JP5284270B2 - 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法 - Google Patents
不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5284270B2 JP5284270B2 JP2009538914A JP2009538914A JP5284270B2 JP 5284270 B2 JP5284270 B2 JP 5284270B2 JP 2009538914 A JP2009538914 A JP 2009538914A JP 2009538914 A JP2009538914 A JP 2009538914A JP 5284270 B2 JP5284270 B2 JP 5284270B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- wiring
- interlayer insulating
- insulating layer
- contact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 143
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 16
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 614
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims abstract description 218
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 35
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 48
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 41
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 31
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 31
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 22
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 17
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 16
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 36
- 239000010408 film Substances 0.000 description 26
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 11
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 8
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 8
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 8
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 6
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 5
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 4
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910000314 transition metal oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 3
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 3
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 229910000428 cobalt oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- IVMYJDGYRUAWML-UHFFFAOYSA-N cobalt(ii) oxide Chemical compound [Co]=O IVMYJDGYRUAWML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 229910000480 nickel oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N oxonickel Chemical compound [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001935 vanadium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N nonaoxidotritungsten Chemical compound O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 silicon fluorine oxide Chemical compound 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B63/00—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body
- H01L27/10—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration
- H01L27/102—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration including bipolar components
- H01L27/1021—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration including bipolar components including diodes only
Description
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る不揮発性半導体記憶装置の構成を説明する断面図である。
図2は、本発明の第2の実施の形態に係る不揮発性半導体記憶装置の構成を説明する断面図である。第1の実施の形態との違いは、第2の層間絶縁層12の上に引き出し用の上層配線13ではなく、クロスポイントメモリアレイの2層目の構造が積層されていることである。なお、第1の実施の形態に共通する構造については本実施形態では説明を省略する。この不揮発性半導体記憶装置の構成は、第1の実施の形態に係る構造に加えて、第2の層間絶縁層12上には、第1のコンタクト14、第2のコンタクト15を被覆して全面に形成された第3の層間絶縁層16と、この第3の層間絶縁層16上に第2の配線11と直交するように形成されたストライプ形状の第3の配線24と、第3の配線24を被覆して第3の層間絶縁層16上に形成された第4の層間絶縁層25と、第4の層間絶縁層25上に形成された上層配線13とを備えている。また、第2の配線11と第3の配線24が直交する領域の第2の層間絶縁層12及び第3の層間絶縁層16を貫通して第2のメモリセルホール17が形成され、この第2のメモリセルホール17中には、第2の配線11に接続する第2の抵抗変化層18と、第2の抵抗変化層18上に形成された第2のダイオード素子の下部電極20とを備えている。また、第3の配線24は第2のダイオード素子の半導体層21と第2のダイオード素子の上部電極22と第3の配線の抵抗率の低い導電層23からなり、第2のダイオード素子の下部電極20、第2のダイオード素子の半導体層21、第2のダイオード素子の上部電極22で第2のダイオード素子19(MSMダイオード)が構成されている。第1の配線2は、第1の層間絶縁層3と第2の層間絶縁層12を貫通して形成された第1のコンタクト14と、第3の層間絶縁層16と第4の層間絶縁層25を貫通して形成された第3のコンタクト26を積層したスタックコンタクトにより上層配線13と接続され、第2の配線11は、第2の層間絶縁層12を貫通して形成された第2のコンタクト15と第3の層間絶縁層16と第4の層間絶縁層25を貫通して形成された第3のコンタクト26を積層したスタックコンタクトにより上層配線13と接続され、第3の配線24は第4の層間絶縁層25を貫通して形成された第4のコンタクト27で上層配線13と接続される。
図3は、本発明の第3の実施の形態に係る不揮発性半導体記憶装置の構成を説明する断面図である。第2の実施の形態との違いは、第4の層間絶縁層25の上に引き出し用の上層配線13ではなく、クロスポイントメモリアレイの3層目以降の構造が積層されていることである。なお、第1、第2の実施の形態に共通する構造については本実施形態では説明を省略する。この不揮発性半導体記憶装置の第N層(以下、Nは3以上の整数とする)目のクロスポイントメモリアレイの構成は、第Nの配線31と、第Nの配線31上に形成された第(2N−1)の層間絶縁層32と、この第(2N−1)の層間絶縁層32上に形成された第2Nの層間絶縁層33と、第2Nの層間絶縁層33上に第Nの配線31と直交するように形成されたストライプ形状の第(N+1)の配線41と、第(N+1)の配線41を被覆して形成された第(2N+1)の層間絶縁層42と、第(2N+1)の層間絶縁層42上に形成された上層配線13とを備えている。また、第Nの配線31と第(N+1)の配線41が直交する領域の第(2N−1)の層間絶縁層32及び第2Nの層間絶縁層33を貫通して第Nのメモリセルホール34が形成され、この第Nのメモリセルホール34中には、第Nの配線31に接続する第Nの抵抗変化層35と、第Nの抵抗変化層35上に形成された第Nのダイオード素子の下部電極37とを備えている。また、第(N+1)の配線41は第Nのダイオード素子の半導体層40と第Nのダイオード素子の上部電極39と第(N+1)の配線の抵抗率の低い導電層38からなり、第Nのダイオード素子の下部電極37、第Nのダイオード素子の半導体層40、第Nのダイオード素子の上部電極39で第Nのダイオード素子36(MSMダイオード)が構成されている。
図4は、本発明の第4の実施の形態に係る不揮発性半導体記憶装置の構成を説明する断面図である。第1の実施の形態との違いは、第1の層間絶縁層3の下層にトランジスタ48などの周辺回路が形成されていることである。なお、第1の実施の形態に共通する構造については本実施形態では説明を省略する。この不揮発性半導体記憶装置は、第1の実施の形態に係る構造に加えて、基板1上に形成されたクロスポイントメモリアレイの周辺回路を形成するトランジスタ48と、このトランジスタ48を被覆して基板1上に形成された基板と配線間の絶縁層49と、この絶縁層49を貫通して形成された配線とトランジスタの接続コンタクト47から構成される。第1の配線2は、第1の抵抗変化層5と接続するクロスポイントメモリアレイの配線2Aと、クロスポイントメモリアレイを駆動するための周辺回路を構成するための配線2Bからなる。クロスポイントメモリアレイの配線2A、周辺回路用の配線2Bは、ともに第1の層間絶縁層3と第2の層間絶縁層12を貫通して形成された第1のコンタクト14を介して、上層配線13に接続される。トランジスタ48についても、接続コンタクト47、周辺回路用の配線2B、第1のコンタクト14を介して、上層配線13に接続される。
