JP2015193916A - 錫または錫合金の電気めっき浴、およびバンプの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の電気めっき浴は、無機酸および有機酸、並びにその水溶性塩と;ポリオキシアルキレンフェニルエーテルまたはその塩、およびポリオキシアルキレン多環フェニルエーテルまたはその塩よりなる群から選択される少なくとも一種の非イオン界面活性剤と;脂肪族アルデヒド、芳香族アルデヒド、脂肪族ケトン、および芳香族ケトンよりなる群から選択される少なくとも一種と、α,β−不飽和カルボン酸若しくはそのアミド、またはこれらの塩との両方を含むレベリング剤と、を含む。
【選択図】なし
Description
アセチルチオ尿素、アリルチオ尿素、エチレンチオ尿素、二酸化チオ尿素、チオセミカルバジド、およびテトラメチルチオ尿素よりなる群から選択される少なくとも一種であり、前記非芳香族チオール化合物が、メルカプト酢酸、メルカプトコハク酸、メルカプト乳酸、およびこれらの水溶性塩よりなる群から選択される少なくとも一種である。
(1)界面活性剤として、ポリオキシアルキレンフェニルエーテルまたはその塩、およびポリオキシアルキレン多環フェニルエーテルまたはその塩よりなる群から選択される少なくとも一種(ここで、ポリオキシアルキレンフェニルエーテルを構成するフェニル、およびポリオキシアルキレン多環フェニルエーテルを構成する多環フェニルは、炭素数1〜24のアルキル基、またはヒドロキシ基で置換されていても良い)の非イオン界面活性剤を用い、且つ、
(2)レベリング剤として、
(A)脂肪族アルデヒド、芳香族アルデヒド、脂肪族ケトン、および芳香族ケトンよりなる群から選択される少なくとも一種と;
(B)α,β−不飽和カルボン酸若しくはそのアミド、またはこれらの塩
を用いることによって初めて所期の目的が達成されることを見出し、本発明を完成した。
本発明の電気めっき浴は、錫(純錫)または錫合金を含むことを前提とする。
無機酸および有機酸は、電気めっき浴の導電性を高めて、めっき成分(錫または錫合金)の析出効率を高める成分である。本発明に用いられる無機酸および有機酸は、めっき浴に通常用いられるものであれば特に限定されないが、例えば、硫酸、塩酸、硝酸、りん酸、スルファミン酸などの無機酸;有機スルホン酸(アルカンスルホン酸、アルカノールスルホン酸など)、カルボン酸(芳香族カルボン酸、脂肪族飽和カルボン酸、アミノカルボン酸など)などが挙げられる。液の安定性などを考慮すれば、好ましくは有機スルホン酸であり、より好ましくはメタンスルホン酸である。
繰り返し述べるように本発明は、界面活性剤として、特定の非イオン界面活性剤を選択した点に技術的意義を有する発明である。具体的には、本発明では、ポリオキシアルキレンフェニルエーテルまたはその塩、およびポリオキシアルキレン多環フェニルエーテルまたはその塩よりなる群から選択される少なくとも一種の非イオン界面活性剤を用いる。ここで、上記ポリオキシアルキレンフェニルエーテルを構成するフェニル、および前記ポリオキシアルキレン多環フェニルエーテルを構成する多環フェニルは、炭素数1〜24のアルキル基、またはヒドロキシ基で置換されていても良い。
更に本発明では、上記特定の非イオン界面活性剤に加えて、下記(A)、(B)の二種類のレベリング剤を両方含むことが必要である。レベリング剤は、金属皮膜を緻密化し、めっき皮膜の平滑性を向上させる目的で、めっき浴に通常含まれるものであるが、本発明では、リセス埋め性を高め、ボイドの発生を抑制する目的で、以下の二種類のレベリング剤を用いている。前述したように下記(A)、(B)はいずれも、レベリング剤として公知の成分であり、これまでは、実質的にこれらの一方、特には、例えば前述した特許文献1の実施例に示すようにレベリング作用の大きい下記(A)のレベリング剤を単独で用いることが多かった。しかしながら、リセス埋め性と共にボイドの発生を抑えるためには、これらの両方を用いることが不可欠であることが判明した。
