JP4244382B2 - 機能性材料定着方法及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
本発明に係る機能性材料定着方法は、溶媒中に分散された機能性材料を含む液滴を被着面上に吐出する液滴吐出工程と、前記被着面上に吐出された前記液滴を第1のレーザ光の走査により乾燥定着させる乾燥工程と、前記乾燥定着させた前記液滴を第2のレーザ光の走査により焼結させる焼結工程と、を含み、前記第1のレーザ光の照射レベルは低レベル強度であり、前記第2のレーザ光の照射レベルは高レベル強度である、機能性材料定着方法。
好ましくは、前記低レベル強度は、前記機能性材料が完全に焼結しない程度に調整された強度であり、前記高レベル強度は、前記機能性材料を焼結させる強度である。
例えば、前記機能性材料は、銀微粒子が混合されているものである。
前記液滴に含まれる前記機能性材料は皮膜で被覆された状態で前記溶媒中に分散している。
例えば、前記乾燥工程は前記被着面に対して前記液滴が吐出される側から前記液滴へレーザ光を照射する工程を含む。
例えば、前記被着面は前記第1のレーザ光の波長帯域に対して透明な基板の表面であり、前記乾燥工程は前記透明基板の裏面側から前記液滴へ前記第1のレーザ光を照射する工程を含む。
例えば、前記第1のレーザ光は照射領域の外縁が内部よりも強度が強いビームプロファイルを有している。
例えば、照射領域の走査方向の前縁よりも走査方向の後縁の方が次第に強度が強くなるように強度勾配のあるレーザ光を前記液滴上で走査し、前記照射領域の前縁付近の前記第1のレーザ光による前記乾燥工程と、前記照射領域の後縁付近の前記第2のレーザ光による前記焼結工程を連続して行う。
本発明に係るデバイス製造方法は、上記機能性材料定着方法を用いてデバイスを製造するものである。
本発明に係る電気光学装置は、上記デバイス製造方法により製造されたデバイスを含む。
本発明に係る電子機器は、上記電気光学装置を含む。
本発明に係る機能性材料定着装置は、溶媒中に分散された機能性材料を含む液滴を被着面上に吐出する液滴吐出手段と、前記被着面上に吐出された前記液滴を第1のレーザ光の走査により乾燥定着させる乾燥手段と、前記乾燥定着させた前記液滴を第2のレーザ光の走査により焼結させる焼結手段と、を含み、前記第1のレーザ光の照射レベルは低レベル強度であり、前記第2のレーザ光の照射レベルは高レベル強度である。
好ましくは、前記低レベル強度は、前記機能性材料が完全に焼結しない程度に調整された強度であり、前記高レベル強度は、前記機能性材料を焼結させる強度である。
例えば、前記機能性材料は、銀微粒子が混合されているものである。
例えば、前記液滴には前記第1のレーザ光の波長域に吸収帯を有する光熱変換材料が含まれており、前記乾燥定着手段は、主として、前記光熱変換材料の光熱変換作用によって、前記溶媒の一部を気化させる。
例えば、前記第1のレーザ光の波長域は赤外域にあり、前記乾燥定着手段は、主として、前記液滴の固有吸収によって、前記溶媒の一部を気化させる。
例えば、前記第1のレーザ光は照射領域の外縁が内部よりも強度が強いビームプロファイルを有している。
例えば、前記乾燥定着手段は照射領域の走査方向の前縁よりも後縁の方が次第に強度が強くなるように強度勾配のあるレーザ光を前記液滴上で走査し、前記照射領域の前縁付近の前記第1のレーザ光による照射によって前記液滴に含まれる溶媒の一部を気化し、前記焼結手段は前記照射領域の後縁付近の前記第2のレーザ光による照射によって前記機能性材料を焼結する。
上記の課題を解決するため、本発明の機能性材料定着方法は溶媒中に分散された機能性材料を含む液滴を被着面上に吐出する液滴吐出工程と、被着面上に吐出された液滴にレーザ光を照射することにより液滴を局所的に加熱し、液滴の一部を気化させる乾燥工程と、を含む。この方法により、液滴を速やかに乾燥させることができる上に基板全体の加熱を抑制し、基板の膨張等によるアライメントのずれや断線を回避できる。ここで、「機能性材料」とは所望の用途又は機能を実現するための材料を総称するものとする。
図1は本発明の第1実施形態に関わる機能性材料定着装置100の構成図である。
同図において、制御部102は吐出ヘッド120、基板キャリッジ130、レーザ140及びアクチュエータ170の各々に駆動信号を出力し、システム全体を制御する。この制御部102はCPU、タイマクロック、配線パターンを記憶したメモリ等を含んで構成される。溶液タンク110はC14H30(n-tetradecane)等の有機溶液(溶媒)に、配線の材料となる銀微粒子が混合された粘度20mPa・s程度の溶液を貯蔵する。吐出ヘッド120は制御部102の制御の下、溶液タンク110から溶液の供給を受けて、溶液を液滴化して吐出する。
第1実施形態においては、液滴を塗布した後に当該液滴に低レベル強度のレーザ光を照射して、当該液滴を定着させる機能性材料定着装置100について説明した。これに対し、第2実施形態においては、液滴の塗布と略同時に、当該液滴にレーザ光を照射して液滴を定着させる機能性材料定着装置について説明する。本実施形態の機能性材料定着装置の構成のうち上述した第1実施形態と同様の構成については同一の符号を用いて説明する。
上述した第1実施形態においては、一組の吐出ヘッド120及びレーザ140に対して基板132を走査させて、機能性材料を定着させる機能性材料定着装置100について説明した。これに対し、第3実施形態においては、2組の吐出ヘッド及びレーザに対して基板132を走査させる機能性材料定着装置について説明する。
図9は機能性材料定着装置400の平面図を示している。同装置400は、主に、機能性微粒子を含む液滴を被着させるための基板20と、基板20を水平面内において相互に直交するX軸方向及びY軸方向へ移動させるための基板ステージ21と、基板20に液滴を吐出するためのノズルヘッド(液滴吐出手段)30と、基板20上に吐出された液滴にレーザ光を照射して局所的な加熱で液滴を乾燥定着させるためのビームヘッド(乾燥定着手段)40と、基板20上に乾燥定着した機能性微粒子を加熱焼結するための焼結装置(焼結手段)60と、各種駆動系等(基板ステージ21の搬送駆動系、ノズルアレイ30の液滴吐出駆動系、ビームヘッド40のレーザ駆動系、及び焼結装置60の加熱制御系)を制御するための制御部50を備えて構成されている。ノズルヘッド30には複数のノズル31がアレイ状に配列されており、ノズルアレイ32を構成している。ノズルヘッド30としては、インクジェットヘッドなどが好適である。
Δ(θ)=Mλfcosθ/d …(1)
本実施形態では、ガウス強度分布を有するYAGレーザを使用し、回折光学素子42として分岐と集光の二つの作用を有するものを用いた。集光距離fは200mm、ビーム分岐数は180である。同素子42は波長1.064μmに対して透明なSiO2の基板上に透過型素子として作製したものである。配線ピッチPが141.5μm(180dpi)の場合、集光距離fを200mm、入射ビーム径を10mmとすると、集光ビーム径は129μmとなる。このビーム径は塗布後の液滴10の径とほぼ等しい。
本実施形態においては、レーザ光の波長域に吸収帯を有する染料系の光熱変換材料を予め液滴10に含ませておき、主として、光熱変換材料の光熱変換作用によって液滴10を乾燥定着させる。光熱変換材料としては、機能性微粒子11以外の物質であって、溶媒13によく溶けるものが望ましい。光熱変換材料を用いれば、液滴10の固有吸収を利用した場合に比べて、乾燥定着工程における光利用効率を格段に向上できる。また、光熱変換材料を用いれば、レーザ波長を〜1μm前後あるいはそれ以下に短くできるため、レーザ光源として小型軽量の半導体レーザを用いることができる。その結果、機能性材料定着装置500のサイズをコンパクトにできる。また、半導体レーザ(LD)には高効率、高寿命、低電圧等のメリットがある。さらに、半導体レーザを用いることによって、精細なビームスポット44を発生させ、高精度に液滴10を局所加熱できる。また、光熱変換材料を基板20上に形成しておき、光熱変換材料の上に、機能性微粒子11を定着させることもできる。例えば、光熱変換材料を含む溶媒を液滴吐出法などにより基板20上に吐出し、乾燥及び焼結工程を経て、光熱変換材料を基板20上に形成する。次に、光熱変換材料の上に、導電性微粒子などの機能性材料11を含む液滴10を吐出・塗布する。そして、実施形態5に記載の工程を経て、機能性微粒子11を基板上方に定着させることができる。この場合においても、上述の実施形態5と同様な効果を奏する。
本実施形態においては、図14に示すようにビームスポット46のビーム強度をリング状にする。46aはビームプロファイルを示している。照射スポットの外縁の照射強度が内側の照射強度よりも強くなるようにビームプロファイル46aを調整することで、液滴10が被着面20aに着弾した直後の機能性微粒子11の拡散を抑制し、配線幅の広がりを防止できる。また、機能性微粒子11の含有濃度や液滴吐出量の多寡に関係なく、精細な配線パターンを描画できる。このようなビームプロファイル46aを得るには、上述の回折光学素子42の位相関数を工夫すればよい。
本実施形態においては、図15に示すようにビームスポット47のビーム強度を、基板搬送方向(X方向)を長軸とする楕円状又は棒状にする。47aはビームプロファイル(ガウス分布)を示している。このような構成にすれば、基板20の搬送速度をわざわざ遅くしなくても液滴10へのレーザ照射時間を長くでき、安定した乾燥定着が可能となる。ビームスポット47のビーム強度を楕円状又は棒状にするには、上述の回折光学素子42の位相関数を工夫すればよい。
本実施形態においては、図16に示すように複数の液滴10を全て同時にレーザ一括照射できるように矩形状に整形された広域ビーム48を用いる。48aはX方向のビームプロファイル(ガウス分布)、48bはY方向のビームプロファイルを示している。このような構成にすれば、レーザ照射の位置合わせが極めて容易となる。また、液滴10の配列ピッチPが変更された場合でも容易に対応できる。広域ビーム48を生成するには、上述の回折光学素子42の位相関数を工夫すればよい。但し、この位相関数にはビームを分岐する作用は含まれない。
図11は本実施形態の機能性材料定着装置500の構成図を示している。同装置500は基板20の表面側(被着面側)にノズルヘッド30が設置され、基板20の裏面側にはビームヘッドとしての回折光学素子42が設置されている。基板20はレーザ光を透過できる透明材質で構成されている。このような構成にすれば、液滴10が被着面20aに着弾すると同時にレーザ照射を行うことができ、溶媒13として揮発性の高い溶剤を用いた場合でも安定した乾燥定着を可能にできる。
図12は本実施形態の機能性材料定着装置600の構成図を示している。同装置600はビームヘッドとして半導体レーザアレイ49を具備している。半導体レーザ単体の大きさは〜0.1mm×0.1mm程度であるため、装置全体のサイズをコンパクトにできる。半導体レーザアレイ49の設置場所は基板20の表面側に限らず裏面側でもよい。
上述の各実施形態では、乾燥工程と焼結工程とを分けて行っていたが、レーザ光のビームプロファイルを工夫することによって、同一のレーザ光によって両工程を連続的に行ってもよい。例えば、図18に示すように、双峰的強度分布を有するビームプロファイル70aを有するレーザ光を液滴10上で走査し、強度が低い部分70a'で乾燥を行い、郷土が高い部分70a"で焼結を行う。図20は双峰的強度分布を有するビーム強度の測定結果を示している。レーザ照射を受けた液滴10の時間経過に伴う温度変化は図19のようになる。ここで、温度T1は、主として、照射領域70の前縁70f付近からのレーザ照射によって昇温した液滴10の温度を示しており、乾燥定着に好適な温度になるようビームプロファイル70a'が調整されている。温度T2は、主として、照射領域70の後縁70b付近のレーザ照射によって昇温した液滴10の温度を示しており、焼結に好適な温度になるようにビームプロファイル70a"が調整されている。このように、レーザ光のビームプロファイルを調整することで、乾燥工程と焼結工程を同一のレーザ光で略同時に行えるため、スループットを大幅に向上できる。但し、この手法は、例えば、図17に示すように2回目の液滴塗布が終了した後に行うのが望ましい。
図22は上述した機能性材料定着方法によりパターニングされた配線を有するRFIDタグを示している。ここに示すRFIDタグ800は電波方式認識システムで用いられる電子回路であり、ICカードなどに搭載される。さらに詳述すると、RFIDタグ800は、PET(polyethylene terephthalate)基板132上に設けられたIC804と、IC804に接続され、渦巻状に形成されたアンテナ806と、アンテナ806上の一部に設けられたソルダーレジスト808と、ソルダーレジスト808上に形成されアンテナ806の両端を接続してループ状にする接続線810とを含む。このうち、アンテナ806は上述した機能性材料定着方法により形成されたものである。このため、アンテナ806は銀微粒子を含む液滴がその塗布位置から位置ずれを起こすことなく基板132上に定着されたものである。
Claims (6)
- 溶媒中に分散された機能性材料を含む液滴を被着面上に吐出する液滴吐出工程と、
前記被着面上に吐出された前記液滴を第1のレーザ光の走査により乾燥定着させる乾燥工程と、
前記液滴および前記乾燥定着させた液滴を第2のレーザ光の走査により焼結させる焼結工程と、
を含み、
前記第1のレーザ光の照射レベルは低レベル強度であって、前記機能性材料が完全に焼結しない程度に調整された強度であり、
前記第2のレーザ光の照射レベルは高レベル強度であって、前記機能性材料を焼結させる強度であり、
前記液滴吐出工程と前記乾燥工程とを複数回繰り返した後で前記焼結工程が行われる、
機能性材料定着方法。 - 請求項1に記載の機能性材料定着方法であって、
前記機能性材料は、銀微粒子が混合されているものである、機能性材料定着方法。 - 請求項1または請求項2に記載の機能性材料定着方法であって、
前記液滴に含まれる前記機能性材料は皮膜で被覆された状態で前記溶媒中に分散している、機能性材料定着方法。 - 請求項1乃至請求項3のうち何れか1項に記載の機能性材料定着方法であって、
前記乾燥工程は前記被着面に対して前記液滴が吐出される側から前記液滴へレーザ光を照射する工程を含む、機能性材料定着方法。 - 請求項1乃至請求項3のうち何れか1項に記載の機能性材料定着方法であって、
前記被着面は前記第1のレーザ光の波長帯域に対して透明な基板の表面であり、
前記乾燥工程は前記透明基板の裏面側から前記液滴へ前記第1のレーザ光を照射する工程を含む、機能性材料定着方法。 - 請求項1乃至請求項5のうち何れか1項に記載の機能性材料定着方法を用いてデバイスを製造するデバイス製造方法。
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