JPH07335733A - ハンドリング治具 - Google Patents
ハンドリング治具Info
- Publication number
- JPH07335733A JPH07335733A JP13269394A JP13269394A JPH07335733A JP H07335733 A JPH07335733 A JP H07335733A JP 13269394 A JP13269394 A JP 13269394A JP 13269394 A JP13269394 A JP 13269394A JP H07335733 A JPH07335733 A JP H07335733A
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- Japan
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- handling jig
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ハンドリング治具に係り、特に半導体装置の
製造工程において用いるハンドリング治具の改良に関
し、大きさの異なる被ハンドリング物を、簡単且つ確実
に支持することが可能となるハンドリング治具の提供を
目的とする。 【構成】 一端にそれぞれ第1及び第2の操作部1a,2a
を有し、他端にそれぞれ第1及び第2の支持部3,4を
備え、この操作部1a,2a の近傍にそれぞれ支点孔1b,2b
を有し、この支点孔1b,2b に嵌合するピン5により結合
された一対のアーム1,2と、このアーム1,2のこの
支点孔1b,2b の近傍に設けられた孔1c,2cに嵌合するピ
ン6,7と、このピン6,7と嵌合する孔をそれぞれ一
端に有し、それぞれの他端の孔に嵌合するピン8を共有
する一対のリンク9,10と、このピン8と嵌合させて設
けた第3の支持部11とからなり、この第1の支持部3と
第2の支持部4と第3の支持部11により被ハンドリング
物を支持するように構成する。
製造工程において用いるハンドリング治具の改良に関
し、大きさの異なる被ハンドリング物を、簡単且つ確実
に支持することが可能となるハンドリング治具の提供を
目的とする。 【構成】 一端にそれぞれ第1及び第2の操作部1a,2a
を有し、他端にそれぞれ第1及び第2の支持部3,4を
備え、この操作部1a,2a の近傍にそれぞれ支点孔1b,2b
を有し、この支点孔1b,2b に嵌合するピン5により結合
された一対のアーム1,2と、このアーム1,2のこの
支点孔1b,2b の近傍に設けられた孔1c,2cに嵌合するピ
ン6,7と、このピン6,7と嵌合する孔をそれぞれ一
端に有し、それぞれの他端の孔に嵌合するピン8を共有
する一対のリンク9,10と、このピン8と嵌合させて設
けた第3の支持部11とからなり、この第1の支持部3と
第2の支持部4と第3の支持部11により被ハンドリング
物を支持するように構成する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ハンドリング治具に係
り、特に半導体装置の製造工程において用いるハンドリ
ング治具の改良に関するものである。
り、特に半導体装置の製造工程において用いるハンドリ
ング治具の改良に関するものである。
【0002】近年のプリント基板の製造工程における基
板モジュールの重量の増大、半導体装置の製造工程にお
ける半導体基板の重量の増大のために、これらの被ハン
ドリング物を確実に支持することが必要になっている。
板モジュールの重量の増大、半導体装置の製造工程にお
ける半導体基板の重量の増大のために、これらの被ハン
ドリング物を確実に支持することが必要になっている。
【0003】以上のような状況からこれらの被ハンドリ
ング物を確実に支持することが可能で、作業性の良いハ
ンドリング治具が要望されている。
ング物を確実に支持することが可能で、作業性の良いハ
ンドリング治具が要望されている。
【0004】
【従来の技術】従来のハンドリング治具について図5〜
図6により詳細に説明する。図5は従来の一例のハンド
リング治具を示す図であり、図6は従来の他の例のハン
ドリング治具を示す図である。
図6により詳細に説明する。図5は従来の一例のハンド
リング治具を示す図であり、図6は従来の他の例のハン
ドリング治具を示す図である。
