JP4604440B2 - チャネルエッチ型薄膜トランジスタ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、チャネルエッチ型薄膜トランジスタに関する。更に詳しくは、アクティブマトリクス型液晶表示装置の各画素のスイッチング素子として用いられる逆スタガ型のチャネルエッチ型薄膜トランジスタに関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、ガラス等の絶縁性基板上に薄膜トランジスタ(以下、TFTと略す)を形成し、これを用いて各画素に印加する電圧を制御して液晶を駆動するアクティブマトリクス型液晶表示装置の開発が進められている。特に、活性層としてアモルファスシリコン(以下、a−Siと略す)を用いたTFTは、プロセス温度が300℃程度と低温であることから、広く使用されている。
【0003】
図11に、アクティブマトリクス型液晶表示装置に一般的に使用されているチャネルエッチ型TFTの平面図を、また、図11のX−X’面で切断した断面図を図12に示す。ガラス基板1上にクロム(Cr)よりなるゲート電極2が形成され、このゲート電極2上にシリコン窒化膜(SiNx)よりなるゲート絶縁膜3、ノンドープのa−Siよりなる活性層4、およびリン(P)ドープのn+導電型a−Siよりなるソース・ドレイン層5が順次形成されている。ソース・ドレイン層5上には、クロム(Cr)よりなるソース電極6およびドレイン電極7が形成されており、ソース電極6は、シリコン窒化膜(SiNx)よりなる層間絶縁膜8を間に挟み、インジウム錫酸化物(ITO)よりなる画素電極9に接続されている。このように形成されたTFT基板の画素電極9形成面と、インジウム錫酸化物(ITO)よりなる対向電極が形成された対向基板(図示せず)の対向電極形成面との間に、液晶層を挟み、TFT基板の裏側にバックライトユニットを設けることにより、透過型の液晶表示装置が形成される。
【0004】
図13に、図11,12に示した従来のチャネルエッチ型TFTの製造工程の一例を示す。はじめに、清浄な絶縁性のガラス基板1上にCrよりなるゲート電極2がスパッタで形成される(図13a参照)。次に、ゲート電極2上に、SiNxを用いたゲート絶縁膜3、ノンドープのa−Si層4a、Pドープのn+導電型a−Si層5aを逐次プラズマCVDにより連続形成(図13b参照)後、n+導電型a−Si層5aおよびノンドープa−Si層4aが各々所定の形状5および4にドライエッチングされる(図13c参照)。続いて、n+導電型a−Si層5の上にCrをスパッタで形成後、ウェットエッチングによりソース電極6およびドレイン電極7が形成される(図13d参照)。このソース電極6およびドレイン電極7をマスクとして、n+導電型a−Si層5およびノンドープa−Si層4を異方性ドライエッチングし、ソース・ドレイン層5および活性層4が形成される(図13e参照)。そして、デバイスの全表面に、SiNxを用いた層間絶縁膜8がプラズマCVDにより形成後、ソース電極6とのコンタクト用のビアホールが層間絶縁膜8に穿設される(図13f参照)。ここで、層間絶縁膜8は活性層4の保護膜として作用する。最後にビアホール内壁を含めたデバイス全表面にITOをスパッタで形成後、ウェットエッチングにより画素電極9が形成される(図13g参照)。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
近年、液晶表示装置の高輝度化が求められ、バックライト光量が増加する傾向にあり、TFTの光オフリーク電流低下に対する要求が強まっている。バックライトによる光が、nチャネルTFTの活性層に入射されると、光電界効果によりフォトキャリアが発生し、このフォトキャリア、特にホールがチャネル部を移動することおよびドレイン電極に流れることで光オフリーク電流が発生する。この光オフリーク電流により画素電位が低下するため、モジュールの輝度低下、コントラスト低下や表示斑、フリッカー等様々な不具合が発生する。
【0006】
