JP4341125B2 - 薬液透過抑制剤、該抑制剤を含んでなる薬液透過抑制性含フッ素樹脂組成物 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は溶融加工可能な結晶性含フッ素樹脂の薬液透過性を抑制する薬液透過抑制剤ならびに該薬液透過抑制剤を含む薬液透過抑制性含フッ素樹脂組成物およびそれから得られる成形品に関するものである。本発明の成形品は、薬液の透過が抑制されることから高度なクリーン化を要求する半導体製造装置分野の各種製品、部材、容器に好適である。
【0002】
【従来の技術】
溶融加工可能な結晶性含フッ素樹脂は耐熱性、耐薬品性などに優れており、各種の分野で成形材料として広く使用されている。特に結晶性のテトラフルオロエチレン(TFE)−パーフルオロ(アルキルビニルエーテル)(PAVE)共重合体(PFA)はその優れた化学的、熱的安定性と成形性の点から、不純物の混入を嫌う半導体製造の分野で、シート、チューブ、継手、容器、キャリヤー、ベローズなどの材料として使用されている。
【0003】
前記半導体製造プロセスにおいて、とりわけ薬液供給設備においては、酸・アルカリ、有機溶媒など危険性の高い薬品を供給しており万一これらの薬品が外に漏れた場合、長時間にわたって製造ラインが停止するにとどまらず、漏洩した薬液により、クリーンルーム内を著しく化学汚染することになり、その浄化には多大な時間を要し、その間生産停止を余儀なくされることから半導体工場として莫大な損害を被ることになる。
【0004】
そこで、特に酸、アルカリ系薬液の配管に使用されているPFAチューブは、薬液透過による外部流出を防止するためPFAチューブの外側に透明ポリ塩化ビニル(PVC)製プロテクタ管を設け二重配管としている。また、継手やバルブ部分には、透明PVC製の分岐ボックスやバルブボックスを設けている。これら分岐ボックスやバルブボックスには漏液センサを設け、ボックス内の継手やバルブからの液漏れ、配管からの液漏れを検知するようにしている。また、PFAは他の樹脂に比べ比較的薬液が透過しやすく、大量の漏れはなくとも微量の漏れは常に生じている。そこで、プロテクタ管内をエアーや窒素でパージし、二重配管の間のガスやミストを除去している。安定といわれるPFAにも経年劣化が起こるためチューブや継手などからの薬液透過が多い場合、それら部材を交換する頻度も高くなる。
【0005】
ところが、上述する方法を施すことは、デバイスメーカーにとって設備費用の増大やメンテナンス費の増加を招いており半導体製造コストを引き上げる原因となっている。
【0006】
このようにPFAの薬液の透過問題の解決は、もはや構造面やメンテナンス面からは限界となっており、材質面からの改善がいくつか考えられる。
【0007】
たとえば、薬液透過により優れるフッ素樹脂を使用するという手段があり、フッ素樹脂の中では透過性にもっとも優れるポリクロロトリフルオロエチレンを選択することが考えられるが、この樹脂は耐ストレスクラック性や成形性、耐熱性などに劣るという難点がある。
【0008】
さらに、PFAの結晶化度を増加させるという方法もある。一般的に結晶性高分子の薬液の透過は、非晶部で起こるので、結晶化度を上げることが有利である。PFAにおいては、PAVE組成を減らすことにより結晶化度を上げることが可能であるが、この場合、加工性やクラック性が悪化するなどの欠点が生じる。
【0009】
また、特開平10−259216号公報では、水酸基などの反応性基をもつフルオロビニルエーテルを第三成分としてPFAを変性させることで薬液透過性を改良することが開示されている。しかし、この方法では、変性モノマーの末端が−CH2OHという反応性基であるために耐薬品性がかえって低下してしまう。さらには、薬液透過性を室温で発煙硫酸中に4週間浸漬した後の重量増加によってのみ評価しており、実際に薬液の透過量についての記述はない。
【0010】
一方、特開平11−116706号公報では、PFAやテトラフルオロエチレン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)などのフッ素樹脂成形体に融点以上の温度で、不活性ガス雰囲気下、電離性放射線を照射することで高分子間の架橋を起こし、ガスバリア性を高める方法が開示されている。しかしながら、このような処理を行なうためには専用の設備が必要であり、経済的ではない。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、従来のPFAに比べて薬液透過を抑制する成形品を与え、さらにはデバイスメーカーのコストアップを低減することができる薬液透過抑制性含フッ素樹脂組成物を提供することである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは前記の目的を達成するため、常識では薬液透過を増大させると思われる非晶質含フッ素ポリマーに着目し、研究を重ねたところ、意外にも非晶質含フッ素ポリマーが優れた薬液透過抑制剤となることを見出し、本発明を完成するに至った。
【0013】
すなわち本発明の溶融加工可能な結晶性含フッ素樹脂用の薬液透過抑制剤は、非晶質含フッ素ポリマー、好ましくは25℃以下のガラス転移温度を有する非晶質含フッ素ポリマーからなるものである。
【0014】
かかる非晶質含フッ素ポリマーとしては結晶性含フッ素樹脂と相溶性のよいものを選択して用いることができる。
【0015】
【発明の実施の形態】
薬液透過抑制剤として用いる非晶質含フッ素ポリマーとしては、非晶質のテトラフルオロエチレン−パーフルオロ(アルキルビニルエーテル)共重合体が好ましい。
【0016】
また本発明の薬液透過抑制剤としては、非晶質含フッ素ポリマー鎖セグメント(A)およびテトラフルオロエチレン(TFE)繰返し単位80〜100モル%と式(I):
CF2=CF−Rf 1 (I)
[式中、Rf 1はCF3またはORf 2(Rf 2は炭素数1〜5のパーフルオロアルキル基である)]で示される繰返し単位0〜20モル%からなる結晶性含フッ素ポリマー鎖セグメント(B)とからなる含フッ素多元セグメント化ポリマーを含むものも使用できる。
