JP5533304B2 - 液滴吐出装置 - Google Patents

Description

本発明は、液滴吐出装置等に関する。

従来から、液状体を液滴として吐出することができる液滴吐出装置がある。液滴吐出装置では、例えば、吐出ヘッドから液滴をワークに向けて吐出することによって、ワークに液状体でパターンを描画することができる。
液滴吐出装置の１つであるインクジェット装置として、ワークとしての記録媒体に液状体であるインクで記録を行う記録装置がある。このような記録装置として、従来から、紫外光の照射を受けることによって硬化が促進する液状体で記録を行うことができるものが知られている。そして、このような記録装置では、従来、紫外光を発する光源がキャリッジに搭載されているものがある（例えば、特許文献１参照）。

特開２００９−１１９８６２号公報

上記特許文献１に記載された記録装置では、１つの光源からの光の経路を、複数の経路のうちの１つの経路に選択的に切り替えることができる。このため、光源の数量を低減しやすくすることができる。この結果、記録装置を小型化しやすくすることができる。
しかしながら、上記特許文献１に記載された記録装置では、光源がキャリッジに搭載されているので、キャリッジにかかる負荷が大きくなりやすい。キャリッジにかかる負荷が大きくなると、キャリッジの位置制御にかかる精度、ひいては記録精度を向上させることが困難となる。
つまり、従来の液滴吐出装置では、描画精度を向上させることが困難であるという課題がある。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現され得る。

［適用例１］記録媒体に対向し、光硬化性を有する液状体を液滴の状態で前記記録媒体に向けて吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドを支持する支持部材と、前記吐出ヘッドが前記記録媒体に対向した状態で、前記支持部材を第１方向に移動させる移動装置と、光を発する光源と、前記支持部材に設けられ、前記光源からの光の進路の途中で、前記吐出ヘッドから前記記録媒体に吐出された液状体に向けて前記光の進行方向を屈曲させる反射器と、を有し、前記光源は、前記支持部材から独立して設けられており、前記支持部材が前記第１方向に移動するとき、前記光源に対する前記支持部材の位置が変化する、ことを特徴とする液滴吐出装置。

この適用例の液滴吐出装置は、吐出ヘッドと、支持部材と、移動装置と、光源と、反射器と、を有する。
吐出ヘッドは、記録媒体に対向し、光硬化性を有する液状体を液滴の状態で記録媒体に向けて吐出する。
支持部材は、吐出ヘッドを支持する。
移動装置は、吐出ヘッドが記録媒体に対向した状態で、支持部材を第１方向に移動させる。
光源は、光を発する。
反射器は、支持部材に設けられている。反射器は、光源からの光の進路の途中で、吐出ヘッドから記録媒体に吐出された液状体に向けて光の進行方向を屈曲させる。
この液滴吐出装置では、光源が支持部材から独立して設けられている。支持部材が第１方向に移動するとき、光源に対する支持部材の位置が変化する。
上記の構成により、支持部材にかかる負荷を軽減しやすくすることができる。このため、支持部材の位置制御にかかる精度を向上させやすくすることができるので、描画精度を向上させやすくすることができる。

［適用例２］上記の液滴吐出装置であって、前記光源と、前記吐出ヘッドと、前記反射器とが、前記第１方向に沿って並んでいる、ことを特徴とする液滴吐出装置。

この適用例では、光源と吐出ヘッドと反射器とが第１方向に沿って並んでいるので、光の照射領域と吐出ヘッドとを第１方向に並べやすくすることができる。

［適用例３］上記の液滴吐出装置であって、前記光源と、前記吐出ヘッドと、前記反射器とが、前記第１方向に沿ってこの順序で並んでおり、前記吐出ヘッドは、前記支持部材が前記光源に向かって移動するときに、前記液滴を前記記録媒体に向けて吐出する、ことを特徴とする液滴吐出装置。

この適用例では、光源と吐出ヘッドと反射器とが第１方向に沿ってこの順で並んでいる。また、吐出ヘッドは、支持部材が光源に向かって移動するときに、液滴を記録媒体に向けて吐出する。上記の構成により、紫外光の照射領域を、記録媒体に向けて液滴を吐出する吐出ヘッドに追従させやすくすることができる。これにより、記録媒体に付着した液状体に紫外光を、記録媒体に付着した順に照射しやすくすることができる。

［適用例４］上記の液滴吐出装置であって、前記支持部材に設けられ、前記光源と前記吐出ヘッドとの間における前記光の進路の途中で、前記光源からの前記光の進行方向を前記記録媒体に向けて屈曲させる第２反射器と、前記支持部材が前記光源に向かって移動するときに、前記第２反射器を前記光の進路から退出させ、前記支持部材が前記光源から遠ざかるときに、前記第２反射器を前記光の進路へ進入させる進退装置と、を有し、前記吐出ヘッドは、前記支持部材が前記光源から遠ざかるときにも、前記液滴を前記記録媒体に向けて吐出する、ことを特徴とする液滴吐出装置。

この適用例の液滴吐出装置は、第２反射器と、進退装置と、を有している。
第２反射器は、支持部材に設けられている。第２反射器は、光源と吐出ヘッドとの間における光の進路の途中で、光源からの光の進行方向を記録媒体に向けて屈曲させる。
進退装置は、支持部材が光源に向かって移動するときに、第２反射器を光の進路から退出させる。また、進退装置は、支持部材が光源から遠ざかるときに、第２反射器を光の進路へ進入させる。
この液滴吐出装置では、吐出ヘッドは、支持部材が光源から遠ざかるときにも、液滴を記録媒体に向けて吐出する。この液滴吐出装置では、支持部材が光源に向かって移動するとき、及び支持部材が光源から遠ざかるときのそれぞれにおいて、吐出ヘッドが液滴を記録媒体に向けて吐出する。
支持部材が光源に向かって移動するとき、第２反射器は、光の進路から退出している。このため、支持部材が光源に向かって移動するとき、光源からの光は、反射器に向かう。これにより、支持部材が光源に向かって移動するときに吐出ヘッドから記録媒体に向けて吐出された液状体に、反射器を介して光源からの光を照射することができる。
他方で、支持部材が光源から遠ざかるとき、第２反射器は、光の進路に進入している。このため、支持部材が光源から遠ざかるとき、光源からの光は、第２反射器に向かう。これにより、支持部材が光源から遠ざかるときに吐出ヘッドから記録媒体に向けて吐出された液状体に、第２反射器を介して光源からの光を照射することができる。

［適用例５］上記の液滴吐出装置であって、前記進退装置は、前記光の進路に対する前記第２反射器の角度を変化させることによって、前記第２反射器を前記光の進路に対して進退させる、ことを特徴とする液滴吐出装置。

この適用例では、進退装置は、光の進路に対する第２反射器の角度を変化させる。これにより、第２反射器を光の進路に対して進退させることができる。

［適用例６］上記の液滴吐出装置であって、前記進退装置は、前記光の進路に対する前記第２反射器の位置を変化させることによって、前記第２反射器を前記光の進路に対して進退させる、ことを特徴とする液滴吐出装置。

この適用例では、進退装置は、光の進路に対する第２反射器の位置を変化させる。これにより、第２反射器を光の進路に対して進退させることができる。

［適用例７］上記の液滴吐出装置であって、前記反射器を前記光の進路に対して進退させる第２進退装置を有する、ことを特徴とする液滴吐出装置。

この適用例の液滴吐出装置は、第２進退装置を有する。第２進退装置は、反射器を光の進路に対して進退させる。これにより、反射器を光の進路に対して進退させることができる。

