JP2014506001A - 高密度3次元集積コンデンサ - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
本出願は、2010年12月9日に出願された米国特許出願第12/964,049号の継続出願であり、その開示内容は引用することにより本明細書の一部をなすものとする。
10ppm/℃未満の熱膨張係数を有する材料から本質的になる基板の第1の面から材料を除去するステップであって、前記第1の面から該第1の面の反対側の第2の面に向かって延在する複数の第1の開口部を形成し、該第1の開口部は、波形の内面を画定するステップと、
前記内面の上に重なる誘電体層を形成するステップであって、該誘電体層は、前記内面から離れる方を向いた波形の第1の面を有するステップと、
前記誘電体層の前記第1の面の上に重なりかつ前記第1の開口部のそれぞれ内に延在する第1の導電性素子を形成するステップと、
前記誘電体層の波形の第2の面を露出させるように、前記複数の第1の開口部のうちの隣接する開口部の間にある前記基板の材料を除去して、前記第2の面から前記第1の面に向かって延在する複数の第2の開口部を形成するステップと、
前記誘電体層の前記第2の面の上に重なりかつ前記第2の開口部のそれぞれ内に延在する第2の導電性素子を形成するステップと
を含みうる。
少なくとも前記第2の開口部のそれぞれ内において前記第2の導電性素子の面の上に重なる第2のコンデンサ誘電体層を形成するステップと、
少なくとも前記第1の開口部のそれぞれ内において前記第1のコンデンサ誘電体層の面の上に重なる第3の導電性素子を形成するステップと、
少なくとも前記第2の開口部のそれぞれ内において前記第2のコンデンサ誘電体層の面の上に重なる第4の導電性素子を形成するステップと
を更に含みうる。
第1の誘電体領域が、前記第1の導電性プレート及び前記第3の導電性プレート並びに前記第1のコンデンサ誘電体層によって占有されていない各第1の開口部の少なくとも一部分を満たすように、前記第3の導電性素子の上に重なる前記第1の誘電体領域を形成するステップと、
第2の誘電体領域が、前記第2の導電性プレート及び前記第4の導電性プレート並びに前記第2のコンデンサ誘電体層によって占有されていない各第2の開口部の少なくとも一部分を満たすように、前記第4の導電性素子の上に重なる前記第2の誘電体領域を形成するステップと
を更に含みうる。
Claims (60)
- 回路コンポーネント又は超小型電子素子との電気的相互接続用の電極を有するコンポーネントであって、
10ppm/℃未満の熱膨張係数を有する材料から本質的になる基板であって、第1の面と、該第1の面の反対側の第2の面と、該第1の面から下方に延在する開口部とを有する、基板と、
前記基板と接触して形成されている第1のコンデンサであって、
第1のプレート及び第2のプレートである第1の一対の導電性プレート、並びに第3のプレート及び第4のプレートである第2の一対の導電性プレートであって、各プレートは、前記開口部の内面に沿って延在し、前記第1のプレートは、前記内面の上に重なり、前記第3のプレートは、前記第1のプレートの上に重なりかつ第1のコンデンサ誘電体層によって前記第1のプレートから分離され、前記第2のプレートは、前記第3のプレートの上に重なりかつ第2の誘電体層によって前記第3のプレートから分離され、前記第4のプレートは、前記第2のプレートの上に重なりかつ第3のコンデンサ誘電体層によって前記第2のプレートから分離されている、第1の一対の導電性プレート及び第2の一対の導電性プレートと、
第1の電極及び第2の電極であって、該第1の電極は、前記第1の面において第1の位置に露出しかつ前記第1の一対のプレートに電気的に接続され、該第2の電極は、前記第1の面及び前記第2の面のうちの一方において前記第1の位置から離間した第2の位置に露出しかつ前記第2の一対のプレートに電気的に接続されている、第1の電極及び第2の電極と、