【0017】
この場合、結晶性含フッ素ポリマー鎖セグメント(B)は、TFE繰返し単位のみからなるポリマー鎖セグメントでもよく、またTFE繰返し単位と式(I)で示される1種または2種以上の繰返し単位とからなりトータルで式(I)で示される繰返し単位を20モル%以下含むポリマー鎖セグメントであってもよい。
【0018】
これらの非晶質含フッ素ポリマーまたは含フッ素多元セグメント化ポリマーに、さらにフッ素化処理を施すことにより、熱安定性を改善することも可能である。
【0019】
本発明で用いる結晶性含フッ素樹脂は、溶融加工可能な樹脂である。したがって、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)は含まれない。具体例としては、たとえばPFA(PAVE含有量1〜10重量%)、PVdF、クロロトリフルオロエチレン系重合体(PCTFE)などがあげられる。これらのうち特に用途面からより低薬液透過を要求されている結晶性PFAに本発明の薬液透過抑制剤は好適に適用できる。
【0020】
結晶性のPFAを結晶性含フッ素樹脂として用いる場合、薬液透過抑制剤は非晶質のテトラフルオロエチレン−パーフルオロ(アルキルビニルエーテル)共重合体、またはテトラフルオロエチレン(TFE)繰返し単位80〜100モル%と前記式(I)で示される繰返し単位0〜20モル%からなる結晶性含フッ素ポリマー鎖セグメント(B)とからなる含フッ素多元セグメント化ポリマーを含むものも使用できる。この場合、結晶性含フッ素ポリマー鎖セグメント(B)がTFE繰返し単位のみからなるポリマー鎖セグメントでもよく、またTFE繰返し単位と式(I)で示される1種または2種以上の繰返し単位とからなり、トータルで式(I)で示される繰返し単位を20モル%以下含むポリマー鎖セグメントであることが好ましい。
【0021】
またビニリデンフルオライド系重合体(PVdF)の薬液透過を抑制する場合には、非晶質含フッ素ポリマーとして、たとえばビニリデンフルオライド−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、ビニリデンフルオライド−ヘキサフルオロプロピレン−テトラフルオロエチレン共重合体、ビニリデンフルオライド−クロロトリフルオロエチレン共重合体、ビニリデンフルオライド−クロロトリフルオロエチレン−テトラフルオロエチレン共重合体などの水素原子含有含フッ素エラストマーなどがあげられる。これら非晶質含フッ素ポリマーをセグメントに有する含フッ素多元セグメント化ポリマーを含むものも用いることができる。
【0022】
またクロロトリフルオロエチレン系重合体(PCTFE)の場合には、非晶質含フッ素ポリマーとしてはたとえばビニリデンフルオライド−クロロトリフルオロエチレン共重合体、ビニリデンフルオライド−クロロトリフルオロエチレン−テトラフルオロエチレン共重合体などがあげられる。またこれら非晶質含フッ素ポリマーをセグメントに有する含フッ素多元セグメント化ポリマーを含むものも用いることができる。
【0023】
本発明はまた、これらの薬液透過抑制剤を溶融加工可能な結晶性含フッ素樹脂に配合してなる薬液透過抑制性含フッ素樹脂組成物に関する。
【0024】
薬液透過抑制剤は結晶性含フッ素樹脂100部(重量部、以下同様)に対して0.1〜50部配合することができる。
【0025】
溶融加工可能な結晶性含フッ素樹脂としては、結晶性のPFA(PAVE含有量が15重量%以下)、特に高融点を維持する点からTFE/PAVEが重量比で90/10〜99/1、モル比では96.0/4.0〜99.6/0.4であるPFAが好ましい。
【0026】
本発明はさらに、前記薬液透過抑制性含フッ素樹脂を溶融成形して得られる成形品、たとえばチューブ、容器などに関する。得られる成形品の後述する薬液透過試験における硝酸透過量が1.5×10-6g・cm/cm2以下、好ましくは1.2×10-6g・cm/cm2以下であることが好ましい。
【0027】
本発明の薬液透過抑制剤の最大の特徴は非晶質含フッ素ポリマーまたは非晶質含フッ素ポリマー鎖セグメントをもつ含フッ素多元セグメント化ポリマーを用いる点にある。
【0028】
本発明において「非晶質」とは、示差走査型熱量計(DSC)で測定した場合融解ピーク温度(昇温時、Tm)および結晶化ピーク温度(降温時、Tc)の両方を有さず、ガラス転移温度(Tg)を有することをいう。換言すれば、実質的に結晶化した領域を有しないことをいう。一方、「結晶性」とはTmおよびTcを有することをいう。
【0029】
また、含フッ素多元セグメント化ポリマーにおける「非晶質」セグメント(A)および「結晶性」セグメント(B)は、それぞれのセグメントと同一の繰返し単位をもつポリマーが前記の「非晶質」および「結晶性」の定義を満たすものをいう。
【0030】
本発明で用いる非晶質含フッ素ポリマーおよび含フッ素多元セグメント化ポリマーの中の非晶質含フッ素ポリマー鎖セグメント(A)はガラス転移温度(Tg)を有する。Tgが室温(25℃)以下の非晶質ポリマーをエラストマーといい、Tgが25℃を超えるものを樹脂という。Tgが25℃以下のエラストマーを使用するときは薬液透過抑制効果が大きいという点で好ましく、用いる結晶性含フッ素樹脂との相溶性に応じて選択することができる。しかし、本発明で用いる非晶質含フッ素ポリマーまたは非晶質含フッ素ポリマー鎖セグメント(A)はTgが25℃以下のエラストマーでも25℃を超える樹脂でもよい。
【0031】
本発明の薬液透過抑制剤には、セグメント化されていない非晶質含フッ素ポリマーからなるものと、前記含フッ素多元セグメント化ポリマーからなるものがあるが、まずセグメント化されていない非晶質含フッ素ポリマーからなるものについて説明する。
【0032】
セグメント化されていない非晶質含フッ素ポリマーとしてはTgが25℃以下の含フッ素エラストマーとTgが25℃を超える非晶質含フッ素ポリマー樹脂がある。