［適用例８］上記の液滴吐出装置であって、前記支持部材が前記光源に向かって移動するときに、前記反射器を前記吐出ヘッドの前記光源側とは反対側に位置させ、前記支持部材が前記光源から遠ざかるときに、前記反射器を前記吐出ヘッドと前記光源との間に位置させる変位装置を有し、前記吐出ヘッドは、前記支持部材が前記光源に向かって移動するとき、及び前記支持部材が前記光源から遠ざかるときのそれぞれにおいて、前記液滴を前記記録媒体に向けて吐出する、ことを特徴とする液滴吐出装置。

この適用例の液滴吐出装置は、変位装置を有する。変位装置は、支持部材が光源に向かって移動するときに、反射器を吐出ヘッドの光源側とは反対側に位置させる。また、変位装置は、支持部材が光源から遠ざかるときに、反射器を吐出ヘッドと光源との間に位置させる。
この液滴吐出装置では、吐出ヘッドは、支持部材が光源に向かって移動するとき、及び支持部材が光源から遠ざかるときのそれぞれにおいて、液滴を記録媒体に向けて吐出する。
支持部材が光源に向かって移動するとき、反射器は、吐出ヘッドの光源側とは反対側に位置している。このため、支持部材が光源に向かって移動するとき、光源からの光の進行方向は、反射器によって、吐出ヘッドの光源側とは反対側で記録媒体に向かって屈曲する。これにより、支持部材が光源に向かって移動するときに吐出ヘッドから記録媒体に向けて吐出された液状体に、反射器を介して光源からの光を照射することができる。
他方で、支持部材が光源から遠ざかるとき、反射器は、吐出ヘッドと光源との間に位置している。このため、支持部材が光源から遠ざかるとき、光源からの光の進行方向は、反射器によって、光源と吐出ヘッドとの間で記録媒体に向かって屈曲する。これにより、支持部材が光源から遠ざかるときに吐出ヘッドから記録媒体に向けて吐出された液状体に、反射器を介して光源からの光を照射することができる。

［適用例９］上記の液滴吐出装置であって、前記記録媒体を搬送する搬送装置を有し、前記第１方向と、前記搬送装置による前記記録媒体の搬送方向とは、互いに交差しており、前記吐出ヘッドと前記反射器とが、前記第１方向とは交差する方向に沿って並んでおり、前記反射器は、前記記録媒体の搬送方向において、前記吐出ヘッドよりも下流側に位置している、ことを特徴とする液滴吐出装置。

この適用例の液滴吐出装置は、記録媒体を搬送する搬送装置を有する。搬送装置による記録媒体の搬送方向と、第１方向とは、互いに交差している。
この液滴吐出装置では、吐出ヘッドと反射器とが、第１方向とは交差する方向に沿って並んでいる。また、反射器は、記録媒体の搬送方向において、吐出ヘッドよりも下流側に位置している。
上記の構成により、吐出ヘッドから吐出されて記録媒体に付着した液状体は、搬送装置によって記録媒体が搬送されるのにともなって、搬送方向の下流側に向かって移動する。ここで、反射器は、搬送方向において、吐出ヘッドよりも下流側に位置している。このため、搬送方向の下流側に向かって移動する液状体に、吐出ヘッドよりも下流側で、反射器を介して光源からの光を照射することができる。

本実施形態における液滴吐出装置の概略の構成を示す斜視図。 本実施形態におけるキャリッジを図１中のＡ視方向に見たときの正面図。 本実施形態における吐出ヘッドの底面図。 図２中のＢ−Ｂ線における断面図。 本実施形態における露光装置の概略の構成を示す図。 本実施形態における液滴吐出装置の概略の構成を示すブロック図。 本実施形態における描画処理の流れを示す図。 第２実施形態における反射器の進入位置を説明する図。 第３実施形態における反射装置の構成を説明する図。 第３実施形態における反射器の進入位置を説明する図。 第４実施形態における反射器の進入位置と退出位置とを説明する図。 第５実施形態における反射器の進入位置を説明する図。 第６実施形態における反射器の進入位置と退出位置とを説明する図。 第６実施形態における反射器の進入位置を説明する図。 第７実施形態における反射装置の構成を説明する図。 第８実施形態における反射装置の構成を説明する図。 第８実施形態におけるキャリッジを図１６中のＤ視方向に見たときの正面図。

図面を参照しながら、記録装置の１つである液滴吐出装置を例に、実施形態について説明する。なお、各図面において、それぞれの構成を認識可能な程度の大きさにするために、構成や部材の縮尺が異なっていることがある。

（第１実施形態）
第１実施形態における液滴吐出装置１は、概略の構成を示す斜視図である図１に示すように、ワーク搬送装置３と、キャリッジ７と、露光装置９と、キャリッジ搬送装置１１と、を有している。
キャリッジ７には、ヘッドユニット１３と、反射装置１５と、が設けられている。
液滴吐出装置１では、ヘッドユニット１３と基板などのワークＷとの平面視での相対位置を変化させつつ、ヘッドユニット１３から液状体を液滴として吐出させることによって、ワークＷに液状体で所望のパターンを描画することができる。なお、図中のＹ方向はワークＷの移動方向を示し、Ｘ方向は平面視でＹ方向とは直交する方向を示している。また、Ｘ方向及びＹ方向によって規定されるＸＹ平面と直交する方向は、Ｚ方向として規定される。

このような液滴吐出装置１は、例えば、樹脂フィルムなどのように、液状体が浸透しにくい記録媒体への描画に適用され得る。
また、液滴吐出装置１を、例えば、液晶表示パネル等に用いられるカラーフィルターの製造や、有機ＥＬ（Electro Luminescence）装置の製造などに適用することもできる。
赤、緑及び青の３色のフィルターエレメントを有するカラーフィルターの場合、液滴吐出装置１は、例えば、基板に赤、緑及び青の各着色層を形成する工程で好適に使用され得る。この場合、ヘッドユニット１３から各着色層に対応する各液状体を、ワークＷに液滴として吐出させることによって、ワークＷに赤、緑及び青のそれぞれのフィルターエレメントのパターンが描画される。
また、有機ＥＬ装置の製造では、例えば、赤、緑及び青の画素ごとに、各色に対応する機能層（有機層）を形成する工程で好適に使用され得る。この場合、ヘッドユニット１３から各色の機能層に対応する各液状体を、ワークＷに液滴として吐出させることによって、ワークＷに赤、緑及び青のそれぞれの機能層のパターンが描画される。

ここで、液滴吐出装置１の各構成について、詳細を説明する。
ワーク搬送装置３は、図１に示すように、定盤２１と、ガイドレール２３ａと、ガイドレール２３ｂと、ワークテーブル２５と、を有している。
定盤２１は、例えば石などの熱膨張係数が小さい材料で構成されており、Ｙ方向に沿って延びるように据えられている。ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂは、定盤２１の上面２１ａ上に配設されている。ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂは、それぞれ、Ｙ方向に沿って延在している。ガイドレール２３ａとガイドレール２３ｂとは、互いにＸ方向に隙間をあけた状態で並んでいる。