図11,12に示した従来のチャネルエッチ型TFTでは、活性層4上のソース電極6およびドレイン電極7の幅(以後、平面図における紙面上の上下方向の電極端間隔を幅と称し、左右方向の電極端間隔を長さと称する)と活性層4の側壁と接触するソース電極6およびドレイン電極7の導出部の幅が同等に形成されている。ここで、活性層4で発生したホールは、n+導電型a−Si層5でブロックされる。しかし、活性層4の側壁ではソース電極6およびドレイン電極7と直に接触しているので、この接触部を通じてホールはドレイン電極7に移動してしまい、光オフリーク電流は増大してしまう。
【0007】
この活性層側壁を通じて流れるリーク電流を低減するため、特開平7−273333号公報やY.E.Chen等による信学技報EID98−216(1999年)には、活性層側壁に絶縁膜を有する構成が記載されており、後者には活性層側壁に設けた絶縁膜が活性層に発生する光オフリーク電流のソース電極あるいはドレイン電極への伝導を抑制する効果を有することが開示されている。図13iは、上記従来技術に開示されているTFTの構造と類似した活性層側壁に絶縁膜13が形成されている一例を示している。しかしながら、これらの絶縁膜を形成するためには、基板が比較的高温に曝される工程が一工程増える。即ち、図13cとdとの工程の間に、図13hに示した絶縁膜を活性層側壁に形成する工程が必要となる。具体的には、特開平7−273333号公報では、プラズマCVD(通常300℃程度に達する)によりSiNxを用いた側壁絶縁膜を形成する工程とドライエッチング工程が必要であり、信学技報EID98−216(1999年)では、酸素雰囲気下での長時間のアニール熱処理(230℃)をする工程が必要である。そのため、TFT製造スループットが低下し、製造コストが増加するという問題が発生する。
【0008】
特許第3223805号公報には、順スタガ型TFTにおいてa−Si層、SiNx層、Cr層がゲート線のパターンで同時にパターニングされた構造が記載されている。この順スタガ型TFTでは、a−Si層、SiNx層、Cr層が同一のパターンでアイランド状に形成されているため、アイランドの端面リークにより画素電極からゲート線のエッジ部分を通ってドレイン線にオフリーク電流が流れやすいという問題がある。この問題を解決するために、ソース電極と画素電極とを接続する引き出し配線の幅が、ソース電極の幅よりも狭く形成されている。このオフリーク電流は、a−Si層、SiNx層、Cr層が同一のパターンを有するという特有の構造を有することに基因して発生するものであり、活性層の側壁とソース電極あるいはドレイン電極とが接触する構成とはなっていない。また、ホールブロック層となるn+層の形成についても不明確である。したがって、特許第3223805号公報でオフリーク電流が流れる機構と、上述の活性層側壁とソース電極あるいはドレイン電極との接触部を通じて流れる光オフリーク電流が流れる機構とは異なる。また、特開昭61−259565号公報には、a−Si層上に複数のソース電極およびドレイン電極を有し、これらの電極が夫々信号線に対して、a−Si層上の各々のソースおよびドレイン電極幅より狭い幅の導出部により並列的に共通接続されるように構成された逆スタガ型TFTが記載されている。しかしながら、特開昭61−259565号公報には、ホールブロック層として機能するn+層が設けられていない。また、a−Si層上の各々のソースおよびドレイン電極幅より狭い幅の導出部とする理由が明記されていない。この逆スタガ型TFTでは、各ソース電極、ドレイン電極にゲート電極等との短絡等の不良が判明した場合に、当該ソース電極またはドレイン電極を信号線から切り離し、残りの正常なソース電極およびドレイン電極により正常に動作させることを目的としており、光オフリーク電流に関する記載も示唆もない。
【0009】
本発明は、TFT活性層の側壁に絶縁膜を設けた従来のチャネルエッチ型TFTより製造スループットの高い光オフリーク電流を低減することのできるチャネルエッチ型TFTの構造を提供することを目的としている。
【0015】