【0033】
含フッ素エラストマーとしては、たとえばテトラフルオロエチレン−パーフルオロ(アルキルビニルエーテル)共重合体などのパーフルオロエラストマー;ビニリデンフルオライド−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、ビニリデンフルオライド−ヘキサフルオロプロピレン−テトラフルオロエチレン共重合体、ビニリデンフルオライド−クロロトリフルオロエチレン共重合体、ビニリデンフルオライド−クロロトリフルオロエチレン−テトラフルオロエチレン共重合体などの水素原子含有含フッ素エラストマーなどがあげられる。
【0034】
これらのうち、PFAの薬液透過抑制剤としてはTFE−PAVE共重合体がPFAとの相溶性の点から好ましい。TFE−PAVE共重合体に用いるパーフルオロ(アルキルビニルエーテル)(PAVE)としては、パーフルオロ(メチルビニルエーテル)、パーフルオロ(エチルビニルエーテル)、パーフルオロ(プロピルビニルエーテル)あるいはこれらの混合物などがあげられる、PAVEの含有量はTFE−PAVE共重合体がTm、Tcを有さなくなる量である10〜50モル%、好ましくは20〜50モル%である。なお、非晶質と結晶性との境界が10〜20モル%の範囲内にあるが、非晶質であれば薬液透過抑制剤として使用できる。
【0035】
含フッ素エラストマーはフッ素ゴムの製造法として公知の重合法で製造できる(特公昭58−4728号公報、特開昭62−12734号公報)。
【0036】
たとえば実質的に無酸素下で、水媒体中で、ヨウ素化合物、好ましくはジヨウ素化合物の存在下に、前記含フッ素モノマーを加圧下で撹拌しながらラジカル開始剤の存在下乳化重合を行なう方法があげられる。
【0037】
用いるジヨウ素化合物の代表例としては、たとえば1,3−ジヨードパーフルオロプロパン、1,4−ジヨードパーフルオロブタン、1,3−ジヨード−2−クロロパーフルオロプロパン、1,5−ジヨード−2,4−ジクロロパーフルオロペンタン、1,6−ジヨードパーフルオロヘキサン、1,8−ジヨードパーフルオロオクタン、1,12−ジヨードパーフルオロドデカンおよび1,16−ジヨードパーフルオロヘキサデカン、ジヨードメタン、1,2−ジヨードエタンである。これらの化合物は単独で使用してもよく、相互に組み合わせて使用することもできる。なかでも、1,4−ジヨードパーフルオロブタンが好ましい。ジヨウ素化合物の量は、含フッ素モノマー全重量に対して0.01〜1重量%である。
【0038】
また、本発明において含フッ素エラストマーには、ヨウ素を含む単量体を共重合することも可能である。ヨウ素を含む単量体としては、パーフルオロビニルエーテル化合物がその共重合性から好適である。たとえば、特公平5−63482号公報や特開昭62−12734号公報に開示されているパーフルオロ(6,6ジヒドロ−6−ヨード−3−オキサ−1−ヘキセン)や、パーフルオロ(5−ヨード−3−オキサ−1−ペンテン)などが好適である。
【0039】
重合温度は、使用する開始剤の性質及びモノマーによって約10〜100℃の範囲で変えることができる。しかし40℃未満では、過硫酸塩単独では重合速度が小さい。また、亜硫酸塩等を添加したレドックス系を使用しても、重合速度が小さく、その上、還元剤の金属イオンがポリマー中に残り、半導体製造用の用途などでは好ましくない。
【0040】
使用するラジカル重合開始剤は、従来からフッ素系エラストマーの重合に使用されているものと同じものであってよい。これらの開始剤には有機および無機の過酸化物ならびにアゾ化合物がある。典型的な開始剤として過硫酸塩類、過酸化カーボネート類、過酸化エステル類などがあり、好ましい開始剤として過硫酸アンモニウム(APS)があげられる。APSは単独で使用してもよく、またサルファイト類、亜硫酸塩類のような還元剤と組み合わせて使用することもできる。しかしクリーン度を要求される場合は、金属イオン源となる還元剤はできる限り使用しない方が好ましい。
【0041】
乳化重合に使用される乳化剤としては、広範囲なものが使用可能であるが、重合中に乳化剤分子への連鎖移動反応が起こるのを抑制する観点から、フルオロカーボン鎖または、フルオロポリエーテル鎖を有するカルボン酸の塩類が望ましい。乳化剤の使用量は、添加された水の約0.05〜2重量%が望ましく、特に0.2〜1.5重量%が望ましい。
【0042】
重合圧力は、広い範囲で変化させることができる。一般には、0.5〜5MPaGの範囲である。重合圧力は、高い程重合速度は大きくなるため、生産性の向上の観点から、0.7MPaG以上であることが望ましい。
【0043】
かくして得られる含フッ素エラストマーの数平均分子量は5,000〜750,000、さらに20,000〜400,000、特に50,000〜400,000とするのが、結晶性含フッ素樹脂との混合が良好である点から好ましい。
【0044】
Tgが25℃を超える非晶質含フッ素ポリマー樹脂としては主鎖に環状構造を有する非晶質含フッ素ポリマーがあげられ、たとえばテトラフルオロエチレン−フルオロジオキソール共重合体(特公昭63−18964号公報参照、たとえばテトラフルオロエチレン−フルオロ−2,2−ジメチル−1,3−ジオキソール共重合体など);少なくとも2個以上の重合性二重結合を有する含フッ素モノマーを環化重合して得られる主鎖に含フッ素脂肪属環構造を有する非晶質含フッ素ポリマー(たとえばパーフルオロアリルビニルエーテル、パーフルオロブテニルビニルエーテルなどのパーフルオロモノマーの環化重合物;またはこれらのパーフルオロモノマーとテトラフルオロエチレン、クロロトリフルオロエチレン、パーフルオロ(アルキルビニルエーテル)などのラジカル重合性モノマーとの共重合体)などがあげられる。これらのうち耐熱性、耐薬品性の点からテトラフルオロエチレン−パーフルオロ−2,2−ジメチル−1,3−ジオキソール共重合体やパーフルオロアリルビニルエーテル重合体などのパーフルオロ非晶質ポリマーが好ましい。
【0045】
つぎに含フッ素多元セグメント化ポリマーについて説明する。