ワークテーブル２５は、ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂを挟んで定盤２１の上面２１ａに対向した状態で設けられている。ワークテーブル２５は、定盤２１から浮いた状態でガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂ上に載置されている。ワークテーブル２５は、ワークＷが載置される面である載置面２５ａを有している。載置面２５ａは、定盤２１側とは反対側（上側）に向けられている。ワークテーブル２５は、ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂによってＹ方向に沿って案内され、定盤２１上をＹ方向に沿って往復移動可能に構成されている。
ワークテーブル２５は、図示しない移動機構及び動力源によって、Ｙ方向に往復動可能に構成されている。移動機構としては、例えば、ボールねじやリニアガイドなどを利用した機構が採用され得る。また、本実施形態では、ワークテーブル２５をＹ方向に沿って移動させるための動力源として、図示しないワーク搬送モーターが採用されている。ワーク搬送モーターとしては、ステッピングモーター、サーボモーター、リニアモーターなどの種々のモーターが採用され得る。
ワーク搬送モーターからの動力は、移動機構を介してワークテーブル２５に伝達される。これにより、ワークテーブル２５は、ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂに沿って、すなわちＹ方向に沿って往復移動することができる。つまり、ワーク搬送装置３は、ワークテーブル２５の載置面２５ａに載置されたワークＷを、Ｙ方向に沿って往復移動させることができる。

ヘッドユニット１３は、キャリッジ７を図１中のＡ視方向に見たときの正面図である図２に示すように、ヘッドプレート３１と、吐出ヘッド３３と、を有している。
吐出ヘッド３３は、底面図である図３に示すように、ノズル面３５を有している。ノズル面３５には、複数のノズル３７が形成されている。なお、図３では、ノズル３７をわかりやすく示すため、ノズル３７が誇張され、且つノズル３７の個数が減じられている。
吐出ヘッド３３において、複数のノズル３７は、Ｙ方向に沿って配列する４本のノズル列３９を構成している。４本のノズル列３９は、Ｘ方向に互いに隙間をあけた状態で並んでいる。各ノズル列３９において、複数のノズル３７は、Ｙ方向に沿って所定のノズル間隔Ｐで形成されている。
以下において、４本のノズル列３９のそれぞれが識別される場合に、ノズル列３９ａ、ノズル列３９ｂ、ノズル列３９ｃ及びノズル列３９ｄという表記が用いられる。
吐出ヘッド３３において、ノズル列３９ａとノズル列３９ｂとは、互いにＹ方向にＰ／２の距離だけずれている。ノズル列３９ｃ及びノズル列３９ｄも、互いにＹ方向にＰ／２の距離だけずれている。

吐出ヘッド３３は、図２中のＢ−Ｂ線における断面図である図４に示すように、ノズルプレート４６と、キャビティープレート４７と、振動板４８と、複数の圧電素子４９と、を有している。
ノズルプレート４６は、ノズル面３５を有している。複数のノズル３７は、ノズルプレート４６に設けられている。
キャビティープレート４７は、ノズルプレート４６のノズル面３５とは反対側の面に設けられている。キャビティープレート４７には、複数のキャビティー５１が形成されている。各キャビティー５１は、各ノズル３７に対応して設けられており、対応する各ノズル３７に連通している。各キャビティー５１には、図示しないタンクから機能液５３（液状体）が供給される。

振動板４８は、キャビティープレート４７のノズルプレート４６側とは反対側の面に設けられている。振動板４８は、Ｚ方向に振動（縦振動）することによって、キャビティー５１内の容積を拡大したり、縮小したりする。
複数の圧電素子４９は、それぞれ、振動板４８のキャビティープレート４７側とは反対側の面に設けられている。各圧電素子４９は、各キャビティー５１に対応して設けられており、振動板４８を挟んで各キャビティー５１に対向している。各圧電素子４９は、駆動信号に基づいて、伸長する。これにより、振動板４８がキャビティー５１内の容積を縮小する。このとき、キャビティー５１内の機能液５３に圧力が付与される。その結果、ノズル３７から、機能液５３が液滴５５として吐出される。吐出ヘッド３３による液滴５５の吐出法は、インクジェット法の１つである。インクジェット法は、塗布法の１つである。

上記の構成を有する吐出ヘッド３３は、図２に示すように、ノズル面３５がヘッドプレート３１から突出した状態で、ヘッドプレート３１に支持されている。
キャリッジ７は、図２に示すように、ヘッドユニット１３を支持している。ここで、ヘッドユニット１３は、ノズル面３５がＺ方向の下方に向けられた状態でキャリッジ７に支持されている。
上記により、ワークＷには、吐出ヘッド３３から機能液５３が塗布され得る。
なお、本実施形態では、縦振動型の圧電素子４９が採用されているが、機能液５３に圧力を付与するための加圧手段は、これに限定されず、例えば、下電極と圧電体層と上電極とを積層形成した撓み変形型の圧電素子も採用され得る。また、加圧手段としては、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなども採用され得る。さらに、発熱体を用いてノズル内に泡を発生させ、その泡によって機能液に圧力を付与する構成も採用され得る。

本実施形態では、機能液５３として、光の照射を受けることによって硬化が促進する機能液５３が採用されている。本実施形態では、機能液５３の硬化を促進させる光として紫外光が採用されている。
機能液５３は、樹脂材料、光重合開始剤及び溶媒を、成分として含んでいる。これらの成分に、顔料や染料等の色素や、親液性や撥液性等の表面改質材料などの機能性材料を添加することによって固有の機能を有する機能液５３を生成することができる。顔料や染料等の色素を含有する機能液５３は、例えば、ワークＷに描画する画像を形成するための機能液５３として採用され得る。以下において、ワークＷに描画する画像を形成するための機能液５３は、画像塗料と呼ばれる。

また、機能液５３の成分としての樹脂材料に、例えば、アクリル系の樹脂材料などの光透過性を有する樹脂材料を採用することによって、光透過性を有する機能液５３を構成することができる。このような光透過性を有する機能液５３は、例えば、クリアインクとしての用途が考えられる。以下において、光透過性を有する機能液５３は、透光塗料と呼ばれる。
クリアインクの用途としては、例えば、画像を被覆するオーバーコート層としての用途や、画像を形成する前の下地層としての用途などが考えられる。以下において、下地層として適用される機能液５３は、下地塗料と呼ばれる。
下地塗料としては、透光塗料だけでなく、透光塗料に種々の顔料を添加した機能液５３を採用することもできる。例えば、白色を呈する機能液５３や、金属的な光沢（メタリック）を示す機能液５３なども、下地塗料として採用され得る。

機能液５３における樹脂材料は、樹脂膜を形成する材料である。このような樹脂材料としては、常温で液状であり、重合させることによってポリマーとなる材料であれば特に限定されない。樹脂材料としては、粘性が小さいものが好ましく、オリゴマーの形態であるのが好ましい。さらに、樹脂材料としては、モノマーの形態であることが一層好ましい。
光重合開始剤は、ポリマーの架橋性基に作用して架橋反応を進行させる添加剤である。光重合開始剤としては、例えば、ベンジルジメチルケタールなどが採用され得る。本実施形態では、光重合開始剤として、ラジカル型の光重合開始剤が採用されている。ラジカル型の光重合開始剤としては、例えば、チバ・ジャパン（株）社製のイルガキュア８１９などが採用され得る。
溶媒は、樹脂材料の粘度を調整するためのものである。

反射装置１５は、図２に示すように、２つの反射器６１と、進退装置６３と、を有している。
２つの反射器６１は、ヘッドプレート３１の吐出ヘッド３３側とは反対側、すなわち、ヘッドプレート３１よりもＺ方向の上方に位置している。
２つの反射器６１は、Ｘ方向に並んでいる。２つの反射器６１は、それぞれ、Ｘ方向にヘッドユニット１３を挟んで互いに対峙する位置に設けられている。以下において、２個の反射器６１のそれぞれを識別する場合に、反射器６１ａ及び反射器６１ｂという表記が用いられる。２つの反射器６１は、それぞれ、後述する露光装置９からの紫外光６２の少なくとも一部を反射させる性質を有している。本実施形態では、反射器６１として、反射鏡が採用されている。

