を指し示した時に生じる外光の局所的陰影を検出する。入力処理部は、外光の局所
的陰影を検出したフォトセンサの表示部における位置をタッチ入力座標位置として処理す
る。タッチ入力座標位置に対応するデータ、即ちキー情報を映像信号処理部により表示部
に画像データとして出力する。
また、使用者が表示部に表示されたキーボードを用いて入力をしている期間において、キ
ーボードを表示している第1の表示領域は、静止画を表示しており、入力時においてタッ
チ入力されたキーに対応する文字や数字などが次々に書き込まれている期間、または文字
変換されている期間の第2の表示領域は動画を表示している。
本明細書で開示する本発明の一態様は、フォトセンサと、該フォトセンサにより得られる
入力情報を映像信号に処理して表示する表示部とを備えた電子システムであり、表示部の
第1画面領域に表示するタッチ入力ボタンを静止画として表示し、表示部の第2画面領域
に動画として出力表示する。また、この電子システムは、表示部の第1画面領域をタッチ
入力する画面領域、或いは出力表示する画面領域に切り換える映像信号処理部を有する。
また、この電子システムは、表示部に表示される画像が静止画である場合と、動画である
場合とで異なる信号供給を表示部の表示素子に行う映像信号処理部を有し、静止画を書き
込んだ後に表示素子制御回路を非動作とすることで、消費電力の節約ができる。
また、従来のアクティブマトリクス型の表示装置が有するスイッチングトランジスタはオ
フ電流が大きく、オフ状態であっても画素に書き込んだ信号がトランジスタを介して漏れ
て消失してしまうという問題があった。本発明の一態様は、スイッチングトランジスタに
酸化物半導体層を有するトランジスタを用いることにより、極めて低いオフ電流、具体的
にはチャネル幅1μmあたりのオフ電流密度を室温下において10aA(1×10−17
A/μm)以下にすること、さらには、1aA(1×10−18A/μm)以下、さらに
は10zA(1×10−20A/μm)以下を実現し、画素においては画像信号等の電気
信号の保持時間を長くすることができ、書き込み間隔も長く設定できる。従って、酸化物
半導体層を有するトランジスタを用いることにより、静止画を書き込んだ後に表示素子制
御回路を非動作とする期間を長くすることで、さらに消費電力の節約ができる。
また、上記システムを実現するデバイスに関する他の発明は、タッチ入力機能を有する表
示部を備えた電子機器であり、同一基板上に画素電極である反射電極と電気的に接続する
第1のトランジスタと、フォトセンサとを有し、フォトセンサは、フォトダイオードと、
該フォトダイオードと電気的に接続するゲート信号線を有する第2のトランジスタと、第
3のトランジスタとを有し、第2のトランジスタのソース又はドレインの一方がフォトセ
ンサ基準信号線に電気的に接続され、ソース又はドレインの他方が第3のトランジスタの
ソース又はドレインの一方に電気的に接続され、第3のトランジスタのソース又はドレイ
ンの他方がフォトセンサ出力信号線に電気的に接続され、第3のトランジスタの酸化物半
導体層は、反射電極と重なる。
上記構成は、上記課題の少なくとも一つを解決する。
また、上記構成において、第2のトランジスタの酸化物半導体層は、読み出し信号線とゲ
ート絶縁層を介して重なり、読み出し信号線は、画素電極である反射電極と重なる。反射
電極の下方に、読み出し信号線や、第3のトランジスタを配置する画素構成とすることで
、単位面積当たりのフォトセンサの受光面積と画素電極面積(以下、反射電極面積と呼ぶ
)とを効率よく利用することができる。
また、他の発明は、タッチ入力機能を有する表示部を備えた電子機器であり、同一基板上
に第1の反射電極と電気的に接続する第1のトランジスタと、第2の反射電極と電気的に
接続する第2のトランジスタとフォトセンサとを有し、フォトセンサは、フォトダイオー
ドと、該フォトダイオードと電気的に接続するゲート信号線を有する第3のトランジスタ
と、第4のトランジスタとを有し、第3のトランジスタのソース又はドレインの一方がフ
ォトセンサ基準信号線に電気的に接続され、ソース又はドレインの他方が第4のトランジ
スタのソース又はドレインの一方に電気的に接続され、第4のトランジスタのソース又は
ドレインの他方がフォトセンサ出力信号線に電気的に接続され、第4のトランジスタの酸
化物半導体層は、第1の反射電極と重なり、フォトセンサ基準信号線は、第2の反射電極
と重なることを特徴とする電子機器である。
上記構成において、画素構造を上方から見た場合に、2つの反射電極の間に1つのフォト
センサの受光領域が配置されるように設計し、単位面積当たりのフォトセンサの受光面積
と反射電極面積とを効率よく利用することができる。
また、上記構成において、第3のトランジスタの酸化物半導体層は、読み出し信号線とゲ
ート絶縁層を介して重なり、読み出し信号線は、第1の反射電極と重なる。第1の反射電
極の下方に、読み出し信号線や、第4のトランジスタを配置する画素構成とすることで、
単位面積当たりのフォトセンサの受光面積と反射電極面積とを効率よく利用することがで
きる。
また、上記構成において、第4のトランジスタのソース又はドレインの一方は、第1の反
