JP4128938B2 - 磁気ヘッド及び磁気記録再生装置 - Google Patents
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Description
P=100×(n↑−n↓)/(n↑+n↓)
Claims (12)
- 媒体対向面から素子高さ方向に向かって形成された第一の電極層と、
前記第一の電極層の一端に第一の絶縁層を介して積層された第一の強磁性電極層、及び前記第一の電極層の他端に第二の絶縁層を介して積層された第二の強磁性電極層からなる第一の強磁性電極対と、
前記第一の電極層の一端に第三の絶縁層を介して積層された第三の強磁性電極層、及び前記第一の電極層の媒体対向面側の一端に第四の絶縁層を介して積層された第四の強磁性電極層からなる第二の強磁性電極対とを有し、
前記第一、第二及び第三の強磁性電極層は、その全面あるいは一部分に反強磁性層が直接に、あるいは、強磁性金属膜を介して接しており、
前記第一の強磁性電極対は電流源に接続され、
前記第二の強磁性電極対は電圧測定回路に接続され、
前記第二の強磁性電極対は、前記第一の強磁性電極対の間に流れる電流と交叉するように配置され、
外部磁界の印加方向と前記第一の強磁性電極対を介して前記第一の電極層を流れる電流方向とが略同一方向とならないように配置され、
前記第一の電極層を通って前記第一の強磁性電極対の間に電流を流すことにより、前記第一の電極層にスピン電子が蓄積され、
外部磁界が印加されると前記第四の強磁性電極層の磁化の向きが変化することを特徴とする磁気ヘッド。 - 前記第三、第四の絶縁層と前記第一の電極層との接触するそれぞれの面の略中心部分と、前記第一の絶縁層と前記第一の電極層との接触する面の略中心部分とのなす距離が略同一であることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド。
- 前記第三、第四の絶縁層と前記第一の電極層との接触するそれぞれの面の略中心部分と、前記第二の絶縁層と前記第一の電極層との接触する面の略中心部分とのなす距離が略同一であることを特徴とする請求項2記載の磁気ヘッド。
- 前記第一、第二、第三、第四の強磁性電極層は前記第一の電極層の一方の面側に配置され、前記第四の強磁性電極層は上下シールドの一方に接しており、前記上下シールドと前記第一の電極層、第一の強磁性電極層、第二の強磁性電極層及び第三の強磁性電極層とは絶縁層によって絶縁されていることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド。
- 前記第一の強磁性電極層と第四の強磁性電極層は前記第一の電極層の一方の面側に配置され、前記第二の強磁性電極層と第三の強磁性電極層は前記第一の電極層の他方の面側に配置され、前記第四の強磁性電極層は上下シールドの一方に接しており、前記第二の強磁性電極層は前記上下シールドの他方に接しており、前記上下シールドと前記第一の電極層、第一の強磁性電極層及び第三の強磁性電極層とは絶縁層によって絶縁されていることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド。
- 前記第四の強磁性電極層は、媒体対向面と直交する方向の長さが、媒体対向面と平行な方向の長さよりも長いことを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド。
- 前記第四の強磁性電極層の両端部に絶縁層を介して永久磁石層を配した構造、あるいは、当該第四の強磁性電極層の他主面側に、非磁性膜を設け、この他主面側に永久磁石膜あるいは、反強磁性膜と磁性膜の多層膜を接した構造のいずれかによって前記第四の強磁性電極層の磁区構造を整列させる機構を備えていることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド。
- 前記第四の強磁性電極層の一部が、媒体表面と対向する面に露出して配置していることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド。
- 前記第四の強磁性電極層の媒体表面と対向する面に保護膜が設けられていることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド。
- 前記第一の電極層は、Al,Pt,Au,Ag,Pd,Cu,TiN、または、Si,GaAsあるいはAsまたはSbを主成分とする半導体材料からなることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド。
- 前記第一から第四の強磁性電極層は、
Co,Fe,Niの強磁性金属または、これらを主たる成分として含有する強磁性合金、
AB2O4なる構造を持つ酸化物(AはFe,Co,Znの少なくとも一つ、BはFe,Co,Ni,Mn,Znの一つ)、
CrO2,CrAs,CrSbあるいはZnOに遷移金属であるFe,Co,Ni,Cr,Mnを少なくとも一成分以上添加した化合物、
GaNにMnを添加した化合物、又は
C2DxE1-xF型のホイスラー合金(CはCo,CuあるいはNiの少なくとも一種類からなり、DとEはそれぞれMn,Fe,Crの1種であり、かつFはAl,Sb,Ge,Si,Ga,Snの少なくとも一成分を含有する)
を含有する単層膜あるいは複合多層膜であることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド。 - 前記第一から第四の絶縁層は、Al2O3,AlN,HfO2,SrTiO3,Cr2O3,ZrO2,SiO2,MgOを主たる成分として含有する単層膜あるいは複合多層膜であることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド。
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US7181836B2 (en) * | 2003-12-19 | 2007-02-27 | General Electric Company | Method for making an electrode structure |