【0046】
本発明で薬液透過抑制剤として使用する含フッ素多元セグメント化ポリマーは、非晶質含フッ素ポリマー鎖セグメント(A)と結晶性含フッ素ポリマー鎖セグメント(B)とからなる。
【0047】
非晶質含フッ素ポリマー鎖セグメント(A)には、前記非晶質含フッ素ポリマーと同じく、エラストマー性のものと樹脂性のものとがある。
【0048】
エラストマー性含フッ素ポリマー鎖セグメント(A)はTgが25℃以下のセグメントであり、たとえば前記含フッ素エラストマーとして列挙した共重合体があげられ、また前述のヨウ素移動重合法で製造できる。ヨウ素移動重合法で製造した場合、このセグメントの末端部分はヨウ素原子を含むパーハロ型となっており、結晶性含フッ素ポリマー鎖セグメント(B)をブロック共重合する際の開始点として利用できる。
【0049】
エラストマー性含フッ素ポリマー鎖セグメント(A)の数平均分子量としては、5,000〜750,000、さらに20,000〜400,000、特に50,000〜400,000とするのが好ましい。
【0050】
エラストマー性含フッ素ポリマー鎖セグメント(A)として特に好ましいセグメントとしては、テトラフルオロエチレン(TFE)繰返し単位とパーフルオロ(アルキルビニルエーテル)(PAVE)繰返し単位とからなるエラストマー性TFE−PAVEセグメントである。この場合、PAVE繰返し単位の含有量はセグメントがTg25℃以下でTmとTcをもたない量、すなわち10〜50モル%、好ましくは20〜50モル%である。なお、非晶質と結晶性との境界が10〜20モル%の範囲内にあるが、非晶質の範囲のものを用いる。
【0051】
本発明で用いる含フッ素多元セグメント化ポリマーの結晶性含フッ素ポリマー鎖セグメント(B)は、マトリックスである結晶性含フッ素樹脂に混合した場合、非晶質セグメント(A)がパーティクルとしてマトリックス樹脂から脱落しないように、アンカーの働きをする。したがって、結晶性セグメント(B)は結晶性含フッ素樹脂と相溶性のよいものが選ばれる。具体的には、テトラフルオロエチレン(TFE)繰返し単位と式(I):
CF2=CF−Rf 1 (I)
[式中、Rf 1はCF3またはORf 2(Rf 2は炭素数1〜5のパーフルオロアルキル基)である]で示される繰返し単位からなる1種または2種以上からなり、式(I)の繰返し単位を20モル%以下、好ましくは0〜10モル%、さらに好ましくは0〜4モル%含むものである。20モル%を超えて式(I)の単位を含むときは非晶質となり、アンカー効果が不充分となり好ましくない。なお、非晶質と結晶性の境界が10〜20モル%の範囲内にあるが、結晶性のものを用いる。なお、式(I)を2種以上用いる場合の繰り返し単位量はトータルで考えるものとする。
【0052】
式(I)で示されるモノマーの具体例としては、たとえばヘキサフルオロプロピレン(HFP)、パーフルオロ(アルキルビニルエーテル)(PAVE)、があげられ、PAVEとしてはパーフルオロ(メチルビニルエーテル)(PMVE)、パーフルオロ(エチルビニルエーテル)(PEVE)、パーフルオロ(プロピルビニルエーテル)(PPVE)あるいはこれらの混合物などがあげられ、特にPFAとの相溶性が良好な点からPPVEが好ましい。
【0053】
結晶性セグメント(B)として特に好ましいものとしては、TFE繰返し単位のみからなるPTFEセグメントまたは結晶性PFAセグメントである。
【0054】
結晶性セグメント(B)の非晶質セグメント(A)へのブロック共重合は、非晶質セグメント(A)の乳化重合に引き続き、単量体を結晶性セグメント(B)用に変えることにより行なうことができる。結晶性セグメント(B)の数平均分子量は、1,000〜1,200,000、好ましくは3,000〜400,000、特に好ましくは10,000〜400,000と広い幅で調整できる。
【0055】
かくして得られる含フッ素多元セグメント化ポリマーは、非晶質セグメント(A)の両側に結晶性セグメント(B)が結合したポリマー分子(B−A−B)、非晶質セグメント(A)の片側に結晶性セグメント(B)が結合したポリマー分子(A−B)を主体とするものである。
【0056】
本発明において含フッ素多元セグメント化ポリマー中の非晶質セグメント(A)と結晶性セグメント(B)との割合は、前記分子量の範囲内で選定すればよいが、たとえば重量比でA/Bが10/90〜99/1、特に25/75〜95/5であるのが好ましい。また、含フッ素多元セグメント化ポリマーの分子量は、結晶性含フッ素樹脂との混合が良好となる分子量であればよい。
【0057】
特に好ましいセグメント化ポリマーとしては、たとえばつぎのセグメントの組み合わせがあげられる。
【0058】
(1)非晶質セグメント(A)が、数平均分子量50,000〜400,000のTFE−PMVE(80/20〜50/50。モル比)
結晶性セグメント(B)が、数平均分子量10,000〜400,000のTFE−PPVE(100/0〜80/20。モル比)
セグメント化ポリマーの構成:B−A−B
このセグメント化ポリマーはアンカー効果を有し、PFAの物性を低下させない点で優れている。
【0059】
また、本発明の薬液透過抑制剤は、耐熱性を向上させる目的でフッ素ガス処理を施すことが好ましい。
【0060】
フッ素ガス処理は、フッ素ガスを薬液透過抑制剤に接触させることにより行なう。しかし、フッ素との反応は非常に発熱性であるから、フッ素を窒素のような不活性ガスで希釈することが好適である。フッ素ガス/不活性ガス混合物中のフッ素量は1〜100重量%、好ましくは10〜25重量%である。処理温度は150〜250℃、好ましくは200〜250℃であり、フッ素ガス処理時間は3〜16時間、好ましくは4〜12時間である。フッ素ガス処理のガス圧は1〜10気圧の範囲であるが、好ましくは大気圧が使用される。反応器を大気圧で用いる場合、フッ素ガス/不活性ガス混合物を反応器中へ連続的に通過させればよい。その結果、薬液透過抑制剤中の不安定な末端は−CF3末端に転化され、熱的に安定となる。またヨウ素移動重合法で得られた含フッ素エラストマーおよび含フッ素多元セグメント化ポリマーに結合するヨウ素を検出限界以下まで除去することができる。