離間した第3の位置及び第4の位置にそれぞれ露出している第3の電極及び第4の電極であって、該第3の電極は前記第1の一対のプレートに電気的に接続され、該第4の電極は前記第2の一対のプレートに電気的に接続されている、第3の電極及び第4の電極とを備える、第1のコンデンサと
を備えてなる、回路コンポーネント又は超小型電子素子との電気的相互接続用の電極を有するコンポーネント。 - 前記プレートのそれぞれを少なくとも1つの隣接する前記プレートから分離する各誘電体層は、少なくとも3の比誘電率kを有する誘電体層である、請求項1に記載のコンポーネント。
- 前記第1の一対のプレート及び前記第2の一対のプレートと前記誘電体層とによって占有されていない前記開口部の部分が、誘電体材料で満たされている、請求項1に記載のコンポーネント。
- 前記基板は、本質的に、半導体、ガラス及びセラミックからなる群から選択される1つの材料からなる、請求項1に記載のコンポーネント。
- 前記第1のコンデンサは、少なくとも1ピコファラッドのキャパシタンスを有する、請求項1に記載のコンポーネント。
- 前記開口部は、前記第1の面に沿った方向に少なくとも5マイクロメートルの幅を有する、請求項1に記載のコンポーネント。
- 前記開口部は、前記第1の面に対して垂直の方向に少なくとも10マイクロメートルの深さを有する、請求項6に記載のコンポーネント。
- 前記開口部は、切頭円錐形状を有し、前記開口部の前記内面は、前記基板の第1の面に対して80度未満の角度で延在する、請求項1に記載のコンポーネント。
- 前記第2の電極は、前記第1の面において露出している、請求項1に記載のコンポーネント。
- 前記第1の一対のプレートは、前記第1の位置と前記第3の位置との間に延びる長寸法を有し、前記第2の一対のプレートは、前記第2の位置と前記第4の位置との間に延びる長寸法を有する、請求項9に記載のコンポーネント。
- 前記第3の電極及び前記第4の電極の、それぞれの前記第1の一対のプレート及び前記第2の一対のプレートへの前記接続は、前記第1のコンデンサのインダクタンスの低減をもたらす、請求項9に記載のコンポーネント。
- 前記開口部は、前記第1の面に対して実質的に平行に延びる長さ寸法と、前記第1の面に対して実質的に平行にかつ前記長さ寸法に対して実質的に垂直に延びる幅寸法とを有し、前記長さ寸法は前記幅寸法よりも大きい、請求項1に記載のコンポーネント。
- 前記開口部は、前記第1の面に対して平行に延びる長さ寸法と、前記第1の面に対して平行にかつ前記長さ寸法に対して垂直に延びる幅寸法とを有し、前記長さ寸法は前記幅寸法と実質的に等しい、請求項1に記載のコンポーネント。
- 前記基板は、前記第1の面の反対側に第2の面を有し、前記開口部は、前記第1の面から前記第2の面に向かって前記基板の厚さを一部分のみ通って延在する、請求項1に記載のコンポーネント。
- 回路コンポーネント又は超小型電子素子との電気的相互接続用の電極を有するコンポーネントであって、
10ppm/℃未満の熱膨張係数を有する材料から本質的になる基板であって、第1の面と、該第1の面の反対側の第2の面と、該第1の面と該第2の面との間に該基板の厚さを貫通して延在する開口部とを有する、基板と、
前記基板と接触して形成されている第1のコンデンサであって、
第1のプレート及び第2のプレートである第1の一対の導電性プレート、並びに第3のプレート及び第4のプレートである第2の一対の導電性プレートであって、各プレートは、前記開口部の内面に沿って延在し、前記第1のプレートは、前記内面の上に重なり、前記第3のプレートは、前記第1のプレートの上に重なりかつ第1のコンデンサ誘電体層によって前記第1のプレートから分離され、前記第2のプレートは、前記第3のプレートの上に重なりかつ第2の誘電体層によって前記第3のプレートから分離され、前記第4のプレートは、前記第2のプレートの上に重なりかつ第3のコンデンサ誘電体層によって前記第2のプレートから分離されている、第1の一対の導電性プレート及び第2の一対の導電性プレートと、