なお、露光装置９からの光軸６４は、Ｘ方向に沿っている。反射器６１ａ及び反射器６１ｂは、それぞれ、光軸６４に交差する位置に設けられている。
本実施形態では、露光装置９は、キャリッジ７から独立して設けられている。本実施形態では、吐出ヘッド３３と露光装置９とが、Ｘ方向に並んでいる。そして、反射器６１ａは、Ｘ方向において、露光装置９と吐出ヘッド３３との間に位置している。また、反射器６１ｂは、Ｘ方向において、吐出ヘッド３３の露光装置９側とは反対側に位置している。

進退装置６３は、進退モーター６５と、伝動機構６７と、を有している。進退モーター６５は、反射器６１ａを駆動するための動力を発生する。
伝動機構６７は、進退モーター６５と反射器６１ａとの間に設けられている。伝動機構６７は、進退モーター６５からの動力を反射器６１ａに伝達する。
ここで、反射器６１ａには、支持部７１が設けられている。反射器６１ａは、支持部７１を支点として、図２中のＲ方向に回動可能に構成されている。
反射器６１ａには、支持部７１を介して伝動機構６７から動力が伝達される。本実施形態では、進退モーター６５からの動力によって、反射器６１ａの位置が、進入位置７３と退出位置７５との間で切り替えられる。
進入位置７３は、反射器６１ａが紫外光６２の進路６９に進入しているとき（以下、進入状態と呼ぶ）の位置である。また、退出位置７５は、反射器６１ａが紫外光６２の進路６９から退出しているとき（以下、退出状態と呼ぶ）の位置である。
つまり、本実施形態では、進退装置６３は、紫外光６２の進路６９に対する反射器６１ａの角度を変化させることによって、反射器６１ａを紫外光６２の進路６９に対して進退させる。

反射器６１ａが進入位置７３にあるとき、露光装置９からの紫外光６２は、反射器６１ａで反射する。これにより、紫外光６２の進行方向は、Ｘ方向からワークテーブル２５側に向かって屈曲する。このため、反射器６１ａが進入位置７３にあるとき、露光装置９からの紫外光６２の進行方向は、Ｘ方向において、吐出ヘッド３３よりも露光装置９側でワークテーブル２５側に向かって屈曲する。
他方で、反射器６１ａが退出位置７５にあるとき、露光装置９からの紫外光６２は、反射器６１ｂに到達し得る。反射器６１ｂに到達した紫外光６２は、反射器６１ｂで反射する。これにより、紫外光６２の進行方向は、Ｘ方向からワークテーブル２５側に向かって屈曲する。このため、反射器６１ａが退出位置７５にあるとき、露光装置９からの紫外光６２の進行方向は、Ｘ方向において、吐出ヘッド３３の露光装置９側とは反対側でワークテーブル２５側に向かって屈曲する。

露光装置９は、図５に示すように、光源部８１と、照明光学系８３と、を有している。
光源部８１は、光源８５と、リフレクター８７と、を有している。
照明光学系８３は、コリメーターレンズ８９を有している。
ここで、露光装置９では、光源８５からから延びる光軸６４に沿って光路９１が設定されている。
光源８５は、Ｙ方向に延在する筒状の形態を有している。光源８５としては、例えば、高圧水銀ランプやメタルハライドランプなどが採用され得る。
リフレクター８７は、Ｙ方向に延在している。リフレクター８７は、光源８５の光路９１側とは反対側から、光源８５を覆っている。
照明光学系８３は、光路９１において、光源部８１と反射器６１との間に設けられている。本実施形態では、コリメーターレンズ８９は、Ｙ方向に延在するシリンドリカルレンズで構成されている。

リフレクター８７は、内側に反射面８７ａを有している。反射面８７ａの断面形状は、楕円９３の一部を呈している。
光源８５は、楕円９３の第１焦点９５に重なっている。本実施形態では、光源８５の中心が第１焦点９５に重なるように、光源８５が設けられている。
コリメーターレンズ８９は、光源８５側に向かって凸となる平凸レンズで構成されている。本実施形態では、コリメーターレンズ８９は、光源８５側の焦点（以下、前側焦点と呼ぶ）が、楕円９３の第２焦点９７に重なる位置に設けられている。

上記の構成により、光源８５からの紫外光６２のうちで反射面８７ａで反射した紫外光６２ａは、第２焦点９７を通ってからコリメーターレンズ８９に入射する。
コリメーターレンズ８９に入射した紫外光６２ａは、光軸６４に対して略平行な状態に近づけられた平行光６２ｂとして、コリメーターレンズ８９を介して露光装置９から射出される。本実施形態では、露光装置９からの紫外光６２は、平行光６２ｂとして反射器６１に向かう。
なお、照明光学系８３は、コリメーターレンズ８９の他に、例えばインテグレーターレンズやリレーレンズなどの種々のレンズを付加した構成も採用され得る。

キャリッジ搬送装置１１は、図１に示すように、架台１０１と、ガイドレール１０３と、を有している。
架台１０１は、Ｘ方向に延在しており、ワーク搬送装置３をＸ方向にまたいでいる。架台１０１は、ワークテーブル２５の定盤２１側とは反対側で、ワーク搬送装置３に対向している。架台１０１は、一対の支柱１０７によって支持されている。一対の支柱１０７は、定盤２１を挟んでＸ方向に互いに対峙する位置に設けられている。
なお、以下においては、一対の支柱１０７のそれぞれを識別する場合に、支柱１０７ａ及び支柱１０７ｂという表記が用いられる。支柱１０７ａ及び支柱１０７ｂは、それぞれ、ワークテーブル２５よりもＺ方向の上方に突出している。これにより、架台１０１とワークテーブル２５との間には、隙間が保たれている。

ガイドレール１０３は、架台１０１の定盤２１側に設けられている。ガイドレール１０３は、Ｘ方向に沿って延在しており、架台１０１のＸ方向における幅にわたって設けられている。
前述したキャリッジ７は、ガイドレール１０３に支持されている。キャリッジ７がガイドレール１０３に支持された状態において、吐出ヘッド３３のノズル面３５は、Ｚ方向においてワークテーブル２５側に向いている。キャリッジ７は、ガイドレール１０３によってＸ方向に沿って案内され、Ｘ方向に往復動可能な状態でガイドレール１０３に支持されている。なお、平面視で、キャリッジ７がワークテーブル２５に重なっている状態において、ノズル面３５とワークテーブル２５の載置面２５ａとは、互いに隙間を保った状態で対向する。

キャリッジ７は、図示しない移動機構及び動力源によって、Ｘ方向に往復動可能に構成されている。移動機構としては、例えば、ボールねじやリニアガイドなどを利用した機構が採用され得る。また、本実施形態では、キャリッジ７をＸ方向に沿って移動させるための動力源として、図示しないキャリッジ搬送モーターが採用されている。キャリッジ搬送モーターとしては、ステッピングモーター、サーボモーター、リニアモーターなどの種々のモーターが採用され得る。
キャリッジ搬送モーターからの動力は、移動機構を介してキャリッジ７に伝達される。これにより、キャリッジ７は、ガイドレール１０３に沿って、すなわちＸ方向に沿って往復移動することができる。つまり、キャリッジ搬送装置１１は、キャリッジ７に支持されたヘッドユニット１３を、Ｘ方向に沿って往復移動させることができる。
上記の構成を有する液滴吐出装置１では、吐出ヘッド３３をワークＷに対向させた状態で、吐出ヘッド３３とワークＷとを相対的に往復移動させながら、吐出ヘッド３３から液滴５５を吐出させることによって、ワークＷへのパターンの描画が行われる。