【0061】
本発明はまた、前記薬液透過抑制剤を溶融加工可能な結晶性含フッ素樹脂に配合してなる結晶性含フッ素樹脂組成物に関する。
【0062】
溶融加工可能な結晶性含フッ素樹脂としては前記のとおり、DSCで融解ピーク温度(Tm)および結晶化ピーク温度(Tc)を有する含フッ素樹脂である。具体的には結晶性のPFA系共重合体、PVdF系重合体、PCTFE系重合体などがあげられる。特にPFAに薬液透過抑制効果が顕著に生ずる、溶融加工可能な結晶性PFAとしては、PAVE含有量が10重量%(4モル%)以下1重量%(0.37モル%)以上のものが、耐熱性、耐薬品性の点から好ましい。10重量%よりも多いと融点(Tm)が低くなっていき耐熱性に劣り、一方、1重量%よりも少ないと溶融加工性のない、いわゆる変性PTFEとなる。好ましい溶融加工可能な結晶性PFAとしてはメルトフローレート(372℃±1℃、荷重5kg)が0.5〜500g/10分、特に0.5〜50g/10分のものである。また、PAVEとしては前記のごとくPMVE、PEVE、PPVE、パーフルオロ(イソブチルビニルエーテル)などがあげられ、特にPPVEが機械的性質に優れる点から好ましい。
【0063】
薬液透過抑制剤の配合量は、結晶性含フッ素樹脂100部に対して0.1〜50部配合することができる。本発明において薬液透過抑制剤の配合量が50部を超えると得られる結晶性含フッ素樹脂組成物の硬度や機械的性質が悪化していく。したがって、上限は50部、特に20部、さらに10部とするのが好ましい。また、下限は0.1部、好ましくは0.25部である。
【0064】
なお、含フッ素多元セグメント化ポリマーを用いる場合の結晶性セグメント(B)の影響は、結晶性セグメント(B)の量が50部を超えると結晶性含フッ素樹脂組成物の結晶性が高くなり、また得られる成形品の引張強度や曲げ寿命が低下する傾向がある。
【0065】
成形品の薬液透過の抑制を主目的とする本発明の樹脂組成物には、基本的に半導体製造の分野の用途では他の添加剤を配合しない方がよいが、半導体製造以外の用途では補強や帯電性の低下などの目的でカーボンブラック、酸化チタン、ガラス繊維などを配合してもよい。
【0066】
本発明の薬液透過抑制性含フッ素樹脂組成物の調製は、薬液透過抑制剤と結晶性含フッ素樹脂とを溶融混練してペレット化する方法、薬液透過抑制剤のペレットまたは粉末と結晶性含フッ素樹脂のペレットまたは粉末をドライブレンドする方法、結晶性含フッ素樹脂の水性分散液と薬液透過抑制剤の粉末または水性分散液を混合後乾燥する湿式ブレンド法などの公知の方法のほか、薬液透過抑制剤の微粒子を結晶性含フッ素樹脂の重合系に共存させておいて重合を開始して薬液透過抑制剤を含む薬液透過抑制性含フッ素樹脂を得ることもできる。これらのうち均一な組成物が経済的に得られることから、薬液透過抑制剤と結晶性含フッ素樹脂とを溶融混練する方法、また湿式ブレンド法が好ましい。
【0067】
本発明の薬液透過抑制剤は非晶質であるにもかかわらず結晶性含フッ素樹脂への分散性に優れている。特に含フッ素多元セグメント化ポリマーはその結晶性セグメントがさらに親和性(相溶性)を向上させるので、より一層均一な組成物を与える。薬液透過抑制剤を水性分散液の形で使用する場合は0.05〜1μmの平均粒径の微粒子が好ましく、粉末の形で使用する場合は数ミクロン〜数十ミクロンの平均粒径のものが好ましい。
【0068】
また、本発明の薬液透過抑制性含フッ素樹脂組成物は、特に半導体製造の分野で用いられる場合、前記のフッ素化処理を施して不安定な末端基を安定化させ、溶出するフッ素イオン量を低減させることが好ましい。
【0069】
本発明の薬液透過抑制性含フッ素樹脂組成物は溶融加工が可能であり、溶融押出成形、射出成形、加熱圧縮成形、トランスファー成形、ブロー成形などの各種溶融成形法が適用できる。
【0070】
かくして本発明は前記薬液透過抑制性含フッ素樹脂組成物を溶融成形して得られる成形品に関する。本発明の成形品は後述する薬液透過試験において硝酸透過量が1.5×10-6g・cm/cm2以下、好ましくは1.2×10-6g・cm/cm2以下のものである。
【0071】
また、薬液透過抑制剤として含フッ素多元セグメント化ポリマーを用いる場合、結晶性セグメントがアンカー作用を果たすので、薬液透過抑制剤の脱落が少なく、汚染の原因となるパーティクルの発生を抑制できる。
【0072】
本発明の成形品は成形法などにより各種の形状をとることができる。たとえばチューブ状、フィルム状、シート状、板状のほか容器や各種目的に応じた部品の形状に成形することができる。
【0073】
このような本発明の成形品は、含フッ素樹脂の耐熱性、耐薬品性に加え、薬液透過を抑制することができるので、特に汚染を嫌う半導体装置の製造用の各種部品、配管、容器として好適に使用できる。
【0074】
【実施例】
つぎに本発明を実施例に基づいて説明するが、本発明はかかる実施例のみに限定されるものではない。
【0075】
なお、実施例および比較例において各種の物性を測定しているが、それらの測定法は以下のとおりである。
【0076】
(PAVE含量)
19F−NMR法によりPAVE含量を算出する。
【0077】
(融解ピーク温度Tmおよび結晶化ピーク温度Tc)
示差走査熱量計(DSC。セイコー電子(株)製のRDC220)により、試料を3mg用いて測定する。まず200℃から350℃まで10℃/分で昇温し、350℃に1分間保持したのち200℃まで10℃/分で降温し、このとき得られる結晶化曲線から結晶化ピーク温度(Tc)を求める。さらに200℃まで降温したのち200℃で1分間保持し、再度10℃/分で350℃まで昇温し、このとき得られる融解曲線から融解ピーク温度(Tm)を求める。
【0078】
(ガラス転移温度Tg)
前記示差走査型熱量計を用い、試料10mgを−70℃から110℃まで20℃/分で昇温し、つぎに−70℃まで20℃/分で降温する。再度、20℃/分で110℃まで昇温し、このとき得られる曲線からガラス転移温度を求める。