射電極と重なり、第4のトランジスタのソース又はドレインの他方は、第2の反射電極と
重なる。このような画素構成とすることで、単位面積当たりのフォトセンサの受光面積と
反射電極面積とを効率よく利用することができる。
また、上記構成において、反射電極と重なる位置にカラーフィルタを有し、フルカラーの
表示を行うこともできる。
また、反射型の液晶表示装置とすることで、バックライトがなくても太陽光などの外光や
照明光があれば表示内容を視認することができ、省エネルギー化に有利である。
1画面内に動画と静止画を表示する携帯情報端末を実現でき、動画表示の画面領域と静止
画表示の画面領域とで異なる駆動、及び異なる信号供給を行い、動画表示よりも静止画表
示の消費電力を低減する。また、反射型の液晶表示装置であるため、電気泳動型の表示装
置よりも広範囲の中間調表示ができる。
また、使用者は、場所を選ばず情報を閲覧、さらには画面に表示されたキーボードにタッ
チ入力でき、キーボードを表示している同一画面内にその入力結果を表示することができ
る。
本発明の一態様を示す外観図である。 本発明の一態様を示すブロック図である。 本発明の一態様を示す画素の等価回路図である。 本発明の一態様を示すフォトセンサの駆動回路の概略図である。 本発明の一態様を示すタイミングチャートである。 本発明の一態様を示す画素平面図の一例である。 本発明の一態様を示す反射電極とブラックマトリクスの位置関係を示す平面図の一例である。 本発明の一態様を示す画素断面図の一例である。 本発明の一態様を示す液晶表示モジュールの模式図である。 本発明の一形態である表示装置の外観及びブロック図を示す図。
以下では、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。ただし、本発明は
以下の説明に限定されず、その形態および詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれ
ば容易に理解される。また、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈さ
れるものではない。
(実施の形態1)
本実施の形態では、外光を利用して画像表示を行う表示部を有する電子機器の一例を図1
(A)及び図1(B)に示す。
電子機器1030の表示部1032はフォトセンサを用いるタッチ入力機能を有し、図1
(A)に示すように表示部の領域1033にキーボードのボタン1031が複数表示され
る。表示部1032は表示領域全体を指しており、表示部の領域1033を含む。そして
、使用者が所望のキーボードのボタンをタッチ入力し、表示部1032に入力結果の表示
を行う。
表示部の領域1033は静止画を表示しているため、書き込み時以外の期間では表示素子
制御回路を非動作とすることで消費電力の節約ができる。
電子機器1030の使用している様子を一例を示す。例えば、表示部の領域1033に表
示されているキーボードボタンを使用者の十本の指を用いて順次触れる、または非接触で
文字入力を行い、その結果表示される文章を表示部の領域1033以外の領域に表示する
。使用者は、指をはずし、フォトセンサの出力信号の検出されない期間が一定時間経つと
自動的に表示部の領域1033に表示されていたキーボード表示が消され、表示部の領域
1033にも入力された文章の表示が行われ、画面一杯に入力された文章を使用者は確認
することができる。再度入力する場合には、表示部1032に使用者の指を用いて触れる
、または非接触でフォトセンサの出力信号を検出させることで再び表示部の領域1033
にキーボードボタンを表示し、文字入力を行うことができる。
また、自動的ではなく、使用者が切り換えスイッチ1034を押すことによって、キーボ
ード表示をなくし、図1(B)に示すように表示部1032の全体を静止画とすることも
できる。また、電源スイッチ1035を押して電源を切っても、静止画を長時間維持する
ことができる。また、キーボード表示スイッチ1036を押すことによってキーボード表
示を示し、タッチ入力可能な状態とすることができる。
また、切り換えスイッチ1034、電源スイッチ1035、及びキーボード表示スイッチ
1036は、表示部1032にそれぞれスイッチボタンとして表示し、表示されたスイッ
チボタンに触れてタッチ入力することで、各操作を行ってもよい。
また、表示部の領域1033は静止画を表示することに限定されず、一時的、または部分
的に動画表示してもよい。例えば、キーボードボタンの表示位置を使用者の好みに合わせ
て一時的に変更する、または非接触で入力した場合にキーボードボタンに入力されたかど
うかが分かるように入力されたキーボードボタンのみに部分的に表示の変化を与えてもよ
い。
また、電子機器1030は少なくともバッテリーを有し、データ情報を保存するためのメ
モリ(Flash Memory回路、SRAM回路、DRAM回路など)、CPU(
中央演算処理回路)やLogic回路を備えた構成とすることが好ましい。CPUやメモ
リを備えることにより、様々なソフトウェアのインストールが行え、パーソナルコンピュ