絶縁性基板上にゲート電極、ゲート絶縁膜、チャネル部分となる活性層、前記活性層上に設けられた不純物がドープされた半導体層からなるソース層およびドレイン層、上記活性層の外側に形成されており、かつ、前記ソース層およびドレイン層に各々接続されているソース電極およびドレイン電極を有するチャネルエッチ型薄膜トランジスタにおいて、前記活性層の側壁を覆い、かつ、前記ソース層およびドレイン層、前記ソース電極およびドレイン電極上に形成された保護膜を備え、前記ソース層および前記ドレイン層は前記島状の形状の活性層の内側に配置されており、前記ソース電極およびドレイン電極は、それぞれ対応する前記ソース層およびドレイン層と、前記ソース層およびドレイン層、前記ソース電極およびドレイン電極上の前記保護膜にそれぞれ穿設されたコンタクトホールおよび前記保護膜上に配置された透明導電層である他の導電層を介して接続されていることを特徴とする。
【0016】
ここで、ソース層およびドレイン層の少なくとも一方とこの他の導電層の間に金属電極部がさらに介在することを特徴とする。
【0018】
また、ゲート電極の端部が、活性層の端部より3μm以上外側に位置することが好ましい。
【0019】
活性層のチャネル領域上には保護膜を設けることができ、この場合信頼性が更に高く好ましい。
【0020】
【作用】
前述したように、特開平7−273333号公報やY.E.Chen等による信学技報EID98−216(1999年)では、活性層側壁とソース電極およびドレイン電極とが直接接触しないように、両者の間に絶縁膜を介在させている。これらの従来技術において絶縁膜を形成する際に、ガラス基板は230℃または300℃の高温雰囲気に曝されるため、TFTの製造スループットの低下およびコストアップを招く。本発明では、活性層上のソース電極およびドレイン電極とソース領域およびドレイン領域との接触面積を、良好な接続特性が得られるように保持するとともに、活性層側壁とソース電極およびドレイン電極との接触面積を低減させたソース電極およびドレイン電極の構成が、従来の製造工程と同様の工程で形成される。具体的には、活性層側壁と接触する電極幅を活性層上の電極幅より狭くなるように形成することにより、光オフリーク電流を小さくすることができることを見出した。あるいは、電極を活性層側壁と接触しないように、層間絶縁膜に設けたビアホールおよび層間絶縁膜上に設けた導電層を介して形成させた。本発明のTFTは、ソース電極およびドレイン電極膜を形成するための金属膜エッチングおよび層間絶縁膜に設けるコンタクトホールの穿設用マスクパターンを従来技術と変更するのみで製造できる。したがって、従来のTFTに比べて低コスト、かつ高い製造スループットで光オフリーク電流を低減することができる。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【0022】
(第1の実施の形態)
図1は本発明のチャネルエッチ型TFTの第1の実施の形態を示す平面図である。ここで、図11,12と同じ構成部材については、同符号で表示している。図11との違いは、ソース電極6およびドレイン電極7の構成にある。なお、図1のA−A’面での断面図は、図12と同じである。図1において、活性層上のソース電極6およびドレイン電極7は、対称に形成されており、ソース電極6およびドレイン電極7は、ともに活性層4の側壁と接触する部分を有している。活性層上のソース電極6およびドレイン電極7は対称なので、ドレイン電極7について説明する。ドレイン電極7と活性層4の側壁との接触部での電極幅は、CDで表される。一方、活性層上では、ドレイン電極の先端、即ちソース電極先端との対向部にABで表される電極幅の部分を有しており、CD<ABとなるように形成されている。即ち、活性層側壁との接触部では狭幅となるように、活性層上から活性層外へ導出される電極幅が、AEの範囲ではAB、Eから活性層外側ではCDとなるように形成されている。このような構成とすることにより、活性層4側壁部を通じるリーク電流は、電極幅に変化のない従来のTFTに比べて低減できた。
【0023】
一例として、チャネル長を6μm、チャネル幅ABを24μm、CDを4μmとしたTFTで輝度5000cd/m2のバックライトを使用したとき、光オフリーク電流は6×10-12Aであったのに対し、CDを24μmと電極幅が一定のTFTで同様に測定した光オフリーク電流は1×10-1 1Aであった。これより、電極幅が一定の場合に比べて、光オフリーク電流を約40%低減させることができた。なお、ここで、図中AEで表わされる電極幅ABを有するチャネル長方向の長さが3μm未満となったとき、ソース・ドレイン層5とソース電極6およびドレイン電極7とのコンタクト特性が悪化する傾向が認められた。コンタクト特性はコンタクト面積が大きいほど良好であるが、電気的な特性のみならずソース・ドレイン領域とソース・ドレイン電極との良好な密着性を保持するためにも、AE間は3μm以上とすることが好ましい。なお、図1では、ドレイン電極7はAEとBFが平行になるように形成されているが、AB<EFとなるように形成することも可能であり、この場合も先端電極幅ABを有するチャネル長方向の長さがAE間で形成されていることになる。
【0024】
図2は、上記第1の実施の形態の第1の変形例の平面図である。図1との相違点は、ゲート電極2の幅であり、この変形例ではゲート電極2の幅を活性層4の外側まで広げている。このような構成とすることにより、ゲートの遮光効果により光オフリーク電流を更に減少することができた。活性層4に対するゲート電極2のはみ出し幅が3μm以上となると、光オフリーク電流低減効果は、ほぼ飽和に達し、前述の条件で光オフリーク電流を同様に測定した結果、2×10-12Aとさらに低減することができた。
【0025】
図3,4は、上記第1の実施の形態の第2,第3の変形例であり、図1とは活性層4上の電極構成が異なる。これらの活性層4上の電極平面図を示す。ドレイン電極7について説明すると、図3では、ソース電極との対向部がAB、活性層側壁との接触部がCD(CD<AB)となるように台形状に形成されている。図4では、図1同様ソース電極との対向部ABの幅を有するAEの範囲を有し、活性層側壁でCD(CD<AB)となるようにEより外側の部分でテーパ状に形成されている。いずれの場合も、活性層側壁との接触部で狭幅となるように電極が形成されており、光オフリーク電流を低減させることができる。なお、図1〜4のように、ソース電極6とドレイン電極7が対称な構成とすると、TFTの駆動電流値の設計がし易い。
【0026】
図5は、上記第1の実施の形態の第4の変形例を示す平面図である。図1との相違点は、ソース電極6とドレイン電極7が非対称な構成となっている点であり、図5ではソース電極6がドレイン電極7に比べて小面積で形成されている。この構成によると、ソース電極側の寄生容量を減少させることができるため、TFTの書き込み特性が向上する利点がある。なお、ソース電極6での良好なコンタクト特性を得るためには、活性層上のソース電極の長さをある程度長く設けることが好ましい。ここで、ソース電極幅は十分小さく形成されているため、活性層との接触部でのソース電極幅を活性層上のソース電極幅より狭く形成する必要はなく、ドレイン電極幅のみ減少させることにより光オフリーク電流を低減することが可能である。もちろん活性層との接触部でのソース電極幅をさらに狭く形成することも可能である。なお、ソース電極6をドレイン電極7に比べて大面積で形成することも可能ではあるが、その場合ソース電極側の寄生容量の増大によりTFT書き込み特性は悪化するので、好ましい対応ではない。
【0027】
上記本願の第1の実施の形態およびその変形例で示したTFTの製造工程は、図13に示した従来のTFTの製造工程と全く同一であり、図13dの工程においてエッチングするソース電極6およびドレイン電極7のパターンを変更することのみが相違する。したがって、TFT製造スループットを低下させることなく、光オフリーク電流を低減させることができる。
【0028】
(第2の実施の形態)
図6は本発明のチャネルエッチ型TFTの第2の実施の形態を示す平面図であり、図7は図6のB−B’面で切断した断面図である。この実施の形態では、活性層の側壁に選択的に絶縁膜を設けることなく活性層4の側壁をソース電極6およびドレイン電極7と直接接触させない構成としている。具体的には、本実施の形態では、層間絶縁膜に設けたビアホールおよび層間絶縁膜表面に形成した導電層を介してソース・ドレイン層5とソース電極6およびドレイン電極7とを接続するものである。
【0029】
図8に第2の実施の形態の製造工程を示す。まず、第1の実施の形態と同様に、清浄なガラス基板1上にCrよりなるゲート電極2をスパッタで形成する(図8a参照)。次に、ゲート電極2上に、SiNxを用いたゲート絶縁膜3、ノンドープのa−Si層4a、Pドープのn+導電型a−Si層5aを逐次プラズマCVDにより連続形成(図8b参照)後、n+導電型a−Si層5aおよびノンドープa−Si層4aが各々所定の形状5および4にドライエッチングされる(図8c参照)。続いて、n+導電型a−Si層5を覆うようにCr膜をスパッタで形成後、ウェットエッチングによりソース電極6、ドレイン電極7をゲート絶縁膜上の6aおよび7aと、これらの電極と分離された2つの金属電極部6bおよび7bをn+導電型a−Si層5上に同時に形成する(図8d参照)。この金属電極部6bおよび7bをマスクとして、n+導電型a−Si層5およびノンドープa−Si層4を異方性ドライエッチングし、ソース・ドレイン層5および活性層4を形成する(図8e参照)。そして、デバイスの全表面に、SiNxを用いた層間絶縁膜8をプラズマCVDにより形成後、6a、6b、7a、7b上の層間絶縁膜8にコンタクトホールを各々穿設する(図8f参照)。ここで、層間絶縁膜8は活性層4の保護膜として作用する。最後にビアホール内壁を含めたデバイス全表面にITOをスパッタで形成後、ウェットエッチングにより画素電極9、導電層6c,7cが同時に所定のパターンに形成する(図8g参照)。こうしてソース電極6は、6a,6b,6cおよびコンタクトホールにより、ドレイン電極7は、7a,7b,7cおよびコンタクトホールにより各々構成される。この第2の実施の形態では、ソース電極6およびドレイン電極7は、活性層4の側壁と接触していないので、接触部の電極幅は実質0といえる。
【0030】
ここで、導電層6cおよび7cには、ITO、IZO(インジウム亜鉛酸化物)等の透明導電材料を使用することにより画素電極9と同時に形成することができる。一般に、透明導電材料は、ソース・ドレイン層5との密着性が悪く、良好なコンタクト特性が得られない。そのため、金属電極部6bおよび7bを介在させることで両者の密着性が改善される。また、金属電極部6bおよび7bを設けることにより、図8eの工程でn+導電型a−Si層5およびノンドープa−Si層4を異方性エッチングするためのエッチングマスク形成工程を別途設ける必要がない。なお、金属電極部6bおよび7bは、Crによりゲート絶縁膜上の6aおよび7aと同時に形成できるので、製造工程数は図13に示した従来技術と全く同様である。また、TFT上部に位置する配線が透明であるため、金属配線の場合に見られるバックライト光が配線裏面で反射してTFT上部に入射する現象が発生しない。したがって、更に光リークを低減することが可能となる。
【0031】
なお、導電層6cおよび7cとしてCr,Al,Mo,W,Ti等の金属材料を使用することもできる。ここで、金属材料を使用する場合、導電層6cおよび7cを画素電極9と同時に形成することができないため、層間絶縁膜8表面に金属導電層6c,7cを設ける工程が別途必要となる。しかしながら、金属スパッタは、特開平7−273333号公報やY.E.Chen等による信学技報EID98−216(1999年)のような活性層側壁絶縁膜形成時よりも低温(室温〜150℃程度)で実施でき、成膜時間も数分間程度と短時間であるので、従来のTFTほど製造スループットを低減させない。この場合、ビアホールおよび導電層の抵抗値の低減が図れるため、低電力駆動に有利である。
【0032】
図9は、上記第1および第2の実施の形態の中間である第1の変形例の平面図である。図6との相違点は、画素側のソース・ドレイン層5を6aおよび6cを介在させることなく画素電極9と直接接続させている。このような構成により、開口率をより大きくすることができる。
【0033】
図10は、上記第1および第2の実施の形態の中間である第2の変形例の平面図である。図6との相違点は、ソース側およびドレイン側の電極を図5のように非対称な構成としている。ドレイン側では、図6同様に7aと7bが7cおよびコンタクトホールを介して接続されている。一方、ソース側では、第1の実施の形態のようにソース電極6と活性層4の側壁とが狭幅で接触している。この接触部の電極幅は十分小さいため、リーク電流を低下させることができる。
【0034】
上記本願の第2の実施の形態と第1および第2の実施の形態の中間の変形例で導電層6c,7cを透明導電層で形成する場合のTFTの製造工程は、従来のTFTの製造工程と全く同一であり、図8d工程でのCr膜のエッチングおよび図8f工程での層間絶縁膜に設けるコンタクトホールの穿設パターンのみを変更している。したがって、TFT製造スループットを低下させることなく、光オフリーク電流を低減させることができる。
【0035】
尚、本発明のTFTは、上記各実施の形態に記載の材料、構成に限定されるものではない。ゲート電極材料としては、Cr以外にAl,Mo,W,Ti,Ta等の他の金属材料を使用することもできる。ゲート絶縁膜、層間絶縁膜としては、シリコン酸化物(SiOx)やシリコン窒化酸化物(SiOxNy)等も使用可能である。活性層としてはa−Si層が好適であるが、マイクロクリスタルシリコン膜やポリシコン膜も使用できる。また、本発明のTFTは、半透過型液晶表示装置にも適用可能である。
【0036】
【発明の効果】
本発明のチャネルエッチ型TFT構造によれば、絶縁膜を活性層側壁に設けた従来のTFT同様に光オフリーク電流を低減させることができる。しかも、絶縁膜を設ける工程が不要なため、従来のTFTより高いスループットが得られ、低コスト化に有利である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のTFTの第1の実施の形態の平面図である。
【図2】本発明のTFTの第1の実施の形態の第1の変形例の平面図である。
【図3】本発明のTFTの第1の実施の形態の第2の変形例の平面図である。
【図4】本発明のTFTの第1の実施の形態の第3の変形例の平面図である。
【図5】本発明のTFTの第1の実施の形態の第4の変形例の平面図である。
【図6】本発明のTFTの第2の実施の形態の平面図である。
【図7】図6のB−B’面で切断した断面図である。
【図8】本発明のTFTの第2の実施の形態の製造工程説明図である。
【図9】本発明のTFTの第1の実施の形態の第1の変形例の平面図である。
【図10】本発明のTFTの第1の実施の形態の第2の変形例の平面図である。
【図11】従来のTFTの平面図である。
【図12】図1のA−A’面および図11のX−X’面で切断した断面図である。
【図13】本発明のTFTの第1の実施の形態および従来のTFTの製造工程説明図である。
【符号の説明】
1 ガラス基板
2 ゲート電極
3 ゲート絶縁膜
4 活性層
4a a−Si層
5 ソース・ドレイン層
5a n+導電型a−Si層
6 ソース電極
6a ソース電極
6b 金属電極部(ソース電極)
6c 導電層(ソース電極)
7 ドレイン電極
7a ドレイン電極
7b 金属電極部(ドレイン電極)
7c 導電層(ドレイン電極)
8 層間絶縁膜
9 画素電極
10 活性層側壁絶縁膜
Claims (4)
- 絶縁性基板上にゲート電極、ゲート絶縁膜、チャネル部分となる活性層、前記活性層上に設けられた不純物がドープされた半導体層からなるソース層およびドレイン層、上記活性層の外側に形成されており、かつ、前記ソース層およびドレイン層に各々接続されているソース電極およびドレイン電極を有するチャネルエッチ型薄膜トランジスタにおいて、
前記活性層の側壁を覆い、かつ、前記ソース層およびドレイン層、前記ソース電極およびドレイン電極上に形成された保護膜を備え、
前記ソース層および前記ドレイン層は前記島状の形状の活性層の内側に配置されており、
前記ソース電極およびドレイン電極は、それぞれ対応する前記ソース層およびドレイン層と、前記ソース層およびドレイン層、前記ソース電極およびドレイン電極上の前記保護膜にそれぞれ穿設されたコンタクトホールおよび前記保護膜上に配置された透明導電層である他の導電層を介して接続されていることを特徴とするチャネルエッチ型薄膜トランジスタ。 - 前記ソース層およびドレイン層の少なくとも一方と前記他の導電層の間に金属電極部が介在することを特徴とする請求項1に記載のチャネルエッチ型薄膜トランジスタ。
- 前記ゲート電極の端部が、前記活性層の端部より3μm以上外側に位置することを特徴とする請求項1または2のいずれか一に記載のチャネルエッチ型薄膜トランジスタ。
- 前記活性層のチャネル領域上に前記保護膜を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一に記載のチャネルエッチ型薄膜トランジスタ。
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