【0005】従来の一例のハンドリング治具は図5に示
すような3点支持のハンドリング治具である。(特願昭
62−206846号) このハンドリング治具はバネ部23により弾性付勢され、
スライド用長穴24に沿ってスライドするスライドアーム
21,21'とスライドアーム21" の間に被ハンドリング物で
あるウェーハ22を3点で支持するハンドリング治具であ
る。
すような3点支持のハンドリング治具である。(特願昭
62−206846号) このハンドリング治具はバネ部23により弾性付勢され、
スライド用長穴24に沿ってスライドするスライドアーム
21,21'とスライドアーム21" の間に被ハンドリング物で
あるウェーハ22を3点で支持するハンドリング治具であ
る。
【0006】このハンドリング治具の被ハンドリング物
を支持する力は被ハンドリング物の大きさに応じて変化
し、被ハンドリング物が小さくなると支持力が弱くな
り、確実に被ハンドリング物を支持することが困難であ
る。
を支持する力は被ハンドリング物の大きさに応じて変化
し、被ハンドリング物が小さくなると支持力が弱くな
り、確実に被ハンドリング物を支持することが困難であ
る。
【0007】従来の他の例のハンドリング治具は図6に
示すような3点支持のハンドリング治具である。(特願
平4−68541号) このハンドリング治具は、一端に取っ手36を有するレバ
ー34の他端及びその近傍に設けた支持部材31-1及び支持
部材31-2と、この取っ手36に設けたピン35を中心とし、
引張ばね38により弾性付勢されて回転するレバー34の先
端部に設けた支持部材31-3との3点で被ハンドリング物
30を支持するハンドリング治具である。
示すような3点支持のハンドリング治具である。(特願
平4−68541号) このハンドリング治具は、一端に取っ手36を有するレバ
ー34の他端及びその近傍に設けた支持部材31-1及び支持
部材31-2と、この取っ手36に設けたピン35を中心とし、
引張ばね38により弾性付勢されて回転するレバー34の先
端部に設けた支持部材31-3との3点で被ハンドリング物
30を支持するハンドリング治具である。
【0008】このハンドリング治具の被ハンドリング物
30を支持する力は被ハンドリング物30の大きさに応じて
変化し、被ハンドリング物30が小さくなると支持力が弱
くなるので引張ばね38を交換しなければ確実に被ハンド
リング物30を支持することが困難である。
30を支持する力は被ハンドリング物30の大きさに応じて
変化し、被ハンドリング物30が小さくなると支持力が弱
くなるので引張ばね38を交換しなければ確実に被ハンド
リング物30を支持することが困難である。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】以上説明した従来のハ
ンドリング治具においては、バネの弾性により被ハンド
リング物を支持しているので、被ハンドリング物の大き
さが小さくなると支持力が弱くなり、確実に被ハンドリ
ング物を支持することが困難になるという問題点があっ
た。
ンドリング治具においては、バネの弾性により被ハンド
リング物を支持しているので、被ハンドリング物の大き
さが小さくなると支持力が弱くなり、確実に被ハンドリ
ング物を支持することが困難になるという問題点があっ
た。
【0010】本発明は以上のような状況から、大きさの
異なる被ハンドリング物を、簡単且つ確実に支持するこ
とが可能となるハンドリング治具の提供を目的としたも
のである。
異なる被ハンドリング物を、簡単且つ確実に支持するこ
とが可能となるハンドリング治具の提供を目的としたも
のである。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明のハンドリング治
具は、図1に示すように一端にそれぞれ第1及び第2の
操作部1a,2a を有し、他端にそれぞれ第1の支持部3及
び第2の支持部4を備え、この操作部1a,2a の近傍にそ
れぞれ支点孔1b,2b を有し、この支点孔1b,2bに嵌合す
るピン5により結合された一対のアーム1及び2と、こ
のアーム1及び2の支点孔1b,2b の近傍の孔1c,2c に嵌
合するピン6,7と、このピン6,7と嵌合する孔をそ
れぞれ一端に有し、それぞれの他端の孔に嵌合するピン
8を共有する一対のリンク9及び10と、このピン8と嵌