ータの機能の一部または全部の機能を持たせることができる。
次に表示部1032を構成する表示パネルの一例について、図2を参照して説明する。表
示パネル100は、画素回路101、表示素子制御回路、及びフォトセンサ制御回路を有
する。画素回路101は、行列方向にマトリクス状に配置された複数の画素103、10
4及びフォトセンサ106を有する。画素104、103は、1つの表示素子をそれぞれ
有する。本実施の形態では、画素103と画素104の間に、1つのフォトセンサ106
を配置し、フォトセンサの数が画素数の半分とする例を示したが特に限定されず、フォト
センサの数が画素数と同じになるように、画素間にそれぞれ1つのフォトセンサを有する
構成としてもよく、フォトセンサの数が画素数の3分の一となる構成としてもよい。
表示素子105は、トランジスタ、保持容量、及び液晶層を有する液晶素子などを有する
。トランジスタは、保持容量への電荷の注入もしくは保持容量からの電荷の排出を制御す
る機能を有する。保持容量は、液晶層に印加する電圧に相当する電荷を保持する機能を有
する。液晶層に電圧を印加することで偏光方向が変化することを利用して、液晶層を透過
する光の明暗(階調)を作ることで、画像表示が実現される。液晶層を透過する光には、
外光(太陽光または照明光)によって液晶表示装置の表面から照射される光を用いる。
また、表示素子制御回路は、表示素子105を制御するための回路であり、ビデオデータ
信号線などの信号線(「ソース信号線」ともいう。)を介して表示素子105に信号を入
力する表示素子駆動回路107と、走査線(「ゲート信号線」ともいう。)を介して表示
素子105に信号を入力する表示素子駆動回路108を有する。
例えば、走査線側の表示素子駆動回路108は、特定の行に配置された画素が有する表示
素子を選択する機能を有する。また、信号線側の表示素子駆動回路107は、選択された
行の画素が有する表示素子に任意の電位を与える機能を有する。なお、走査線側の表示素
子駆動回路108により高電位を印加された表示素子では、トランジスタが導通状態とな
り、信号線側の表示素子駆動回路107により与えられる電荷が供給される。
また、フォトセンサ106は、フォトダイオードなど、受光することで電気信号を発する
機能を有する受光素子と、トランジスタとを有する。
フォトセンサ制御回路は、フォトセンサ106を制御するための回路であり、フォトセ
ンサ出力信号線、フォトセンサ基準信号線等の信号線側のフォトセンサ読み出し回路10
9と、走査線側のフォトセンサ駆動回路110を有する。走査線側のフォトセンサ駆動回
路110は、特定の行に配置された画素が有するフォトセンサ106に対して、後述する
リセット動作と選択動作とを行う機能を有する。また、信号線側のフォトセンサ読み出し
回路109は、選択された行の画素が有するフォトセンサ106の出力信号を取り出す機
能を有する。
本実施の形態では、画素103と、フォトセンサ106と、画素104の回路図について
、図3を用いて説明する。画素103は、トランジスタ201、保持容量202及び液晶
素子203を有する表示素子105を有する。また、フォトセンサ106は、フォトダイ
オード204、トランジスタ205及びトランジスタ206を有する。また、画素104
は、トランジスタ221、保持容量222及び液晶素子223を有する表示素子125を
有する。
トランジスタ201は、ゲートがゲート信号線207に、ソース又はドレインの一方が
ビデオデータ信号線210に、ソース又はドレインの他方が保持容量202の一方の電極
と液晶素子203の一方の電極に電気的に接続されている。保持容量202の他方の電極
は、容量配線214に電気的に接続され、一定の電位に保たれている。また、液晶素子2
03の他方の電極は一定の電位に保たれている。液晶素子203は、一対の電極と、該一
対の電極の間の液晶層を含む素子である。
トランジスタ201は、ゲート信号線207に電位”H”が印加されると、ビデオデー
タ信号線210の電位を保持容量202と液晶素子203に印加する。保持容量202は
、印加された電位を保持する。液晶素子203は、印加された電位により、光の透過率を
変更する。
フォトダイオード204は、一方の電極がフォトダイオードリセット信号線208に、
他方の電極がトランジスタ205のゲートに電気的に接続されている。トランジスタ20
5は、ソース又はドレインの一方がフォトセンサ基準信号線212に、ソース又はドレイ
ンの他方がトランジスタ206のソース又はドレインの一方に電気的に接続されている。
トランジスタ206は、ゲートが読み出し信号線209に、ソース又はドレインの他方が
フォトセンサ出力信号線211に電気的に接続されている。
また、トランジスタ221は、ゲートがゲート信号線227に、ソース又はドレインの一
方がビデオデータ信号線210に、ソース又はドレインの他方が保持容量222の一方の
電極と液晶素子223の一方の電極に電気的に接続されている。保持容量222の他方の
電極は、容量配線224に電気的に接続され、一定の電位に保たれている。また、液晶素
子223の他方の電極は一定の電位に保たれている。液晶素子223は、一対の電極と、