液滴吐出装置１は、図６に示すように、上記の各構成の動作を制御する制御部１１１を有している。制御部１１１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）１１３と、駆動制御部１１５と、メモリー部１１７と、を有している。駆動制御部１１５及びメモリー部１１７は、バス１１９を介してＣＰＵ１１３に接続されている。
また、液滴吐出装置１は、キャリッジ搬送モーター１２１と、ワーク搬送モーター１２３と、入力装置１２９と、表示装置１３１と、を有している。
キャリッジ搬送モーター１２１、及びワーク搬送モーター１２３は、それぞれ、入出力インターフェース１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。また、入力装置１２９及び表示装置１３１も、それぞれ、入出力インターフェース１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。

キャリッジ搬送モーター１２１は、キャリッジ７を駆動するための動力を発生させる。ワーク搬送モーター１２３は、ワークテーブル２５を駆動するための動力を発生させる。入力装置１２９は、各種の加工条件を入力する装置である。表示装置１３１は、加工条件や、作業状況を表示する装置である。液滴吐出装置１を操作するオペレーターは、表示装置１３１に表示される情報を確認しながら、入力装置１２９を介して種々の情報を入力することができる。
なお、吐出ヘッド３３及び進退モーター６５も、それぞれ、入出力インターフェース１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。また、露光装置９も、入出力インターフェース１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。

ＣＰＵ１１３は、プロセッサーとして各種の演算処理を行う。駆動制御部１１５は、各構成の駆動を制御する。メモリー部１１７は、ＲＡＭ（Random Access Memory）や、ＲＯＭ（Read Only Memory）などを含んでいる。メモリー部１１７には、液滴吐出装置１における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト１３５を記憶する領域や、各種のデータを一時的に展開する領域であるデータ展開部１３７などが設定されている。データ展開部１３７に展開されるデータとしては、例えば、描画すべきパターンが示される描画データや、描画処理等のプログラムデータなどが挙げられる。
駆動制御部１１５は、モーター制御部１４１と、吐出制御部１４５と、露光制御部１４７と、表示制御部１５１と、を有している。

モーター制御部１４１は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動と、ワーク搬送モーター１２３の駆動と、進退モーター６５の駆動とを、個別に制御する。
吐出制御部１４５は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、吐出ヘッド３３の駆動を制御する。
露光制御部１４７は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、露光装置９の光源８５の発光状態を個別に制御する。
表示制御部１５１は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、表示装置１３１の駆動を制御する。

ここで、液滴吐出装置１における描画処理について説明する。
液滴吐出装置１では、制御部１１１が入力装置１２９から入出力インターフェース１３３及びバス１１９を介して描画データを受け取ると、ＣＰＵ１１３によって図７に示す描画処理が開始される。
ここで、描画データは、機能液５３（液状体）でワークＷに描画すべきパターンを指示するものであり、描画すべきパターンがビットマップ状に表現されている。ワークＷへのパターンの描画は、吐出ヘッド３３をワークＷに対向させた状態で、吐出ヘッド３３とワークＷとを相対的に往復移動させながら、吐出ヘッド３３から液滴５５を所定周期で吐出させることによって行われる。

描画処理では、ＣＰＵ１１３は、まず、ステップＳ１において、キャリッジ搬送指令をモーター制御部１４１（図６）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動を制御して、キャリッジ７を往路開始位置に移動させる。
ここで、液滴吐出装置１では、描画エリアが設定されている。描画エリアは、図１に示すワークテーブル２５によってＹ方向に沿って描かれる軌跡と、吐出ヘッド３３によってＸ方向に沿って描かれる軌跡とが重なり合う領域である。
そして、往路開始位置は、キャリッジ７をＸ方向に沿って往復移動させるときの往路が開始する位置である。本実施形態では、往路開始位置は、平面視で、描画エリアの外側に位置している。本実施形態では、往路開始位置は、平面視で、描画エリアの支柱１０７ａ側に位置している。
次いで、ステップＳ２において、ＣＰＵ１１３は、ワーク搬送指令をモーター制御部１４１（図６）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、ワーク搬送モーター１２３の駆動を制御して、ワークＷを描画エリアに移動させる。

次いで、ステップＳ３において、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ走査指令をモーター制御部１４１（図６）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動を制御して、キャリッジ７の往復移動を開始させる。
ここで、キャリッジ７の往復移動では、キャリッジ７は、上述した往路開始位置と復路開始位置との間を往復移動する。つまり、往路開始位置から復路開始位置で折り返して往路開始位置に戻る経路がキャリッジ７の１往復である。このため、本実施形態では、往路開始位置から復路開始位置に向かう経路がキャリッジ７の往路である。他方で、復路開始位置から往路開始位置に向かう経路がキャリッジ７の復路である。
なお、復路開始位置は、Ｘ方向に描画エリアを挟んで往路開始位置に対峙する位置である。復路開始位置は、平面視で、描画エリアの外側に位置している。このため、往路開始位置と復路開始位置とは、平面視で、描画エリアをＸ方向に挟んで互いに対峙している。本実施形態では、復路開始位置は、平面視で、描画エリアの支柱１０７ｂ側に位置している。

次いで、ステップＳ４において、ＣＰＵ１１３は、露光指令を露光制御部１４７（図６）に出力する。このとき、露光制御部１４７は、露光装置９の光源８５の駆動を制御して、露光装置９の光源８５を点灯させる。
次いで、ステップＳ５において、ＣＰＵ１１３は、退出指令をモーター制御部１４１（図６）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、進退モーター６５の駆動を制御して、反射器６１ａを紫外光６２の進路６９から退出させる。

次いで、ステップＳ６において、ＣＰＵ１１３は、吐出ヘッド３３の位置が往路における描画開始位置に到達したか否かを判定する。
ここで、描画開始位置は、描画エリア内で吐出ヘッド３３から液滴５５の吐出を開始させる位置である。
このとき、吐出ヘッド３３の位置が描画開始位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ７に移行する。他方で、吐出ヘッド３３の位置が描画開始位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、吐出ヘッド３３の位置が描画開始位置に到達するまで処理が待機される。
次いで、ステップＳ７において、ＣＰＵ１１３は、吐出指令を吐出制御部１４５（図６）に出力する。このとき、吐出制御部１４５は、吐出ヘッド３３の駆動を制御して、描画データに基づいて、各ノズル３７から液滴５５を吐出させる。これにより、往路での描画が開始される。

次いで、ステップＳ８において、ＣＰＵ１１３は、吐出ヘッド３３の位置が往路における描画停止位置に到達したか否かを判定する。
ここで、描画停止位置は、描画エリア内で吐出ヘッド３３から液滴５５の吐出を停止させる位置である。
このとき、吐出ヘッド３３の位置が描画停止位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ９に移行する。他方で、吐出ヘッド３３の位置が描画停止位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、吐出ヘッド３３の位置が描画停止位置に到達するまで処理が待機される。
次いで、ステップＳ９において、ＣＰＵ１１３は、吐出停止指令を吐出制御部１４５（図６）に出力する。このとき、吐出制御部１４５は、吐出ヘッド３３の駆動を停止して、各ノズル３７からの液滴５５の吐出を停止させる。これにより、往路での描画が終了する。

