JP5578208B2 - 含フッ素エラストマーの製造方法 - Google Patents
含フッ素エラストマーの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5578208B2 JP5578208B2 JP2012178456A JP2012178456A JP5578208B2 JP 5578208 B2 JP5578208 B2 JP 5578208B2 JP 2012178456 A JP2012178456 A JP 2012178456A JP 2012178456 A JP2012178456 A JP 2012178456A JP 5578208 B2 JP5578208 B2 JP 5578208B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluorine
- elastomer
- containing elastomer
- mol
- water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F214/00—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen
- C08F214/18—Monomers containing fluorine
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F14/00—Homopolymers and copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen
- C08F14/18—Monomers containing fluorine
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F2/00—Processes of polymerisation
- C08F2/12—Polymerisation in non-solvents
- C08F2/16—Aqueous medium
- C08F2/22—Emulsion polymerisation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F214/00—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen
- C08F214/18—Monomers containing fluorine
- C08F214/22—Vinylidene fluoride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F214/00—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen
- C08F214/18—Monomers containing fluorine
- C08F214/26—Tetrafluoroethene
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F6/00—Post-polymerisation treatments
- C08F6/14—Treatment of polymer emulsions
- C08F6/16—Purification
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F6/00—Post-polymerisation treatments
- C08F6/14—Treatment of polymer emulsions
- C08F6/22—Coagulation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Sealing Material Composition (AREA)
Description
(1)全ての原材料に金属原子を含まない化合物を用い、
(2)原材料として、「実質的に金属成分を含まない原材料」を用い、
(3)含フッ素エラストマーの乳化分散液を凝析してえられる含水含フッ素エラストマーに、該含水含フッ素エラストマーに親和性を有し金属成分を含まない非水溶性溶剤を添加して水分を分離させる(本発明の第一の製造方法ということがある)、
(4)含フッ素エラストマーの乳化分散液を凝析してえられる含水含フッ素エラストマー、または該含水含フッ素エラストマーに親和性を有し金属成分を含まない非水溶性溶剤を添加して水分を分離してえられるエラストマー凝析物を、清浄なガスを用いて乾燥させる、
該清浄なガスは、0.2μm以上のパーティクルが10000個以下のガスである(本発明の第二の製造方法ということがある)、
(5)エラストマー凝析物と接触する部分がフッ素樹脂製フィルムまたはポリエチレン製フィルムをラミネートした容器、フッ素樹脂製容器およびポリエチレン樹脂製容器を用いる(本発明の第三の製造方法ということがある)。
CF2=CF−ORf
(式中、Rfは炭素数1〜5のパーフルオロアルキル基、または炭素数3〜12でかつ酸素原子を1〜3個含むパーフルオロアルキル(ポリ)エーテル基)で表されるパーフルオロビニルエーテル10〜60モル%、および硬化部位を与える単量体0〜5モル%からなるのが好ましい。
CF2=CF−ORf
(式中、Rfは前記と同様。)で表わされるパーフルオロビニルエーテル10〜60モル%、および硬化部位を与える単量体0〜5モル%からなり、非エラストマー性含フッ素ポリマー鎖セグメントが、テトラフルオロエチレン85〜100モル%、式(2):
CF2=CF−Rf 1
(式中、Rf 1はCF3またはORf 2(Rf 2は炭素数1〜5のパーフルオロアルキル基))0〜15モル%からなるのが好ましい。
CX2=CX−Rf 2−CHR−I
(式中、Xは水素原子、フッ素原子またはメチル基、Rは水素原子またはメチル基、Rf 2は1個以上のエーテル型酸素原子を有していてもよい直鎖状または分岐鎖状のフルオロ−もしくはパーフルオロアルキレン基、またはフルオロ−もしくはパーフルオロオキシアルキレン基)で示されるヨウ化オレフィンなども使用できる。そのほかCF2=CHI、パーフルオロ(5−ヨード−3−オキサ−1−ペンテン)などがあげられる。また、耐熱性を向上するために次に示すような官能基含有モノマーもあげられる。
(1)VdF/TFE(0〜100/100〜0)、特にVdF/TFE(70〜99/30〜1)、PTFEまたはPVdF;
(2)エチレン/TFE/HEP(6〜60/40〜81/1〜30)、3,3,3−トリフルオロプロピレン−1,2−トリフルオロメチル−3,3,3−トリフルオロプロピレン−1/PAVE(40〜60/60〜40);
(3)TFE/CF2=CF−Rf 1(非エラストマー性を示す組成範囲、すなわち、CF2=CF−Rf 1が15モル%以下);
(4)VdF/TFE/CTFE(50〜99/30〜0/20〜1);
(5)VdF/TFE/HFP(60〜99/30〜0/10〜1);
(6)エチレン/TFE(30〜60/70〜40);
(7)ポリクロロトリフルオロエチレン(PCTFE);
(8)エチレン/CTFE(30〜60/70〜40)などがあげられる。
(1)前処理システム(工業用水、地下水→前処理水):これは除濁および一次滅菌のために行なう。手段としては、凝析沈殿、凝集濾過、活性炭吸着、マイクロフィルター(MF)を用いる。
(2)一次純水システム(前処理水→一次純水):これは脱塩のために行なう。手段としては、大半の溶解塩、有機物、微粒子および生菌の除去のために逆浸透(RO)を用い、精密脱塩のためにイオン交換樹脂を用いる。
(3)サブシステム(一次純水→超純水):これは一次純水中のイオンおよび微粒子の除去ならびに殺菌のために行なう。手段としては、有機物を分解するためにUV酸化を用い、コロイド状物質および高分子物質除去のために限外濾過(UF)を用い、精密脱塩のためにイオン交換樹脂を用いる。
CF2=CF(OCF2CF(CF3))2OCF2CF2CF3で表される含フッ素モノマーを用いて重合するときには、まず、含フッ素モノマー、そのほかのモノマー、純水、乳化剤、連鎖移動剤としてのヨウ素化合物などを混合してあらかじめ乳化液をうるのが好ましい。このとき、予備乳化を行なったのちに強制的に高圧で乳化を行なうのがより好ましい。
(1)エッチング装置
ドライエッチング装置
プラズマエッチング装置
反応性イオンエッチング装置
反応性イオンビームエッチング装置
スパッタエッチング装置
イオンビームエッチング装置