該一対の電極の間の液晶層を含む素子である。
次に、フォトセンサ読み出し回路109の構成の一例について、図3及び図4を用いて
説明する。一例として、表示部は、1024行768列の画素で構成され、表示素子は各
行各列の画素に1個、フォトセンサは2行各列の画素間に1個、を有する構成とする。す
なわち、表示素子は1024行768列、フォトセンサは512行768列で構成される
。また、フォトセンサ出力信号線は2列を1組として表示装置外部に出力する例を示す。
すなわち、2行2列の画素4個に挟まれるフォトセンサ計2個から出力を1個取得する。
図3は、画素の回路構成で、2行1列分の2つの画素と、1つのフォトセンサを示してい
る。表示素子を1画素に1個、フォトセンサを2画素間に1個、有する。図4は、フォト
センサ読み出し回路109の回路構成で、説明のため、一部のフォトセンサも示している
図4に示すように、フォトセンサの走査線駆動回路は、同時に画素4行分(すなわちフォ
トセンサ2行分)を駆動し、選択行を画素2行分に相当するフォトセンサ1行分ずつシフ
トさせていく駆動方法を行う例を考える。ここで、各行のフォトセンサは、走査線駆動回
路が選択行のシフトを2回行う期間、連続して選択されることになる。このような駆動方
法を用いることで、フォトセンサによる撮像のフレーム周波数を向上させることが容易に
なる。特に、大型の表示装置の場合に有利である。なお、フォトセンサ出力信号線211
には、同時に2行分のフォトセンサの出力が重畳されることになる。また、選択行のシフ
トを512回繰り返すことで、全フォトセンサを駆動することができる。
フォトセンサ読み出し回路109は、図4に示すように、画素24列に1個ずつセレクタ
を有する。セレクタは、表示部におけるフォトセンサ出力信号線211について2列分を
1組とする12組から1組を選択して出力を取得する。すなわち、フォトセンサ読み出し
回路109全体で、セレクタを32個有し、同時に32個の出力を取得する。各々のセレ
クタによる選択を12組全てに対して行うことで、フォトセンサ1行分に相当する合計3
84個の出力を取得することができる。セレクタによる12組の選択を、フォトセンサの
走査線駆動回路が選択行をシフトさせる都度行うことで、全フォトセンサの出力を得るこ
とができる。
本実施の形態では、図4に示すように、信号線側のフォトセンサ読み出し回路109は、
アナログ信号であるフォトセンサの出力を表示装置外部に取り出し、表示装置外部に設け
たアンプを用いて増幅した後にAD変換器を用いてデジタル信号に変換する構成を考える
。勿論、表示装置と同一基板上にAD変換器を搭載し、フォトセンサの出力をデジタル信
号に変換した後、表示装置外部に取り出す構成とすることも可能である。
また、個々のフォトセンサの動作は、リセット動作、累積動作、及び選択動作を繰り返す
ことで実現される。リセット動作とは、フォトダイオードリセット信号線208の電位を
”H”とする動作である。リセット動作を行うと、フォトダイオード204が導通し、ト
ランジスタ205のゲートが接続されたゲート信号線213の電位が”H”となる。
また、累積動作とは、リセット動作の後にフォトダイオードリセット信号線208の電位
を”L”にする動作である。また、選択動作とは、累積動作の後に読み出し信号線209
の電位を”H”にする動作である。
累積動作時に、フォトダイオード204に照射する光が強いほど、トランジスタ205の
ゲートが接続されたゲート信号線213の電位が下がり、トランジスタ205のチャネル
抵抗が増大する。そのため、選択動作時に、トランジスタ206を介してフォトセンサ出
力信号線211に流れる電流は小さくなる。一方、累積動作時に、フォトダイオード20
4に照射する光が弱いほど、選択動作時に、トランジスタ206を介してフォトセンサ出
力信号線211に流れる電流は大きくなる。
本実施の形態においては、全フォトセンサのリセット動作、累積動作、及び選択動作を実
行することで、外光の局所的陰影を検出することができる。また、検出した陰影について
適宜画像処理など行うことにより、指やスタイラスペンなどが表示装置に接触した位置を
知ることができる。あらかじめ、接触した位置に対応する操作、例えば文字入力であれば
文字の種類を規定しておくことで、所望の文字の入力を行うことができる。
なお、本実施の形態における表示装置では、フォトセンサにより外光の局所的陰影を検出
する。そのため、指やスタイラスペンなどが表示装置に物理的に接触しなくても、非接触
で近接することにより陰影が形成されれば検出が可能である。以下、指やスタイラスペン
などが表示装置に接触するとは、非接触で近接することも含むものとする。
上記構成により、表示部1032にタッチ入力機能を持たせることができる。
タッチ入力を行う際には、キーボードのような静止画を一部に含む画像を表示し、表示さ
れたキーボードの所望の文字の位置に指やスタイラスペンを接触することで、入力を行う
構成の表示装置とすると操作性が向上する。このような表示装置を実現する場合には、次
のようにして、表示装置における消費電量を著しく低減することが可能である。すなわち