図5は、本発明の第5の実施の形態に係る不揮発性半導体記憶装置の構成を説明する断面図である。第2の実施の形態との違いは、第1の層間絶縁層3の下層にトランジスタ48などの周辺回路が形成されていることである。なお、第2の実施の形態に共通する構造については本実施形態では説明を省略する。この不揮発性半導体記憶装置は、第2の実施の形態に係る構造に加えて、基板1上に形成されたクロスポイントメモリアレイの周辺回路を形成するトランジスタ48と、このトランジスタ48を被覆して基板1上に形成された基板と配線間の絶縁層49と、この絶縁層49を貫通して形成された配線とトランジスタの接続コンタクト47から構成される。第1の配線2は、第1の抵抗変化層5と接続するクロスポイントメモリの配線2Aと、クロスポイントメモリアレイを駆動するための周辺回路を構成するための配線2Bからなる。クロスポイントメモリアレイの配線2A、周辺回路用の配線2Bは、ともに第1の層間絶縁層3と第2の層間絶縁層12を貫通して形成された第1のコンタクト14、第3の層間絶縁層16と第4の層間絶縁層25を貫通して形成された第3のコンタクト26を介して、上層配線13に接続される。トランジスタ48についても、接続コンタクト47、周辺回路用の配線2B、第1のコンタクト14、第3のコンタクト26を介して、上層配線13に接続される。
図6は、本発明の第1の実施の形態に係る単層構造のクロスポイントメモリアレイの第1の変形例を示した断面図である。第1の実施の形態との違いは、第1のメモリセルホール4に第1のダイオード素子の金属電極7Aが埋め込まれている点、第2の配線11Aが第1のダイオード素子の半導体層8Aと第2の配線の抵抗率の低い導電層10との積層構造である点である。金属電極7A、半導体層8Aでショットキーダイオードとなる第1のダイオード素子6Aを構成している。このようなショットキーダイオードの構成の場合には、多数キャリアが支配的であるので電流容量を大きくでき、かつ高速動作を行うことができる。抵抗変化層が同極性の異なる大小の電圧を印加することにより抵抗変化する、いわゆるユニポーラ型の抵抗変化層に適する。
次に、図8(a)〜図8(e)を用いて本発明の第1の形態の不揮発性半導体記憶装置の製造方法について説明する。
次に、図9(a)〜 図9(g)を用いて本発明の第2の形態の不揮発性半導体記憶装置の製造方法について説明する。なお、クロスポイントメモリアレイの第1層目までの製造方法は、図8(a)〜図8(d)と同様であるので、ここでは省略している。また配線、層間絶縁層、抵抗変化層、ダイオード素子、コンタクトに用いられた材料なども、本発明の第1の実施形態の製造方法の具体的態様で示したので、ここでは省略する。
2 第1の配線
2A メモリセル領域の第1の配線
2B 周辺回路領域の第1の配線
3 第1の層間絶縁層
4 第1のメモリセルホール
5 第1の抵抗変化層
6 第1のダイオード素子(MSMダイオード)
6A 第1のダイオード素子(ショットキーダイオード)
6B 第1のダイオード素子(pn接合ダイオード)
7 第1のダイオード素子の下部電極(MSMダイオード)
7A 第1のダイオード素子の金属電極(ショートキーダイオード)
7B 第1のダイオード素子のn型半導体層(pn接合ダイオード)
8 第1のダイオード素子の半導体層(MSMダイオード)
8A 第1のダイオード素子の半導体層(ショットキーダイオード)
8B 第1のダイオード素子のp型半導体層(pn接合ダイオード)
9 第1のダイオード素子の上部電極(MSMダイオード)
10 第2の配線の抵抗率の低い導電層
11 第2の配線(MSMダイオードの一部を含む)
11A 第2の配線(ショットキーダイオードの一部を含む)
11B 第2の配線(pn接合ダイオードの一部を含む)
12 第2の層間絶縁層
13 引き出しコンタクトに接続される上層配線
14 第1のコンタクト
15 第2のコンタクト
16 第3の層間絶縁層
17 第2のメモリセルホール
18 第2の抵抗変化層
19 第2のダイオード素子(MSMダイオード)
20 第2のダイオード素子の下部電極(MSMダイオード)
21 第2のダイオード素子の半導体層(MSMダイオード)
22 第2のダイオード素子の上部電極(MSMダイオード)
23 第3の配線の抵抗率の低い導電層
24 第3の配線
25 第4の層間絶縁層
26 第3のコンタクト
27 第4のコンタクト
28 第(N−1)のダイオード素子の半導体層(MSMダイオード)
29 第(N−1)のダイオード素子の上部電極(MSMダイオード)
30 第Nの配線の抵抗率の低い導電層
31 第Nの配線
32 第(2N−1)の層間絶縁層
33 第2Nの層間絶縁層
34 第Nのメモリセルホール
35 第Nの抵抗変化層
36 第Nのダイオード素子(MSMダイオード)
37 第Nのダイオード素子の下部電極(MSMダイオード)
38 第(N+1)の配線の抵抗率の低い導電層
39 第Nのダイオード素子の上部電極(MSMダイオード)
40 第Nのダイオード素子の半導体層(MSMダイオード)
41 第(N+1)の配線
42 第(2N+1)の層間絶縁層
43 第(2N−1)のコンタクト
44 第2Nのコンタクト
45 第2N+1のコンタクト
46 第2N+2のコンタクト
47 配線とトランジスタの接続コンタクト
48 トランジスタ(ゲート電極)
49 配線と基板間の層間絶縁層
Claims (15)
- 基板と、
前記基板上に形成されたストライプ形状の第1の配線と、
前記第1の配線上に形成された第1の層間絶縁層と、
前記第1の配線上の前記第1の層間絶縁層に形成された第1のメモリセルホールと、
前記第1のメモリセルホールを介して前記第1の配線に接続される第1の抵抗変化層と、
前記第1の抵抗変化層上に形成される第1の非オーミック性素子と、
前記第1の層間絶縁層上に形成されかつ前記第1の配線と直交しストライプ形状を有する第2の配線と、
前記第2の配線上に形成された第2の層間絶縁層と、
前記第2の層間絶縁層上に形成された上層配線を備え、