ウェットエッチング装置
アッシング装置
(2)洗浄装置
乾式エッチング洗浄装置
UV/O3洗浄装置
イオンビーム洗浄装置
レーザービーム洗浄装置
プラズマ洗浄装置
ガスエッチング洗浄装置
抽出洗浄装置
ソックスレー抽出洗浄装置
高温高圧抽出洗浄装置
マイクロウェーブ抽出洗浄装置
超臨界抽出洗浄装置
(3)露光装置
ステッパー
コータ・デベロッパー
(4)研磨装置
CMP装置
(5)成膜装置
CVD装置
スパッタリング装置
(6)拡散・イオン注入装置
酸化拡散装置
イオン注入装置
(1)原材料選定工程
以下に、各成分として用いたものを以下に示す。また、これらの金属成分含有量を表1に示す。
含フッ素モノマーA:テトラフルオロエチレン(TFE)
含フッ素モノマーB:CF3CF2CF2O(CF(CF3)CF2O)2CF=CF2で示されるパーフルオロアルキルビニルエーテル(PAVE)
含ヨウ素モノマー:ICH2CF2CF2OCF=CF2(IM)
ヨウ素化合物:1,4−ジヨードパーフルオロブタン(DI)
乳化剤:パーフルオロオクタン酸アンモニウム。乳化剤中の金属成分含有量は、Fe:8100ppb、Na:600ppb、K:200ppbであった。
重合開始剤:過硫酸アンモニウム(APS)
pH調整剤:炭酸アンモニウム
凝析剤:塩酸(MERCK社製の半導体グレードHCl、Suprapur)。HCl中の金属成分含有量は、Fe:4ppb、Na:4ppb、K:1ppbであった。
非水溶性溶剤:1,1−ジクロロ−1−フルオロエタン(HCFC−141b)。HCFC−141b中の金属成分含有量は、Fe:3ppb、Na:1ppb以下、K:2ppb以下であった。
純水:前述した方法によりえたもの。純水中の金属成分含有量は、Fe:2ppb、Na:0.7ppb、K:0.2ppb以下であった。
純水2540g、乳化剤(パーフルオロオクタン酸アンモニウム)114g、含フッ素モノマー(PAVE)2284g、含ヨウ素モノマー(IM)22.7g、pH調整剤(炭酸アンモニウム)12.7g、ヨウ素化合物(DI)3.5gを5リットルのPFA製ビーカーに入れ、乳化機(ヤマト科学(株)製のULTRA−DISPERSER MODEL LK−41)を用いて、60秒間混合し、体積平均粒径2μmに乳化させた予備乳化液をえた。
えられた予備乳化液を、直ちに、強制乳化機(マイクロフルーイディクス インターナショナル コーポレーション(Microfluidics International Corporation)社製のMicrofluidizer Models M−210E/H)を用い、乳化圧力1000kgf/cm2Gで乳化し、乳化液をえた。
内容量6000mlのステンレススチール製の耐圧反応槽にえられた乳化液4350gと亜硫酸アンモニウム(水和物)6.6gを入れ、内部空間をチッ素ガスで充分置換したのち、撹拌下、15℃にして真空引きし、含フッ素モノマー(TFE)のガスで4.7kgf/cm2Gまで加圧した。重合開始剤(APS)の0.88重量%水溶液5.4mlを圧入すると、直ちに重合反応が始まって圧力降下が起こった。3.0kgf/cm2Gまで圧力が降下したとき、3.0kgf/cm2Gの圧力を維持すべくTFEガスを59g追加仕込みした。追加仕込みを終えると圧力降下が起こり、2.0kgf/cm2Gまで圧力降下したところで2.0kgf/cm2Gの圧力を維持すべくTFEガスを95g追加仕込みした。この追加仕込みを終えると圧力降下が起こり、1.0kgf/cm2Gまで圧力降下したところで1.0kgf/cm2Gの圧力を維持すべくTFEガスをさらに98g追加仕込みした。この追加仕込みを終えた時点で放圧し、重合を停止させた。なお、重合中には3時間ごとにAPSの0.88重量%水溶液を5.4mlずつ圧入した。この結果として5049gの水性分散液をえた。
前記(4)と同様の方法で反応スケールを約10倍とした重合でえた水性分散液20kgを140kgの水で希釈した。セラミックフィルター(U.S.FILTER社製、フィルター長さ:836mm、フィルター孔径:200nm、マルチルーメン(レンコン型)内径:直径4mm×12穴、使用本数:10本)の両側に加圧可能なタンク(容量300リットル)を2基もつ装置において、一方のタンク内に希釈した水性分散液を仕込んだ。その後、希釈した水性分散液を仕込んだタンクをチッ素ガスで1.5kgf/cm2Gに加圧し、他方の空のタンクを1.3kgf/cm2Gに加圧し、その差圧にてフィルター内に希釈させた水性分散液を通過させて濾過を行なった。一方のタンク中の水性分散液がなくなった時点で両タンクの圧力設定を逆にし、逆方向に水性分散液を移動させた。水性分散液が特定の濃度(エラストマー含有量6.0重量%)にまで濃縮されたのちに、再度水を140kg添加した。この工程を21時間かけて5回繰り返した。計算された希釈倍率は612倍であった。最終的にえられた洗浄後の水性分散液は84.3リットルであり、エラストマー含有量は6.0重量%であった。また、アンモニアイオンメーターで測定したアンモニウムイオン濃度は77ppmであり、濾液の濃度から計算した乳化剤に基づくアンモニウムイオン濃度は67ppm、そのほかのアンモニウムイオン濃度は10ppmであった。
(5)でえられた洗浄後の水性分散液19.3gを水0.7gで希釈し、PFA製ビーカーに入れた凝析剤(MERCK社製 Suprapur:半導体グレードHClの3.5%水溶液)12gに滴下し凝析を行なって、含水含フッ素エラストマーをえた。
えられた含水含フッ素エラストマーを非水溶性溶剤(ダイキン工業(株)製のHCFC−141b)14gに撹拌しながら浸した。その後、上層の水、およびHCFC−141bを除去した。このことを3回繰り返し含水含フッ素エラストマー中の水分および未反応PAVEを除去し、溶剤に膨潤したエラストマーをえた。使用した合計56gのHCFC−141bを46g回収した。その回収溶剤中には乳化剤が凝析剤によりカルボン酸に変化したものが0.028g、さらに重合工程での未反応PAVE(1.290g)のうち1.225gが含まれていた。
えられた溶剤を含むエラストマーを耐熱性HEPAフィルターを用いて庫内をクラス100の環境にしているオーブン中150℃で12時間乾燥を行なった。えられたポリマーの金属成分含有量を表1に示す。
まず、本発明において用いる金属成分含有量の分析法について説明する。
重合槽内部の接液部(槽内、撹拌翼、温度計さや管)に厚さ200μmのPFAライニングを施した着火源をもたない3リットルの反応装置の中へ水1.5リットル、パーフルオロノナン酸アンモニウム(C8F17COONH4)15gを仕込んだ。つぎに重合槽内部から酸素を除去するため撹拌しながらTFE加圧、排出を繰り返し行なった。槽内を50℃に温調後、パーフルオロメチルビニルエーテル(PMVE)、TFEを圧入し、圧力8kgf/cm2G、混合ガス組成比TFE/PMVE=1(mol%)に調整した。過硫酸アンモニウム(APS)30mgを5mlの純水に溶解しN2で圧入し、重合開始し、槽内圧力が7kgf/cm2Gになると1,4−ジヨードパーフルオロブタンを圧入し、TFE/PMVE=62/38(mol%)の比率にてそれぞれのガスを追加し、元の圧力まで昇圧した。その後、圧力が7kgf/cm2Gになる毎に同様の昇圧を繰り返した。さらにAPSを3時間毎に10mgを5mlの純水に溶解しN2で圧入することを繰り返し15時間後に未反応ガスを排出し、重合を終了した。えられた水性分散液のエラストマー含有率は27.1%、pH=2.5であった。えられた水性分散液中の金属含有量は、Fe:70ppb、Na:4ppb、K:2ppb以下であった。えられたポリマーの金属成分含有量を表1に示す。
実施例1の(4)でえられた水性分散液60gをゲルセロファン半透膜に仕込み、純水6リットルにその半透膜を24時間浸したのち、新しい水に入れ替えた。この操作を10回繰り返した。アンモニアイオンメーターで測定した水性分散液中のアンモニウムイオンは、40ppbであった。
(1)乳化重合工程
内容量6000mlのステンレススチール製の耐圧反応槽にえられた超純水2リットル、乳化剤(C7F15COONH4)20g、pH調節剤(炭酸アンモニウム)18gを入れ、内部空間を窒素ガスで充分置換したのち、600rpmで撹拌下、50℃に昇温し、テトラフルオロエチレンとパーフルオロ(メチルビニルエーテル)の混合物(TFE/PMVE=20/80、モル比)を内圧が12.0kgf/cm2Gまで圧入した。重合開始剤として過硫酸アンモニウム(APS)の186mg/ml水溶液2mlを窒素圧で圧入すると、直ちに重合反応が始まって圧力降下が起こった。11.0kgf/cm2Gまで圧力が降下したとき、ジヨウ素化合物であるI(CF2)4Iを4.0g圧入し、ついでTFEを自圧にて19.0g、PMVEを23.0gプランジャーポンプにて圧入し、昇圧昇温を繰り返した。TFEおよびPMVEの合計仕込量が430g、511g、596gおよび697gに達した時点でヨウ素化合物であるICH2CF2CF2OCF=CF2を各1.5g圧入した。なお、重合中には、反応開始後、12時間毎に35mg/mlのAPS水溶液2mlを窒素ガスで圧入した。