、表示部の静止画を表示する第1画面領域については、静止画を表示した後は、当該領域
の表示素子への電力の供給を停止し、その後もその静止画を視認可能な状態を長時間維持
することが有効である。そして、表示部の残りの第2画面領域については、例えば、タッ
チ入力による入力結果を表示する。第2画面領域の表示画像の更新を行う時以外の期間で
は表示素子制御回路を非動作とすることで、電力の節約ができる。このような制御を可能
にする駆動方法について、以下説明する。
例えば、表示素子が1024行768列で配置された表示部を有する表示装置における、
走査線駆動回路のシフトレジスタのタイミングチャートについて図5に示す。図5中の期
間61はクロック信号の1周期期間(64.8μsec)であり、期間62は第2画面領
域に相当する表示素子の第1行から第512行まで書き込むまでに要する期間(8.36
msec)であり、期間63は1フレーム期間(16.7msec)にそれぞれ相当する
ここで、走査線駆動回路のシフトレジスタは、第1のクロック信号CK1〜第4のクロッ
ク信号CK4で動作する4相クロック形式のシフトレジスタとする。また、第1のクロッ
ク信号CK1〜第4のクロック信号CK4は、互いに4分の1周期期間ずつずれた信号と
する。スタートパルス信号GSPを電位”H”とすると、第1行目のゲート信号線G1〜
第512行目のゲート信号線G512は、4分の1周期期間ずつ遅れながら順に電位”H
”となる。また、各ゲート信号線は、2分の1周期期間電位”H”となり、連続する行の
ゲート信号線は、各々4分の1周期期間同時に電位”H”となる。
ここで、各行の表示素子は、走査線駆動回路が選択行のシフトを2回行う期間、連続して
選択されることになる。表示画像のデータを、当該行における表示素子が選択されている
期間の内、後半の期間に入力すれば表示画像を更新できる。
ここで、第2画面領域に相当する表示素子の第1行から第512行までの表示画像を更新
する期間を除く期間については、表示素子制御回路を非動作とする。すなわち、第1画面
領域に相当する表示素子の第513行から第1024行までは表示画像の更新を行わず、
表示素子制御回路を非動作としている。
表示素子制御回路を非動作とするには、図5に示したように、クロック信号を停止(”L
”のままとする)することで実現できる。また、同時に、電源電圧の供給を停止すること
も有効である。
また、第2画面領域に相当する表示素子が選択されていない期間、すなわち、表示画像の
更新を行わない期間は、ソース側の駆動回路も同様にクロック信号とスタートパルス信号
を停止させてもよい。こうすることでさらなる電力の節約ができる。
(実施の形態2)
本実施の形態では、実施の形態1に示した図2及び図3に対応する画素構造に関して、図
6、図7、及び図8を用いて以下に説明する。なお、図2及び図3と同じ箇所には、同じ
符号を用いて図6、図7、及び図8を説明する。
図6は、図3の回路図に対応する画素平面図の一例である。また、フォトダイオードの電
極を形成する前の状態を示しており、図8(A)の断面図に対応している。なお、図6中
の鎖線A−Bで切断した断面図、及び鎖線C−Dで切断した断面図が図8(A)にそれぞ
れ対応している。
まず、基板230上に導電膜を形成した後、1枚目の露光マスクを用いる第1のフォトリ
ソグラフィ工程により、ゲート信号線207、213、227、容量配線224、フォト
ダイオードリセット信号線208、読み出し信号線209、フォトセンサ基準信号線21
2を形成する。本実施の形態では基板230としてガラス基板を用いる。
下地膜となる絶縁膜を基板230と導電膜との間に設けてもよい。下地膜は、基板230
からの不純物元素の拡散を防止する機能があり、窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、窒化
酸化シリコン膜、又は酸化窒化シリコン膜から選ばれた一又は複数の膜による積層構造に
より形成することができる。
また、導電膜の材料は、モリブデン、チタン、タンタル、タングステン、アルミニウム、
銅、ネオジム、スカンジウム等の金属材料又はこれらを主成分とする合金材料を用いて、
単層で又は積層して形成することができる。
次いで、これらの配線を覆う絶縁層を形成し、2枚目の露光マスクを用いる第2のフォト
リソグラフィ工程により、後に形成される配線と交差する部分にのみ絶縁層231を残し
て選択的にエッチングを行う。本実施の形態では、絶縁層231は膜厚600nmの酸化
窒化珪素膜を用いる。
次いで、ゲート絶縁層232及び酸化物半導体膜を形成し、3枚目の露光マスクを用いる
第3のフォトリソグラフィ工程により、ゲート絶縁層232を介してゲート信号線207
、213、227及び読み出し信号線209とそれぞれ重なる第1の酸化物半導体層23
3、第2の酸化物半導体層253、第3の酸化物半導体層255、及び第4の酸化物半導
体層256を形成する。本実施の形態では、ゲート絶縁層232として膜厚100nmの
酸化窒化珪素膜を用い、酸化物半導体膜として膜厚25nmのIn−Ga−Zn−O膜を
用いる。
また、第1の酸化物半導体層233、第2の酸化物半導体層253、第3の酸化物半導体