CN100392774C (zh) * | 2005-10-20 | 2008-06-04 | 中国科学院物理研究所 | 具有高自旋极化率的半金属磁性材料 |
JP2007142257A (ja) * | 2005-11-21 | 2007-06-07 | Alps Electric Co Ltd | 磁気検出素子 |
JP2007189039A (ja) * | 2006-01-13 | 2007-07-26 | Alps Electric Co Ltd | トンネル型磁気検出素子及びその製造方法 |
US7576948B2 (en) * | 2006-02-23 | 2009-08-18 | Seagate Technology Llc | Magnetic field read sensor based on the extraordinary hall effect |
EP1830410A1 (en) * | 2006-02-24 | 2007-09-05 | Hitachi, Ltd. | Single-charge tunnelling device |
KR101176543B1 (ko) * | 2006-03-10 | 2012-08-28 | 삼성전자주식회사 | 저항성 메모리소자 |
US7626856B2 (en) * | 2006-03-20 | 2009-12-01 | Fuji Electric Device Technology Co., Ltd. | Magnetic recording element |
JP4731393B2 (ja) | 2006-04-28 | 2011-07-20 | 株式会社日立製作所 | 磁気再生ヘッド |
JP4742276B2 (ja) * | 2007-03-26 | 2011-08-10 | 国立大学法人東京工業大学 | 強磁性体の形成方法並びにトランジスタ及びその製造方法 |
JP2009037702A (ja) * | 2007-08-02 | 2009-02-19 | Hitachi Ltd | 磁気再生ヘッド及び磁気記録装置 |
JP5538676B2 (ja) * | 2007-12-14 | 2014-07-02 | エイチジーエスティーネザーランドビーブイ | 垂直磁気記録ヘッド、磁気ヘッド及びこれらを搭載した磁気ディスク装置 |
JP2009146512A (ja) * | 2007-12-14 | 2009-07-02 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 磁気ヘッド及び磁気記録装置 |
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JP5322209B2 (ja) * | 2008-08-01 | 2013-10-23 | 独立行政法人物質・材料研究機構 | Co基ホイスラー合金 |
JP5338264B2 (ja) * | 2008-11-05 | 2013-11-13 | Tdk株式会社 | 磁気センサー |
JP5257007B2 (ja) * | 2008-11-10 | 2013-08-07 | Tdk株式会社 | 磁気センサー |
US8760817B2 (en) * | 2009-05-22 | 2014-06-24 | HGST Netherlands B.V. | Three-terminal design for spin accumulation magnetic sensor |
JP2011018415A (ja) * | 2009-07-10 | 2011-01-27 | Tdk Corp | 磁気センサ |
JP5338714B2 (ja) * | 2010-02-24 | 2013-11-13 | Tdk株式会社 | 磁気センサー、磁気検出装置、及び磁気ヘッド |
JP2012039010A (ja) | 2010-08-10 | 2012-02-23 | Tdk Corp | 磁気センサー及び磁気検出装置 |
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JP5598975B2 (ja) | 2010-09-02 | 2014-10-01 | 独立行政法人理化学研究所 | スピン注入源およびその製造方法 |
JP5565238B2 (ja) * | 2010-09-24 | 2014-08-06 | Tdk株式会社 | 磁気センサ及び磁気ヘッド |
EP2688072B1 (en) * | 2012-07-19 | 2014-06-18 | Forschungsverbund Berlin e.V. | Spintronic circuit and method of operation therefore |
US8830626B2 (en) | 2012-12-03 | 2014-09-09 | Seagate Technology Llc | Write pole with shaped box shield |
JP5579285B2 (ja) * | 2013-01-21 | 2014-08-27 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド、磁気ヘッドアセンブリおよび磁気記録再生装置 |
JP6263344B2 (ja) * | 2013-07-26 | 2018-01-17 | 株式会社東芝 | 磁気センサー装置、ハードディスクヘッド、および磁気記録再生装置 |
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US9064509B2 (en) * | 2013-09-10 | 2015-06-23 | Seagate Technology Llc | Injector stack with diffusive layer |
US8953284B1 (en) * | 2013-11-20 | 2015-02-10 | HGST Netherlands B.V. | Multi-read sensor having a narrow read gap structure |
US8970988B1 (en) * | 2013-12-31 | 2015-03-03 | Western Digital (Fremont), Llc | Electric gaps and method for making electric gaps for multiple sensor arrays |
JP5860105B1 (ja) * | 2014-08-01 | 2016-02-16 | 株式会社東芝 | スピンバルブ素子、ハードディスクヘッド、ハードディスクヘッドアセンブリ、および磁気記録再生装置 |
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Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2834231B2 (ja) | 1989-11-13 | 1998-12-09 | 株式会社日立製作所 | 磁気ヘッドおよび磁気記憶装置 |
US5206590A (en) | 1990-12-11 | 1993-04-27 | International Business Machines Corporation | Magnetoresistive sensor based on the spin valve effect |
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US5668688A (en) | 1996-05-24 | 1997-09-16 | Quantum Peripherals Colorado, Inc. | Current perpendicular-to-the-plane spin valve type magnetoresistive transducer |
EP0831541A3 (en) * | 1996-09-19 | 1999-05-06 | TDK Corporation | Ferromagnetic tunnel junction, magnetoresistive element and magnetic head |
JP3055662B2 (ja) | 1996-09-19 | 2000-06-26 | ティーディーケイ株式会社 | 強磁性トンネル接合 |
JPH11354859A (ja) * | 1998-06-05 | 1999-12-24 | Read Rite Smi Kk | 磁気抵抗素子と磁気ヘッド |
JP3234814B2 (ja) | 1998-06-30 | 2001-12-04 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド、磁気ヘッドアセンブリ及び磁気記録装置 |
US6770382B1 (en) | 1999-11-22 | 2004-08-03 | Headway Technologies, Inc. | GMR configuration with enhanced spin filtering |
JP3623417B2 (ja) | 1999-12-03 | 2005-02-23 | アルプス電気株式会社 | スピンバルブ型薄膜磁気素子及び薄膜磁気ヘッド |
JP3468419B2 (ja) * | 2000-03-17 | 2003-11-17 | Tdk株式会社 | トンネル磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッド装置及び磁気ディスク装置 |
JP3575683B2 (ja) * | 2000-10-05 | 2004-10-13 | 松下電器産業株式会社 | 多素子型磁気抵抗素子 |
JP3468512B2 (ja) | 2000-08-04 | 2003-11-17 | 松下電器産業株式会社 | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド、及び磁気記録装置 |
JP2002092829A (ja) * | 2000-09-21 | 2002-03-29 | Fujitsu Ltd | 磁気抵抗センサ及び磁気抵抗ヘッド |
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JP3955195B2 (ja) * | 2001-08-24 | 2007-08-08 | 株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ | 磁界センサー及び磁気ヘッド |
US6937447B2 (en) * | 2001-09-19 | 2005-08-30 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetoresistance effect element, its manufacturing method, magnetic reproducing element and magnetic memory |
US7450348B2 (en) * | 2003-06-25 | 2008-11-11 | Panasonic Corporation | Electronic device, magnetoresistance effect element; magnetic head, recording/reproducing apparatus, memory element and manufacturing method for electronic device |
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