次いで、ステップＳ１０において、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ７の位置が復路開始位置に到達したか否かを判定する。このとき、キャリッジ７の位置が復路開始位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ１１に移行する。他方で、キャリッジ７の位置が復路開始位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、キャリッジ７の位置が復路開始位置に到達するまで処理が待機される。
次いで、ステップＳ１１において、ＣＰＵ１１３は、進入指令をモーター制御部１４１（図６）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、進退モーター６５の駆動を制御して、反射器６１ａを紫外光６２の進路６９に進入させる。
次いで、ステップＳ１２において、ＣＰＵ１１３は、改行指令をモーター制御部１４１（図６）に出力する。このとき、改行指令を受けたモーター制御部１４１は、ワーク搬送モーター１２３の駆動を制御して、ワークＷをＹ方向に移動（改行）させ、ワークＷにおいてパターンを描画すべき新たな領域を描画エリアに移動させる。

次いで、ステップＳ１３において、ＣＰＵ１１３は、吐出ヘッド３３の位置が復路における描画開始位置に到達したか否かを判定する。このとき、吐出ヘッド３３の位置が描画開始位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ１４に移行する。他方で、吐出ヘッド３３の位置が描画開始位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、吐出ヘッド３３の位置が描画開始位置に到達するまで処理が待機される。
次いで、ステップＳ１４において、ＣＰＵ１１３は、吐出指令を吐出制御部１４５（図６）に出力する。このとき、吐出制御部１４５は、吐出ヘッド３３の駆動を制御して、描画データに基づいて、各ノズル３７から液滴５５を吐出させる。これにより、復路での描画が開始される。

次いで、ステップＳ１５において、ＣＰＵ１１３は、吐出ヘッド３３の位置が復路における描画停止位置に到達したか否かを判定する。このとき、吐出ヘッド３３の位置が描画停止位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ１６に移行する。他方で、吐出ヘッド３３の位置が描画停止位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、吐出ヘッド３３の位置が描画停止位置に到達するまで処理が待機される。
次いで、ステップＳ１６において、ＣＰＵ１１３は、吐出停止指令を吐出制御部１４５（図６）に出力する。このとき、吐出制御部１４５は、吐出ヘッド３３の駆動を停止して、各ノズル３７からの液滴５５の吐出を停止させる。これにより、復路での描画が終了する。

次いで、ステップＳ１７において、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達したか否かを判定する。このとき、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ１８に移行する。他方で、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達するまで処理が待機される。
次いで、ステップＳ１８において、ＣＰＵ１１３は、描画データが終了したか否かを判定する。このとき、描画データが終了した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ１９に移行する。他方で、描画データが終了していない（Ｎｏ）と判定されると、処理がステップＳ２０に移行する。

ステップＳ１９では、ＣＰＵ１１３は、露光停止指令を露光制御部１４７（図６）に出力してから、処理を終了させる。このとき、露光停止指令を受けた露光制御部１４７は、露光装置９の光源８５の駆動を制御して、露光装置９の光源８５を消灯させる。
ステップＳ２０では、ＣＰＵ１１３は、改行指令をモーター制御部１４１（図６）に出力してから、処理をステップＳ５に移行させる。このとき、改行指令を受けたモーター制御部１４１は、ワーク搬送モーター１２３の駆動を制御して、ワークＷをＹ方向に移動（改行）させ、ワークＷにおいてパターンを描画すべき新たな領域を描画エリアに移動させる。

本実施形態において、ワークＷが記録媒体に対応し、キャリッジ７が支持部材に対応し、Ｘ方向が第１方向に対応している。
本実施形態では、キャリッジ７がＸ方向に沿って移動すると、露光装置９に対するキャリッジ７の位置が変化する。つまり、露光装置９は、キャリッジ７から独立して設けられている。このため、光源８５がキャリッジ７から独立して設けられているので、キャリッジ７にかかる負荷を軽減しやすくすることができる。この結果、キャリッジ７の位置制御にかかる精度を向上させやすくすることができるので、描画精度を向上させやすくすることができる。
また、本実施形態では、光源８５と吐出ヘッド３３と反射器６１とがＸ方向に沿って並んでいるので、紫外光６２の照射領域と吐出ヘッド３３とをＸ方向に並べやすくすることができる。

（第２実施形態）
第１実施形態では、反射器６１ａの位置を進入位置７３と退出位置７５との間で切り替える進退装置６３が採用されている。しかしながら、進退装置６３は、これに限定されない。進退装置６３の他の例を、第２実施形態として以下に説明する。
なお、第２実施形態における液滴吐出装置１は、進退装置６３の機能が異なることを除いては、第１実施形態における液滴吐出装置１と同様の構成を有している。このため、第２実施形態において、第１実施形態と同一の構成については、第１実施形態と同一の符号を付して、詳細な説明を省略する。

第２実施形態における進退装置６３は、反射器６１ａの進入位置７３を変化させることができる。これにより、図８に示すように、反射器６１ａが進入状態であるときに、紫外光６２の進路６９に対する反射器６１ａの角度を変化させることができる。
第２実施形態においても、第１実施形態と同様の効果が得られえる。
さらに、第２実施形態では、反射器６１ａが進入状態であるときに、紫外光６２の進路６９に対する反射器６１ａの角度を変化させることができる。このため、紫外光６２のワークＷへの到達位置を、吐出ヘッド３３から遠ざけたり、吐出ヘッド３３に近づけたりすることができる。これにより、ワークＷに付着した機能液５３に紫外光６２を照射するまでの時間を変化させやすくすることができる。この結果、ワークＷに付着した機能液５３の硬化の状態を制御しやすくすることができる。
例えば、温度や湿度などの環境条件の変化によって、機能液５３の硬化の状態を制御したいことがある。このような場合に、第２実施形態における液滴吐出装置１は好適である。

（第３実施形態）
第３実施形態について説明する。
第３実施形態では、反射装置１５は、図９に示すように、進退装置１６１を有している。
なお、第３実施形態における液滴吐出装置１は、反射装置１５の構成が異なることを除いては、第１実施形態や第２実施形態における液滴吐出装置１と同様の構成を有している。このため、第３実施形態において、第１実施形態や第２実施形態と同一の構成については、第１実施形態や第２実施形態と同一の符号を付して、詳細な説明を省略する。

進退装置１６１は、進退モーター１６３と、伝動機構１６５と、を有している。進退モーター１６３は、反射器６１ｂを駆動するための動力を発生する。
伝動機構１６５は、進退モーター１６３と反射器６１ｂとの間に設けられている。伝動機構１６５は、進退モーター１６３からの動力を反射器６１ｂに伝達する。
ここで、反射器６１ｂには、支持部１６７が設けられている。反射器６１ｂは、支持部１６７を支点として、図９中のＲ’方向に回動可能に構成されている。
反射器６１ｂには、支持部１６７を介して伝動機構１６５から動力が伝達される。本実施形態では、進退モーター１６３からの動力によって、反射器６１ｂの位置が、進入位置７３と退出位置７５との間で切り替えられる。さらに、進退装置１６１は、図１０に示すように、反射器６１ｂの進入位置７３を変化させることができる。これにより、反射器６１ｂが進入状態であるときに、紫外光６２の進路６９に対する反射器６１ｂの角度を変化させることができる。