合させて設けた第3の支持部11とからなり、この第1の
支持部3と第2の支持部4と第3の支持部11により円形
の被ハンドリング物或いは角形の被ハンドリング物を支
持するように構成する。
具は、図1に示すように一端にそれぞれ第1及び第2の
操作部1a,2a を有し、他端にそれぞれ第1の支持部3及
び第2の支持部4を備え、この操作部1a,2a の近傍にそ
れぞれ支点孔1b,2b を有し、この支点孔1b,2bに嵌合す
るピン5により結合された一対のアーム1及び2と、こ
のアーム1及び2の支点孔1b,2b の近傍の孔1c,2c に嵌
合するピン6,7と、このピン6,7と嵌合する孔をそ
れぞれ一端に有し、それぞれの他端の孔に嵌合するピン
8を共有する一対のリンク9及び10と、このピン8と嵌
合させて設けた第3の支持部11とからなり、この第1の
支持部3と第2の支持部4と第3の支持部11により円形
の被ハンドリング物或いは角形の被ハンドリング物を支
持するように構成する。
【0012】
【作用】即ち本発明においては、アーム1の操作部1aと
アーム2の操作部2aとの間隔を広げると、アーム1及び
アーム2の他端に設けた支持部3及び支持部4と、アー
ム1の支点孔1bとアーム2の支点孔2b近傍の支持部11と
が外方向に広がり、アーム1の操作部1aとアーム2の操
作部2aとの間隔を狭めると、アーム1及びアーム2の他
端に設けた支持部3及び支持部4と、アーム1の支点孔
1bとアーム2の支点孔2b近傍の支持部11とが内方向に狭
まるので、操作部1a及び操作部2aに加える力の調節によ
り、支持部3、支持部4、支持部11の3点で被ハンドリ
ング物を確実に支持することが可能となる。
アーム2の操作部2aとの間隔を広げると、アーム1及び
アーム2の他端に設けた支持部3及び支持部4と、アー
ム1の支点孔1bとアーム2の支点孔2b近傍の支持部11と
が外方向に広がり、アーム1の操作部1aとアーム2の操
作部2aとの間隔を狭めると、アーム1及びアーム2の他
端に設けた支持部3及び支持部4と、アーム1の支点孔
1bとアーム2の支点孔2b近傍の支持部11とが内方向に狭
まるので、操作部1a及び操作部2aに加える力の調節によ
り、支持部3、支持部4、支持部11の3点で被ハンドリ
ング物を確実に支持することが可能となる。
【0013】
【実施例】以下図1〜図4により本発明の一実施例につ
いて詳細に説明する。図1は本発明による一実施例のハ
ンドリング治具の構造を示す図、図2は本発明による一
実施例のハンドリング治具で円形の被ハンドリング物を
支持した状態を示す図、図3は本発明による一実施例の
ハンドリング治具で角形の被ハンドリング物を支持した
状態を示す図、図4は本発明による一実施例のハンドリ
ング治具の支持部の詳細構造を示す図である。
いて詳細に説明する。図1は本発明による一実施例のハ
ンドリング治具の構造を示す図、図2は本発明による一
実施例のハンドリング治具で円形の被ハンドリング物を
支持した状態を示す図、図3は本発明による一実施例の
ハンドリング治具で角形の被ハンドリング物を支持した
状態を示す図、図4は本発明による一実施例のハンドリ
ング治具の支持部の詳細構造を示す図である。
【0014】本発明による一実施例のハンドリング治具
は図1に示すように、一端に第1の操作部1aを備え、こ
の操作部1aの近傍に支点孔1bを有するアーム1と、一端
に第2の操作部2aを備え、この操作部2aの近傍に支点孔
2bを有するステンレススチールからなるアーム2とをス
テンレススチールからなるピン5により結合したもので
ある。
は図1に示すように、一端に第1の操作部1aを備え、こ
の操作部1aの近傍に支点孔1bを有するアーム1と、一端
に第2の操作部2aを備え、この操作部2aの近傍に支点孔
2bを有するステンレススチールからなるアーム2とをス
テンレススチールからなるピン5により結合したもので
ある。
【0015】これらのアーム1及びアーム2の操作部1a
及び操作部2aの他端に形成した孔1d及び孔2dに嵌合する
ピン13及びピン14に嵌合させてポリエステル・ポリエス
テル・ケトンからなる支持部3及び支持部4を設けてい
る。
及び操作部2aの他端に形成した孔1d及び孔2dに嵌合する
ピン13及びピン14に嵌合させてポリエステル・ポリエス
テル・ケトンからなる支持部3及び支持部4を設けてい
る。
【0016】このアーム1のこの支点孔1bの近傍の孔1c