前記第2の配線は前記第1の非オーミック性素子の少なくとも一部を含む複数層からなり前記第2の配線の最上層に導電層を有するとともに前記第2の配線の最下層に前記非オーミック性素子の一部である、半導体層もしくは絶縁体層を有し、
前記第1の非オーミック性素子は、複数層の半導体層の積層構成、金属電極体層と絶縁体層との積層構成、または、金属電極体層と半導体層との積層構成からなり、前記第1のメモリセルホール中に前記積層構成のいずれか1層が埋め込み形成され、かつ前記積層構成の前記1層以外の層の内の半導体層もしくは絶縁体層は、前記第1のメモリセルホールの開口より大きな面積を有し、前記第1の層間絶縁層上に形成されており、
前記第1の配線は前記第1の層間絶縁層と前記第2の層間絶縁層を貫通して形成された第1のコンタクトで前記上層配線と接続され、
前記第2の配線の最上層は前記第2の層間絶縁層を貫通して形成された第2のコンタクトで前記上層配線と接続されていることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 前記第2の配線は、前記上層配線を介してのみ、前記基板上に形成されたクロスポイントメモリの周辺回路を形成するトランジスタと電気的に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 基板と、
前記基板上に形成されたストライプ形状の第1の配線と、
前記第1の配線上に形成された第1の層間絶縁層と、
前記第1の配線上の前記第1の層間絶縁層に形成された第1のメモリセルホールと、
前記第1のメモリセルホールを介して前記第1の配線に接続される第1の抵抗変化層と、
前記第1の抵抗変化層上に形成される第1の非オーミック性素子と、
前記第1の層間絶縁層上に形成されかつ前記第1の配線と直交しストライプ形状を有する第2の配線と、
前記第2の配線上に形成された第2の層間絶縁層と、
前記第2の層間絶縁層上に形成された第3の層間絶縁層と、
前記第2の配線上の前記第2の層間絶縁層及び前記第3の層間絶縁層を貫通して形成された第2のメモリセルホールと、
前記第2のメモリセルホールを介して前記第2の配線に接続される第2の抵抗変化層と、
前記第2の抵抗変化層上に形成される第2の非オーミック性素子と、
前記第3の層間絶縁層上に形成されかつ前記第2の配線と直交しストライプ形状を有する第3の配線と、
前記第3の配線上に形成された第4の層間絶縁層と、
前記第4の層間絶縁層上に形成された上層配線を備え、
前記第2の配線及び前記第3の配線はそれぞれ前記第1の非オーミック性素子及び前記第2の非オーミック性素子の少なくとも一部を含む複数層からなり、前記第2の配線及び前記第3の配線の最上層に導電層を有するとともに前記第2の配線及び前記第3の配線の最下層に前記非オーミック性素子の一部である、半導体層もしくは絶縁体層を有し、
前記第1の非オーミック性素子は、複数層の半導体層の積層構成、金属電極体層と絶縁体層との積層構成、または、金属電極体層と半導体層との積層構成からなり、前記第1のメモリセルホール中に前記積層構成のいずれか1層が埋め込み形成され、かつ前記積層構成の前記1層以外の層の内の半導体層もしくは絶縁体層は、前記第1および第2のメモリセルホールの開口より大きな面積を有し、前記第1の層間絶縁層上に形成されており、
前記第2の非オーミック性素子は、複数層の半導体層の積層構成、金属電極体層と絶縁体層との積層構成、または、金属電極体層と半導体層との積層構成からなり、前記第2のメモリセルホール中に前記積層構成のいずれか1層が埋め込み形成され、かつ前記積層構成の前記1層以外の層の内の半導体層もしくは絶縁体層は、前記第2のメモリセルホールの開口より大きな面積を有し、前記第2の層間絶縁層上に形成されており、
前記第1の配線は、前記第1の層間絶縁層と前記第2の層間絶縁層を貫通して形成された第1のコンタクトと、前記第3の層間絶縁層と前記第4の層間絶縁層を貫通して形成された第3のコンタクトを積層したスタックコンタクトにより前記上層配線と接続され、
前記第2の配線の最上層は、前記第2の層間絶縁層を貫通して形成された第2のコンタクトと前記第3の層間絶縁層と前記第4の層間絶縁層を貫通して形成された前記第3のコンタクトを積層したスタックコンタクトにより前記上層配線と接続され、
前記第3の配線の最上層は、前記第4の層間絶縁層を貫通して形成された第4のコンタクトで前記上層配線と接続されていることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 前記第2の配線と前記第3の配線とは、前記上層配線を介してのみ、前記基板上に形成されたクロスポイントメモリの周辺回路を形成するトランジスタと電気的に接続されていることを特徴とする請求項3に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記第2の層間絶縁層、前記第3の層間絶縁層、前記第2のメモリセルホール中に埋め込まれた前記第2の抵抗変化層および前記第2の非オーミック性素子、前記第3の配線を1つの構成単位として、前記構成単位をさらに1層以上積層した不揮発性半導体記憶装置において、
上層配線を除く前記配線はコンタクトを1層以上積層して前記上層配線に接続され、