第３実施形態において、進退装置１６１が第２進退装置に対応している。
第３実施形態では、反射器６１ｂが進入状態であるときに、紫外光６２の進路６９に対する反射器６１ｂの角度を変化させることができる。このため、紫外光６２のワークＷへの到達位置を、吐出ヘッド３３から遠ざけたり、近づけたりすることができる。これにより、ワークＷに付着した機能液５３に紫外光６２を照射するまでの時間を変化させやすくすることができる。この結果、ワークＷに付着した機能液５３の硬化の状態を制御しやすくすることができる。
例えば、温度や湿度などの環境条件の変化によって、機能液５３の硬化の状態を制御したいことがある。このような場合に、第３実施形態における液滴吐出装置１は好適である。
第３実施形態では、反射器６１ａ及び反射器６１ｂのそれぞれにおいて、進入状態であるときに、紫外光６２の進路６９に対する角度を変化させることができる。このため、キャリッジ７の往路及び復路のそれぞれにおいて、ワークＷに付着した機能液５３の硬化の状態を制御しやすくすることができる。

（第４実施形態）
第１実施形態では、紫外光６２の進路６９に対する反射器６１ａの角度を変化させることによって、反射器６１ａを紫外光６２の進路６９に対して進退させる進退装置６３が採用されている。しかしながら、進退装置６３は、これに限定されない。進退装置６３の他の例を、第４実施形態として以下に説明する。
なお、第４実施形態における液滴吐出装置１は、進退装置６３の機能が異なることを除いては、第１実施形態における液滴吐出装置１と同様の構成を有している。このため、第４実施形態において、第１実施形態と同一の構成については、第１実施形態と同一の符号を付して、詳細な説明を省略する。
第４実施形態における進退装置６３は、反射器６１ａをＺ方向に昇降させることによって、反射器６１ａを紫外光６２の進路６９に対して進退させることができる。第４実施形態では、反射器６１ａの位置は、図１１に示すように、進入位置７３と、進入位置７３からＺ方向に上昇した位置である退出位置７５との間で切り替えられる。
第４実施形態においても、第１実施形態と同様の効果が得られる。

（第５実施形態）
第４実施形態では、反射器６１ａの位置を進入位置７３と退出位置７５との間で切り替える進退装置６３が採用されている。しかしながら、進退装置６３は、これに限定されない。進退装置６３の他の例を、第５実施形態として以下に説明する。
なお、第５実施形態における液滴吐出装置１は、進退装置６３の機能が異なることを除いては、第４実施形態における液滴吐出装置１と同様の構成を有している。このため、第５実施形態において、第４実施形態と同一の構成については、第４実施形態と同一の符号を付して、詳細な説明を省略する。

第５実施形態における進退装置６３は、反射器６１ａの進入位置７３を変化させることができる。これにより、図１２に示すように、反射器６１ａが進入状態であるときに、紫外光６２の進路６９に対する反射器６１ａのＺ方向の位置を変化させることができる。
第５実施形態においても、第４実施形態と同様の効果が得られえる。
さらに、第５実施形態では、反射器６１ａが進入状態であるときに、紫外光６２の進路６９に対する反射器６１ａのＺ方向の位置を変化させることができる。このため、紫外光６２のワークＷへの到達位置を、吐出ヘッド３３から遠ざけたり、近づけたりすることができる。これにより、ワークＷに付着した機能液５３に紫外光６２を照射するまでの時間を変化させやすくすることができる。この結果、ワークＷに付着した機能液５３の硬化の状態を制御しやすくすることができる。
例えば、温度や湿度などの環境条件の変化によって、機能液５３の硬化の状態を制御したいことがある。このような場合に、第５実施形態における液滴吐出装置１は好適である。

（第６実施形態）
第６実施形態について説明する。
第６実施形態では、反射装置１５は、図１３に示すように、進退装置１６１を有している。
なお、第６実施形態における進退装置１６１は、機能が異なることを除いては、第３実施形態における進退装置１６１と同様の構成を有している。
そして、第６実施形態における液滴吐出装置１は、反射装置１５の構成が異なることを除いては、第４実施形態や第５実施形態における液滴吐出装置１と同様の構成を有している。このため、第６実施形態において、第４実施形態や第５実施形態と同一の構成については、第４実施形態や第５実施形態と同一の符号を付して、詳細な説明を省略する。

第６実施形態における進退装置１６１は、反射器６１ｂをＺ方向に昇降させることによって、反射器６１ｂを紫外光６２の進路６９に対して進退させることができる。第６実施形態では、反射器６１ｂの位置は、進入位置７３と、進入位置７３からＺ方向に上昇した位置である退出位置７５との間で切り替えられる。さらに、進退装置１６１は、図１４に示すように、反射器６１ｂの進入位置７３を変化させることができる。これにより、反射器６１ｂが進入状態であるときに、紫外光６２の進路６９に対する反射器６１ｂのＺ方向の位置を変化させることができる。
第６実施形態において、進退装置１６１が第２進退装置に対応している。
第６実施形態においても、第４実施形態や第５実施形態と同様の効果が得られる。

第６実施形態では、反射器６１ｂが進入状態であるときに、紫外光６２の進路６９に対する反射器６１ｂのＺ方向の位置を変化させることができる。このため、紫外光６２のワークＷへの到達位置を、吐出ヘッド３３から遠ざけたり、近づけたりすることができる。これにより、ワークＷに付着した機能液５３に紫外光６２を照射するまでの時間を変化させやすくすることができる。この結果、ワークＷに付着した機能液５３の硬化の状態を制御しやすくすることができる。
例えば、温度や湿度などの環境条件の変化によって、機能液５３の硬化の状態を制御したいことがある。このような場合に、第６実施形態における液滴吐出装置１は好適である。
第６実施形態では、反射器６１ａ及び反射器６１ｂのそれぞれにおいて、進入状態であるときに、紫外光６２の進路６９に対するＺ方向の位置を変化させることができる。このため、キャリッジ７の往路及び復路のそれぞれにおいて、ワークＷに付着した機能液５３の硬化の状態を制御しやすくすることができる。

（第７実施形態）
第７実施形態について説明する。
第７実施形態における液滴吐出装置１は、図１５に示すように、反射装置１７１を有している。
第７実施形態における液滴吐出装置１は、第１実施形態における反射装置１５が反射装置１７１に替えられていることを除いては、第１実施形態における液滴吐出装置１と同様の構成を有している。このため、第７実施形態において、第１実施形態と同一の構成については、第１実施形態と同一の符号を付して、詳細な説明を省略する。

反射装置１７１は、反射器６１と、変位装置１７３と、を有している。変位装置１７３は、変位モーター１７５と、伝動機構１７７と、を有している。
反射器６１は、ヘッドプレート３１の吐出ヘッド３３側とは反対側、すなわち、ヘッドプレート３１よりもＺ方向の上方に位置している。
変位モーター１７５は、反射器６１を駆動するための動力を発生する。
伝動機構１７７は、変位モーター１７５と反射器６１との間に設けられている。伝動機構１７７は、変位モーター１７５からの動力を反射器６１に伝達する。
ここで、反射器６１は、支持部７１に支持された状態で、Ｘ方向に沿って第１位置１７８と第２位置１７９との間を移動可能に構成されている。

第１位置１７８は、吐出ヘッド３３の露光装置９側とは反対側に位置している。また、第２位置１７９は、吐出ヘッド３３の露光装置９側に位置している。第１位置１７８と第２位置１７９とは、Ｘ方向に吐出ヘッド３３を挟んで互いに対峙している。
ワークＷへの描画では、吐出ヘッド３３がキャリッジ７の往路で描画を行うときに、反射器６１は、第１位置１７８に位置する。これは、ＣＰＵ１１３がモーター制御部１４１（図６）を介して変位モーター１７５の駆動を制御することによって達成される。これにより、キャリッジ７の往路において吐出ヘッド３３からワークＷに向けて吐出された機能液５３に、反射器６１を介して紫外光６２を照射することができる。