第1の電極及び第2の電極であって、該第1の電極は、前記第1の面において第1の位置に露出しかつ前記第1の一対のプレートに電気的に接続され、該第2の電極は、前記第1の面及び前記第2の面のうちの一方において露出しかつ前記第2の一対のプレートに電気的に接続されている、第1の電極及び第2の電極とを備える、第1のコンデンサと
を備えてなる、回路コンポーネント又は超小型電子素子との電気的相互接続用の電極を有するコンポーネント。 - 前記第1の一対のプレート及び前記第2の一対のプレートは、前記第1の面と前記第2の面との間に前記開口部内を通って延在する、請求項15に記載のコンポーネント。
- 前記第1のコンデンサは、前記第2の面において露出しかつそれぞれ前記第1の一対のプレート及び前記第2の一対のプレートに電気的に接続されている第3の電極及び第4の電極を更に備え、前記第2の電極は、前記第1の面において露出している、請求項16に記載のコンポーネント。
- 前記第1のコンデンサの前記第1の一対のプレート及び前記第2の一対のプレートと、第2のコンデンサの第1の一対のプレート及び第2の一対のプレートとが、前記第1の面と前記第2の面との間に前記開口部内を通って延在し、前記第1のコンデンサ及び前記第2のコンデンサは、前記開口部内において互いから絶縁されている、請求項15に記載のコンポーネント。
- 各コンデンサの前記第1の一対のプレート及び前記第2の一対のプレートは、前記第1の面の上方にも前記第2の面の下方にも延在せず、前記第2の電極は、前記第2の面に露出している、請求項18に記載のコンポーネント。
- 前記第1のプレートは第1の金属から本質的になり、前記第2のプレートは前記第1の金属とは異なる第2の金属から本質的になる、請求項19に記載のコンポーネント。
- 回路コンポーネント又は超小型電子素子との電気的相互接続用の電極を有するコンポーネントであって、
10ppm/℃未満の熱膨張係数を有する材料から本質的になる基板であって、第1の面と、該第1の面の反対側の第2の面と、該第1の面から下方に延在する複数の開口部とを有する、基板と、
前記基板と接触して形成されているコンデンサであって、
第1のプレート及び第2のプレートである第1の一対の導電性プレート、並びに第3のプレート及び第4のプレートである第2の一対の導電性プレートであって、各プレートは、各開口部の内面と、前記複数の開口部のそれぞれの間にある前記基板の或る部分と、に沿って延在し、前記第1のプレートは、前記内面の上に重なり、前記第3のプレートは、前記第1のプレートの上に重なりかつ第1のコンデンサ誘電体層によって前記第1のプレートから分離され、前記第2のプレートは、前記第3のプレートの上に重なりかつ第2の誘電体層によって前記第3のプレートから分離され、前記第4のプレートは、前記第2のプレートの上に重なりかつ第3のコンデンサ誘電体層によって前記第2のプレートから分離されている、第1の一対の導電性プレート及び第2の一対の導電性プレートと、
第1の電極及び第2の電極であって、該第1の電極は、前記第1の面において露出して前記第1の一対のプレートに電気的に接続され、該第2の電極は、前記第1の面及び前記第2の面のうちの一方において露出して前記第2の一対のプレートに電気的に接続されている、第1の電極及び第2の電極とを備える、コンデンサと
を備えてなる、回路コンポーネント又は超小型電子素子との電気的相互接続用の電極を有するコンポーネント。 - 前記第1の一対のプレート及び前記第2の一対のプレートと前記誘電体層とによって占有されていない前記複数の開口部のそれぞれの一部分が、誘電体材料で満たされている、請求項21に記載のコンポーネント。
- 前記複数の開口部のそれぞれは、前記第1の面から前記第2の面に向かって前記基板の厚さを部分的にのみ通って延在する、請求項21に記載のコンポーネント。
- 回路コンポーネント又は超小型電子素子との電気的相互接続用の電極を有するコンポーネントであって、
10ppm/℃未満の熱膨張係数を有する材料から本質的になる基板であって、該基板は、第1の面と、該第1の面の反対側の第2の面と、該第1の面に沿った方向に5マイクロメートルよりも大きい少なくとも1つの寸法を有する、該第1の面内の開口部とを有し、該開口部は前記第1の面から下方に延在する、基板と、