上層配線と最下層配線を除く中間配線はそれぞれ互いに前記上層配線を介してのみ電気的に接続されていることを特徴とする請求項3または4に記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記第1の配線は、前記第1の抵抗変化層に接続される配線と、前記第1の配線より下層にあるトランジスタに接続される配線とからなることを特徴とする請求項1から5までのいずれか1項に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記1層以上のコンタクトを積層して形成されるスタックコンタクトにおいて、その積層位置が上下の配線層の間の高さで接続されていることを特徴とする請求項3から5までのいずれか1項に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記第1の非オーミック性素子が、半導体層と、前記半導体層を上下の金属電極体層で挟んだ3層の積層構成からなるMSMダイオードであり、前記第1の抵抗変化層側の前記金属電極体層が前記第1のメモリセルホール中に埋め込み形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記第1の非オーミック性素子が、半導体層と金属電極体層との2層の積層構成からなるショットキーダイオードであり、前記金属電極体層が前記第1のメモリセルホール中に埋め込まれていることを特徴とする請求項1または2に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記第1の非オーミック性素子が、p型半導体層とn型半導体層との2層の積層構成からなるpn接合ダイオードであり、前記p型半導体層または前記n型半導体層が前記第1のメモリセルホール中に埋め込まれていることを特徴とする請求項1または2に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記第1および第2の非オーミック性素子が、半導体層と、前記半導体層を上下の金属電極体層で挟んだ3層の積層構成からなるMSMダイオードであり、前記第1および第2の抵抗変化層側の前記金属電極体層が前記第1および第2のメモリセルホール中に埋め込み形成されていることを特徴とする請求項3に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記第1および第2の非オーミック性素子が、半導体層と金属電極体層との2層の積層構成からなるショットキーダイオードであり、前記金属電極体層が前記第1および第2のメモリセルホール中に埋め込まれていることを特徴とする請求項3に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記第1および第2の非オーミック性素子が、p型半導体層とn型半導体層との2層の積層構成からなるpn接合ダイオードであり、前記p型半導体層または前記n型半導体層が前記第1および第2のメモリセルホール中に埋め込まれていることを特徴とする請求項3に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 基板上にストライプ形状の第1の配線を形成する工程と、
前記第1の配線を含む前記基板上に第1の層間絶縁層を形成する工程と、
前記第1の配線上に前記第1の層間絶縁層の所定の位置に第1のメモリセルホールを形成する工程と、
前記第1のメモリセルホール中に第1の抵抗変化層を埋め込み形成する工程と、
前記第1のメモリセルホール内に形成された前記第1の抵抗変化層の上に、第1の非オーミック性素子を構成する、複数層の半導体層の積層構成、金属電極体層と絶縁体層との積層構成、または、金属電極体層と半導体層との積層構成のうちの少なくとも1層をさらに埋め込み形成する工程と、
前記第1の非オーミック性素子を構成する前記積層構成のうちの前記1層以外の層の半導体層もしくは絶縁体層を含む第2の配線を、前記第3の層間絶縁層上に、最上層が導電層となり、最下層が前記半導体層もしくは前記絶縁体層となるように、少なくとも前記第2のメモリセルホールの開口より大きな面積にて形成する工程と、
前記第2の配線を含む前記第1の層間絶縁層上に第2の層間絶縁層を形成する工程と、
前記第1の配線上に前記第1の層間絶縁層及び前記第2の層間絶縁層を貫通する第1のコンタクトと、前記第2の配線上に前記第2の層間絶縁層を貫通する第2のコンタクトを同時に形成する工程と、
前記第2の層間絶縁層上に前記第1のコンタクトと前記第2のコンタクトに接続される上層配線を形成する工程と
を含むことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置の製造方法。 - 基板上にストライプ形状の第1の配線を形成する工程と、
前記第1の配線を含む前記基板上に第1の層間絶縁層を形成する工程と、
前記第1の配線上に前記第1の層間絶縁層の所定の位置に第1のメモリセルホールを形成する工程と、
前記第1のメモリセルホール中に第1の抵抗変化層を埋め込み形成する工程と、
前記第1のメモリセルホール内に形成された前記第1の抵抗変化層の上に、第1の非オーミック性素子を構成する、複数層の半導体層の積層構成、金属電極体層と絶縁体層との積層構成、または、金属電極体層と半導体層との積層構成のうちの少なくとも1層をさらに埋め込み形成する工程と、
前記第1の非オーミック性素子を構成する前記積層構成のうちの前記1層以外の層の半導体層もしくは絶縁体層を含む第2の配線を、前記第1の層間絶縁層上に、最上層が導電層となり、最下層が前記半導体層もしくは前記絶縁体層となるように、少なくとも前記第1のメモリセルホールの開口より大きな面積にて形成する工程と、
前記第2の配線を含む前記第1の層間絶縁層上に第2の層間絶縁層を形成する工程と、
前記第1の配線上の前記第1の層間絶縁層及び前記第2の層間絶縁層を貫通する第1のコンタクトと、前記第2の配線上の前記第2の層間絶縁層を貫通する第2のコンタクトを同時に形成する工程と、
前記第2の層間絶縁膜と前記第1のコンタクトと前記第2のコンタクトの表面に第3の層間絶縁層を形成する工程と、
前記第2の配線上に前記第2の層間絶縁層及び前記第3の層間絶縁層を貫通して所定の位置に第2のメモリセルホールを形成する工程と、
前記第2のメモリセルホール中に第2の抵抗変化層を埋め込み形成する工程と、
前記第2のメモリセルホール内に形成された前記第1の抵抗変化層の上に、第2の非オーミック性素子を構成する複数層の半導体層の積層構成、金属電極体層と絶縁体層との積層構成、または、金属電極体層と半導体層との積層構成のうちの少なくとも1層をさらに埋め込み形成する工程と、
前記第2の非オーミック性素子を構成する前記積層構成のうちの前記1層以外の層の半導体層もしくは絶縁体層を含む第3の配線を、前記第1の層間絶縁層上に、最上層が導電層となり、最下層が前記半導体層もしくは前記絶縁体層となるように、少なくとも前記第1のメモリセルホールの開口より大きな面積にて形成する工程と、