(1)でえられた水性分散液4.0gを超純水15.7gで希釈し、PFA製ビーカーに入れた凝析剤(MERCK社製 Suprapur:半導体グレードHClの3.5%水溶液)12gに滴下し凝析を行なって、含水含フッ素エラストマーをえた。
えられた含水含フッ素エラストマーを、フッ素樹脂(PFA)製フィルム上におき、耐熱性HEPAフィルターを用いて庫内をクラス100の環境にしているオーブン中150℃で12時間乾燥を行なった。えられたエラストマーのムーニー粘度(ML1+10(100℃))は61であった。19F−NMR分析の結果、このエラストマーのモノマー単位比は、TFE/PMVE=60.3/39.7であり、ヨウ素含量は0.31重量%であった。
実施例4で得られたクリーン化されたフッ素系エラストマーを用い、表2に示す組成で4種類の架橋性エラストマー組成物を調製した。ここで用いる充填剤はいずれも金属含有量を低減させたものである。このエラストマー組成物を160℃10分間プレス架橋(一次架橋)し、ついで180℃4時間オーブン架橋(二次架橋)してO−リング(AS−568A−214)を作製した。
(H2SO4/H2O2混合液での洗浄)
O−リング(AS−568A−214)をH2SO4/H2O2(1/1)混合液を用いて100℃にて15分間洗浄したのち、50%HF水溶液を用いて25℃にて15分間洗浄した。その後、超純水を用いて100℃にて2時間洗浄し、さらに20ml/分高純度窒素ガス気流下(容積40×40×40cm)180℃で24時間加熱して水分を除去した。このO−リングの常態(25℃)物性および圧縮永久歪みをJIS K6301にしたがって測定した。結果を表2に示す。得られた最終製品の金属含有量を調べた。結果を表3に示す。
(2)使用する抽出用薬液(H2SO4/H2O2(4/1)または50%HF)は、半導体用グレードを用いる。
(3)試料O−リングをそれぞれの薬液中に浸漬(H2SO4/H2O2混合物では25℃14日間、50%HFでは25℃24時間)し、密封の後、所定の温度で保持する。その際試料を浸漬せず薬液のみで同様の保管をしたものを対照とする。
(4)任意の期間保管した後、薬液中の含有金属濃度をH2SO4/H2O2についてはICP−MS(セイコー電子(株)製のSPQ9000)で、50%HFでは原子吸光測定装置((株)日立製作所製のZ−8000)で測定する。
(5)次式によりO−リングからの抽出金属を算出する。
(1)乳化重合工程
着火源をもたない内容積3Lのステンレススチール製オートクレーブに、純水1リットルおよび乳化剤としてCF3CF2CF2OCF(CF3)CF2OCF(CF3)COONH4を10g、pH調節剤として炭酸アンモニウム9gを仕込み、系内を十分窒素ガスで置換し脱気した後、600rpmで撹拌しながら、50℃に昇温し、パーフルオロ(メチルビニルエーテル)(PMVE)とテトラフルオロエチレン(TFE)の混合ガス(TFE/PMVE=25/75モル比)を内圧が8.0kgf/cm2Gになるように仕込んだ。ついで亜硫酸アンモニウムの34.3mg/mlの濃度の水溶液を10mlと過硫酸アンモニウム(APS)の135mg/mlの濃度の水溶液10mlを順次それぞれ別々に窒素圧で圧入して反応を開始した。
(1)でえられた水性分散体のうち1000gを水3000gで希釈し、3.5重量%塩酸水溶液2400g中に、撹拌しながらゆっくり添加した。添加後5分間撹拌した後、凝析物をろ別した。
得られた含水含フッ素エラストマーをさらに1kgのHCFC−141b中にあけ、5分間撹拌し、再びろ別した。この後このHCFC−141bによる洗浄、ろ別の操作をさらに4回繰り返した。
60℃で72時間真空乾燥させ、58gのエラストマーを得た。
Claims (8)
- 以下の方法(1)及び(2)を行い、かつ、以下の方法(3)〜(5)のいずれか1つの方法によって行われる、または、少なくとも2つの方法を組み合わせて行われることを特徴とする含フッ素エラストマーの製造方法。
(1)全ての原材料に金属原子を含まない化合物を用い、
(2)原材料として、「実質的に金属成分を含まない原材料」を用い、
(3)含フッ素エラストマーの乳化分散液を凝析してえられる含水含フッ素エラストマーに、該含水含フッ素エラストマーに親和性を有し金属成分を含まない非水溶性溶剤を添加して水分を分離させる、
(4)含フッ素エラストマーの乳化分散液を凝析してえられる含水含フッ素エラストマー、または該含水含フッ素エラストマーに親和性を有し金属成分を含まない非水溶性溶剤を添加して水分を分離してえられるエラストマー凝析物を、清浄なガスを用いて乾燥させる、
該清浄なガスは、0.2μm以上のパーティクルが10000個以下のガスである、
(5)含フッ素エラストマーの乳化分散液を凝析してえられる含水含フッ素エラストマー、または該含水含フッ素エラストマーに親和性を有し金属成分を含まない非水溶性溶剤を添加して水分を分離してえられるエラストマー凝析物と接触する部分にフッ素樹脂製フィルムまたはポリエチレン製フィルムをラミネートした容器またはフッ素樹脂製容器またはポリエチレン樹脂製容器を用いて含水含フッ素エラストマー又はエラストマー凝析物を乾燥させる。 - 前記含フッ素エラストマーは、テトラフルオロエチレン単位、ビニリデンフルオライド単位、ヘキサフルオロプロピレン単位および式(1):
CF2=CF−ORf
(式中、Rfは炭素数1〜5のパーフルオロアルキル基、または炭素数3〜12でかつ酸素原子を1〜3個含むパーフルオロアルキル(ポリ)エーテル基)で表されるパーフルオロビニルエーテル単位からなる群より選択される少なくとも1種の単位を含む請求項1記載の含フッ素エラストマーの製造方法。 - 前記含フッ素エラストマーは、テトラフルオロエチレン40〜90モル%、式(1):
CF2=CF−ORf
(式中、Rfは炭素数1〜5のパーフルオロアルキル基、または炭素数3〜12でかつ酸素原子を1〜3個含むパーフルオロアルキル(ポリ)エーテル基)で表されるパーフルオロビニルエーテル10〜60モル%、および硬化部位を与える単量体0〜5モル%からなる請求項1または2記載の含フッ素エラストマーの製造方法。 - 前記含フッ素エラストマーは、ビニリデンフルオライド30〜85モル%、ヘキサフルオロプロピレン15〜40モル%およびテトラフルオロエチレン0〜30モル%からなる請求項1または2記載の含フッ素エラストマーの製造方法。
- 前記含フッ素エラストマーは、ビニリデンフルオライド10〜90モル%、式(1):
CF2=CF−ORf
(式中、Rfは炭素数1〜5のパーフルオロアルキル基、または炭素数3〜12でかつ酸素原子を1〜3個含むパーフルオロアルキル(ポリ)エーテル基)で表されるパーフルオロビニルエーテル10〜40モル%およびテトラフルオロエチレン0〜80モル%からなる請求項1または2記載の含フッ素エラストマーの製造方法。 - 前記含フッ素エラストマーは、エラストマー性含フッ素ポリマー鎖セグメントと非エラストマー性含フッ素ポリマー鎖セグメントを有する含フッ素多元セグメント化ポリマーであって、エラストマー性含フッ素ポリマー鎖セグメントが、テトラフルオロエチレン53〜70モル%、式(1):
CF2=CF−ORf
(式中、Rfは炭素数1〜5のパーフルオロアルキル基、または炭素数3〜12でかつ酸素原子を1〜3個含むパーフルオロアルキル(ポリ)エーテル基)で表されるパーフルオロビニルエーテル30〜45モル%、および硬化部位を与える単量体0〜2モル%からなり、非エラストマー性含フッ素ポリマー鎖セグメントが、テトラフルオロエチレン85〜100モル%、式(2):
CF2=CF−Rf 1
(式中、Rf 1はCF3またはORf 2(Rf 2は炭素数1〜5のパーフルオロアルキル基))0〜15モル%からなる請求項1または2記載の含フッ素エラストマーの製造方法。 - 前記含フッ素エラストマーは、末端および/または側鎖にヨウ素および/または臭素を有するポリマー鎖を含む請求項1〜6のいずれかに記載の含フッ素エラストマーの製造方法。
- 前記含フッ素エラストマーは、ニトリル基を含む請求項1〜7のいずれかに記載の含フッ素エラストマーの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012178456A JP5578208B2 (ja) | 1998-03-25 | 2012-08-10 | 含フッ素エラストマーの製造方法 |