コンデンサであって、
第1の電位及び第2の電位とそれぞれ接続可能な第1の導電性プレート及び第2の導電性プレートであって、該第1のプレート及び該第2のプレートは、前記開口部の内面に沿って延在し、該第1のプレート及び該第2のプレートは、誘電体層によって互いから分離されている、第1の導電性プレート及び第2の導電性プレートと、
第1の電極及び第2の電極であって、該第1の電極は、前記第1の面において第1の位置に露出して前記第1のプレートに電気的に接続され、該第2の電極は、前記第1の面及び前記第2の面のうちの一方において前記第1の位置から離間した第2の位置に露出して前記第2のプレートに電気的に接続されている、第1の電極及び第2の電極と、
離間した第3の位置及び第4の位置にそれぞれ露出している第3の電極及び第4の電極であって、該第3の電極は、前記第1のプレートに電気的に接続され、該第4の電極は、前記第2のプレート電気的に接続されている、第3の電極及び第4の電極とを備える、コンデンサと
を備えてなる、回路コンポーネント又は超小型電子素子との電気的相互接続用の電極を有するコンポーネント。 - 前記第2の電極は、前記第1の面において露出している、請求項24に記載のコンポーネント。
- 前記第1のプレートは、前記第1の位置と前記第3の位置との間に延びる長寸法を有し、前記第2のプレートは、前記第2の位置と前記第4の位置との間に延びる長寸法を有する、請求項25に記載のコンポーネント。
- 回路コンポーネント又は超小型電子素子との電気的相互接続用の電極を有するコンポーネントであって、
10ppm/℃未満の熱膨張係数を有する材料から本質的になる基板であって、該基板は、第1の面と、該第1の面の反対側の第2の面と、該第1の面に沿った方向に5マイクロメートルよりも大きい少なくとも1つの寸法を有する、該第1の面内の開口部とを有し、該開口部は前記第1の面から下方に延在する、基板と、
コンデンサであって、
第1の電位及び第2の電位とそれぞれ接続可能な第1の導電性プレート及び第2の導電性プレートであって、該第1のプレート及び該第2のプレートは、前記開口部の内面に沿って延在し、該第1のプレート及び該第2のプレートは、誘電体層によって互いから分離され、該第1のプレートは、前記基板に接地されている、第1の導電性プレート及び第2の導電性プレートと、
第1の電極及び第2の電極であって、該第1の電極は、前記第1の面において露出して前記第1のプレートに電気的に接続され、該第2の電極は、前記第1の面及び前記第2の面のうちの一方において露出して前記第2のプレートに電気的に接続されている、第1の電極及び第2の電極とを備える、コンデンサと
を備えてなる、回路コンポーネント又は超小型電子素子との電気的相互接続用の電極を有するコンポーネント。 - 回路コンポーネント又は超小型電子素子との電気的相互接続用の電極を有するコンポーネントであって、
10ppm/℃未満の熱膨張係数を有する材料から本質的になる基板であって、該基板は、第1の面と、該第1の面の反対側の第2の面と、該第1の面に沿った方向に5マイクロメートルよりも大きい少なくとも1つの寸法を有する、該第1の面内の開口部とを有し、該開口部は前記第1の面から下方に延在する、基板と、
コンデンサであって、
第1の電位及び第2の電位とそれぞれ接続可能な第1の導電性プレート及び第2の導電性プレートであって、該第1のプレートは、前記開口部の内面から内方に延在する前記基板の導電性部分であり、該第2のプレートは、前記開口部の内面に沿って延在し、該第1のプレート及び該第2のプレートは、誘電体層によって互いから分離されている、第1の導電性プレート及び第2の導電性プレートと、
第1の電極及び第2の電極であって、該第1の電極は、前記第1の面において露出して前記第1のプレートに電気的に接続され、該第2の電極は、前記第1の面及び前記第2の面のうちの一方において露出して前記第2のプレートに電気的に接続されている、第1の電極及び第2の電極とを備える、コンデンサと
