JP2014033222A - 環状に配置されているワークピースストッカ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】保管チャンバは、複数の保管コンパートメントと、保管チャンバ内に配置されているロボットハンドラユニットと、ファンフィルタユニットと、を具え、保管コンパートメントは、基板を保管するように構成され、ロボットハンドラユニットは、保管コンパートメント内の基板にアクセスするように動作可能であり、保管コンパートメントは、保管チャンバ内のロボットハンドラユニットの周りで、円形の構成で配置され、基板は、ロボットハンドラの近くの2枚の基板間の間隔はより小さく、ロボットハンドラから遠い2枚の基板間の間隔はより大きいという楔形の構成で保管され、ファンフィルタユニットは、クリーンな空気を、保管コンパートメントからロボットハンドラユニットの方に水平に、保管コンパートメント内に保管される基板を通過して送出するように構成され、楔形の構成は、よりクリーンな気流をロボットハンドラの近くで提供するように動作可能である。
【選択図】図1
Description
ストッカは一般的にワークピース、例えばウェハ、フラットパネルディスプレイ、LCD、フォトリソグラフィレチクルまたはマスクなどを一時的に保管するために半導体製造設備内に設置されている。半導体デバイス、LCDパネルなどの製造プロセスにおいては数百の処理装置が存在し、したがって数百の製造ステップが存在する。ステップ毎またツール毎にウェハ、フラットパネルまたはLCD(以下ではこれらをワークピースと称す)の流れに関してばらつきをなくすことは困難である。プランナが最高であっても、ツールの故障、緊急のロットの提供、計画よりも長く続く周期的なメンテナンスなどの予期せぬシナリオは常に存在するので、所定のツールに関する所定のステップにおいてワークピースが様々に蓄積される。蓄積されたワークピースをストッカに保管し、処理されるまで待機させなければならなくなる。
本発明は、製造設備においてワークピースを保管するための改善されたストッカ、殊に半導体処理のためのウェハストッカまたはレチクルストッカに関する。1つの実施例においては、ワークピースがロボット把持アセンブリの周囲に、有利には環状に固定的に保管されている。この構成においては、3つの自由度を有するように、例えば半径方向の運動、回転運動、垂直方向の運動をするようにロボットハンドラを設計することができ、これにより速度およびスループットを改善することができる。3つの自由度を有するロボットは最小限の粒子しか生じないように良好に設置されており、したがってこの構成によりワークピースの保管に関してクリーンな環境を提供することができる。さらにストッカ保管領域は固定式であり、移動可能な複数のコンポーネントはロボットアセンブリであるので、これは保管ストッカのクリーンな環境にさらに寄与する。
本発明の1つの実施例によるストッカは半導体ウェハおよびレチクルのような汚染に敏感なウェハ形状のアーティクルを保管するために設計されている。そのように設計されたストッカは有利には空間を節約した保管およびフレキシブルな把持を実現するために構成されている。殊に、ストッカはクリーンな状況下にある小さい保管空間において300mm以上の大きさのウェハを多数保管することに適している。
[請求項1]
それぞれが2つの対向する平坦な表面および外周エッジ部を有している複数の平坦基板を保管するストッカにおいて、
前記平坦基板を保持する保管コンパートメントと、
前記基板の前記保管コンパートメントへの移送および前記保管コンパートメントからの移送を行う基板ハンドラとを有し、該基板ハンドラは前記平坦な表面にまで延びることなく前記外周エッジ部を用いて基板を把持することを特徴とする、ストッカ。
[請求項2]
前記平坦基板が垂直に保管されている、請求項1記載のストッカ。
[請求項3]
前記平坦基板が水平に保管されている、請求項1記載のストッカ。
[請求項4]
2つの隣接する基板の間隔は5mm以下である、請求項1記載のストッカ。
[請求項5]
2つの隣接する基板の間隔は2.5mm以下である、請求項1記載のストッカ。
[請求項6]
前記平坦な表面にまで延びることのない前記外周エッジ部を用いた基板の把持は、前記基板間の隙間を前記基板ハンドラから独立させる、請求項1記載のストッカ。
[請求項7]
前記基板ハンドラは前記外周エッジ部を用いて前記基板を保持する爪状の先端部を有する、請求項1記載のストッカ。
[請求項8]
前記基板ハンドラは180°以上の角度で前記基板を把持する、請求項1記載のストッカ。
[請求項9]
前記保管コンパートメントは180°を下回る角度で張られている複数の把持ポイントにおいて前記基板を把持している、請求項1記載のストッカ。
[請求項10]
前記ストッカは前記基板ハンドラを包囲する複数の保管コンパートメントを有する、請求項1記載のストッカ。
[請求項11]
前記ストッカは垂直方向に配置されている複数の保管コンパートメントを有する、請求項1記載のストッカ。
[請求項12]
それぞれが2つの対向する平坦な表面および外周エッジ部を有している複数の平坦基板を保管するストッカにおいて、
前記平坦基板を垂直に保持する保管コンパートメントを有し、
前記基板の前記保管コンパートメントへの移送および前記保管コンパートメントからの移送を行う基板ハンドラを有し、該基板ハンドラは前記平坦な表面にまで延びることなく前記外周エッジ部を用いて基板を把持し、
前記保管コンポーネントに基板を提供するロードポートを有し、該ロードポートは水平に基板を保持し、該ロードポートにおいて前記基板ハンドラは前記基板にアクセス不可能であり、
基板を受け取るスワッピングモジュールを有し、該スワッピングモジュールにおいて前記基板ハンドラは前記基板を把持することを特徴とする、ストッカ。
[請求項13]
