JP4118942B2 - 不揮発性記憶素子およびその製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 47
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 63
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 56
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 103
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 99
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 79
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 70
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000010030 laminating Methods 0.000 abstract 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 84
- 239000000463 material Substances 0.000 description 20
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 14
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 8
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 8
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 8
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 6
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000005055 memory storage Effects 0.000 description 3
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010037 TiAlN Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910000314 transition metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
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- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body
- H01L27/10—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body
- H01L27/10—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration
- H01L27/101—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration including resistors or capacitors only
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B63/00—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices
- H10B63/20—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices comprising selection components having two electrodes, e.g. diodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B63/00—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices
- H10B63/20—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices comprising selection components having two electrodes, e.g. diodes
- H10B63/22—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices comprising selection components having two electrodes, e.g. diodes of the metal-insulator-metal type
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B63/00—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices
- H10B63/80—Arrangements comprising multiple bistable or multi-stable switching components of the same type on a plane parallel to the substrate, e.g. cross-point arrays
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/011—Manufacture or treatment of multistable switching devices
- H10N70/061—Patterning of the switching material
- H10N70/066—Patterning of the switching material by filling of openings, e.g. damascene method
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/20—Multistable switching devices, e.g. memristors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/821—Device geometry
- H10N70/826—Device geometry adapted for essentially vertical current flow, e.g. sandwich or pillar type devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/841—Electrodes
- H10N70/8418—Electrodes adapted for focusing electric field or current, e.g. tip-shaped
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/881—Switching materials
- H10N70/883—Oxides or nitrides
- H10N70/8833—Binary metal oxides, e.g. TaOx
Description
かかる構成では、抵抗変化素子に必要十分な電流を印加することができる。
図1から図5は、本発明の第1の実施の形態を示す図である。図1(a)に本実施の形態の不揮発性記憶素子20の概略断面図を示す。図1(b)に不揮発性記憶素子20の構成を簡素化した変形例の不揮発性記憶素子30の概略断面図を示す。
交互に印加すると、11KΩの高抵抗値と2.5KΩの低抵抗値を交互に示すことが確認された。これらの動作は、上記電気的パルスを、パルス幅が100nsec、電圧が±4.3Vに設定して、極性を交互に印加した場合に、1000回以上連続で高速に上記した高抵抗値と低抵抗値が交互に安定して得られることを確認した。抵抗変化素子14の上下電極間(12、13の間)には3.3V、ダイオード18の上下電極間(16、17の間)には1Vの電圧がかかっている。よって、本実施形態のような、ダイオード18と抵抗変化素子14を直列に接続したメモリ素子を動作させる場合には、ダイオード18の上部電極(第2の電極)17と抵抗変化素子14の下部電極12の間に4.3Vを印加することになる。
図6は本発明の第2の実施の形態を示す図である。本実施の形態は、第1の実施の形態とは、抵抗変化素子14の上部電極13の断面形状を工夫した点が異なり、これにより不揮発性記憶素子の性能を向上するものである。すなわち、図6(a)は、抵抗変化素子14の上部電極13の断面形状をテーパ形状(可変抵抗膜11に向かってテーパ状に細くなる形状、基板10の主面に平行に切った断面が基板10へ向かって徐々に小さくなる形状)に構成した不揮発性記憶素子45を示している。図6(b)は上部電極13の断面形状の一部が第1のコンタクトホール21の上部に埋め込まれた構成の不揮発性記憶素子50を示す。不揮発性記憶素子50の上部電極13の一部が可変抵抗膜11と共に第1のコンタクトホール21に埋め込まれている。また、上部電極の一部が第2の層間絶縁膜25を貫通する第2のコンタクトホール27に埋め込まれている。また、図6(a)および(b)では、第1の実施の形態と同様に、ダイオード18の絶縁層15または半導体層15が第1の電極16と接触する第1の面積22は、可変抵抗膜11が上部電極13と接触する第2の面積23よりも大きい構成となっている。
図7は本発明の第3の実施の形態を示す図である。本実施の形態は、第1および第2の実施の形態とは、図7(a)に示すように、可変抵抗膜52と上部電極53の断面形状がテーパ形状(下部電極12に向かってテーパ状に細くなる形状、基板10の主面に平行に切った断面が基板10へ向かって徐々に小さくなる形状)で、かつ可変抵抗膜52と上部電極53とが第1の層間絶縁膜19を貫通する第1のコンタクトホール51中に形成されている。図7(b)は図7(a)のDの方向から見た不揮発性記憶素子55の概略断面図を示している。この第3の実施形態においても、第1、第2の実施形態と同様に、ダイオード18の絶縁層15または半導体層15が第1の電極16と接触する第1の面積22は、可変抵抗膜52が上部電極53と接触する第2の面積23よりも大きい構成となっている。図7の構成により、ダイオード18からの印加電流は、第1の面積22で集められて、より小さい第2の面積23に集中し、可変抵抗膜52を介して、第2の面積23より小さい第3の面積24に集中して下部電極12に到達する。すなわち、第1の層間絶縁膜19中の第1のコンタクトホール51の断面形状を深さ方向にテーパ形状に狭く(下部電極12に向かってテーパ状に細くなる形状に、基板10の厚み方向から見たときに基板10へ向かって徐々に小さくなる形状に)形成することにより、この中に埋め込まれる可変抵抗膜51の断面形状も深さ方向にテーパ形状に狭く形成される。さらに、このテーパ形状の第1のコンタクトホール51の上部に上部電極53を埋め込むことにより第1および第2の実施の形態で示す第2の層間絶縁膜が省かれるので、製造工程を一層簡略化することができる。
51を形成し、その内部に可変抵抗膜52と上部電極53を埋め込む工程を除くと、その他の製造プロセスは、上述した第2の実施形態で説明したような、図4、図5のプロセスを同様に適用することができる。
図8は本発明の第4の実施の形態を示す図である。本実施の形態は、第1の実施の形態で説明した図1(b)の不揮発性記憶素子30の変形例である。すなわち、図8(a)および(b)において例示されている不揮発性記憶素子60、65は、抵抗変化素子14の構成は図1(b)と基本的には同様であるが、図8(a)では、抵抗変化素子14の上部電極13の上部に段差のある凸部54と平坦部(凹部)56を形成(すなわち、上部電極13の上部中央に凸部54を形成)し、また、図8(b)では上部電極13の上面にエッチングなどで荒らして凹凸面57を形成している。したがって、絶縁層15または半導体層15が、第1の電極16または上部電極13と接触する第1の接触面58が、凹面、凸面または凹凸面である構成になっている。
図9は本発明の第5の実施の形態を示す図である。本実施の形態は、第2の実施の形態として説明した図6(a)の不揮発性記憶素子45の変形例である。すなわち、図9(a)および(b)において例示されている不揮発性記憶素子70、75は、可変抵抗膜61が上部電極63と接触する第2の接触面64が凹面、凸面または凹凸面である構成になっている。このとき、円柱状の第1のコンタクトホール21の中に形成された可変抵抗膜61の上部の第2の接触面64は、図9(a)では可変抵抗膜61の中央に円柱状に凹面が形成され、図9(b)では可変抵抗膜61の上面をエッチングなどで荒らして凹凸面で構成されるので、第2の接触面64の面積である第2の面積23は可変抵抗膜61の下部の第3の面積24よりも大きく構成されている。なお、図9(a)(b)の場合においても、上述した各実施形態と同様に、第1の面積22は第2の面積23よりも大きく構成されている。
図10は本発明の第6の実施の形態を示す図である。本実施の形態は、第2の実施の形態として説明した図6(a)の不揮発性記憶素子45の変形例である。すなわち、図10において例示されている不揮発性記憶素子80において、可変抵抗層11は、その断面形状が、テーパ形状(下部電極12に向かってテーパ状に細くなる形状、基板10の主面に平行に切った断面が基板10へ向かって徐々に小さくなる形状)をなすように構成されている。さらに、上部電極13(第1の電極16)は、その断面形状が、テーパ形状(可変抵抗層11に向かってテーパ状に細くなる形状、基板10の主面に平行に切った断面が基板10へ向かって徐々に小さくなる形状)をなすように構成されている。
図11は本発明の第7の実施の形態を示す図である。本実施の形態は、第2の実施の形態として説明した図6(a)の不揮発性記憶素子45の変形例である。すなわち、図11において例示されている不揮発性記憶素子90において、可変抵抗層11は、その断面形状が、テーパ形状(下部電極12に向かってテーパ状に細くなる形状、基板10の主面に平行に切った断面が基板10へ向かって徐々に小さくなる形状)をなすように構成されている。さらに、上部電極13(第1の電極16)は、その断面形状が、テーパ形状(可変抵抗層11に向かってテーパ状に細くなる形状、基板10の主面に平行に切った断面が基板10へ向かって徐々に小さくなる形状)をなすように構成されている。本実施形態は、上部電極13(第1の電極16)の下端面の面積が、可変抵抗膜11の上端面の面積と等しい点で、第6の実施形態と異なっている。
気的パルス(±4.3V)を第2の電極17と下部電極12間に交互に印加すると、11KΩの高抵抗値と2.5KΩの低抵抗値を交互に示すことが確認された。これらの動作は、上記電気的パルスを、パルス幅が100nsecで、電圧が+3.3Vと−3.3Vに設定して極性を交互に印加した場合に、1000回以上連続で高速に高抵抗値と低抵抗値が交互に安定して得られることを確認した。抵抗変化素子14の上下電極間(12、63の間)には3.3V、ダイオード18の上下電極間(16、17の間)には1Vの電圧がかかっている。よって、本実施形態のような、ダイオード18と抵抗変化素子14を直列に接続したメモリ素子を動作させる場合には、ダイオード18の上部電極(第2の電極)17と抵抗変化素子14の下部電極12の間に4.3Vを印加することになる。
11,52,61 可変抵抗膜
12,12a,12b,12c,12d,12e,12f,12g,12h 下部電極
13,53,63 上部電極
14 抵抗変化素子
15 絶縁層(半導体層)
16 第1の電極
17,17a,17b,17c,17d,17e,17f,17g,17h 第2の電極
18 ダイオード
19 第1の層間絶縁膜
20,30,45,50,55,60,65,70,75 不揮発性記憶素子
40 不揮発性記憶素子アレイ
21,51 第1のコンタクトホール
22 第1の面積
23 第2の面積
24 第3の面積
25 第2の層間絶縁膜
26 第3の層間絶縁膜
27,42 第2のコンタクトホール
41 基板表面
54 凸部
56,62 凹部
57,59,66 凹凸面
58 第1の接触面
64 第2の接触面
Claims (18)
- 基板と、
前記基板上に形成された層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜に覆われた下部電極と前記下部電極よりも基板から遠い側に設けられた上部電極と前記上部電極および前記下部電極の間に介在する可変抵抗膜とを有する抵抗変化素子と、
前記上部電極よりも基板から遠い側に前記上部電極に直列に接続されるように設けられた第1の電極と前記第1の電極よりも基板から遠い側に設けられた第2の電極と前記第1の電極および前記第2の電極の間に介在する絶縁層または半導体層とを有するダイオードと、を備える不揮発性記憶素子であって、
前記層間絶縁膜には前記層間絶縁膜を前記基板の主面に対して略垂直な方向に貫通して前記下部電極に到達するようにコンタクトホールが形成され、
前記可変抵抗膜が前記コンタクトホールに埋め込まれ、
前記絶縁層または前記半導体層が前記第1の電極と接触する部分の面積を第1の面積、前記可変抵抗膜が前記上部電極と接触する部分の面積を第2の面積、前記可変抵抗膜が前記下部電極と接触する部分の面積を第3の面積とするとき、
前記第1の面積が、前記第2の面積および前記第3の面積の少なくとも一方よりも大きい、不揮発性記憶素子。 - 前記第1の面積が前記第2の面積よりも大きい、請求項1に記載の不揮発性記憶素子。
- 前記第1の面積が前記第3の面積よりも大きい、請求項1に記載の不揮発性記憶素子。
- 前記第2の面積が前記第3の面積よりも大きい、請求項1に記載の不揮発性記憶素子。
- 前記可変抵抗膜は、前記下部電極に向かってテーパ状に細くなるように構成されている、請求項1に記載の不揮発性記憶素子。
- 前記コンタクトホールが前記下部電極に向かってテーパ状に細くなるように形成されている、請求項1に記載の不揮発性記憶素子。
- 前記上部電極の少なくとも一部が前記コンタクトホールに埋め込まれている、請求項1に記載の不揮発性記憶素子。
- 前記上部電極と前記第1の電極とが前記コンタクトホールに埋め込まれている、請求項1に記載の不揮発性記憶素子。
- 前記上部電極と前記第1の電極とは1個の共通電極である、請求項1に記載の不揮発性記憶素子。
- 前記共通電極は、前記可変抵抗膜に向かってテーパ状に細くなるように構成されている、請求項9に記載の不揮発性記憶素子。
- 前記ダイオードは、MIMダイオード、MSMダイオードまたはショットキーダイオードである、請求項1に記載の不揮発性記憶素子。
- 前記上部電極の一部が前記可変抵抗膜の中央部に凸状に埋め込まれている、請求項5に記載の不揮発性記憶素子。
- 前記絶縁層または半導体層が前記第1の電極と接触する面を第1の接触面とするとき、
前記第1の接触面が、凹面、凸面または凹凸面である、請求項1に記載の不揮発性記憶素子。 - 前記可変抵抗膜が前記上部電極と接触する面を第2の接触面とするとき、
前記第2の接触面が、凹面、凸面または凹凸面である、請求項1に記載の不揮発性記憶素子。 - 請求項1に記載の不揮発性記憶素子を複数備えた不揮発性記憶素子アレイであって、
前記下部電極が前記基板の主面に平行な第1の平面内において互いに平行に延びるように複数形成され、
前記第2の電極が前記第1の平面に平行な第2の平面内において互いに平行に延びるようにかつ前記複数の下部電極と立体交差するように複数形成され、
前記複数の下部電極および前記複数の第2の電極の立体交差点のそれぞれに対応して下部電極および第2の電極の間に介在するように可変抵抗膜が設けられることにより、
前記立体交差点のそれぞれに対応して請求項1に記載の不揮発性記憶素子が形成されている、不揮発性記憶素子アレイ。 - 基板上に下部電極を形成する下部電極形成工程と、
前記下部電極上に可変抵抗膜を形成する抵抗膜形成工程と、
前記可変抵抗膜上に上部電極を形成する上部電極形成工程と、
前記上部電極上に第1の電極を形成する第1の電極形成工程と、
前記第1の電極上に絶縁層または半導体層を形成する絶縁層または半導体層形成工程と、
前記絶縁層または半導体層上に第2の電極を形成する第2の電極形成工程と、を備え、
前記抵抗膜形成工程は、
前記下部電極を覆う層間絶縁膜を形成する工程と、
前記層間絶縁膜を貫通するコンタクトホールを前記下部電極上に形成するホール形成工程と、
前記コンタクトホールに前記可変抵抗膜を埋め込む埋込工程と、を有し、
前記絶縁層または前記半導体層が前記電極と接触する部分の面積を第1の面積、前記可変抵抗膜が前記上部電極と接触する部分の面積を第2の面積、前記可変抵抗膜が前記下部電極と接触する部分の面積を第3の面積とするとき、前記第1の面積が、前記第2の面積および前記第3の面積の少なくとも一方よりも大きい、不揮発性記憶素子の製造方法。 - 請求項16に記載の不揮発性記憶素子の製造方法を用いたクロスポイント型の不揮発性記憶素子アレイの製造方法であって、
前記下部電極形成工程は、複数の下部電極を前記基板の主面に平行な第1の平面内において互いに平行に延びるように形成する工程であり、
前記第2の電極形成工程は、前記第1の平面に平行な第2の平面内において互いに平行に延びるようにかつ前記複数の下部電極と立体交差するように形成する工程である、不揮発性記憶素子アレイの製造方法。 - 前記ホール形成工程は、前記コンタクトホールを前記下部電極に向かってテーパ状に細くなるように形成するものである、請求項16に記載の不揮発性記憶素子の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006281081 | 2006-10-16 | ||
JP2006281081 | 2006-10-16 | ||
PCT/JP2007/068392 WO2008047530A1 (en) | 2006-10-16 | 2007-09-21 | Non-volatile storage device and method for manufacturing the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP4118942B2 true JP4118942B2 (ja) | 2008-07-16 |
JPWO2008047530A1 JPWO2008047530A1 (ja) | 2010-02-25 |
Family
ID=39313778
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007557255A Active JP4118942B2 (ja) | 2006-10-16 | 2007-09-21 | 不揮発性記憶素子およびその製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8796660B2 (ja) |
JP (1) | JP4118942B2 (ja) |
KR (1) | KR101046852B1 (ja) |
CN (1) | CN101501850B (ja) |
WO (1) | WO2008047530A1 (ja) |
Families Citing this family (61)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20090026580A (ko) * | 2007-09-10 | 2009-03-13 | 삼성전자주식회사 | 저항 메모리 소자 및 그 형성방법 |
JP5159270B2 (ja) * | 2007-11-22 | 2013-03-06 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP2011151049A (ja) * | 2008-05-16 | 2011-08-04 | Panasonic Corp | 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法 |
KR101009334B1 (ko) * | 2008-07-24 | 2011-01-19 | 주식회사 하이닉스반도체 | 저항성 메모리 소자 및 그 제조 방법 |
US8227788B2 (en) | 2008-11-19 | 2012-07-24 | Panasonic Corporation | Nonvolatile memory element, and nonvolatile memory device |
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JP2010225741A (ja) | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP4810581B2 (ja) | 2009-03-25 | 2011-11-09 | 株式会社東芝 | 不揮発性記憶装置 |
JP4756079B2 (ja) * | 2009-03-25 | 2011-08-24 | 株式会社東芝 | 不揮発性記憶装置及びその製造方法 |
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US9601692B1 (en) | 2010-07-13 | 2017-03-21 | Crossbar, Inc. | Hetero-switching layer in a RRAM device and method |
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US8502185B2 (en) | 2011-05-31 | 2013-08-06 | Crossbar, Inc. | Switching device having a non-linear element |
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US9627443B2 (en) | 2011-06-30 | 2017-04-18 | Crossbar, Inc. | Three-dimensional oblique two-terminal memory with enhanced electric field |
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-
2007
- 2007-09-21 KR KR1020097002998A patent/KR101046852B1/ko active IP Right Grant
- 2007-09-21 US US12/375,881 patent/US8796660B2/en active Active
- 2007-09-21 CN CN2007800296070A patent/CN101501850B/zh active Active
- 2007-09-21 JP JP2007557255A patent/JP4118942B2/ja active Active
- 2007-09-21 WO PCT/JP2007/068392 patent/WO2008047530A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101501850A (zh) | 2009-08-05 |
KR20090064365A (ko) | 2009-06-18 |
WO2008047530A1 (en) | 2008-04-24 |
CN101501850B (zh) | 2011-01-05 |
US8796660B2 (en) | 2014-08-05 |
KR101046852B1 (ko) | 2011-07-06 |
JPWO2008047530A1 (ja) | 2010-02-25 |
US20090321711A1 (en) | 2009-12-31 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080401 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080423 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4118942 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110502 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110502 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120502 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120502 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130502 Year of fee payment: 5 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
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