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KR102600229B1
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KR102596988B1
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USD922229S1
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KR20200141002A
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2020-12-17 |
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배기 가스 분석을 포함한 기상 반응기 시스템을 사용하는 방법
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KR102918757B1
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석영 에피택셜 챔버를 세정하는 방법
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KR20200143254A
(ko)
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조
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KR102911421B1
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KR102895115B1
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KR102860110B1
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토폴로지-제어된 비정질 탄소 중합체 막을 형성하는 방법
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KR20210024423A
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USD940837S1
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USD949319S1
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USD930782S1
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USD979506S1
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비스(디에틸아미노)실란을 사용하여 peald에 의해 개선된 품질을 갖는 실리콘 산화물 막을 증착하기 위한 방법
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KR102868968B1
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칼코지나이드 막 및 상기 막을 포함한 구조체를 증착하기 위한 방법 및 장치
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희생 캡핑 층을 이용한 선택적 증착 방법
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KR102733104B1
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通过循环等离子体增强沉积工艺形成拓扑选择性氧化硅膜的方法
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
활성 종을 이용하기 위한 가스 분배 어셈블리를 포함한 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법
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기판 표면 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조
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도핑된 반도체 층을 갖는 구조체 및 이를 형성하기 위한 방법 및 시스템
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기판의 표면 상에 탄소 함유 물질을 증착하는 방법, 상기 방법을 사용하여 형성된 구조물, 및 상기 구조물을 형성하기 위한 시스템
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CN120432376A
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KR20210132600A
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JP7736446B2
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KR102788543B1
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TWI911214B
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KR20210145079A
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KR102795476B1
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KR102702526B1
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KR20210146802A
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TWI876048B
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TWI908816B
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USD1060598S1
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2021-12-03 |
2025-02-04 |
Asm Ip Holding B.V. |
Split showerhead cover
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WO2025104050A1
(en)
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2023-11-17 |
2025-05-22 |
Merck Patent Gmbh |
Polymer and composition comprising the same
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