前記基板ハンドラは前記ロードポートにおいて前記基板を把持するためのエンドエフェクタを有する、請求項12記載のストッカ。
[請求項14]
前記スワッピングモジュールは基板支持部を有する、請求項12記載のストッカ。
[請求項15]
2つの隣接する基板の間隔は2.5mm以下である、請求項12記載のストッカ。
[請求項16]
前記平坦な表面にまで延びることのない前記外周エッジ部を用いた基板の把持は、前記基板間の隙間を前記基板ハンドラから独立させる、請求項12記載のストッカ。
[請求項17]
前記基板ハンドラは前記外周エッジ部を用いて前記基板を保持する爪状の先端部を有する、請求項12記載のストッカ。
[請求項18]
それぞれが2つの対向する平坦な表面および外周エッジ部を有している複数の平坦基板を保管する方法において、
基板ハンドラによって基板を相互に実質的に平行に保管し、
前記基板ハンドラによって前記基板を搬送し、
前記基板ハンドラは前記平坦な表面にまで延びることなく前記外周エッジ部を用いて前記基板を把持し、
前記平坦な表面にまで延びることのない前記外周エッジ部を用いた基板の把持により、前記基板間の隙間を前記基板ハンドラから独立させることを特徴とする、複数の平坦基板を保管する方法。
[請求項19]
前記平坦な表面にまで延びることのない前記外周エッジ部を用いた基板の把持により、前記基板間の隙間を前記基板ハンドラから独立させる、請求項18記載の方法。
[請求項20]
前記基板ハンドラは前記外周エッジ部を用いて前記基板を保持する爪状の先端部を有する、請求項18記載の方法。
Claims (10)
- 保管チャンバを具えるストッカであって、
前記保管チャンバは、
複数の保管コンパートメントと、
前記保管チャンバ内に配置されているロボットハンドラユニットと、
ファンフィルタユニットと、
を具え、
前記保管コンパートメントは、基板を保管するように構成され、
前記ロボットハンドラユニットは、前記保管コンパートメント内の前記基板にアクセスするように動作可能であり、
前記保管コンパートメントは、前記保管チャンバ内の前記ロボットハンドラユニットの周りで、円形の構成で配置され、
前記基板は、前記ロボットハンドラの近くの2枚の基板間の間隔はより小さく、前記ロボットハンドラから遠い前記2枚の基板間の間隔はより大きいという楔形の構成で保管され、
前記ファンフィルタユニットは、クリーンな空気を、前記保管コンパートメントから前記ロボットハンドラユニットの方に水平に、前記保管コンパートメント内に保管される前記基板を通過して送出するように構成され、
前記楔形の構成は、よりクリーンな気流を前記ロボットハンドラの近くで提供するように動作可能である、
ストッカ。 - 前記複数の保管コンパートメントは、複数の垂直のセクションに配置され、
前記ファンフィルタユニットは、複数のレベルの清浄度を、前記保管コンパートメントの前記複数の垂直のセクションに提供するようにさらに構成されている、
請求項1に記載のストッカ。 - 前記保管コンパートメントの各々は、他の保管コンパートメントから分離され、
前記ファンフィルタユニットは、前記クリーンな空気の各流れが1つの保管コンパートメントを通過し、保管コンパートメント間の相互汚染を最小化するようにさらに構成されている、
請求項1に記載のストッカ。 - 前記ファンフィルタユニットは、前記クリーンな空気の各流れが1枚の基板に当たり、基板間の相互汚染を最小化するように構成されている、
請求項1に記載のストッカ。 - 前記ファンフィルタユニットは、前記クリーンな空気を前記保管チャンバの一番下に送るように構成されている、
請求項1に記載のストッカ。 - 前記基板は、垂直方向に保管され、
前記ロボットハンドラユニットは、前記垂直に保管された基板を扱うエッジグリップを具える、
請求項1に記載のストッカ。 - 保管チャンバを具えるストッカであって、
前記保管チャンバは、
複数の保管コンパートメントと、
前記保管チャンバ内に配置されているロボットハンドラユニットと、
ファンフィルタユニットと、
を具え、
前記保管コンパートメントは、基板を保管するように構成され、
前記保管コンパートメントの各々は、他の保管コンパートメントから分離され、
前記ロボットハンドラユニットは、前記保管コンパートメント内の前記基板にアクセスするように動作可能であり、
前記ファンフィルタユニットは、クリーンな空気を、前記保管コンパートメントから前記ロボットハンドラユニットの方に水平に、前記保管コンパートメント内に保管される前記基板を通過して送出するように構成され、
前記ファンフィルタユニットは、前記クリーンな空気を前記保管チャンバの一番下に送るように構成され、
前記ファンフィルタユニットは、高い圧力を前記保管チャンバ内に提供するように構成され、
前記ファンフィルタユニットは、前記クリーンな空気の各流れが1つの保管コンパートメントを通過し、保管コンパートメント間の相互汚染を最小化するように構成され、
前記ファンフィルタユニットは、前記クリーンな空気の各流れが1枚の基板に当たり、基板間の相互汚染を最小化するように構成されている、
ストッカ。 - 前記基板は、前記ロボットハンドラの近くの2枚の基板間の間隔はより小さく、前記ロボットハンドラから遠い前記2枚の基板間の間隔はより大きいという楔形の構成で保管されている、
請求項7に記載のストッカ。 - 前記複数の保管コンパートメントは、複数の垂直のセクションに配置され、
前記ファンフィルタユニットは、複数のレベルの清浄度を、前記保管コンパートメントの前記複数の垂直のセクションに提供するようにさらに構成されている、
請求項7に記載のストッカ。 - 前記基板は、垂直方向に保管され、
前記ロボットハンドラユニットは、前記垂直に保管された基板を扱うエッジグリップを具える、
請求項7に記載のストッカ。
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