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1998077235 | 1998-03-25 | ||
JP7723598 | 1998-03-25 | ||
JP1999005877 | 1999-01-12 | ||
JP587799 | 1999-01-12 | ||
JP2012178456A JP5578208B2 (ja) | 1998-03-25 | 2012-08-10 | 含フッ素エラストマーの製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008000487A Division JP5527934B2 (ja) | 1998-03-25 | 2008-01-07 | 含フッ素エラストマーの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012211347A JP2012211347A (ja) | 2012-11-01 |
JP5578208B2 true JP5578208B2 (ja) | 2014-08-27 |
Family
ID=26339897
Family Applications (4)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000541217A Expired - Lifetime JP4110736B2 (ja) | 1998-03-25 | 1999-03-24 | 含フッ素エラストマーの金属含有量低減化方法 |
JP2008000487A Expired - Lifetime JP5527934B2 (ja) | 1998-03-25 | 2008-01-07 | 含フッ素エラストマーの製造方法 |
JP2011276105A Expired - Lifetime JP5445573B2 (ja) | 1998-03-25 | 2011-12-16 | 成形品 |
JP2012178456A Expired - Lifetime JP5578208B2 (ja) | 1998-03-25 | 2012-08-10 | 含フッ素エラストマーの製造方法 |
Family Applications Before (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000541217A Expired - Lifetime JP4110736B2 (ja) | 1998-03-25 | 1999-03-24 | 含フッ素エラストマーの金属含有量低減化方法 |
JP2008000487A Expired - Lifetime JP5527934B2 (ja) | 1998-03-25 | 2008-01-07 | 含フッ素エラストマーの製造方法 |
JP2011276105A Expired - Lifetime JP5445573B2 (ja) | 1998-03-25 | 2011-12-16 | 成形品 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6703461B1 (ja) |
EP (3) | EP1840142B1 (ja) |
JP (4) | JP4110736B2 (ja) |
KR (2) | KR100659955B1 (ja) |
CN (1) | CN1293681B (ja) |
DE (1) | DE69941744D1 (ja) |
WO (1) | WO1999050319A1 (ja) |
Families Citing this family (51)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1840142B1 (en) * | 1998-03-25 | 2009-12-02 | Daikin Industries, Ltd. | Method of reducing metal content in fluorine-containing polymer |
JP2000119468A (ja) * | 1998-10-16 | 2000-04-25 | Nippon Valqua Ind Ltd | 含フッ素エラストマー組成物、その架橋体、並びにその用途 |
ATE312870T1 (de) | 1999-01-12 | 2005-12-15 | Daikin Ind Ltd | Geformtes elastomer |
CN1125850C (zh) * | 1999-01-12 | 2003-10-29 | 大金工业株式会社 | 交联性弹性体组合物以及该组合物制造的成型品 |
JP5055652B2 (ja) * | 2000-08-11 | 2012-10-24 | ダイキン工業株式会社 | 含フッ素界面活性剤の回収方法 |
JP5329013B2 (ja) * | 2001-04-12 | 2013-10-30 | 旭硝子株式会社 | 強度の高いテトラフルオロエチレン重合体の製造方法 |
WO2003029306A1 (fr) | 2001-09-26 | 2003-04-10 | Nichias Corporation | Moulages de caoutchoucs fluores et leur procede de production |
US6803435B2 (en) * | 2002-07-18 | 2004-10-12 | 3M Innovative Properties Company | Curable fluoropolymers containing bromine groups having improved compression set |
AU2003256929A1 (en) † | 2002-07-29 | 2004-02-16 | 3M Innovative Properties Company | Ultraclean fluoroelastomer suitable for use in the manufacturing of electronic components |
EP1525233B1 (en) * | 2002-07-29 | 2011-01-05 | 3M Innovative Properties Company | Fluorelastomer and process for making a fluoroelastomer |
WO2004060944A1 (en) * | 2002-12-23 | 2004-07-22 | 3M Innovative Properties Company | Fluoroplastic polymers having nitrogen-containing cure sites |
JP4182338B2 (ja) * | 2003-03-06 | 2008-11-19 | 信越化学工業株式会社 | 熱硬化性パーフルオロポリエーテル系ゴム組成物及びゴム製品 |
JP2004285264A (ja) | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Yunimatekku Kk | 含フッ素共重合体の製造方法 |
DE10347704A1 (de) * | 2003-10-14 | 2005-05-12 | Bayer Ag | Verfahren zur Herstellung von gereinigten Elastomeren aus Lösung |
CN100471877C (zh) * | 2003-12-30 | 2009-03-25 | 3M创新有限公司 | 含氟聚合物的凝聚方法及组合物 |
JP4834971B2 (ja) * | 2004-04-07 | 2011-12-14 | ダイキン工業株式会社 | 含フッ素エラストマー重合体の製造方法 |
JP2005320501A (ja) * | 2004-04-07 | 2005-11-17 | Daikin Ind Ltd | 含フッ素エラストマー重合体の製造方法 |
ITMI20041253A1 (it) | 2004-06-22 | 2004-09-22 | Solvay Solexis Spa | Gel di fluoroelastomeri |