他方で、吐出ヘッド３３がキャリッジ７の復路で描画を行うときに、反射器６１は、第２位置１７９に位置する。これは、ＣＰＵ１１３がモーター制御部１４１（図６）を介して変位モーター１７５の駆動を制御することによって達成される。これにより、キャリッジ７の復路において吐出ヘッド３３からワークＷに向けて吐出された機能液５３に、反射器６１を介して紫外光６２を照射することができる。
上述したように、第７実施形態においても、第１実施形態と同様の効果が得られる。
また、第７実施形態では、第１位置１７８及び第２位置１７９のそれぞれを変化させることによって、第２実施形態及び第３実施形態、並びに、第５実施形態及び第６実施形態のそれぞれと同様の効果が得られる。
さらに、第７実施形態では、第１実施形態〜第６実施形態のそれぞれに比較して、反射器６１の個数を低減することができる。

（第８実施形態）
第８実施形態について説明する。
第８実施形態における液滴吐出装置１は、図１６に示すように、反射装置１９１を有している。
第８実施形態における液滴吐出装置１は、第１実施形態における反射装置１５が反射装置１９１に替えられていることを除いては、第１実施形態における液滴吐出装置１と同様の構成を有している。このため、第８実施形態において、第１実施形態と同一の構成については、第１実施形態と同一の符号を付して、詳細な説明を省略する。
反射装置１９１は、キャリッジ７に設けられている。第８実施形態では、吐出ヘッド３３と反射装置１９１が、Ｙ方向に並んでいる。

反射装置１９１は、図１７に示すように、反射器６１を有している。第８実施形態では、吐出ヘッド３３と反射器６１とが、Ｙ方向に並んでいる。
第８実施形態では、反射器６１は、ワークＷの改行方向で吐出ヘッド３３よりも下流側に位置している。液滴吐出装置１では、描画処理の改行動作のたびに、ワークＷがＹ方向に沿って所定量だけ搬送される。この改行動作においてワークＷが搬送される向きが改行方向である。本実施形態では、図１６に示すＣの向きが下流側である。
このため、本実施形態では、ワークＷに描画されたパターンは、描画処理の改行動作のたびに、吐出ヘッド３３に対するパターンの位置が下流側に変化していく。

第８実施形態では、改行方向で吐出ヘッド３３の下流側に位置するパターンに、反射器６１を介して紫外光６２を照射することができる。つまり、ワークＷに付着した機能液５３に、改行方向で吐出ヘッド３３の下流側で、反射器６１を介して紫外光６２を照射することができる。
上述したように、第８実施形態においても、第１実施形態と同様の効果が得られる。
さらに、第８実施形態では、第１実施形態〜第６実施形態のそれぞれに比較して、反射器６１の個数を低減することができる。
また、第８実施形態では、吐出ヘッド３３と反射器６１とがＹ方向に並んでいるので、ワークＷと反射器６１との間の距離を軽減しやすくすることができる。このため、光源８５からワークＷまでの光路長を短くしやすくすることができる。
第８実施形態において、ワーク搬送装置３が搬送装置に対応している。

（第９実施形態）
第１実施形態〜第７実施形態のそれぞれに第８実施形態における反射装置１９１を付加した構成を第９実施形態とする。
第９実施形態では、ワークＷに付着した機能液５３に対する紫外光６２の照射時間を、第１実施形態〜第７実施形態のそれぞれに比較して長くすることができる。これにより、ワークＷに付着した機能液５３を硬化させやすくすることができる。

１…液滴吐出装置、３…ワーク搬送装置、７…キャリッジ、９…露光装置、１１…キャリッジ搬送装置、１５…反射装置、３３…吐出ヘッド、５３…機能液、５５…液滴、６１…反射器、６１ａ，６１ｂ…反射器、６２…紫外光、６３…進退装置、６４…光軸、６５…進退モーター、６７…伝動機構、６９…進路、７１…支持部、７３…進入位置、７５…退出位置、８１…光源部、８３…照明光学系、８５…光源、８７…リフレクター、８７ａ…反射面、８９…コリメーターレンズ、９１…光路、９３…楕円、９５…第１焦点、９７…第２焦点、１６１…進退装置、１６３…進退モーター、１６５…伝動機構、１６７…支持部、１７１…反射装置、１７３…変位装置、１７５…変位モーター、１７７…伝動機構、１７８…第１位置、１７９…第２位置、１９１…反射装置、Ｗ…ワーク。

Claims (9)

1. 記録媒体に対向し、光硬化性を有する液状体を液滴の状態で前記記録媒体に向けて吐出する吐出ヘッドと、
   前記吐出ヘッドを支持する支持部材と、
   前記吐出ヘッドが前記記録媒体に対向した状態で、前記支持部材を第１方向に移動させる移動装置と、
   光を発する光源と、
   前記支持部材に設けられ、前記光源からの光の進路の途中で、前記吐出ヘッドから前記記録媒体に吐出された液状体に向けて前記光の進行方向を屈曲させる反射器と、を有し、
   前記光源は、前記支持部材から独立して設けられており、
   前記支持部材が前記第１方向に移動するとき、前記光源に対する前記支持部材の位置が変化する、
   ことを特徴とする液滴吐出装置。
2. 前記光源と、前記吐出ヘッドと、前記反射器とが、前記第１方向に沿って並んでいる、
   ことを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
3. 前記光源と、前記吐出ヘッドと、前記反射器とが、前記第１方向に沿ってこの順序で並んでおり、
   前記吐出ヘッドは、前記支持部材が前記光源に向かって移動するときに、前記液滴を前記記録媒体に向けて吐出する、
   ことを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出装置。
4. 前記支持部材に設けられ、前記光源と前記吐出ヘッドとの間における前記光の進路の途中で、前記光源からの前記光の進行方向を前記記録媒体に向けて屈曲させる第２反射器と、
   前記支持部材が前記光源に向かって移動するときに、前記第２反射器を前記光の進路から退出させ、前記支持部材が前記光源から遠ざかるときに、前記第２反射器を前記光の進路へ進入させる進退装置と、を有し、
   前記吐出ヘッドは、前記支持部材が前記光源から遠ざかるときにも、前記液滴を前記記録媒体に向けて吐出する、
   ことを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
5. 前記進退装置は、前記光の進路に対する前記第２反射器の角度を変化させることによって、前記第２反射器を前記光の進路に対して進退させる、
   ことを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置。
6. 前記進退装置は、前記光の進路に対する前記第２反射器の位置を変化させることによって、前記第２反射器を前記光の進路に対して進退させる、
   ことを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置。
7. 前記反射器を前記光の進路に対して進退させる第２進退装置を有する、
   ことを特徴とする請求項４乃至６のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
8. 前記支持部材が前記光源に向かって移動するときに、前記反射器を前記吐出ヘッドの前記光源側とは反対側に位置させ、前記支持部材が前記光源から遠ざかるときに、前記反射器を前記吐出ヘッドと前記光源との間に位置させる変位装置を有し、
   前記吐出ヘッドは、前記支持部材が前記光源に向かって移動するとき、及び前記支持部材が前記光源から遠ざかるときのそれぞれにおいて、前記液滴を前記記録媒体に向けて吐出する、
   ことを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出装置。
9. 前記記録媒体を搬送する搬送装置を有し、
   前記第１方向と、前記搬送装置による前記記録媒体の搬送方向とは、互いに交差しており、
   前記吐出ヘッドと前記反射器とが、前記第１方向とは交差する方向に沿って並んでおり、
   前記反射器は、前記記録媒体の搬送方向において、前記吐出ヘッドよりも下流側に位置している、
   ことを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。

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