【0079】
(薬液透過試験)
このサンプルシート1を図1に示す2個のガラス容器2aおよび2b(いずれも容量200ml)の中央にフッ素ゴム製のO−リング3を用いて挟み込む。シートの片側の容器2aに60重量%濃度の硝酸を、他方の容器2bに純水をそれぞれ200mlずつ入れて、25℃の恒温槽内に置く(サンプルシート1の接液面は70mmφとする)。この状態で放置し、40日後に純水側の容器2bのサンプリング口4から1mlほどサンプリングを行ない、その純水中に含まれる硝酸イオン濃度(Yppm)をイオンクロマトグラフ(横河電機(株)社製、IC7000−E)を用いて定量する。硝酸透過量(Xg・cm/cm2)は、次の式を用いて算出する。
X=Y×200×0.02×10-6/(3.5×3.5×3.14)
【0080】
(ムーニー粘度:ML1+10)
(株)上島製作所製のムーニー粘度計を用い、JIS K 6300に従って測定する。
【0081】
(熱重量分析)
示差走査型熱量計(セイコー電子(株)製のRDC220)により、試料10mgを用い、空気を200ml流しながら20℃から600℃まで10℃/分で昇温したときの重量減を測定する。
【0082】
合成例1(非晶質含フッ素ポリマーの合成)
内容積174リットルのグラスライニング製オートクレーブに、純水80リットルおよび乳化剤としてC3F7OCF(CF3)CF2OCF(CF3)COONH4800g、pH調整剤としてリン酸水素二ナトリウム・12水塩7.2gを仕込み、系内を窒素ガスで充分に置換したのち、120rpmで攪拌しながら50℃に昇温し、テトラフルオロエチレン(TFE)とパーフルオロ(メチルビニルエーテル)(PMVE)の混合ガス(TFE/PMVE=32/68モル比)を内圧が0.784MPaGになるように仕込んだ。ついで過硫酸アンモニウム(APS)の49.6mg/mlの濃度の水溶液300mlを窒素圧で圧入して反応を開始した。
【0083】
重合の進行により内圧が0.686MPaGまで降下した時点で、ジヨウ素化合物I(CF2)4Iを72.64gとC7F15COONH4の10重量%水溶液240.6gの混合物を窒素圧にて圧入した。ついで圧力が0.784MPaGになるように、TFEを自圧にて378g、PMVE384g(TFE/PMVE=62/38モル比)をプランジャーポンプにて圧入した。以後、反応の進行にともない同様にTFE、PMVEを圧入し、0.686〜0.784MPaGのあいだで昇圧降圧を繰り返した。
【0084】
重合反応の開始から10時間後、TFEおよびPMVEの合計仕込み量が、15232gになった時点でオートクレーブを冷却し、未反応モノマーを放出して固形分濃度17.0重量%の水性分散体を得た。
【0085】
この水性分散体の一部を取り、凍結させ凝析を行ない、解凍後、凝析物を水洗、真空乾燥してエラストマー性の重合体を得た。この重合体のムーニー粘度ML1+10(100℃)は56であった。
【0086】
19F−NMR分析の結果、この重合体のモノマー単位組成はTFE/PMVE=62/38モル%であり、DSC分析により測定したTgは2℃であった。
【0087】
合成例2(含フッ素多元セグメント化ポリマーの合成)
内容積4リットルのグラスライニング製オートクレーブに、合成例1で得られた水性分散体885g、純水551g、パーフルオロ(プロピルビニルエーテル)(PPVE)46.7gを仕込み、系内を窒素ガスで充分に置換したのち、系内の温度を80℃に保った。400rpmで撹拌を行ないながらテトラフルオロエチレン(TFE)を内圧が0.784MPaGとなるよう圧入した。
【0088】
ついで過硫酸アンモニウム(APS)13.2mgを水5mlにとかした溶液を窒素を用いて圧入して反応を開始した。
【0089】
重合反応の進行にともなって圧力が低下するので、0.686MPaGまで低下した時点でTFEで0.784MPaGまで再加圧し、0.686〜0.784MPaGの間で降圧昇圧を繰り返した。
【0090】
重合開始よりTFEが154g消費された時点で供給を止め、オートクレーブを冷却し、未反応モノマーを放出し、半透明の水性分散体1780gを得た。
【0091】
得られた水性分散体中の固形分濃度は18.8重量%であった。
【0092】
ポリマーの得量の増加により計算された重合体全体に対する結晶性含フッ素ポリマー鎖セグメント(B)の比率、すなわち、{(後重合で得られたポリマー得量)−(仕込んだポリマー量)}÷(後重合で得られたポリマー得量)×100は55重量%であった。
【0093】
得られた水性分散体を凍結凝析し、析出したポリマーを洗浄、乾燥し、白色固体を得た。
【0094】
得られた含フッ素多元セグメント化ポリマー中の結晶性含フッ素ポリマー鎖セグメント(B)の組成は19F−NMR分析により、TFE/PPVE=99.0/1.0モル%であった。また、DSC分析により、含フッ素多元セグメント化ポリマーのTmおよびTcはそれぞれ311.4℃および298.2℃であった。
【0095】
合成例3(含フッ素多元セグメント化ポリマーの合成)
内容積6リットルのグラスライニング製オートクレーブに、合成例1で得られた水性分散体2000g、純水990gを仕込み、系内を窒素ガスで充分に置換したのち、系内の温度を80℃に保った。600rpmで撹拌を行ないながらテトラフルオロエチレン(TFE)とパーフルオロ(メチルビニルエーテル)(PMVE)の混合ガス(86/14モル比)を内圧が0.196MPaGとなるよう圧入した。
【0096】
ついで過硫酸アンモニウム(APS)10.0mgを水5mlにとかした溶液を窒素を用いて圧入して反応を開始した。
【0097】
重合反応の進行にともなって圧力が低下するので、0.147MPaGまで低下した時点でTFE/PMVE混合ガス(96.7/3.3モル比)で0.196MPaGまで再加圧し、0.147〜0.196MPaGの間で降圧昇圧を繰り返した。
【0098】