前記第3の配線を含む前記第3の層間絶縁層上に第4の層間絶縁層を形成する工程と、
前記第1のコンタクトと前記第2のコンタクト上の前記第3の層間絶縁層及び前記第4の層間絶縁層を貫通する第3のコンタクトと、前記第3の配線上の前記第4の層間絶縁層を貫通する第4のコンタクトを同時に形成する工程と、
前記第4の層間絶縁層上に第3のコンタクトと第4のコンタクトに接続される上層配線を形成する工程と
を含むことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009538914A JP5284270B2 (ja) | 2007-10-30 | 2008-10-22 | 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007281181 | 2007-10-30 | ||
JP2007281181 | 2007-10-30 | ||
JP2009538914A JP5284270B2 (ja) | 2007-10-30 | 2008-10-22 | 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法 |
PCT/JP2008/002992 WO2009057262A1 (ja) | 2007-10-30 | 2008-10-22 | 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2009057262A1 JPWO2009057262A1 (ja) | 2011-03-10 |
JP5284270B2 true JP5284270B2 (ja) | 2013-09-11 |
Family
ID=40590669
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009538914A Expired - Fee Related JP5284270B2 (ja) | 2007-10-30 | 2008-10-22 | 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8253136B2 (ja) |
JP (1) | JP5284270B2 (ja) |
CN (1) | CN101842897B (ja) |
WO (1) | WO2009057262A1 (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009069252A1 (ja) * | 2007-11-29 | 2009-06-04 | Panasonic Corporation | 不揮発性記憶装置およびその製造方法 |
US8017514B2 (en) * | 2008-05-05 | 2011-09-13 | International Business Machines Corporation | Optically transparent wires for secure circuits and methods of making same |
JP2011066347A (ja) * | 2009-09-18 | 2011-03-31 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
JP5406314B2 (ja) | 2010-01-25 | 2014-02-05 | パナソニック株式会社 | 不揮発性半導体記憶素子の製造方法および不揮発性半導体記憶装置の製造方法 |
CN102709469A (zh) * | 2011-03-28 | 2012-10-03 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 相变存储器的形成方法 |
JP6180700B2 (ja) * | 2011-09-09 | 2017-08-16 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
KR20130071006A (ko) * | 2011-12-20 | 2013-06-28 | 삼성전자주식회사 | 가변 저항 메모리 장치 및 그 형성 방법 |
CN104272464B (zh) | 2012-04-19 | 2017-08-11 | 卡内基·梅隆大学 | 金属‑半导体‑金属(msm)异质结二极管 |
CN103377899A (zh) * | 2012-04-25 | 2013-10-30 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 金属栅极制造方法和cmos制造方法 |
US9543423B2 (en) | 2012-09-04 | 2017-01-10 | Carnegie Mellon University | Hot-electron transistor having multiple MSM sequences |
JP2014082279A (ja) * | 2012-10-15 | 2014-05-08 | Panasonic Corp | 不揮発性記憶装置及びその製造方法 |
TWI500135B (zh) * | 2012-12-10 | 2015-09-11 | Ind Tech Res Inst | 堆疊式功率元件模組 |
CN103296051A (zh) * | 2013-05-30 | 2013-09-11 | 清华大学 | 具有肖特基势垒结构的阻变存储单元及其形成方法 |
US9112148B2 (en) | 2013-09-30 | 2015-08-18 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | RRAM cell structure with laterally offset BEVA/TEVA |
