JP7197311B2 - キャパシタおよびキャパシタの製造方法 - Google Patents
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Description
2,3 外部電極
10 基材
11 トレンチ
20 MIM構造体
21 誘電体層
22 下部電極層
23 上部電極層
40 保護層
Claims (12)
- 基材と、
前記基材に設けられ、50nm以上の厚さを有する、TiNから成る第1電極層と、
前記第1電極層の上に設けられた立方晶系のジルコニアを主成分とする誘電体層と、
前記誘電体層の上に設けられた第2電極層と、
を備え、
前記第1電極層のCuKα線によるX線回折パターンにおいて、回折角36.1°~37.1°の位置に現れるピークの強度は、回折角42.1°~43.1°に現れる回折ピークの強度よりも大きい、
キャパシタ。 - 前記誘電体層は、前記ジルコニアと第2成分との固溶体であり、前記固溶体における前記第2成分の含有量が3mol%未満である、
請求項1に記載のキャパシタ。 - 前記誘電体層は、前記ジルコニアと第2成分との固溶体であり、前記固溶体における前記第2成分の含有量が1mol%未満である、
請求項2に記載のキャパシタ。 - 前記第1電極層のCuKα線によるX線回折において、回折角36.1°~37.1°の位置に現れるピークの強度が、回折角42.1°~43.1°に現れる回折ピークの強度の2倍以上である、
請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のキャパシタ。 - 前記第1電極層のCuKα線によるX線回折において、回折角36.1°~37.1°の位置に現れるピークの強度が、回折角42.1°~43.1°に現れる回折ピークの強度の10倍以上である、
請求項4に記載のキャパシタ。 - 前記基材は、その上面にトレンチが設けられており、
前記第1電極層、前記誘電体層、及び前記第2電極層の各々は、前記トレンチに少なくともその一部が埋め込まれている、
請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のキャパシタ。 - 前記第2電極層は、TiNを主成分とする、
請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のキャパシタ。 - 前記第1電極層と電気的に接続される第1外部電極と、
前記第2電極層と電気的に接続される第2外部電極と、
を備える、
請求項1から請求項7のいずれか1項に記載のキャパシタ。 - 前記第1電極層の厚さは、1000nm以下である、
請求項1から8のいずれか1項に記載のキャパシタ。 - 請求項1から請求項9のいずれか1項に記載のキャパシタを備える回路基板。
- 請求項10に記載の回路基板を備える電子機器。
- 基材を準備する工程と、
前記基材上にTiNから成る第1電極層を50nm以上の厚さに成膜する工程と、
前記第1電極層上に立方晶系のジルコニアを主成分とする誘電体層を成膜する工程と、
前記誘電体層上に第2電極層を成膜する工程と、
を備え、
前記第1電極層のCuKα線によるX線回折パターンにおいて、回折角36.1°~37.1°の位置に現れるピークの強度は、回折角42.1°~43.1°に現れる回折ピークの強度よりも大きい、
キャパシタの製造方法。
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JP2011124539A (ja) | 2009-11-13 | 2011-06-23 | Sony Corp | 印刷回路基板およびその製造方法 |
JP2012142367A (ja) | 2010-12-28 | 2012-07-26 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体デバイスの製造方法および基板処理装置 |
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