に嵌合するピン6と嵌合する孔を一端に有し他端に孔を
備えたリンク9の他端の孔と、このアーム2のこの支点
孔2bの近傍の孔2cに嵌合するピン7と嵌合する孔を一端
に有し他端に孔を備えたリンク10の他端の孔とに嵌合す
るピン8を設け、このピン8に嵌合させてポリエステル
・ポリエステル・ケトンからなる第3の支持部11を設け
ている。
に嵌合するピン6と嵌合する孔を一端に有し他端に孔を
備えたリンク9の他端の孔と、このアーム2のこの支点
孔2bの近傍の孔2cに嵌合するピン7と嵌合する孔を一端
に有し他端に孔を備えたリンク10の他端の孔とに嵌合す
るピン8を設け、このピン8に嵌合させてポリエステル
・ポリエステル・ケトンからなる第3の支持部11を設け
ている。
【0017】これらの支持部3、支持部4及び支持部11
を嵌合させているピン13、ピン14及びピン8は図示する
ように 120°間隔で設けている。この 120°間隔は必ず
しも厳密なものでなく三点支持であれば良い。
を嵌合させているピン13、ピン14及びピン8は図示する
ように 120°間隔で設けている。この 120°間隔は必ず
しも厳密なものでなく三点支持であれば良い。
【0018】これらの支持部3、4及び11の構造を支持
部3の場合について図4により詳細に説明する。図4の
(a) 平面図に示すように、溝3aは支持しようとする最小
径の円形の被ハンドリング物の外形に合わせて被ハンド
リング物の厚さの1.25倍の幅、深さ3mmで加工されてお
り、図に示すようにA−A断面部には通常は90°の角度
で深さ3mm の溝3cが形成されている。この溝3cは支持部
11には不要である。
部3の場合について図4により詳細に説明する。図4の
(a) 平面図に示すように、溝3aは支持しようとする最小
径の円形の被ハンドリング物の外形に合わせて被ハンド
リング物の厚さの1.25倍の幅、深さ3mmで加工されてお
り、図に示すようにA−A断面部には通常は90°の角度
で深さ3mm の溝3cが形成されている。この溝3cは支持部
11には不要である。
【0019】図4の(b) A−A断面図に示すように、支
持部3の溝3aには35°の入り勾配が形成されて被ハンド
リング物が入り易いようになっており、その下に溝3cが
形成されている。孔3bはこの支持部3をアーム1の孔1d
にピン13により嵌合させて設ける孔である。
持部3の溝3aには35°の入り勾配が形成されて被ハンド
リング物が入り易いようになっており、その下に溝3cが
形成されている。孔3bはこの支持部3をアーム1の孔1d
にピン13により嵌合させて設ける孔である。
【0020】この溝3cの角度を、角形の被ハンドリング
物16の四隅の角度の内の最小角度にしておけば、角がこ
の溝3cの底部に当たることがなくなり、被ハンドリング
物の辺がこの溝3cの開口に当たるので、角形の被ハンド
リング物を安定して支持することが可能となる。
物16の四隅の角度の内の最小角度にしておけば、角がこ
の溝3cの底部に当たることがなくなり、被ハンドリング
物の辺がこの溝3cの開口に当たるので、角形の被ハンド
リング物を安定して支持することが可能となる。
【0021】また、溝3aが最小径の円形の被ハンドリン
グ物の外形に合わせて加工されているので、より大きな
径を有する被ハンドリング物はこの溝3aの両端に当た
り、円形の被ハンドリング物を安定して支持することが
可能となる。
グ物の外形に合わせて加工されているので、より大きな
径を有する被ハンドリング物はこの溝3aの両端に当た
り、円形の被ハンドリング物を安定して支持することが
可能となる。
【0022】本発明による一実施例のハンドリング治具
で円形の被ハンドリング物を支持する場合には、まず操
作部1aと操作部2aとを離れる方向に移動すると、支持部
3、支持部4及び支持部11がそれぞれ外方向に移動して
その間の距離が大きくなり、溝の深さだけ離れれば支持
部の内側に被ハンドリング物15を置くことができる。
で円形の被ハンドリング物を支持する場合には、まず操
作部1aと操作部2aとを離れる方向に移動すると、支持部
3、支持部4及び支持部11がそれぞれ外方向に移動して
その間の距離が大きくなり、溝の深さだけ離れれば支持
部の内側に被ハンドリング物15を置くことができる。
【0023】ここで操作部1aと操作部2aとを接近する方
向に移動すると、支持部3、支持部4及び支持部11がそ
れぞれ内方向に移動し、図2に示すように支持部3,4,1
1 の溝に被ハンドリング物15が挿入され、それぞれの溝
の両端部で被ハンドリング物15を支持することができ
る。この場合の操作部1aと操作部2aに加える力を調節す
ることにより被ハンドリング物15を確実かつ容易に支持
することが可能となる。
向に移動すると、支持部3、支持部4及び支持部11がそ
れぞれ内方向に移動し、図2に示すように支持部3,4,1
1 の溝に被ハンドリング物15が挿入され、それぞれの溝
の両端部で被ハンドリング物15を支持することができ
る。この場合の操作部1aと操作部2aに加える力を調節す
ることにより被ハンドリング物15を確実かつ容易に支持
することが可能となる。
【0024】本発明による一実施例のハンドリング治具
で角形の被ハンドリング物を支持する場合には、円形の
場合と同様にまず操作部1aと操作部2aとを離れる方向に
移動すると支持部3、支持部4及び支持部11がそれぞれ
外方向に移動してその間の距離が大きくなり、溝の深さ
だけ離れれば、支持部の内側に被ハンドリング物16を置
くことができる。
で角形の被ハンドリング物を支持する場合には、円形の
場合と同様にまず操作部1aと操作部2aとを離れる方向に
移動すると支持部3、支持部4及び支持部11がそれぞれ
外方向に移動してその間の距離が大きくなり、溝の深さ
だけ離れれば、支持部の内側に被ハンドリング物16を置
くことができる。
【0025】ここで操作部1aと操作部2aとを接近する方
向に移動すると、支持部3、支持部4及び支持部11がそ
れぞれ内方向に移動し、支持部3,4の90°の溝に被ハン
ドリング物16の角が挿入され、それぞれの溝の開口で被
ハンドリング物16を支持することができ、支持部11の両
端部で被ハンドリング物16の一辺を支持することができ
る。この場合の操作部1aと操作部2aに加える力を調節す
ることにより、被ハンドリング物16を確実かつ容易に支
持することが可能となる。
向に移動すると、支持部3、支持部4及び支持部11がそ
れぞれ内方向に移動し、支持部3,4の90°の溝に被ハン
ドリング物16の角が挿入され、それぞれの溝の開口で被
ハンドリング物16を支持することができ、支持部11の両
端部で被ハンドリング物16の一辺を支持することができ
る。この場合の操作部1aと操作部2aに加える力を調節す
ることにより、被ハンドリング物16を確実かつ容易に支
持することが可能となる。
【0026】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば極めて簡単な構造を改良したハンドリング治具
の操作部に加える力の調節により、被ハンドリング物を
3点の支持部で確実に支持することが可能となる利点が
あり、著しい信頼性向上の効果が期待できる。
によれば極めて簡単な構造を改良したハンドリング治具
の操作部に加える力の調節により、被ハンドリング物を
3点の支持部で確実に支持することが可能となる利点が
あり、著しい信頼性向上の効果が期待できる。
【図1】 本発明による一実施例のハンドリング治具の
構造を示す図
構造を示す図
【図2】 本発明による一実施例のハンドリング治具で
円形の被ハンドリング物を支持した状態を示す図
円形の被ハンドリング物を支持した状態を示す図
【図3】 本発明による一実施例のハンドリング治具で
角形の被ハンドリング物を支持した状態を示す図
角形の被ハンドリング物を支持した状態を示す図
【図4】 本発明による一実施例のハンドリング治具の
支持部の詳細構造を示す図
支持部の詳細構造を示す図
【図5】 従来の一例のハンドリング治具を示す図
【図6】 従来の他の例のハンドリング治具を示す図
1 アーム 1a 操作部 1b 支点孔 1c 孔 1d 孔 2 アーム 2a 操作部 2b 支点孔 2c 孔 2d 孔 3 支持部 3a 溝 3b 孔 3c 溝 4 支持部 5 ピン 6 ピン 7 ピン 8 ピン 9 リンク 10 リンク 11 支持部 13 ピン 14 ピン 15 被ハンドリング物 16 被ハンドリング物
Claims (3)
- 【請求項1】 一端にそれぞれ第1及び第2の操作部(1
a,2a) を有し、他端にそれぞれ第1及び第2の支持部
(3,4) を備え、前記操作部(1a,2a) の近傍にそれぞれ支
点孔(1b,2b) を有し、該支点孔(1b,2b) に嵌合するピン
(5) により結合された一対のアーム(1,2) と、 前記アーム(1,2) の前記支点孔(1b,2b) の近傍に設けら
れた孔(1c,2c) に嵌合するピン(6,7) と、 該ピン(6,7) と嵌合する孔をそれぞれ一端に有し、それ
ぞれの他端の孔に嵌合するピン(8) を共有する一対のリ
ンク(9,10)と、 前記ピン(8) と嵌合させて設けた第3の支持部(11)と、 からなり、前記第1の支持部(3) と第2の支持部(4) と
第3の支持部(11)により被ハンドリング物を支持するこ
とを特徴とするハンドリング治具。 - 【請求項2】 請求項1記載の前記第1の支持部(3) と
第2の支持部(4) と第3の支持部(11)が、円形の被ハン
ドリング物(15)の最小径の円弧形状を有する溝(3a,4a,1
1a) を備え、前記第1の支持部(3) と第2の支持部(4)
が前記アーム(1,2) の他端に設けた孔(1d,2d) と嵌合す
るピン(13,14) と嵌合する孔(3b,4b)を有し、前記第3
の支持部(11)が前記ピン(8) と嵌合する孔(11a) を有す
ることを特徴とするハンドリング治具。 - 【請求項3】 請求項1記載の前記第1の支持部(3)と
第2の支持部(4)が、角形の被ハンドリング物(16)の4
隅の角度の内の最小角度を有する溝(3c,4c) を備え、前
記第1の支持部(3) と第2の支持部(4) が前記アーム
(1,2) の他端に設けた孔(1d,2d) と嵌合するピン(13,1
4) と嵌合する孔(3b,4b) を有し、前記第3の支持部(1
1)が前記ピン(8) と嵌合する孔(11a) を有することを特
徴とするハンドリング治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13269394A JPH07335733A (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | ハンドリング治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13269394A JPH07335733A (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | ハンドリング治具 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07335733A true JPH07335733A (ja) | 1995-12-22 |
Family
ID=15087339
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13269394A Withdrawn JPH07335733A (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | ハンドリング治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07335733A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010509784A (ja) * | 2006-11-15 | 2010-03-25 | ダイナミック マイクロシステムズ セミコンダクター イクイップメント ゲーエムベーハー | 環状に配置されているワークピースストッカ |
JP2012200850A (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Atom Kosan Kk | 挟持部の角度可変型ピンセット |
KR101475393B1 (ko) * | 2013-11-26 | 2014-12-22 | 하나머티리얼즈(주) | 캐소드 전극판의 핸들링 지그 |
TWI487059B (zh) * | 2010-11-24 | 2015-06-01 | Taiwan Semiconductor Mfg Co Ltd | 用於置中晶圓的裝置 |
-
1994
- 1994-06-15 JP JP13269394A patent/JPH07335733A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
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