US9276057B2 (en) * | 2014-01-27 | 2016-03-01 | United Microelectronics Corp. | Capacitor structure and method of manufacturing the same |
US9178144B1 (en) | 2014-04-14 | 2015-11-03 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | RRAM cell with bottom electrode |
US9209392B1 (en) | 2014-10-14 | 2015-12-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | RRAM cell with bottom electrode |
KR102468257B1 (ko) * | 2016-08-08 | 2022-11-18 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 전자 장치 및 그 제조 방법 |
US20180138292A1 (en) * | 2016-11-11 | 2018-05-17 | Sandisk Technologies Llc | Methods and apparatus for three-dimensional nonvolatile memory |
JP2019114698A (ja) | 2017-12-25 | 2019-07-11 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11214521A (ja) * | 1998-01-22 | 1999-08-06 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体集積回路および半導体集積回路の製造方法 |
JP2005522045A (ja) * | 2002-04-04 | 2005-07-21 | 株式会社東芝 | 相変化メモリ装置 |
JP2005217402A (ja) * | 2004-01-27 | 2005-08-11 | Hewlett-Packard Development Co Lp | 自動位置合わせされた整流素子を用いるナノメートルスケールのメモリデバイスおよびその作成方法 |
JP2007184086A (ja) * | 2006-01-04 | 2007-07-19 | Samsung Electronics Co Ltd | 相変化メモリ装置 |
JP2007281208A (ja) * | 2006-04-07 | 2007-10-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 多層抵抗変化素子アレイ、抵抗変化装置、多層不揮発性記憶素子アレイ、及び不揮発性記憶装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2739855B2 (ja) | 1995-12-14 | 1998-04-15 | 日本電気株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
US6531371B2 (en) | 2001-06-28 | 2003-03-11 | Sharp Laboratories Of America, Inc. | Electrically programmable resistance cross point memory |
US6753561B1 (en) | 2002-08-02 | 2004-06-22 | Unity Semiconductor Corporation | Cross point memory array using multiple thin films |
JP2004319587A (ja) | 2003-04-11 | 2004-11-11 | Sharp Corp | メモリセル、メモリ装置及びメモリセル製造方法 |
KR100773537B1 (ko) | 2003-06-03 | 2007-11-07 | 삼성전자주식회사 | 한 개의 스위칭 소자와 한 개의 저항체를 포함하는비휘발성 메모리 장치 및 그 제조 방법 |
JP2005285796A (ja) | 2004-03-26 | 2005-10-13 | Sharp Corp | 半導体集積回路装置の製造方法、および半導体集積回路装置 |
KR100657911B1 (ko) | 2004-11-10 | 2006-12-14 | 삼성전자주식회사 | 한 개의 저항체와 한 개의 다이오드를 지닌 비휘발성메모리 소자 |
KR100593750B1 (ko) | 2004-11-10 | 2006-06-28 | 삼성전자주식회사 | 이성분계 금속 산화막을 데이터 저장 물질막으로 채택하는교차점 비휘발성 기억소자 및 그 제조방법 |
KR100697282B1 (ko) | 2005-03-28 | 2007-03-20 | 삼성전자주식회사 | 저항 메모리 셀, 그 형성 방법 및 이를 이용한 저항 메모리배열 |
US20070132049A1 (en) | 2005-12-12 | 2007-06-14 | Stipe Barry C | Unipolar resistance random access memory (RRAM) device and vertically stacked architecture |
KR100791074B1 (ko) * | 2006-08-23 | 2008-01-02 | 삼성전자주식회사 | 귀금속을 함유하는 장벽막을 갖는 콘택 구조체, 이를채택하는 강유전체 메모리 소자 및 그 제조방법들 |
KR100909537B1 (ko) * | 2007-09-07 | 2009-07-27 | 주식회사 동부하이텍 | 반도체 소자 및 그 제조 방법 |
-
2008
- 2008-10-22 CN CN2008801142939A patent/CN101842897B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2008-10-22 US US12/738,778 patent/US8253136B2/en active Active
- 2008-10-22 JP JP2009538914A patent/JP5284270B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2008-10-22 WO PCT/JP2008/002992 patent/WO2009057262A1/ja active Application Filing
-
2012
- 2012-05-31 US US13/485,203 patent/US8389990B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11214521A (ja) * | 1998-01-22 | 1999-08-06 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体集積回路および半導体集積回路の製造方法 |
JP2005522045A (ja) * | 2002-04-04 | 2005-07-21 | 株式会社東芝 | 相変化メモリ装置 |
JP2005217402A (ja) * | 2004-01-27 | 2005-08-11 | Hewlett-Packard Development Co Lp | 自動位置合わせされた整流素子を用いるナノメートルスケールのメモリデバイスおよびその作成方法 |
JP2007184086A (ja) * | 2006-01-04 | 2007-07-19 | Samsung Electronics Co Ltd | 相変化メモリ装置 |
JP2007281208A (ja) * | 2006-04-07 | 2007-10-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 多層抵抗変化素子アレイ、抵抗変化装置、多層不揮発性記憶素子アレイ、及び不揮発性記憶装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101842897B (zh) | 2011-11-02 |
US8389990B2 (en) | 2013-03-05 |
US8253136B2 (en) | 2012-08-28 |
WO2009057262A1 (ja) | 2009-05-07 |
CN101842897A (zh) | 2010-09-22 |
US20120298945A1 (en) | 2012-11-29 |
US20100237313A1 (en) | 2010-09-23 |
JPWO2009057262A1 (ja) | 2011-03-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5284270B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法 | |
JP4611443B2 (ja) | 不揮発性記憶装置およびその製造方法 | |
JP4598147B2 (ja) | 不揮発性記憶装置およびその製造方法 | |
JP5178743B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法 | |
JP4167298B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法 | |
JP4526587B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法 | |
JP5107252B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法 | |
JP5056096B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法 | |
JP2010067942A (ja) | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 | |
JP2008306011A (ja) | 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法 | |
WO2009139185A1 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法 | |
JP2010135581A (ja) | 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120918 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121114 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130326 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130411 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130507 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130529 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5284270 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |