JP2015193916A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 無機酸および有機酸、並びにその水溶性塩よりなる群から選ばれる少なくとも１種と、界面活性剤と、レベリング剤と、を含む錫または錫合金の電気めっき浴であって、
   前記界面活性剤は、ポリオキシアルキレンフェニルエーテルまたはその塩、およびポリオキシアルキレン多環フェニルエーテルまたはその塩よりなる群から選択される少なくとも一種の非イオン界面活性剤であり、
   前記ポリオキシアルキレンフェニルエーテルを構成するフェニル、および前記ポリオキシアルキレン多環フェニルエーテルを構成する多環フェニルは、炭素数１〜２４のアルキル基、またはヒドロキシ基で置換されていても良く、
   前記レベリング剤は、脂肪族アルデヒド、芳香族アルデヒド、脂肪族ケトン、および芳香族ケトンよりなる群から選択される少なくとも一種と；α，β−不飽和カルボン酸若しくはそのアミド、またはこれらの塩であることを特徴とする錫または錫合金の電気めっき浴。
2. 前記非イオン界面活性剤を構成する多環フェニルは、スチレン化フェニル、ナフチル、クミルフェニル、ノニルフェニル、またはスチレン化クレゾールである請求項１に記載の電気めっき浴。
3. 前記非イオン界面活性剤を構成するオキシアルキレンは、エチレンオキシド、およびプロピレンオキシドよりなる群から選択される少なくとも一種である請求項１または２に記載の電気めっき浴。
4. 前記非イオン界面活性剤を構成するオキシアルキレンは、エチレンオキシドおよびプロピレンオキシドの共重合物である請求項３に記載の電気めっき浴。
5. 更に、チオアミド化合物、および非芳香族チオール化合物よりなる群から選択される少なくとも一種を含有する請求項１〜４のいずれかに記載の電気めっき浴。
6. 前記チオアミド化合物が、チオ尿素、ジメチルチオ尿素、ジエチルチオ尿素、トリメチルチオ尿素、Ｎ，Ｎ’-ジイソプロピルチオ尿素、アセチルチオ尿素、アリルチオ尿素、エチレンチオ尿素、二酸化チオ尿素、チオセミカルバジド、およびテトラメチルチオ尿素よりなる群から選択される少なくとも一種であり、
   前記非芳香族チオール化合物が、メルカプト酢酸、メルカプトコハク酸、メルカプト乳酸、およびこれらの水溶性塩よりなる群から選択される少なくとも一種である請求項５に記載の電気めっき浴。
7. 請求項１〜６のいずれかに記載の電気めっき浴を用いて、基体上に錫または錫合金の皮膜を形成した後、リフロー処理を行なうことを特徴とするバンプの製造方法。