を備えてなる、回路コンポーネント又は超小型電子素子との電気的相互接続用の電極を有するコンポーネント。 - 回路コンポーネント又は超小型電子素子との電気的相互接続用の電極を有するコンポーネントであって、
10ppm/℃未満の熱膨張係数を有する材料から本質的になる基板であって、該基板は、第1の面と、該第1の面の反対側の第2の面と、該第1の面に沿った方向に5マイクロメートルよりも大きい少なくとも1つの寸法を有する、該第1の面内の開口部とを有し、該開口部は、前記第1の面と前記第2の面との間に前記基板の厚さを貫通して延在する、基板と、
コンデンサであって、
第1の電位及び第2の電位とそれぞれ接続可能な第1の導電性プレート及び第2の導電性プレートであって、該第1のプレート及び該第2のプレートは、前記開口部の内面に沿って延在し、該第1のプレート及び該第2のプレートは、誘電体層によって互いから分離されている、第1の導電性プレート及び第2の導電性プレートと、
第1の電極及び第2の電極であって、該第1の電極は、前記第1の面において露出して前記第1のプレートに電気的に接続され、該第2の電極は、前記第1の面及び前記第2の面のうちの一方において露出して前記第2のプレートに電気的に接続されている、第1の電極及び第2の電極とを備える、コンデンサと
を備えてなる、回路コンポーネント又は超小型電子素子との電気的相互接続用の電極を有するコンポーネント。 - 前記第1のプレート及び前記第2のプレートは、前記第1の面と前記第2の面との間に前記開口部内を通って延在する、請求項29に記載のコンポーネント。
- 前記コンデンサは、前記第2の面において露出しかつそれぞれ前記第1の一対のプレート及び前記第2の一対のプレートに電気的に接続されている第3の電極及び第4の電極を更に備え、前記第2の電極は、前記第1の面において露出している、請求項30に記載のコンポーネント。
- コンデンサであって、
第1の面と、該第1の面から離れた第2の面と、該第1の面と該第2の面との間に延在する貫通開口部とを有する基板と、
前記第1の面に露出しかつ前記貫通開口部内に延在する第1の金属素子と、
前記第1の金属素子に接続されている第1の電極と、
前記第2の面に露出しかつ前記貫通開口部内に延在する第2の金属素子と、
前記第2の金属素子に接続されている第2の電極であって、前記第1の電極及び該第2の電極は、第1の電位及び第2の電位に接続可能である、第2の電極と、
前記第1の金属素子及び前記第2の金属素子を少なくとも前記貫通開口部内において互いから分離して絶縁するコンデンサ誘電体層であって、波形の形状を有する、コンデンサ誘電体層と
を備えてなる、コンデンサ。 - 前記コンデンサ誘電体層は、少なくとも3の比誘電率kを有する、請求項32に記載のコンデンサ。
- 前記コンデンサ誘電体層の上側面及び下側面はそれぞれ、前記第1の面と前記第2の面との間の前記開口部の高さの少なくとも3倍の長さを有する、請求項32に記載のコンデンサ。
- 前記第1の金属素子及び前記第2の金属素子のそれぞれは、前記コンデンサ誘電体層の面の輪郭に沿う面を有する、請求項32に記載のコンデンサ。
- 前記第1の金属素子及び前記第2の金属素子並びに前記コンデンサ誘電体層によって占有されていない前記開口部の部分が、誘電体材料で満たされている、請求項35に記載のコンデンサ。
- 前記第1の金属素子及び前記第2の金属素子のそれぞれは、前記誘電体材料によって、隣接する第2の部分から分離されている第1の部分を有し、該第2の部分は、該第1の部分に対して実質的に平行である、請求項36に記載のコンデンサ。
- 前記第1の金属素子及び前記第2の金属素子は、それぞれの複数の第1のプレート及び第2のプレートを備え、前記第1のプレート及び前記第2のプレートのそれぞれは、前記開口部内に延在する、請求項32に記載のコンデンサ。
- 前記第1のプレート及び前記第2のプレートのそれぞれは、前記第1の面に沿った方向に少なくとも5マイクロメートルの幅を有する、請求項38に記載のコンデンサ。