ITMI20041251A1 (it) * | 2004-06-22 | 2004-09-22 | Solvay Solexis Spa | Gel di perfluoroelastomeri |
US8193308B2 (en) | 2005-05-02 | 2012-06-05 | Daikin Industries, Ltd. | Process for preparing fluorine-containing polymer and fluorine-containing polymer prepared by said preparation process |
US7488781B2 (en) * | 2005-05-25 | 2009-02-10 | Gore Enterprise Holdings, Inc. | High purity transparent perfluoroelastomer parts and a process to produce the same |
US20060270780A1 (en) * | 2005-05-25 | 2006-11-30 | Ping Xu | High purity perfluoroelastomer composites and a processes to produce the same |
JP5663839B2 (ja) * | 2006-12-08 | 2015-02-04 | 旭硝子株式会社 | エチレン/テトラフルオロエチレン系共重合体及びその製造方法 |
JP5020747B2 (ja) * | 2007-09-03 | 2012-09-05 | ユニマテック株式会社 | 含フッ素共重合体の製造方法 |
US20090270573A1 (en) * | 2008-04-29 | 2009-10-29 | Christopher John Bish | Process for coagulating perfluoroelastomers |
JP5711870B2 (ja) * | 2008-11-05 | 2015-05-07 | 株式会社森清化工 | 封止材 |
JP5228857B2 (ja) * | 2008-12-02 | 2013-07-03 | 信越半導体株式会社 | シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 |
US9869392B2 (en) * | 2011-10-20 | 2018-01-16 | Lam Research Corporation | Edge seal for lower electrode assembly |
JP6341633B2 (ja) * | 2013-05-17 | 2018-06-13 | ダイキン工業株式会社 | パーフルオロゴム水性分散液の製造方法 |
WO2014209574A1 (en) * | 2013-06-25 | 2014-12-31 | 3M Innovative Properties Company | Moisture-curable composition, method of using, and composite article |
US10253128B2 (en) | 2013-08-07 | 2019-04-09 | Nichias Corporation | Crosslinking agent and fluorine-containing aromatic compound |
EP3067390A4 (en) | 2013-12-26 | 2017-09-20 | Daikin Industries, Ltd. | Processing aid for polyolefins, and polyolefin composition |
JP6230415B2 (ja) * | 2013-12-27 | 2017-11-15 | 日本バルカー工業株式会社 | パーフルオロエラストマー組成物、並びにシール材及びその製造方法 |
JP6270269B2 (ja) | 2014-03-04 | 2018-01-31 | 住友ゴム工業株式会社 | フッ素ゴム成形品の製造方法 |
KR102128542B1 (ko) | 2014-08-01 | 2020-06-30 | 니찌아스 카부시키카이샤 | 가교제 및 불소 함유 방향족 화합물 |
JP6608587B2 (ja) * | 2014-10-17 | 2019-11-20 | 三菱ケミカル株式会社 | 半導体リソグラフィー用材料の製造方法および製造装置 |
US9926524B2 (en) * | 2014-12-22 | 2018-03-27 | Saint-Gobain Performance Plastics Corporation | Gas permeable material |
JP6788176B2 (ja) * | 2015-04-06 | 2020-11-25 | セントラル硝子株式会社 | ドライエッチングガスおよびドライエッチング方法 |
US11148361B2 (en) | 2016-01-21 | 2021-10-19 | 3M Innovative Properties Company | Additive processing of fluoroelastomers |
JPWO2018199264A1 (ja) * | 2017-04-28 | 2020-03-12 | Agc株式会社 | 2元系テトラフルオロエチレン/エチレン共重合体及びその製造方法 |
EP3636682A4 (en) * | 2017-06-05 | 2021-03-03 | AGC Inc. | ELASTIC COPOLYMER CONTAINING FLUORINE AND ITS PRODUCTION PROCESS |
JP7202082B2 (ja) * | 2017-06-23 | 2023-01-11 | 三井・ケマーズ フロロプロダクツ株式会社 | 熱溶融性フッ素樹脂成形品 |
KR20200021921A (ko) | 2017-06-27 | 2020-03-02 | 에이지씨 가부시키가이샤 | 함불소 탄성 공중합체 및 그 제조 방법, 함불소 탄성 공중합체 조성물 그리고 가교 고무 물품 |
JP6953462B2 (ja) * | 2018-03-27 | 2021-10-27 | ダイキン工業株式会社 | 成形材料およびチューブ |
GB201807544D0 (en) * | 2018-05-09 | 2018-06-20 | 3M Innovative Properties Co | Fluoropolymers with very low amounts of a fluorinated alkanoic acid or its salts |
CN109575157B (zh) * | 2018-11-16 | 2020-12-15 | 上海华谊三爱富新材料有限公司 | 低金属离子含量的含氟聚合物及其制造方法 |
TW202033573A (zh) | 2018-12-17 | 2020-09-16 | 美商3M新設資產公司 | 包括可固化氟聚合物及固化劑之組成物及製造及使用其之方法 |
CN114106495A (zh) * | 2020-08-28 | 2022-03-01 | 中昊晨光化工研究院有限公司 | 一种改性全氟醚氟橡胶及其制备方法和应用 |
CN113082839A (zh) * | 2021-03-12 | 2021-07-09 | 满洲里达赉湖热电有限公司 | 一种覆盖过滤器在线清洗方法 |
JP2023000376A (ja) * | 2021-06-17 | 2023-01-04 | オルガノ株式会社 | 純水製造装置及び純水製造方法 |
CN115635262A (zh) * | 2022-11-29 | 2023-01-24 | 合肥升滕半导体技术有限公司 | 一种光伏加热板及其加工方法 |
Family Cites Families (63)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2837505A (en) * | 1954-05-11 | 1958-06-03 | Minnesota Mining & Mfg | Manufacture of fluorine-containing polymers |
US3163628A (en) * | 1954-12-15 | 1964-12-29 | Minnesota Mining & Mfg | Polymerization process for unsaturated fluoroolefins |
DE1078329B (de) * | 1955-04-27 | 1960-03-24 | Du Pont | Verfahren zur Herstellung eines elastischen Mischpolymerisats aus Vinylidenfluorid und einem anderen Fluorolefin |
US3085996A (en) * | 1955-10-14 | 1963-04-16 | Minnesota Mining & Mfg | Copolymer of 2, 3, 3, 3-tetrafluoropropene and fluorinated conjugated diolefins and the preparation thereof |
US3043823A (en) * | 1958-08-18 | 1962-07-10 | Minnesota Mining & Mfg | Process utilizing carbon disulfide in aqueous emulsion polymerization of fluorinated monoolefins |
JPS3712536B1 (ja) * | 1959-10-13 | 1962-08-31 | ||
BE626289A (ja) * | 1961-12-20 | |||
GB1030567A (en) * | 1964-04-16 | 1966-05-25 | Du Pont | Polytetrafluoroethylene moulding powder and process of its preparation |
GB1188889A (en) * | 1967-06-20 | 1970-04-22 | Asahi Glass Kabushiki Kaisha | Process for the production of Vinylidene Fluoride Homopolymers and Copolymers |
US3579474A (en) * | 1968-12-16 | 1971-05-18 | Du Pont | Elastomeric copolymers of tetrafluoroethylene containing phenoxyethyl groups,and their vulcanization |
US3635926A (en) * | 1969-10-27 | 1972-01-18 | Du Pont | Aqueous process for making improved tetrafluoroethylene / fluoroalkyl perfluorovinyl ether copolymers |
US3855191A (en) * | 1973-04-04 | 1974-12-17 | Du Pont | Polytetrafluoroethylene molding powders of tetrafluoroethylene and perfluoro (alkyl vinyl ether) copolymer |
US3997705A (en) * | 1974-07-11 | 1976-12-14 | Dynamit Nobel Aktiengesellschaft | Method of coagulating a fluoro-elastomer from an aqueous dispersion thereof |
US4141874A (en) * | 1975-11-15 | 1979-02-27 | Daikin Kogyo Co., Ltd. | Fluorine-containing elastomeric copolymers, process for preparing the same and composition containing the same |
JPS53125491A (en) † | 1977-04-08 | 1978-11-01 | Daikin Ind Ltd | Fluorine-containing polymer easily curable and its curable composition |
JPS5386788A (en) * | 1977-09-30 | 1978-07-31 | Daikin Ind Ltd | Polymer having fluorine-containing segment and its production |
JPS5529519A (en) * | 1978-08-22 | 1980-03-01 | Asahi Glass Co Ltd | Preparation of fluorocopolymer |
JPS5946985B2 (ja) | 1979-12-19 | 1984-11-16 | ダイキン工業株式会社 | 加硫可能なフツ素ゴム組成物 |
US4330654A (en) * | 1980-06-11 | 1982-05-18 | The Dow Chemical Company | Novel polymers having acid functionality |
JPS5959764A (ja) | 1982-09-29 | 1984-04-05 | Daikin Ind Ltd | 感熱接着剤 |
US4513128A (en) * | 1983-06-23 | 1985-04-23 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Fluorinated vinyl ether copolymers having low glass transition temperatures |
US4529784A (en) * | 1983-07-11 | 1985-07-16 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Fluorinated copolymers with improved cure site |
CA1248292A (en) | 1984-05-10 | 1989-01-03 | Marlin D. Buckmaster | Melt-processible tetrafluoroethylene copolymers and processes for preparing them |
DE3584930D1 (de) * | 1984-09-24 | 1992-01-30 | Ausimont Spa | Verfahren zur herstellung von vinylidenfluorid, homo- und copolymeren. |
JPS61176620A (ja) * | 1985-01-31 | 1986-08-08 | Daikin Ind Ltd | 含フッ素共重合体 |
JPS6289713A (ja) * | 1985-10-12 | 1987-04-24 | Daikin Ind Ltd | 新規フルオロエラストマー |
US4743658A (en) * | 1985-10-21 | 1988-05-10 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Stable tetrafluoroethylene copolymers |
US4748223A (en) * | 1986-04-01 | 1988-05-31 | Nippon Mektron Limited | Process for producing peroxide-vulcanizable, fluorine-containing elastomer |
JPS62285906A (ja) | 1986-06-04 | 1987-12-11 | Daikin Ind Ltd | 湿潤含フツ素ポリマ−粉末の脱水方法 |
JPH075810B2 (ja) * | 1986-09-30 | 1995-01-25 | ダイキン工業株式会社 | 低温特性及び加工性の優れた含フツ素弾性状共重合体架橋用組成物 |
JP2705077B2 (ja) | 1988-02-02 | 1998-01-26 | 大日本インキ化学工業株式会社 | フルオロオレフィン系重合体溶液の製造方法 |
US5986012A (en) | 1989-04-24 | 1999-11-16 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Fluorination of radiation crosslinked perfluoroelastomers |