層255、及び第4の酸化物半導体層256は、化学式InMO(ZnO)(m>0
、且つ、mは整数でない)で表記される酸化物薄膜を用いることができる。ここで、Mは
、Ga、Al、MnおよびCoから選ばれた一または複数の金属元素を示す。例えばMと
して、Ga、Ga及びAl、Ga及びMn、またはGa及びCoなどがある。また、上記
酸化物薄膜にSiOを含んでもよい。
また、酸化物薄膜をスパッタリング法で作製するためのターゲットとしては、例えば、組
成比として、In:Ga:ZnO=1:1:1[mol数比]の酸化物ター
ゲットを用い、In−Ga−Zn−O膜を成膜する。また、このターゲットの材料及び組
成に限定されず、例えば、In:Ga:ZnO=1:1:2[mol数比]
の酸化物ターゲットを用いてもよい。なお、ここで、例えば、In−Ga−Zn−O膜と
は、インジウム(In)、ガリウム(Ga)、亜鉛(Zn)を有する酸化物膜、という意
味であり、その化学量論比はとくに問わない。
次いで、酸化物半導体層に第1の加熱処理を行う。この第1の加熱処理によって酸化物半
導体層の脱水化または脱水素化を行うことができる。第1の加熱処理の温度は、400℃
以上750℃以下、または400℃以上基板の歪み点未満とする。本実施の形態では、R
TA(Rapid Thermal Anneal)装置を用い、窒素雰囲気下で650
℃、6分の加熱処理を行った後、大気に触れることなく、加熱処理装置の一つである電気
炉に基板を導入し、酸化物半導体層に対して窒素雰囲気下450℃において1時間の加熱
処理を行った後、大気に触れないように酸化物半導体層の成膜室に移動させて酸化物半導
体層への水や水素の再混入を防ぎ、酸化物半導体層を得る。
次いで、4枚目の露光マスクを用いる第4のフォトリソグラフィ工程により、ゲート絶縁
層232を選択的に除去して、ゲート信号線213に達する開口と、フォトダイオードリ
セット信号線208に達する開口を形成する。
次いで、ゲート絶縁層232、及び酸化物半導体層上に、導電膜を形成する。導電膜とし
ては、例えば、Al、Cr、Cu、Ta、Ti、Mo、Wから選ばれた元素を成分とする
金属膜、または上述した元素の窒化物を成分とする合金膜か、上述した元素を組み合わせ
た合金膜等を用いることができる。そして、5枚目の露光マスクを用いる第5のフォトリ
ソグラフィ工程により導電膜上にレジストマスクを形成し、選択的にエッチングを行って
、ビデオデータ信号線210、フォトセンサ出力信号線211、電極層234、235、
254、257、258、259を形成する。
なお、図3におけるトランジスタ221は、図6に示すように、第1の酸化物半導体層2
33を有し、電極層234をソース電極層またはドレイン電極層とするトランジスタであ
る。また、図6に示すように、電極層234は、ゲート絶縁層232を誘電体とし、容量
配線224と保持容量222を形成する。また、図6に示すように、トランジスタ201
は、第2の酸化物半導体層253を有し、電極層254をソース電極層またはドレイン電
極層とするトランジスタである。
また、図3において、フォトセンサ106を構成する一要素であるトランジスタ206は
、図6に示すように、第3の酸化物半導体層255を有し、電極層257をソース電極層
またはドレイン電極層とするトランジスタである。また、トランジスタ205は、図6に
示すように、第4の酸化物半導体層256を有し、電極層257または電極層258をソ
ース電極層またはドレイン電極層とするトランジスタである。また、図8(A)に示すよ
うに、トランジスタ205のゲート信号線213は、電極層236と電気的に接続してい
る。
次いで、不活性ガス雰囲気下、または酸素ガス雰囲気下で第2の加熱処理(好ましくは2
00℃以上400℃以下、例えば250℃以上350℃以下)を行う。本実施の形態では
、窒素雰囲気下で300℃、1時間の第2の加熱処理を行う。第2の加熱処理を行うと、
酸化物半導体層の一部(チャネル形成領域)が絶縁層と接した状態で加熱される。
次いで保護絶縁層となる絶縁層237を形成し、6枚目の露光マスクを用いる第6のフォ
トリソグラフィ工程により、電極層235に達する開口、電極層234に達する開口、電
極層236に達する開口を形成する。
次いで、プラズマCVD法により、p層238、i層239、及びn層240を積層成膜
する。本実施の形態では、p層238として膜厚45nmのボロンを含む微結晶シリコン
膜を用い、i層239として膜厚400nmのアモルファスシリコン膜を用い、n層24
0として膜厚80nmのリンを含む微結晶シリコン膜を用いる。そして、7枚目の露光マ
スクを用いる第7のフォトリソグラフィ工程により、電極層235と接して重なる領域の
みを残して除去する。この段階までの断面図が図8(A)であり、その平面図が図6に相
当する。
次いで感光性有機樹脂層を形成し、8枚目の露光マスクで開口となる領域を露光し、9枚
目の露光マスクで凹凸となる領域を露光し、現像して部分的に凹凸を有する絶縁層241
を形成する第8のフォトリソグラフィ工程を行う。
次いで、反射性を有する導電膜を成膜し、10枚目の露光マスクを用いる第9のフォトリ
ソグラフィ工程により反射電極層242、接続電極層243を形成する。反射性を有する
導電膜としてはAl、Ag、またはこれらの合金、例えばNdを含むアルミニウム、Ag
−Pd−Cu合金等を用いる。そして、第9のフォトリソグラフィ工程後に第3の加熱処
理、本実施の形態では、窒素雰囲気下250℃、1時間を行う。
以上の工程により、同一基板上に反射電極層242と電気的に接続するトランジスタと、
電極層236及び接続電極層243を介してゲート信号線213と電気的に接続するフォ
トダイオードとを合計10枚の露光マスクを用い、9回のフォトリソグラフィ工程によっ
て作製することができる。
そして反射電極層242を覆う配向膜244を形成する。この段階での断面図が図8(B
)に相当する。こうしてアクティブマトリクス基板が作製できる。
そして、このアクティブマトリクス基板と貼り合わせる対向基板を用意する。対向基板に
は、遮光層(ブラックマトリクスとも呼ぶ)と、透光性を有する導電膜を形成し、さらに
有機樹脂を用いた柱状スペーサを形成する。そして、最後に配向膜で覆う。
この対向基板をシール材を用いてアクティブマトリクス基板と貼り合わせ、一対の基板間
に液晶層を挟持する。対向基板の遮光層は、反射電極層242の表示領域及びフォトセン
サの受光領域に重ならないように設ける。また、対向基板に設けられた柱状スペーサは、
電極層251、252と重なるように位置合わせを行う。柱状スペーサは、電極層251
、252と重ねることで一対の基板の間隔を一定に保持する。なお、電極層251、25
2は、電極層234と同一工程で形成することができるため、マスク数を増やすことなく
設けることができる。
こうして貼り合わせた一対の基板における画素の平面図が図7に相当する。図7において
、ブラックマトリクスと重なっていない領域が、フォトセンサの受光領域と、表示領域と
なる。図7に示す1つの単位面積(120μm×240μm)のうち、反射電極の面積が
占める割合は59.4%であり、フォトセンサの受光面積は約1700μmである。ま
た、反射電極層242は、凹凸を有する感光性有機樹脂層上に設けられているため、図7
に示すようなランダムな平面模様を有する。感光性有機樹脂層の表面形状を反映させて反
射電極層242の表面にも凹凸を設け、鏡面反射となることを防いでいる。なお、図7に
おいて反射電極層242の凹部245も示しており、凹部245の周縁は、反射電極層の
周縁よりも内側に位置し、凹部245の下方の感光性有機樹脂層は他の領域よりも薄い膜
厚となっている。
また、必要があれば、対向基板の外光が入射する面に、位相差を調節するための位相差フ
ィルムや、偏光機能を有するフィルムや、反射防止板や、カラーフィルタなどの光学フィ
ルムを設けてもよい。
(実施の形態3)
本実施の形態では、カラーフィルタを設け、フルカラー表示が可能な液晶表示モジュール
とする一例を示す。
図9に液晶表示モジュール190の構成を示す。液晶表示モジュール190は液晶素子が
マトリクス状に設けられた表示パネル120と、表示パネル120と重なる偏光板及びカ
ラーフィルタ115を有する。また、外部入力端子となるFPC(フレキシブルプリント
サーキット)116a、116bは表示パネル120に設けた端子部と電気的に接続され
ている。表示パネル120は、実施の形態1の表示パネル100と同様の構成を有する。
ただし、フルカラー表示とする場合であるため、赤色表示素子、緑色表示素子、青色表示
素子の3つの表示素子を用い、それぞれに異なる映像信号を供給する回路構成とする。
また、図9には、外光139が表示パネル120上の液晶素子を透過して反射電極で反射
される様子を模式的に示してある。例えば、カラーフィルタの赤色領域と重なる画素にお
いては、外光139がカラーフィルタ115を通過した後、液晶層を通過し、反射電極で
反射され、再びカラーフィルタ115を通過して赤色光として取り出される。図9には、
3色の光135が矢印(R、G、及びB)で模式的に示してある。液晶素子を透過する光
の強度は、画像信号により変調されるため、観察者は外光139の反射光によって、映像
を捉えることができる。
また、表示パネル120はフォトセンサを有しており、タッチ入力機能を備えている。フ
ォトセンサの受光領域にもカラーフィルタを重ねることにより可視光センサとして機能さ
せることもできる。また、フォトセンサの光の感度を向上させるためには、入射光を多く
取り入れるため、フォトセンサの受光領域と重なる領域にはカラーフィルタに開口を設け
、フォトセンサの受光領域とカラーフィルタが重ならない構成としてもよい。
本実施の形態は、実施の形態1または実施の形態2と自由に組み合わせることができる。
(実施の形態4)
本実施の形態においては、上記実施の形態で説明した液晶表示装置を具備する電子機器の
例について説明する。
図10(A)は電子書籍(E−bookともいう)であり、筐体9630、表示部963
1、操作キー9632、太陽電池9633、充放電制御回路9634を有することができ
る。太陽電池9633と、表示パネルとを開閉自在に装着しており、太陽電池からの電力
を表示パネル、または映像信号処理部に供給する電子書籍である。図10(A)に示した
電子書籍は、様々な情報(静止画、動画、テキスト画像など)を表示する機能、カレンダ
ー、日付又は時刻などを表示部に表示する機能、表示部に表示した情報をタッチ入力操作
又は編集するタッチ入力機能、様々なソフトウェア(プログラム)によって処理を制御す
る機能、等を有することができる。なお、図10(A)では充放電制御回路9634の一
例としてバッテリー9635、DCDCコンバータ(以下、コンバータ9636と略記)
を有する構成について示している。
表示部9631はフォトセンサを利用したタッチ入力機能を備えた反射型の液晶表示装置
であり、比較的明るい状況下で使用するため、太陽電池9633による発電、及びバッテ
リー9635での充電を効率よく行うことができ、好適である。なお太陽電池9633は
、筐体9630の表面及び裏面に効率的なバッテリー9635の充電を行う構成とするこ
とができるため好適である。なおバッテリー9635としては、リチウムイオン電池を用
いると、小型化を図れる等の利点がある。
また図10(A)に示す充放電制御回路9634の構成、及び動作について図10(B)
にブロック図を示し説明する。図10(B)には、太陽電池9633、バッテリー963
5、コンバータ9636、コンバータ9637、スイッチSW1乃至SW3、表示部96
31について示しており、バッテリー9635、コンバータ9636、コンバータ963
7、スイッチSW1乃至SW3が充放電制御回路9634に対応する箇所となる。
まず外光により太陽電池9633により発電がされる場合の動作の例について説明する。
太陽電池で発電した電力は、バッテリー9635を充電するための電圧となるようコンバ
ータ9636で昇圧または降圧がなされる。そして、表示部9631の動作に太陽電池9
633からの電力が用いられる際にはスイッチSW1をオンにし、コンバータ9637で
表示部9631に必要な電圧に昇圧または降圧をすることとなる。また、表示部9631
での表示を行わない際には、SW1をオフにし、SW2をオンにしてバッテリー9635
の充電を行う構成とすればよい。
なお太陽電池9633については、充電手段の一例として示したが、他の手段によるバッ
テリー9635の充電を行う構成であってもよい。また他の充電手段を組み合わせて行う
構成としてもよい。
本実施の形態は、他の実施の形態に記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能
である。
61 期間
62 期間
63 期間
100:表示パネル
101:画素回路
103:画素
104:画素
105:表示素子
106:フォトセンサ
107:信号線側の表示素子駆動回路
108:走査線側の表示素子駆動回路
109:フォトセンサ読み出し回路
110:フォトセンサ駆動回路
115:カラーフィルタ
116a、116b:FPC
120:表示パネル
125:表示素子
135 光
139:外光
190 液晶表示モジュール
201 トランジスタ
202 保持容量
203 液晶素子
204 フォトダイオード
205 トランジスタ
206 トランジスタ
207 ゲート信号線
208 フォトダイオードリセット信号線
209 読み出し信号線
210 ビデオデータ信号線
211 フォトセンサ出力信号線
212 フォトセンサ基準信号線
213 ゲート信号線
214 容量配線
221 トランジスタ
222 保持容量
223 液晶素子
224 容量配線
227 ゲート信号線
230 基板
231 絶縁層
232 ゲート絶縁層
233 酸化物半導体層
234 電極層
235 電極層
236 電極層
237 絶縁層
238 p層
239 i層
240 n層
241 絶縁層
242 反射電極層
243 接続電極層
244 配向膜
245 凹部
251 電極層
253 酸化物半導体層
254 電極層
255 酸化物半導体層
256 酸化物半導体層
257 電極層
258 電極層
1030 電子機器
1031 ボタン
1032 表示部
1033 領域
1034 スイッチ
1035 電源スイッチ
1036 キーボード表示スイッチ
9630 筐体
9631 表示部
9632 操作キー
9633 太陽電池
9634 充放電制御回路
9635 バッテリー
9636 コンバータ
9637 コンバータ

Claims (2)

  1. タッチ入力機能を有する表示部を有し、
    前記表示部は第1の領域と第2の領域とを有し、
    前記第1の領域キーボードを表示し、前記キーボードを用いた力に対応するデータに基づいて、前記第2の領域に画像を表示する機能を有し、
    所定の期間、前記キーボードを用いた入力がな場合は前記第1の領域から前記キーボード表示が消され、前記第1の領域に画像を表示する機能を有し、
    前記第1の領域に前記キーボードが表示されている場合は、前記第1の領域の表示素子への電力の供給を停止することを特徴とする電子機器。
  2. 請求項1において、
    前記表示部が有するトランジスタは、酸化物半導体層を有することを特徴とする電子機器。
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