重合開始よりTFE/PMVE混合ガスが240g消費された時点で供給を止め、オートクレーブを冷却し、未反応モノマーを放出し、半透明の水性分散体3598gを得た。
【0099】
得られた水性分散体中の固形分濃度は16.3重量%であった。
【0100】
ポリマーの得量の増加により計算された重合体全体に対する結晶性含フッ素ポリマー鎖セグメント(B)の比率、すなわち、{(後重合で得られたポリマー得量)−(仕込んだポリマー量)}÷(後重合で得られたポリマー得量)×100は42.2重量%であった。
【0101】
得られた水性分散体を凍結凝析し、析出したポリマーを洗浄、乾燥し、白色固体を得た。
【0102】
得られた含フッ素多元セグメント化ポリマー中の結晶性含フッ素ポリマー鎖セグメント(B)の組成は19F−NMR分析により、TFE/PMVE=96.7/3.3モル%と計算された。また、DSC分析により、含フッ素多元セグメント化ポリマーのTmおよびTcはそれぞれ286.7℃および264.3℃であった。
【0103】
合成例4(含フッ素多元セグメント化ポリマーの合成)
内容積3リットルのステンレス製オートクレーブに、合成例1で得られたディスパージョン665.5gと純水414gを仕込み、系内を窒素ガスで充分に置換したのち、系内の温度を80℃に保った。400rpmで撹拌を行ないながらテトラフルオロエチレン(TFE)を内圧が0.588MPaGとなるよう圧入した。
【0104】
ついで過硫酸アンモニウム(APS)10mgを水2mlにとかした溶液を窒素を用いて圧入して反応を開始した。
【0105】
重合反応の進行にともなって圧力が低下するので、0.490MPaGまで低下した時点でTFEで5.88MPaGまで再加圧し、0.490〜0.588MPaGの間で降圧昇圧を繰り返した。
【0106】
重合開始よりTFEが約110g消費された時点で供給を止め、オートクレーブを冷却し、未反応モノマーを放出し、半透明の水性分散体1327gを得た。
【0107】
得られた水性分散体中の固形分濃度は17.1重量%であった。
【0108】
ポリマーの得量の増加により計算された重合体全体に対する結晶性含フッ素ポリマー鎖セグメント(B)の比率、すなわち、{(後重合で得られたポリマー得量)−(仕込んだポリマー量)}÷(後重合で得られたポリマー得量)×100は50.2重量%であった。
【0109】
得られた水性分散体を凍結凝析し、析出したポリマーを洗浄、乾燥し、白色固体を得た。
【0110】
DSC分析により、含フッ素多元セグメント化ポリマーのTmおよびTcはそれぞれ326.2℃および300.0℃であった。
【0111】
実施例1
合成例1で製造した含フッ素エラストマーからなる薬液透過抑制剤1部を溶融加工可能な結晶性PFA(PPVE含有量5.0重量%、MFR1.85g/10分)100部に溶融混練して組成物を調製した。溶融混練は、東洋精機(株)製のローラーミキサーR−60H型(ミキサー容量約60ml)に各成分を投入し、350℃にて回転数15rpmで10分間溶融混練して行なった。
【0112】
得られた溶融混練物について前記の方法でTm、Tc、350℃での溶融圧縮成形により0.2mmのシートを作製し、前記の方法で薬液透過試験を行なった。結果を表1に示す。
【0113】
比較例1
薬液透過抑制剤を配合しないほかは実施例1と同様にしてTm、Tc、薬液透過量を調べた。結果を表1に示す。
【0114】
実施例2
合成例2で得た含フッ素多元セグメント化ポリマーを薬液透過抑制剤として配合したほかは実施例1と同様にしてTm、Tc、薬液透過量を調べた。結果を表1に示す。
【0115】
実施例3
合成例3で得た含フッ素多元セグメント化ポリマーを薬液透過抑制剤として配合したほかは実施例1と同様にしてTm、Tc、薬液透過量を調べた。結果を表1に示す。
【0116】
実施例4
合成例4で得た含フッ素多元セグメント化ポリマーを薬液透過抑制剤として配合したほかは実施例1と同様にしてTm、Tc、薬液透過量を調べた。結果を表1に示す。
【0117】
【表1】
【0118】
実施例5
50リットルの容器にイオン交換水20リットル、溶融加工可能な結晶性PFA(PPVE含量5.0重量%、MFR1.85g/10分)10kgおよび合成例1で製造した含フッ素エラストマーの水性分散液(ポリマー含有量250g)を入れ、撹拌下に硝酸を加えて凝集し、洗浄後、150℃で12時間乾燥した。得られた乾燥粉末に前記結晶性PFAを加えて、PFA100部に対し含フッ素エラストマー1部となるように調整し、ヘンシェルミキサーを用いて混合した。
【0119】
この組成物をスクリュー押出機(池貝(株)製のPCM46)により360℃にて溶融押出しして樹脂組成物のペレットを得た。
【0120】
この樹脂組成物のペレットを用いつぎの条件で外径10.0mm、肉厚1.0mmのチューブを押出成形した。
【0121】
得られたチューブについて、図2に示すつぎの方法で薬液透過量を調べた。
【0122】
30cmに切断したチューブ5の片末端を熱により溶封し、チューブ5内に25mlの35%塩酸を入れ、もう一方のチューブ末端も溶封する。塩酸の入ったチューブ5をガラス管6に挿入し、フッ素ゴム製のパッキン7を用いて固定する。ついで、サンプリング口8から純水を140ml仕込み、25℃の恒温槽内に置く。このとき、パッキン7間のチューブが純水に接液しており、接液部分の長さは18.5cmであった。この状態で放置し、40日後にサンプリング口8から1mlほどサンプリングを行ない、その純水中に含まれる塩酸イオン濃度をイオンクロマトグラフを用いて定量し、塩酸透過量を算出した。
【0123】
その結果、塩酸透過量は、1.40×10-6g・cm/cm2であった。
【0124】
比較例2
薬液透過抑制剤を配合しないほかは実施例5と同様に成形したチューブについて薬液透過量を調べた。
【0125】
その結果、塩酸透過量は2.28×10-6g・cm/cm2であった。
【0126】
実施例6
専用トレイに合成例1で得た含フッ素エラストマーを箱型反応オーブンに入れて密閉し、窒素ガスで充分に置換したのちフッ素ガスと窒素ガスの混合ガス(フッ素ガス濃度20重量%)を0.6リットル/分の流速で5時間通した。オーブン内は大気圧とし、230℃に保った。
【0127】
反応終了後、加熱を中止するとともに窒素ガスに切替え、約2時間にわたってフッ素ガスを充分に除いた。
【0128】
得られたフッ素ガス処理物について示差熱分析による熱重量減少を測定したところ、フッ素ガス処理前では重量が1%減少する温度が334℃であったのに対し、フッ素ガス処理後は431℃と熱的に安定となった。
【0129】
また、元素分析によるフッ素ガス処理後のヨウ素含量は、検出限界(10ppm)以下であった。
【0130】
実施例7
実施例1で得た樹脂組成物を用いた以外は実施例6と同様の手順でフッ素ガス処理を行ない、熱重量分析を行なった。
【0131】
フッ素ガス処理前では重量が1%減少する温度が467℃であったのに対し、処理後では475℃と熱的に安定となった。
【0132】
また元素分析によるフッ素ガス処理後のヨウ素含量は、検出限界(10ppm)以下であった。
【0133】
【発明の効果】
以上の結果から明らかなように本発明における薬液透過抑制性含フッ素樹脂の成形品の薬液透過量は、薬液透過抑制剤を添加していない結晶性樹脂に比べて約40%以上抑制することができるので、半導体製造プロセスの用途に好適である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の成形品の薬液透過性を調べるために使用した試験装置の概略側面図である。
【図2】本発明のチューブ状成形品の薬液透過性を調べるために使用した試験装置の概略斜視図である。
Claims (13)
- テトラフルオロエチレン繰返し単位とパーフルオロ(アルキルビニルエーテル)繰返し単位のみからなる共重合体である非晶質含フッ素ポリマーからなる溶融加工可能な結晶性テトラフルオロエチレン−パーフルオロ(アルキルビニルエーテル)共重合体樹脂用の薬液透過抑制剤。
- テトラフルオロエチレン繰返し単位とパーフルオロ(アルキルビニルエーテル)繰返し単位のみからなる共重合体である非晶質含フッ素ポリマー鎖セグメント(A)およびテトラフルオロエチレン繰返し単位80〜100モル%と式(I):
CF2=CF−Rf1 (I)
[式中、Rf1はCF3またはORf2(Rf2は炭素数1〜5のパーフルオロアルキル基)である]で示される繰返し単位0〜20モル%からなる結晶性含フツ素ポリマー鎖セグメント(B)とからなる含フッ素多元セグメント化ポリマーを含む結晶性テトラフルオロエチレン−パーフルオロ(アルキルビニルエーテル)共重合体樹脂用の薬液透過抑制剤。 - 前記結晶性含フッ素ポリマー鎖セグメント(B)がテトラフルオロエチレン繰返し単位のみからなる請求項2に記載の薬液透過抑制剤。
- 前記結晶性含フッ素ポリマー鎖セグメント(B)が、テトラフルオロエチレン繰返し単位とパーフルオロ(アルキルビニルエーテル)繰返し単位とからなり、パーフルオロ(アルキルビニルエーテル)繰返し単位を4モル%以下含む結晶性のセグメントである請求項2に記載の薬液透過抑制剤。
- フッ素化処理されてなる請求項1〜4のいずれかに記載の薬液透過抑制剤。
- 溶融加工可能な結晶性テトラフルオロエチレン−パーフルオロ(アルキルビニルエーテル)共重合体樹脂と請求項1〜5のいずれかに記載の薬液透過抑制剤とからなる薬液透過抑制性含フッ素樹脂組成物を溶融成形して得られるチューブ。
- 組成物が、結晶性テトラフルオロエチレン−パーフルオロ(アルキルビニルエーテル)共重合体樹脂100重量部に対し薬液透過抑制剤を0.1〜50重量部含んでなる請求項6に記載のチューブ。
- 前記結晶性のテトラフルオロエチレン−パーフルオロ(アルキルビニルエーテル)共重合体が、テトラフルオロエチレン繰返し単位90〜99重量%とパーフルオロ(アルキルビニルエーテル)繰返し単位10〜1重量%からなる結晶性共重合体である請求項7に記載のチューブ。
- 溶融加工可能な結晶性テトラフルオロエチレン−パーフルオロ(アルキルビニルエーテル)共重合体樹脂と請求項1〜5のいずれかに記載の薬液透過抑制剤とからなる薬液透過抑制性含フッ素樹脂組成物を溶融成形して得られるライニングシート。
- 組成物が、結晶性テトラフルオロエチレン−パーフルオロ(アルキルビニルエーテル)共重合体樹脂100重量部に対し薬液透過抑制剤を0.1〜50重量部含んでなる請求項9に記載のライニングシート。
- 前記結晶性のテトラフルオロエチレン−パーフルオロ(アルキルビニルエーテル)共重合体が、テトラフルオロエチレン繰返し単位90〜99重量%とパーフルオロ(アルキルビニルエーテル)繰返し単位10〜1重量%からなる結晶性共重合体である請求項10に記載のライニングシート。
- 溶融加工可能な結晶性テトラフルオロエチレン−パーフルオロ(アルキルビニルエーテル)共重合体樹脂と薬液透過抑制剤とからなる組成物であって、該薬液透過抑制剤が、テトラフルオロエチレン繰返し単位とパーフルオロ(アルキルビニルエーテル)繰返し単位のみからなる共重合体である非晶質含フッ素ポリマー鎖セグメント(A)およびテトラフルオロエチレン繰返し単位80〜100モル%と式(I)
CF 2 =CF−Rf 1 (I)
[式中、Rf 1 はCF 3 またはORf 2 (Rf 2 は炭素数1〜5のパーフルオロアルキル基)である]で示される繰返し単位0〜20モル%からなる結晶性含フッ素ポリマー鎖セグメント(B)からなる含フッ素多元セグメント化ポリマーである薬液透過抑制性含フッ素樹脂組成物。 - 溶融加工可能な結晶性テトラフルオロエチレン−パーフルオロ(アルキルビニルエーテル)共重合体樹脂と薬液透過抑制剤とからなる組成物であって、該薬液透過抑制剤が、非晶質含フッ素ポリマー鎖セグメント(A)およびテトラフルオロエチレン繰返し単位のみからなる結晶性含フッ素ポリマー鎖セグメント(B)からなる含フッ素多元セグメント化ポリマーである薬液透過抑制性含フッ素樹脂組成物。
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