US4972038A (en) * | 1989-05-19 | 1990-11-20 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Cyano-containing perfluoropolymers having iodine curesites |
JP3022614B2 (ja) * | 1990-03-01 | 2000-03-21 | イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー | 塩基に対する安定性が改善された熱可塑性弗素弾性体 |
EP0532714B1 (en) * | 1990-06-07 | 1997-02-12 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Radiation curing of perfluoroelastomers |
JPH08502081A (ja) * | 1992-05-22 | 1996-03-05 | アメス ラバー コーポレイション | 金属酸化物非含有フルオロエラストマー組成物およびそれを含む融合部材 |
US5264508A (en) * | 1992-06-25 | 1993-11-23 | The Dow Chemical Company | Polymers of haloperfluoro and perfluoro ethers |
US5237049A (en) * | 1992-08-28 | 1993-08-17 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Purification and adhesion of fluoropolymers |
DE69419417T2 (de) * | 1993-04-16 | 1999-11-25 | Daikin Industries, Ltd. | Fluorcopolymer, verfahren zu dessen herstellung sowie fluorelastomer |
JP2858198B2 (ja) * | 1993-04-19 | 1999-02-17 | 三菱電線工業株式会社 | 半導体製造装置用シール |
US5546182A (en) * | 1993-05-21 | 1996-08-13 | Daikin Industries Ltd. | Method for determination of trace metal impurity in fluorine-containing polymer and process for production of fluorine-containing polymer using the method |
JP3340798B2 (ja) * | 1993-06-03 | 2002-11-05 | 三井・デュポンフロロケミカル株式会社 | フッ素樹脂粉末分散液 |
JPH0725948A (ja) * | 1993-07-08 | 1995-01-27 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 含フッ素エラストマー及びその成形体 |
DE69408460T2 (de) * | 1993-07-16 | 1998-05-20 | Du Pont | Hochreine fluorelastomerzusammensetzungen |
IT1271422B (it) | 1993-10-15 | 1997-05-28 | Ausimont Spa | Procedimento per la preparazione di copolimeri del tetrafluoroetilene con altri monomeri perfluorurati |
IT1265461B1 (it) * | 1993-12-29 | 1996-11-22 | Ausimont Spa | Fluoroelastomeri comprendenti unita' monomeriche derivanti da una bis-olefina |
JP3277684B2 (ja) * | 1994-04-11 | 2002-04-22 | 日本メクトロン株式会社 | 加硫可能な含フッ素エラストマー組成物 |
IT1269513B (it) | 1994-05-18 | 1997-04-01 | Ausimont Spa | Elastomeri termoplastici fluorurati dotati di migliorate proprieta' meccaniche ed elastiche,e relativo processo di preparazione |
JPH08104789A (ja) * | 1994-10-04 | 1996-04-23 | Nippon Mektron Ltd | 含フッ素エラストマー組成物 |
JP3327016B2 (ja) | 1994-12-06 | 2002-09-24 | ダイキン工業株式会社 | 低温シール性に優れたフッ素ゴム共重合体及びその硬化用組成物 |
EP1050546B1 (en) * | 1995-02-06 | 2003-11-26 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Process for isolating polymers of tetrafluoroethylene |
DE69616272T2 (de) * | 1995-08-30 | 2002-07-11 | Morisei Kako Co., Ltd. | Dichtungszusammensetzung und dichtungsmasse |
DE19542501A1 (de) * | 1995-11-15 | 1997-05-22 | Bayer Ag | Peroxidisch vernetzbare Fluorkautschuke, ein Verfahren zu deren Herstellung und deren Verwendung |
JP3967773B2 (ja) * | 1995-12-01 | 2007-08-29 | イー・アイ・デユポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー | 急速加硫性完全フッ素化エラストマー組成物 |
DE19547909A1 (de) * | 1995-12-21 | 1997-06-26 | Dyneon Gmbh | Verfahren zur Nachbehandlung von thermoplastischen Fluorpolymeren |
JP3496739B2 (ja) * | 1996-03-22 | 2004-02-16 | ユニマテック株式会社 | 含フッ素エラストマー、その製造法および組成物 |
JP3750200B2 (ja) * | 1996-07-04 | 2006-03-01 | 東ソー株式会社 | 高純度薬品用容器 |
US5804744A (en) * | 1996-09-30 | 1998-09-08 | Chemtrace | Apparatus for obtaining, storing and transporting liquid samples and methods for making and using same |
JPH10101740A (ja) * | 1996-10-01 | 1998-04-21 | Nippon Mektron Ltd | フルオロエラストマーおよびその架橋性組成物 |
US6277464B1 (en) * | 1997-05-16 | 2001-08-21 | Pall Corporation | Polymeric integral net |
TWI222977B (en) * | 1997-11-06 | 2004-11-01 | Daikin Ind Ltd | A molding material |
WO1999033891A1 (fr) * | 1997-12-26 | 1999-07-08 | Daikin Industries, Ltd. | Matiere flexible resistant a la chaleur destinee a du materiel de bureautique et matiere de revetement |
EP1840142B1 (en) * | 1998-03-25 | 2009-12-02 | Daikin Industries, Ltd. | Method of reducing metal content in fluorine-containing polymer |
-
1999
- 1999-03-24 EP EP07009945A patent/EP1840142B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-03-24 DE DE69941744T patent/DE69941744D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-03-24 KR KR1020007010447A patent/KR100659955B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1999-03-24 US US09/646,969 patent/US6703461B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-03-24 EP EP10181005A patent/EP2287213A1/en not_active Withdrawn
- 1999-03-24 CN CN998040193A patent/CN1293681B/zh not_active Expired - Lifetime
- 1999-03-24 JP JP2000541217A patent/JP4110736B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1999-03-24 WO PCT/JP1999/001517 patent/WO1999050319A1/ja not_active Application Discontinuation
- 1999-03-24 KR KR1020057019753A patent/KR100629671B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1999-03-24 EP EP99909336.2A patent/EP1097948B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-01-20 US US10/759,282 patent/US6921797B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2008
- 2008-01-07 JP JP2008000487A patent/JP5527934B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2011
- 2011-12-16 JP JP2011276105A patent/JP5445573B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2012
- 2012-08-10 JP JP2012178456A patent/JP5578208B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5527934B2 (ja) | 2014-06-25 |
KR20010042091A (ko) | 2001-05-25 |
EP1097948A4 (en) | 2006-05-03 |
CN1293681B (zh) | 2012-06-13 |
JP5445573B2 (ja) | 2014-03-19 |
EP1097948A1 (en) | 2001-05-09 |
WO1999050319A1 (fr) | 1999-10-07 |
JP2012057172A (ja) | 2012-03-22 |
JP2008144180A (ja) | 2008-06-26 |
EP1840142A3 (en) | 2007-10-17 |
EP1097948B1 (en) | 2011-06-29 |
US6921797B2 (en) | 2005-07-26 |
KR20050115335A (ko) | 2005-12-07 |
DE69941744D1 (de) | 2010-01-14 |
EP1840142B1 (en) | 2009-12-02 |
JP4110736B2 (ja) | 2008-07-02 |
KR100629671B1 (ko) | 2006-10-02 |
JP2012211347A (ja) | 2012-11-01 |
EP2287213A1 (en) | 2011-02-23 |
US6703461B1 (en) | 2004-03-09 |
WO1999050319A9 (fr) | 2000-10-05 |
KR100659955B1 (ko) | 2006-12-22 |
EP1840142A2 (en) | 2007-10-03 |
US20040147698A1 (en) | 2004-07-29 |
EP1097948B2 (en) | 2018-12-26 |
CN1293681A (zh) | 2001-05-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5578208B2 (ja) | 含フッ素エラストマーの製造方法 | |
EP1885796B1 (en) | High purity perfluoroelastomer composites and a process to produce the same | |
JP4374819B2 (ja) | クリーンフィラーの製法およびえられたフィラーを含む成形品の製法 | |
US7488781B2 (en) | High purity transparent perfluoroelastomer parts and a process to produce the same | |
JP7283383B2 (ja) | 架橋性含フッ素弾性共重合体の製造方法 | |
EP3831877A1 (en) | Fluoropolymer-containing composition and molded article | |
JP5070805B2 (ja) | クリーンフィラーを配合した架橋性フッ素系エラストマー組成物 | |
JP3564606B2 (ja) | シール材 | |
JP4314744B2 (ja) | エラストマー成形品 | |
WO2000004083A1 (fr) | Composition elastomere reticulable, matiere d'etancheite obtenu a partir de la composition, et matiere de charge utilisable dans ladite composition | |
WO2000004084A1 (fr) | Composition elastomere reticulable, materiau d'etancheite produit a partir de cette composition, et charge associee pour son utilisation | |
JP4341125B2 (ja) | 薬液透過抑制剤、該抑制剤を含んでなる薬液透過抑制性含フッ素樹脂組成物 | |
JP2003026811A (ja) | 封止材用フッ素系組成物およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120907 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120907 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140507 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140521 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140610 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140623 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |