JP4521611B2 - 半導体集積回路装置の製造方法 - Google Patents
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Description
(a)複数のチップ領域に区画され、上記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において上記半導体集積回路と電気的に接続する複数の電極が形成された半導体ウエハを用意する工程;
(b)上記複数の電極に接触可能な複数の接触端子を有するプローブカードを用意する工程;
(c)上記複数の接触端子の先端を上記複数の電極に接触させて上記半導体集積回路の電気的検査を行う工程;
上記工程(b)は以下の工程を含む:
(b1)第1配線が形成された配線基板に対し、上記複数の電極に接触させるための複数の接触端子と、上記複数の接触端子と上記第1配線とに電気的に接続する第2配線と、複数の接触端子の形成領域の近傍であって上記第2配線の非形成領域に配置され、信号伝達には関与しない第1ダミー配線とを含む第1シートを用意する工程;
(b2)上記工程(b1)の後、上記第1シートのうち上記複数の接触端子が形成された領域を上記第1シートの裏面より押圧可能な状態に、上記第1シートを上記配線基板に取り付ける工程(この工程は省略しても良い)。
(a)複数のチップ領域に区画され、上記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において上記半導体集積回路と電気的に接続する複数の電極が形成された半導体ウエハを用意する工程;
(b)上記複数の電極に接触可能な複数の接触端子を有するプローブカードを用意する工程;
(c)上記複数の接触端子の先端を上記複数の電極に接触させて上記半導体集積回路の電気的検査を行う工程;
上記工程(b)は以下の工程を含む:
(b1)第1配線が形成された配線基板に対し、上記複数の電極に接触させるための複数の接触端子と、上記複数の接触端子と上記第1配線とに電気的に接続する第2配線と、上記第2配線のうちノイズの影響を受けやすい信号線に沿うように形成されたシールド用メタル配線とを含む第1シートを用意する工程;
(b2)上記工程(b1)の後、上記第1シートのうち上記複数の接触端子が形成された領域を上記第1シートの裏面より押圧可能な状態に、上記第1シートを上記配線基板に取り付ける工程(この工程は省略しても良い)。
(a)複数のチップ領域に区画され、上記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において上記半導体集積回路と電気的に接続する複数の電極が形成された半導体ウエハを用意する工程;
(b)上記複数の電極に接触可能な複数の接触端子を有するプローブカードを用意する工程;
(c)上記複数の接触端子の先端を上記複数の電極に接触させて上記半導体集積回路の電気的検査を行う工程;
上記工程(b)は以下の工程を含む:
(b1)第1配線が形成された配線基板に対し、上記複数の電極に接触させるための複数の接触端子と、上記複数の接触端子と上記第1配線とを電気的に接続する第2配線と、ネジが貫通可能なネジ穴が形成されるとともに位置決め用マークが形成されたパターンとを有する第1シートを、上記位置決め用マークに基づいて位置決めする工程;
(b2)上記工程(b1)の後、上記第1シートのうち上記複数の接触端子が形成された領域を上記第1シートの裏面より押圧可能な状態に、上記第1シートを上記配線基板に取り付ける工程(この工程は省略しても良い)。
(a)複数のチップ領域に区画され、上記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において上記半導体集積回路と電気的に接続する複数の電極が形成された半導体ウエハを用意する工程;
(b)上記複数の電極に接触可能な複数の接触端子を有するプローブカードを用意する工程;
(c)上記複数の接触端子の先端を上記複数の電極に接触させて上記半導体集積回路の電気的検査を行う工程;
上記工程(b)は以下の工程を含む:
(b1)上記複数の電極に接触させるための複数の接触端子と、上記複数の接触端子と電気的に接続する第2配線とを含む第1シートのうち上記複数の接触端子が形成された領域の裏面にインバによる第2シートを貼り付ける工程;
(b2)上記複数の接触端子の形成位置に対応する位置に、上記第2シートを貫通するように第1エラストマを設ける工程;
(b3)上記第1エラストマを介して上記複数の接触端子を押圧する際に、上記複数の接触端子元の平坦性を確保可能な第2エラストマを上記第1エラストマの周囲に形成する工程;
(b4)工程(b3)の後、上記第1シートのうち上記複数の接触端子が形成された領域を裏面より押圧可能な状態に、上記第1シートを上記配線基板に取り付ける工程(この工程は省略しても良い)。
(a)複数のチップ領域に区画され、上記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において上記半導体集積回路と電気的に接続する複数の電極が形成された半導体ウエハを用意する工程;
(b)上記複数の電極に接触可能な複数の接触端子を有するプローブカードを用意する工程;
(c)上記複数の接触端子の先端を上記複数の電極に接触させて上記半導体集積回路の電気的検査を行う工程;
上記工程(b)は以下の工程を含む:
(b1)第1配線が形成された配線基板に対し、上記複数の電極に接触させるための複数の接触端子と、上記複数の接触端子と上記第1配線とに電気的に接続する第2配線と、第1リングとの接触部位と、上記第1リングより小さな径を有する第2リングとの接触部位とを含み、上記1リングとの接触部位の外側又は上記第2リングとの接触部位の内側に、異なる配線層間の配線を結合するためのスルーホールが形成された第1シートを用意する工程;
(b2)上記工程(b1)の後、上記第1シートのうち上記複数の接触端子が形成された領域を上記第1シートの裏面より押圧可能な状態に、上記第1シートを上記配線基板に取り付ける工程(この工程は省略しても良い)。
(a)複数のチップ領域に区画され、上記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において上記半導体集積回路と電気的に接続する複数の電極が形成された半導体ウエハを用意する工程;
(b)上記複数の電極に接触可能な複数の接触端子を有するプローブカードを用意する工程;
(c)上記複数の接触端子の先端を上記複数の電極に接触させて上記半導体集積回路の電気的検査を行う工程;
上記工程(b)は以下の工程を含む:
(b1)第1配線が形成された配線基板に対し、上記複数の電極に接触させるための複数の接触端子と、上記複数の接触端子と上記第1配線とに電気的に接続する第2配線と、上記複数の接触端子の近傍に形成され、上記第2配線に接続された受動素子による電気回路と含む第1シートを用意する工程;
(b2)上記工程(b1)の後、上記第1シートのうち上記複数の接触端子が形成された領域を上記第1シートの裏面より押圧可能な状態に、上記第1シートを上記配線基板に取り付ける工程(この工程は省略しても良い)。
(a)複数のチップ領域に区画され、上記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において上記半導体集積回路と電気的に接続する複数の電極が形成された半導体ウエハを用意する工程;
(b)上記複数の電極に接触可能な複数の接触端子を有するプローブカードを用意する工程;
(c)上記複数の接触端子の先端を上記複数の電極に接触させて上記半導体集積回路の電気的検査を行う工程;
上記工程(b)は以下の工程を含む:
(b1)圧接ランドと、上記(c)で外部との間で各種信号のやり取りを可能とするためのポゴ座と、上記圧接ランドと上記ポゴ座とを規則的に結合するための第1配線とを有する配線基板に対して、上記複数の電極に接触させるための複数の接触端子と、上記接触端子を上記圧接ランドに電気的に結合させるための第2配線を有する第1シートを用意する工程;
(b2)上記工程(b1)の後、上記第1シートのうち上記複数の接触端子が形成された領域を上記第1シートの裏面より押圧可能な状態に、上記第1シートを上記配線基板に取り付ける工程(この工程は省略しても良い)。
(a)複数のチップ領域に区画され、上記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において上記半導体集積回路と電気的に接続する複数の電極が形成された半導体ウエハを用意する工程;
(b)上記複数の電極に接触可能な複数の接触端子を有するプローブカードを用意する工程;
(c)上記複数の接触端子の先端を上記複数の電極に接触させて上記半導体集積回路の電気的検査を行う工程;
上記工程(b)は以下の工程を含む:
(b1)第1配線が形成された配線基板に対し、上記複数の電極に接触させるための複数の接触端子と、上記複数の接触端子と上記第1配線とに電気的に接続する第2配線とが、上記区画された上記複数のチップ領域に対応して複数個形成された第1シートを用意する工程;
(b2)上記工程(b1)の後、上記第1シートのうち上記複数の接触端子が形成された領域を上記第1シートの裏面より押圧可能な状態に上記第1シートを上記配線基板に取り付ける工程(この工程は省略しても良い)。
《24》以下の部材を含むプローブカード:
(a)圧接ランドと、外部装置との間で信号のやり取りを可能とするためのポゴ座と、上記圧接ランドと上記ポゴ座とを導通させるための第1配線とを含む配線基板;
(b)半導体ウエハの主面に形成された複数の電極に接触可能な複数の接触端子と、上記複数の接触端子と上記圧接ランドとを電気的に接続可能な第2配線と、複数の接触端子の形成領域の近傍であって上記第2配線の非形成領域に配置され、信号伝達には関与しない第1ダミー配線とを含む第1シート;
(c)上記第1シートを上記配線基板に取り付けるための第1リング;
(d)上記配線基板に支持され、上記第1シートのうち上記複数の接触端子が形成された領域を上記第1シートの裏面より押圧可能な押圧機構。
(a)圧接ランドと、外部装置との間で信号のやり取りを可能とするためのポゴ座と、上記圧接ランドと上記ポゴ座とを導通させるための第1配線とを含む配線基板;
(b)半導体ウエハの主面に形成された複数の電極に接触可能な複数の接触端子と、上記複数の接触端子と上記圧接ランドとを電気的に接続可能な第2配線と、上記第2配線のうちノイズの影響を受けやすい信号線に沿うように形成されたシールド用メタル配線とを含む第1シート;
(c)上記第1シートを上記配線基板に取り付けるための第1リング;
(d)上記配線基板に支持され、上記第1シートのうち上記複数の接触端子が形成された領域を上記第1シートの裏面より押圧可能な押圧機構。
(a)圧接ランドと、外部装置との間で信号のやり取りを可能とするためのポゴ座と、上記圧接ランドと上記ポゴ座とを導通させるための第1配線とを含む配線基板;
(b)半導体ウエハの主面に形成された複数の電極に接触可能な複数の接触端子と、上記複数の接触端子と上記圧接ランドとを電気的に接続可能な第2配線と、ネジが貫通可能なネジ穴が形成されるとともに位置決め用マークが形成されたパターンとを含む第1シート;
(c)上記第1シートを上記位置決め用マークで位置決めした状態で上記第1シートを上記配線基板にネジ止めするための第1リング;
(d)上記配線基板に支持され、上記第1シートのうち上記複数の接触端子が形成された領域を裏面より押圧可能な押圧機構。
(a)圧接ランドと、外部装置との間で信号のやり取りを可能とするためのポゴ座と、上記圧接ランドと上記ポゴ座とを導通させるための第1配線とを含む配線基板;
(b)半導体ウエハの主面に形成された複数の電極に接触可能な複数の接触端子と、上記複数の接触端子と上記圧接ランドとを電気的に接続可能な第2配線とを含む第1シート;
(c)第1シートのうち上記複数の接触端子が形成された領域の裏面に貼り付けられたインバによる第2シート;
(d)上記複数の接触端子の形成位置に対応する位置に、上記第2シートを貫通するように設けられた第1エラストマ;
(e)上記第1エラストマの周囲に形成され、上記第1エラストマを介して上記複数の接触端子を押圧する際に、上記複数の接触端子元の平坦性を確保可能な第2エラストマ;
(f)上記第1シートを上記配線基板に取り付けるための第1リング;
(g)上記配線基板に支持され、上記第1シートのうち上記複数の接触端子が形成された領域を上記第1シートの裏面より押圧可能な押圧機構。
(a)圧接ランドと、外部装置との間で信号のやり取りを可能とするためのポゴ座と、上記圧接ランドと上記ポゴ座とを導通させるための第1配線とを含む配線基板;
(b)半導体ウエハの主面に形成された複数の電極に接触可能な複数の接触端子と、上記複数の接触端子と圧接ランドとを電気的に接続可能な第2配線と、第1リングとの接触部位と、上記第1リングより小さな径を有する第2リングとの接触部位とを含み、上記1リングとの接触部位の外側又は上記第2リングとの接触部位の内側に、異なる配線層間の配線を結合するためのスルーホールが形成された第1シート;
(c)上記第1シートを上記配線基板に取り付けるための第1リング;
(d)上記配線基板に支持され、上記第1シートのうち上記複数の接触端子が形成された領域を上記第1シートの裏面より押圧可能な押圧機構。
(a)圧接ランドと、外部装置との間で信号のやり取りを可能とするためのポゴ座と、上記圧接ランドと上記ポゴ座とを導通させるための第1配線とを含む配線基板;
(b)半導体ウエハの主面に形成された複数の電極に接触可能な複数の接触端子と、上記複数の接触端子と上記圧接ランドとを電気的に接続可能な第2配線と、上記複数の接触端子の近傍に形成され、上記第2配線に接続された受動素子による電気回路とを含む第1シート;
(c)上記第1シートを上記配線基板に取り付けるための第1リング;
(d)上記配線基板に支持され、上記第1シートのうち上記複数の接触端子が形成された領域を上記第1シートの裏面より押圧可能な押圧機構。
(a)圧接ランドと、外部装置との間で信号のやり取りを可能とするためのポゴ座と、上記圧接ランドと上記ポゴ座とを規則的に結合するための第1配線とを含む配線基板;
(b)半導体ウエハの主面に形成された複数の電極に接触可能な複数の接触端子と、上記複数の接触端子と上記圧接ランドとを電気的に接続可能な第2配線とを含む第1シート;
(c)上記第1シートを上記配線基板に取り付けるための第1リング;
(d)上記配線基板に支持され、上記第1シートのうち上記複数の接触端子が形成された領域を上記第1シートの裏面より押圧可能な押圧機構。
(a)圧接ランドと、外部装置との間で信号のやり取りを可能とするためのポゴ座と、上記圧接ランドと上記ポゴ座とを導通させるための第1配線とを含む配線基板;
(b)複数のチップ領域に区画されるとともに主面上に複数の電極が形成された半導体ウエハにおける上記複数の電極に接触可能な複数の接触端子と、上記複数の接触端子と上記圧接ランドとを電気的に接続可能な第2配線とが、上記区画された上記複数のチップ領域に対応して複数個形成された第1シート;
(c)上記第1シートを上記配線基板に取り付けるための第1リング;
(d)上記配線基板に支持され、上記第1シートのうち上記複数の接触端子が形成された領域を上記第1シートの裏面より押圧可能な押圧機構。
図1は実施の形態1のプローブカードの下面の要部平面図であり、図2は図1中のA−A線に沿った断面図である。また、図3には上記プローブカードの上面の主要平面図である。
5が成膜されている。
Dのそれぞれ同士が接触する虞が生じるのと共に、金属膜21A〜21Dに電気的に接続する配線同士も接触する虞が生じるからである。そこで、実施の形態1においては、図19および図20に示すように、それら配線を2層の配線層(配線23、26)から形成することを例示することができる。この場合において、ダミー配線23Aは、配線23、26と同様に2層の配線層を用いて形成することができる。
次に、実施の形態2について説明する。
次に、実施の形態3について説明する。
次に、実施の形態4について説明する。
次に、実施の形態5について説明する。
次に、実施の形態6について説明する。
次に、実施の形態7について説明する。
次に、実施の形態8について説明する。
2 薄膜シート
3 プランジャ
3A ばね
4 押さえリング
4A 外周リング
5 開口部
6 接着リング
7、7A、7B、7C、7D プローブ
8 ポゴ座
9 押圧具
10 チップ
14、15 画素電極
16 ガラス基板
17 液晶層
21A、21B、21C、21D 金属膜
22 ポリイミド膜
23 配線
23A ダミー配線
24、533〜536、542 スルーホール
25 ポリイミド膜
26 配線
27 ポリイミド膜
28 スルーホール
31 ウエハ
32 酸化シリコン膜
33 穴
34 酸化シリコン膜
35−1〜35−12 ねじ穴形成パターン
37 導電性膜
38 導電性膜
45 インバ
48A〜48C エラストマ
101 探針
102 配線基板
103 バンプ電極
321 インピーダンスマッチング回路
322 キャパシタ
341 抵抗
350 位置決め用の角部
700 プローブ形成領域
WH ウエハ
Claims (2)
- 以下の工程を含む半導体集積回路装置の製造方法は、
(a)複数のチップ領域に区画され、上記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において上記半導体集積回路と電気的に接続する複数の電極が形成された半導体ウエハを用意する工程;
(b)上記複数の電極に接触可能な複数の接触端子を有するプローブカードを用意する工程;及び
(c)上記複数の接触端子の先端を上記複数の電極に接触させて上記半導体集積回路の電気的検査を行う工程を含み、
上記工程(b)は、
(b1)第1配線が形成された配線基板に対し、上記複数の電極に接触させるための複数の接触端子と、上記複数の接触端子と上記第1配線とに電気的に接続する第2配線と、上記複数の接触端子の形成領域の近傍であって上記第2配線の非形成領域に配置され、信号伝達には関与しない第1ダミー配線とを含む第1シートを用意する工程;及び
(b2)上記工程(b1)の後、上記第1シートのうち上記複数の接触端子が形成された領域を上記第1シートの裏面より押圧可能な状態に、上記第1シートを上記配線基板に取り付ける工程を含み、
上記第1ダミー配線は、
上記第1シートの中心部から上記複数の電極の配列部位に対応する部位に向かって放射状に形成された配線を含む。 - 請求項1記載の半導体集積回路装置の製造方法において、上記複数の電極は、上記チップ領域の外周に沿って複数列で配列され、第1列に含まれる上記電極と第2列に含まれる上記電極とは、上記チップ領域の外周に沿った方向で互い違いに配置される。
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