(A)脂肪族アルデヒド、芳香族アルデヒド、脂肪族ケトン、および芳香族ケトンよりなる群から選択される少なくとも一種
(B)α,β−不飽和カルボン酸若しくはそのアミド、またはこれらの塩
・ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、アリルアルデヒドなどの脂肪族アルデヒド;
・ベンズアルデヒド、2−クロロベンズアルデヒド、3−クロロベンズアルデヒド、4−クロロベンズアルデヒド、2,4−ジクロロベンズアルデヒド、2,6−ジクロロベンズアルデヒド、2,4,6−トリクロロベンズアルデヒド、1−ナフトアルデヒド、2−ナフトアルデヒド、2−ヒドロキシベンズアルデヒド、3−ヒドロキシベンズアルデヒド、4−ヒドロキシベンズアルデヒド、2−メチルベンズアルデヒド、3−メチルベンズアルデヒド、4−メチルベンズアルデヒド、m−アニスアルデヒド、o−アニスアルデヒド、p−アニスアルデヒドなどの芳香族アルデヒド;
・アセチルアセトンなどの脂肪族ケトン;
・ベンジリデンアセトン(ベンザルアセトンと同義)、2−クロロアセトフェノン、3−クロロアセトフェノン、4−クロロアセトフェノン、2,4−ジクロロアセトフェノン、2,4,6−トリクロロアセトフェノンなどの芳香族ケトン。
例えば、めっき液の安定性向上の目的で、チオアミド化合物、および非芳香族チオール化合物よりなる群から選択される少なくとも一種が含まれていても良い。
また、例えば、有機添加剤を液中に分散させる目的で、有機溶媒の少なくとも一種が含まれていても良い。上記有機溶媒として、例えば、2−プロパノールなどの1価アルコール類、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコールなどの2価アルコール類などが挙げられる。
繰り返し述べるように本発明では、特定の非イオン界面活性剤を用いるところに技術的意義を有するが、本発明の作用を阻害しない範囲であれば、それ以外の界面活性剤を併用することもできる。
また、例えば、酸化防止剤が含まれていても良い。酸化防止剤は、電気めっき浴中に含まれる2価のSnイオンや、他の添加成分の酸化を防止して、電気めっき浴を安定化させる作用がある。上記酸化防止剤の種類は、電気めっき浴に通常用いられるものであれば特に限定されないが、例えば、カテコール、ヒドロキノン、4−メトキシフェノールなどが挙げられる。
本発明に規定する特定の非イオン界面活性剤およびレベリング剤の有用性を調べるため、下記表1に記載の種々の成分(金属塩、酸、界面活性剤、レベリング剤、必要に応じてチオアミド化合物および酸化防止剤)を含むめっき浴を作製し、下記表1に記載の基板上に電気錫めっきを行った後、リセス深さおよびボイドの直径を測定した。
・トリスチレン化フェニルエーテルのポリオキシエチレン・ポリオキシプロピレン付加物(青木油脂製のブラウノンKTSP−1604P)
・ポリスチレン化フェニルエーテル硫酸アンモニウムのポリオキシアルキレン付加物(第一工業製薬製のハイテノールNF―13)
・ポリスチレン化フェニルエーテルのポリオキシアルキレン付加物(日本乳化剤製のニューコール2608―F)
・ジスチレン化フェニルエーテルのポリオキシアルキレン付加物(花王製のエマルゲンA−90)
・ナフチルエーテルのポリオキシアルキレン付加物(ポリオキシエチレンの付加モル数は16、ポリオキシプロピレンの付加モル数は4である)
・フェニルエーテルのポリオキシアルキレン付加物(日本乳化剤製のニューコールBNF5−M)
・クミルフェニルエーテルのポリオキシアルキレン付加物(ポリオキシエチレンの付加モル数は20、ポリオキシプロピレンの付加モル数は4である)
・ノニルフェニルエーテルのポリオキシエチレン・ポリオキシプロピレン付加物(青木油脂製のブラウノンNPP−9506)
・ジスチレン化クレゾールのポリオキシアルキレン付加物(ポリオキシエチレンの付加モル数は16、ポリオキシプロピレンの付加モル数は4である)
・2−ウンデシル−1−カルボキシメチル−1−ヒドロキシエチルイミダゾリウムベタイン
・基板(1):ソルダーレジスト層の開口径a=55um、その厚みc=30um、ドライフィルム層の開口径b=70um、その厚みd=40um
・基板(2):ソルダーレジスト層の開口径a=40um、その厚みc=20um、ドライフィルム層の開口径b=100um、その厚みd=40um
めっき浴温度:30℃
電流密度:2A/dm2
めっき時間:30分
めっき皮膜の表面をレーザーテック社製のコンフォーカル顕微鏡C130を用いて測定し、図4に示すように、めっき皮膜表面の最も高い点(凸部)から最も低い点(凹部)までの深さ(最大深さ)をリセス深さとした。本実施例では、上記リセス深さが10um以下のものを合格(リセス埋め性に優れ、平滑である)と評価し、10μmを超えるものを不合格とした。
めっき皮膜を、図5に示すリフロープロファイルでリフロー処理することにより溶融し、バンプを形成した後、内部に発生した種々のボイドの直径(図6を参照)を、デイジ・ジャパン製のX線検査装置XD7600NT Diamondを用いて測定した。本実施例では、直径が最も大きいボイドを選び、その直径が10um以下のものを合格(ボイドの発生なし)と評価し、直径が10μmを超えるものを不合格と評価した。
Claims (7)
- 無機酸および有機酸、並びにその水溶性塩と、界面活性剤と、レベリング剤と、を含む錫または錫合金の電気めっき浴であって、
前記界面活性剤は、ポリオキシアルキレンフェニルエーテルまたはその塩、およびポリオキシアルキレン多環フェニルエーテルまたはその塩よりなる群から選択される少なくとも一種の非イオン界面活性剤であり、
前記ポリオキシアルキレンフェニルエーテルを構成するフェニル、および前記ポリオキシアルキレン多環フェニルエーテルを構成する多環フェニルは、炭素数1〜24のアルキル基、またはヒドロキシ基で置換されていても良く、
前記レベリング剤は、脂肪族アルデヒド、芳香族アルデヒド、脂肪族ケトン、および芳香族ケトンよりなる群から選択される少なくとも一種と;α,β−不飽和カルボン酸若しくはそのアミド、またはこれらの塩である
ことを特徴とする錫または錫合金の電気めっき浴。 - 前記非イオン界面活性剤を構成する多環フェニルは、スチレン化フェニル、ナフチル、クミルフェニル、ノニルフェニル、またはスチレン化クレゾールである請求項1に記載の電気めっき浴。
- 前記非イオン界面活性剤を構成するオキシアルキレンは、エチレンオキシド、およびプロピレンオキシドよりなる群から選択される少なくとも一種である請求項1または2に記載の電気めっき浴。
- 前記非イオン界面活性剤を構成するオキシアルキレンは、エチレンオキシドおよびプロピレンオキシドの共重合物である請求項3に記載の電気めっき浴。
- 更に、チオアミド化合物、および非芳香族チオール化合物よりなる群から選択される少なくとも一種を含有する請求項1〜4のいずれかに記載の電気めっき浴。
- 前記チオアミド化合物が、チオ尿素、ジメチルチオ尿素、ジエチルチオ尿素、トリメチルチオ尿素、N,N’-ジイソプロピルチオ尿素、アセチルチオ尿素、アリルチオ尿素、
エチレンチオ尿素、二酸化チオ尿素、チオセミカルバジド、およびテトラメチルチオ尿素よりなる群から選択される少なくとも一種であり、
前記非芳香族チオール化合物が、メルカプト酢酸、メルカプトコハク酸、メルカプト乳酸、およびこれらの水溶性塩よりなる群から選択される少なくとも一種である請求項5に記載の電気めっき浴。 - 請求項1〜6のいずれかに記載の電気めっき浴を用いて、基体上に錫または錫合金の皮膜を形成した後、リフロー処理を行なうことを特徴とするバンプの製造方法。
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