JP7160594B2 - キャパシタ - Google Patents
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Description
上記の薄膜キャパシタを回路基板に搭載する場合、第1外部電極の第1電極部又は第2電極部が当該回路基板のバンプと接合される。例えば、第2電極部が回路基板のバンプと接続される場合には、回路基板から第2電極部を介して第1外部電極に流れ込んだ電流の一部は、第1接続電極部を通って第1電極部に流れる。したがって、上記の薄膜キャパシタにおいては、第1接続電極部を通る電流経路の分だけ経路長が長くなっている。しかしながら、第1接続電極部の厚さを第1電極層の厚さt1及び第2電極層の厚さt2よりも厚くすることにより、第1接続電極部におけるESRの増加が第1外部電極から第2外部電極に至る全経路でのESRに与える影響を抑制することができる。特に、第1接続電極部の厚さを第1電極層の厚さt1及び/又は第2電極層の厚さt2の厚さよりも10倍以上厚くすることにより、全経路でのESRへの影響を大幅に低減できる。
上記の薄膜キャパシタ1を回路基板に搭載する場合、外部電極2の上側電極部2a又は下側電極部2bが当該回路基板のバンプと接合される。例えば、下側電極部2bが回路基板のバンプと接続される場合には、回路基板から下側電極部2bを介して外部電極2に流れ込んだ電流は、接続電極部2cを通って上側電極部2aに流れる。したがって、薄膜キャパシタ1においては、接続電極部2cの長さの分だけ電流経路が長くなっている。しかしながら、接続電極部2cの厚さを下部電極層22の厚さt1及び上部電極層23の厚さt2よりも厚くすることにより、接続電極部2cにおけるESRの増加が薄膜キャパシタ1の全経路でのESRに与える影響を抑制することができる。特に、接続電極部2cの厚さを下部電極層22の厚さt1及び/又は上部電極層23の厚さt2の厚さよりも10倍以上厚くすることにより、接続電極部2cにおける追加された電流経路が、MIM構造体20の全経路でのESRへ与える影響を大幅に低減できる。
2,3,102,103 外部電極
10 基材
11 貫通孔
20 MIM構造体
40 保護層
Claims (9)
- 第1面と前記第1面に対向する第2面とを有し、前記第1面と前記第2面との間を貫通する複数の貫通孔が設けられた基材と、
前記第1面に沿って延伸する第1の部分、前記第2面に沿って延伸する第2の部分、及び、前記複数の貫通孔の内部に前記第1の部分と前記第2の部分とを接続するように設けられた第3の部分を有するMIM構造体と、
前記MIM構造体と電気的に接続される第1外部電極と、
前記MIM構造体と電気的に接続され、前記第1外部電極とは離間して設けられる第2外部電極と、
を備え、
前記第1外部電極及び前記第2外部電極は、前記MIM構造体に前記第1の部分及び前記第2の部分において電気的に接続され、
前記MIM構造体の前記第1の部分、前記第2の部分、及び前記第3の部分はいずれも、第1誘電体層と、前記第1誘電体層の下面に設けられた第1電極層と、前記第1誘電体層の上面に設けられた第2電極層と、を有し、
前記第1外部電極は、前記第1面に沿って延伸する第1電極部と、前記第2面に沿って延伸する第2電極部と、前記第1面と前記第2面とを接続する前記基材の第3面に沿って前記基材の外部において延伸し前記第1電極部と前記第2電極部とを接続する第1接続電極部と、を有し、
前記第2外部電極は、前記第1面に沿って延伸する第3電極部と、前記第2面に沿って延伸する第4電極部と、前記第1面と前記第2面とを接続し前記第3面と対向する前記基材の第4面に沿って前記基材の外部において延伸し前記第1電極部と前記第2電極部とを接続する第2接続電極部と、を有し、
前記基材の外表面の一部は、前記基材の前記第1面、前記第2面、前記第3面、及び前記第4面によって画定される、
キャパシタ。 - 前記第1外部電極及び前記第2外部電極は、前記複数の貫通孔が延伸する方向から見たときに互いと重なり合わないように配置される、
請求項1に記載のキャパシタ。 - 前記第1外部電極は、前記第1接続電極部の厚さT1が前記第1電極層の厚さt1よりも10倍以上厚くなるように構成される、
請求項1又は2に記載のキャパシタ。 - 前記第1外部電極は、前記第1接続電極部の厚さT1が前記第2電極層の厚さt2よりも10倍以上厚くなるように構成される、
請求項1から3のいずれか1項に記載のキャパシタ。 - 前記第2外部電極は、前記第2接続電極部の厚さT2が前記第1電極層の厚さt1よりも10倍以上厚くなるように構成される、
請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のキャパシタ。 - 前記第2外部電極は、前記第2接続電極部の厚さT2が前記第2電極層の厚さt2よりも10倍以上厚くなるように構成される、
請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のキャパシタ。 - 前記MIM構造体を覆うように設けられた保護層をさらに備える、
請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のキャパシタ。 - 請求項1から請求項7のいずれか1項に記載のキャパシタを備える回路基板。
- 請求項8に記載の回路基板を備える電子機器。
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