- コンデンサ構造体であって、
第1の面と、該第1の面から離れた第2の面と、該第1の面と該第2の面との間に延在する貫通開口部とを有する基板と、
前記第1の面に露出しかつ前記貫通開口部内に延在する第1の金属素子及び第2の金属素子であって、第1のコンデンサ誘電体層が、該第1の金属素子及び該第2の金属素子を少なくとも前記貫通開口部内において互いから分離して絶縁する、第1の金属素子及び第2の金属素子と、
前記第2の面に露出しかつ前記貫通開口部内に延在する第3の金属素子及び第4の金属素子であって、第2のコンデンサ誘電体層が、該第3の金属素子及び該第4の金属素子を少なくとも前記貫通開口部内において互いから分離して絶縁する、第3の金属素子及び第4の金属素子と、
前記第1の金属素子、前記第2の金属素子、前記第3の金属素子、及び前記第4の金属素子にそれぞれ接続されている第1の電極、第2の電極、第3の電極、及び第4の電極であって、該第1の電極及び該第3の電極は、それぞれの第1の電位及び第2の電位に接続可能である、第1の電極、第2の電極、第3の電極、及び第4の電極と、
前記第2の金属素子及び前記第3の金属素子を少なくとも前記貫通開口部内において互いから分離して絶縁する絶縁誘電体層であって、波形の形状を有する、絶縁誘電体層と
を備えてなる、コンデンサ構造体。 - 前記第1の金属素子及び前記第2の金属素子並びに前記第1のコンデンサ誘電体層は、第1のコンデンサを画定し、前記第3の金属素子及び前記第4の金属素子並びに前記第2のコンデンサ誘電体層は、第2のコンデンサを画定する、請求項40に記載のコンデンサ構造体。
- 前記第2の電極及び前記第4の電極は、それぞれの第3の電位及び第4の電位に接続可能である、請求項40に記載のコンデンサ構造体。
- 前記金属素子及び前記誘電体層によって占有されていない前記開口部の部分が、誘電体材料で満たされている、請求項40に記載のコンデンサ構造体。
- 前記第1の金属素子及び第4の金属素子のそれぞれは、前記誘電体材料によって、隣接する第2の部分から分離されている第1の部分を有し、該第2の部分は、該第1の部分に対して実質的に平行である、請求項43に記載のコンデンサ構造体。
- 前記第1のコンデンサ誘電体層及び前記第2のコンデンサ誘電体層のそれぞれは、少なくとも3の比誘電率kを有する、請求項40に記載のコンデンサ構造体。
- 前記開口部内における前記絶縁誘電体層の上側面及び下側面のそれぞれは、前記第1の面と前記第2の面との間の前記開口部の高さの少なくとも3倍を有する少なくとも1つの寸法を有する、請求項40に記載のコンデンサ構造体。
- 前記第1のプレート及び前記第2のプレートは、前記第1の面に露出しているそれぞれの第5の電極及び第6の電極を備え、前記第3のプレート及び前記第4のプレートは、前記第2の面に露出しているそれぞれの第7の電極及び第8の電極を備える、請求項40に記載のコンデンサ構造体。
- 回路コンポーネント又は超小型電子素子との電気的相互接続用の電極を有するコンポーネントを製造する方法であって、
10ppm/℃未満の熱膨張係数を有する材料から本質的になる基板の第1の面から材料を除去するステップであって、前記第1の面から該第1の面の反対側の第2の面に向かって延在する複数の第1の開口部を形成し、該第1の開口部は、波形の内面を画定する、除去するステップと、
前記内面の上に重なる誘電体層を形成するステップであって、該誘電体層は、前記内面から離れる方を向いた波形の第1の面を有する、誘電体層を形成するステップと、
前記誘電体層の前記第1の面の上に重なりかつ前記第1の開口部のそれぞれ内に延在する第1の導電性素子を形成するステップと、
前記誘電体層の波形の第2の面を露出させるように、前記複数の第1の開口部のうちの隣接する開口部の間にある前記基板の材料を除去して、前記第2の面から前記第1の面に向かって延在する複数の第2の開口部を形成するステップと、
前記誘電体層の前記第2の面の上に重なりかつ前記第2の開口部のそれぞれ内に延在する第2の導電性素子を形成するステップと
を含んでなる、回路コンポーネント又は超小型電子素子との電気的相互接続用の電極を有するコンポーネントを製造する方法。 - 前記第1の導電性素子及び前記第2の導電性素子にそれぞれ接続される第1の電極及び第2の電極を形成するステップを更に含み、前記第1の電極及び前記第2の電極は、それぞれの前記第1の面及び前記第2の面において露出し、前記第1の電極及び前記第2の電極は、それぞれの第1の電位及び第2の電位に接続可能である、請求項48に記載の方法。
- 前記誘電体層を形成するステップは、各第1の開口部内において露出している前記内面上への流動性誘電体材料の水溶性めっきによって実行される、請求項48に記載の方法。
- 前記複数の第1の開口部のうちの隣接する開口部の間にある前記基板の材料を除去するステップの前に、材料を前記基板の前記第2の面から除去するステップを更に含み、これにより、前記第1の面と前記第2の面との間の前記基板の厚さを削減する、請求項48に記載の方法。
- 前記基板の前記第2の面から前記材料を除去するステップは、前記第1の導電性素子の面が前記第2の面に露出するように実行される、請求項51に記載の方法。
- 前記第1の導電性素子を形成するステップは、複数の第1のプレートを形成することを含み、第1のプレートのそれぞれは、前記第1の開口部のそれぞれ1つの内部に延在し、前記第2の導電性素子を形成するステップは、複数の第2のプレートを形成することを含み、前記第2のプレートのそれぞれは、前記第2の開口部のそれぞれ1つの内部に延在する、請求項48に記載の方法。
- 前記誘電体層を形成するステップは、コンデンサ誘電体層を形成するものである、請求項48に記載の方法。
- 前記誘電体層を形成するステップは、絶縁誘電体層を形成するものである、請求項48に記載の方法。
- 少なくとも前記第1の開口部のそれぞれの内部において前記第1の導電性素子の面の上に重なる第1のコンデンサ誘電体層を形成するステップと、
少なくとも前記第2の開口部のそれぞれの内部において前記第2の導電性素子の面の上に重なる第2のコンデンサ誘電体層を形成するステップと、
少なくとも前記第1の開口部のそれぞれの内部において前記第1のコンデンサ誘電体層の面の上に重なる第3の導電性素子を形成するステップと、
少なくとも前記第2の開口部のそれぞれの内部において前記第2のコンデンサ誘電体層の面の上に重なる第4の導電性素子を形成するステップと
を更に含む、請求項55に記載の方法。 - 前記第3の導電性素子及び前記第4の導電性素子にそれぞれ接続されている第3の電極及び第4の電極を形成するステップを更に含み、前記第3の電極及び前記第4の電極は、それぞれの前記第1の面及び前記第2の面において露出し、前記第3の電極及び前記第4の電極は、それぞれの第3の電位及び第4の電位に接続可能である、請求項56に記載の方法。
- 第1の誘電体領域が、前記第1の導電性プレート及び前記第3の導電性プレート並びに前記第1のコンデンサ誘電体層によって占有されていない各第1の開口部の少なくとも一部分を満たすように、前記第3の導電性素子の上に重なる前記第1の誘電体領域を形成するステップと、
第2の誘電体領域が、前記第2の導電性プレート及び前記第4の導電性プレート並びに前記第2のコンデンサ誘電体層によって占有されていない各第2の開口部の少なくとも一部分を満たすように、前記第4の導電性素子の上に重なる前記第2の誘電体領域を形成するステップと
を更に含む、請求項56に記載の方法。 - 請求項1、15、21、24、27、28、29、32、又は40のいずれか1項に記載のコンポーネントと、該コンポーネントに電気的に接続されている1つ以上の他の電子コンポーネントとを備えるシステム。
- ハウジングを更に備え、前記構造体及び前記他の電子コンポーネントは、前記ハウジングに取り付けられている、請求項59に記載のシステム。
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