JPH07335733A - ハンドリング治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ハンドリング治具に係り、特に半導体装置の
製造工程において用いるハンドリング治具の改良に関
し、大きさの異なる被ハンドリング物を、簡単且つ確実
に支持することが可能となるハンドリング治具の提供を
目的とする。 【構成】 一端にそれぞれ第１及び第２の操作部1a,2a
を有し、他端にそれぞれ第１及び第２の支持部３，４を
備え、この操作部1a,2a の近傍にそれぞれ支点孔1b,2b
を有し、この支点孔1b,2b に嵌合するピン５により結合
された一対のアーム１，２と、このアーム１，２のこの
支点孔1b,2b の近傍に設けられた孔1c,2cに嵌合するピ
ン６，７と、このピン６，７と嵌合する孔をそれぞれ一
端に有し、それぞれの他端の孔に嵌合するピン８を共有
する一対のリンク９，10と、このピン８と嵌合させて設
けた第３の支持部11とからなり、この第１の支持部３と
第２の支持部４と第３の支持部11により被ハンドリング
物を支持するように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ハンドリング治具に係
り、特に半導体装置の製造工程において用いるハンドリ
ング治具の改良に関するものである。

【０００２】近年のプリント基板の製造工程における基
板モジュールの重量の増大、半導体装置の製造工程にお
ける半導体基板の重量の増大のために、これらの被ハン
ドリング物を確実に支持することが必要になっている。

【０００３】以上のような状況からこれらの被ハンドリ
ング物を確実に支持することが可能で、作業性の良いハ
ンドリング治具が要望されている。

【０００４】

【従来の技術】従来のハンドリング治具について図５〜
図６により詳細に説明する。図５は従来の一例のハンド
リング治具を示す図であり、図６は従来の他の例のハン
ドリング治具を示す図である。

【０００５】従来の一例のハンドリング治具は図５に示
すような３点支持のハンドリング治具である。（特願昭
62−206846号) このハンドリング治具はバネ部23により弾性付勢され、
スライド用長穴24に沿ってスライドするスライドアーム
21,21'とスライドアーム21" の間に被ハンドリング物で
あるウェーハ22を３点で支持するハンドリング治具であ
る。

【０００６】このハンドリング治具の被ハンドリング物
を支持する力は被ハンドリング物の大きさに応じて変化
し、被ハンドリング物が小さくなると支持力が弱くな
り、確実に被ハンドリング物を支持することが困難であ
る。

【０００７】従来の他の例のハンドリング治具は図６に
示すような３点支持のハンドリング治具である。（特願
平4−68541号) このハンドリング治具は、一端に取っ手36を有するレバ
ー34の他端及びその近傍に設けた支持部材31-1及び支持
部材31-2と、この取っ手36に設けたピン35を中心とし、
引張ばね38により弾性付勢されて回転するレバー34の先
端部に設けた支持部材31-3との３点で被ハンドリング物
30を支持するハンドリング治具である。

【０００８】このハンドリング治具の被ハンドリング物
30を支持する力は被ハンドリング物30の大きさに応じて
変化し、被ハンドリング物30が小さくなると支持力が弱
くなるので引張ばね38を交換しなければ確実に被ハンド
リング物30を支持することが困難である。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】以上説明した従来のハ
ンドリング治具においては、バネの弾性により被ハンド
リング物を支持しているので、被ハンドリング物の大き
さが小さくなると支持力が弱くなり、確実に被ハンドリ
ング物を支持することが困難になるという問題点があっ
た。

【００１０】本発明は以上のような状況から、大きさの
異なる被ハンドリング物を、簡単且つ確実に支持するこ
とが可能となるハンドリング治具の提供を目的としたも
のである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明のハンドリング治
具は、図１に示すように一端にそれぞれ第１及び第２の
操作部1a,2a を有し、他端にそれぞれ第１の支持部３及
び第２の支持部４を備え、この操作部1a,2a の近傍にそ
れぞれ支点孔1b,2b を有し、この支点孔1b,2bに嵌合す
るピン５により結合された一対のアーム１及び２と、こ
のアーム１及び２の支点孔1b,2b の近傍の孔1c,2c に嵌
合するピン６，７と、このピン６，７と嵌合する孔をそ
れぞれ一端に有し、それぞれの他端の孔に嵌合するピン
８を共有する一対のリンク９及び10と、このピン８と嵌
合させて設けた第３の支持部11とからなり、この第１の
支持部３と第２の支持部４と第３の支持部11により円形
の被ハンドリング物或いは角形の被ハンドリング物を支
持するように構成する。

【００１２】

【作用】即ち本発明においては、アーム１の操作部1aと
アーム２の操作部2aとの間隔を広げると、アーム１及び
アーム２の他端に設けた支持部３及び支持部４と、アー
ム１の支点孔1bとアーム２の支点孔2b近傍の支持部11と
が外方向に広がり、アーム１の操作部1aとアーム２の操
作部2aとの間隔を狭めると、アーム１及びアーム２の他
端に設けた支持部３及び支持部４と、アーム１の支点孔
1bとアーム２の支点孔2b近傍の支持部11とが内方向に狭
まるので、操作部1a及び操作部2aに加える力の調節によ
り、支持部３、支持部４、支持部11の３点で被ハンドリ
ング物を確実に支持することが可能となる。

【００１３】

【実施例】以下図１〜図４により本発明の一実施例につ
いて詳細に説明する。図１は本発明による一実施例のハ
ンドリング治具の構造を示す図、図２は本発明による一
実施例のハンドリング治具で円形の被ハンドリング物を
支持した状態を示す図、図３は本発明による一実施例の
ハンドリング治具で角形の被ハンドリング物を支持した
状態を示す図、図４は本発明による一実施例のハンドリ
ング治具の支持部の詳細構造を示す図である。

【００１４】本発明による一実施例のハンドリング治具
は図１に示すように、一端に第１の操作部1aを備え、こ
の操作部1aの近傍に支点孔1bを有するアーム１と、一端
に第２の操作部2aを備え、この操作部2aの近傍に支点孔
2bを有するステンレススチールからなるアーム２とをス
テンレススチールからなるピン５により結合したもので
ある。

【００１５】これらのアーム１及びアーム２の操作部1a
及び操作部2aの他端に形成した孔1d及び孔2dに嵌合する
ピン13及びピン14に嵌合させてポリエステル・ポリエス
テル・ケトンからなる支持部３及び支持部４を設けてい
る。

【００１６】このアーム１のこの支点孔1bの近傍の孔1c
に嵌合するピン６と嵌合する孔を一端に有し他端に孔を
備えたリンク９の他端の孔と、このアーム２のこの支点
孔2bの近傍の孔2cに嵌合するピン７と嵌合する孔を一端
に有し他端に孔を備えたリンク10の他端の孔とに嵌合す
るピン８を設け、このピン８に嵌合させてポリエステル
・ポリエステル・ケトンからなる第３の支持部11を設け
ている。

【００１７】これらの支持部３、支持部４及び支持部11
を嵌合させているピン13、ピン14及びピン８は図示する
ように 120°間隔で設けている。この 120°間隔は必ず
しも厳密なものでなく三点支持であれば良い。

【００１８】これらの支持部３、４及び11の構造を支持
部３の場合について図４により詳細に説明する。図４の
(a) 平面図に示すように、溝3aは支持しようとする最小
径の円形の被ハンドリング物の外形に合わせて被ハンド
リング物の厚さの1.25倍の幅、深さ３mmで加工されてお
り、図に示すようにＡ−Ａ断面部には通常は90°の角度
で深さ3mm の溝3cが形成されている。この溝3cは支持部
11には不要である。

【００１９】図４の(b) Ａ−Ａ断面図に示すように、支
持部３の溝3aには35°の入り勾配が形成されて被ハンド
リング物が入り易いようになっており、その下に溝3cが
形成されている。孔3bはこの支持部３をアーム１の孔1d
にピン13により嵌合させて設ける孔である。

【００２０】この溝3cの角度を、角形の被ハンドリング
物16の四隅の角度の内の最小角度にしておけば、角がこ
の溝3cの底部に当たることがなくなり、被ハンドリング
物の辺がこの溝3cの開口に当たるので、角形の被ハンド
リング物を安定して支持することが可能となる。

【００２１】また、溝3aが最小径の円形の被ハンドリン
グ物の外形に合わせて加工されているので、より大きな
径を有する被ハンドリング物はこの溝3aの両端に当た
り、円形の被ハンドリング物を安定して支持することが
可能となる。

【００２２】本発明による一実施例のハンドリング治具
で円形の被ハンドリング物を支持する場合には、まず操
作部1aと操作部2aとを離れる方向に移動すると、支持部
３、支持部４及び支持部11がそれぞれ外方向に移動して
その間の距離が大きくなり、溝の深さだけ離れれば支持
部の内側に被ハンドリング物15を置くことができる。

【００２３】ここで操作部1aと操作部2aとを接近する方
向に移動すると、支持部３、支持部４及び支持部11がそ
れぞれ内方向に移動し、図２に示すように支持部３,4,1
1 の溝に被ハンドリング物15が挿入され、それぞれの溝
の両端部で被ハンドリング物15を支持することができ
る。この場合の操作部1aと操作部2aに加える力を調節す
ることにより被ハンドリング物15を確実かつ容易に支持
することが可能となる。

【００２４】本発明による一実施例のハンドリング治具
で角形の被ハンドリング物を支持する場合には、円形の
場合と同様にまず操作部1aと操作部2aとを離れる方向に
移動すると支持部３、支持部４及び支持部11がそれぞれ
外方向に移動してその間の距離が大きくなり、溝の深さ
だけ離れれば、支持部の内側に被ハンドリング物16を置
くことができる。

【００２５】ここで操作部1aと操作部2aとを接近する方
向に移動すると、支持部３、支持部４及び支持部11がそ
れぞれ内方向に移動し、支持部３,4の90°の溝に被ハン
ドリング物16の角が挿入され、それぞれの溝の開口で被
ハンドリング物16を支持することができ、支持部11の両
端部で被ハンドリング物16の一辺を支持することができ
る。この場合の操作部1aと操作部2aに加える力を調節す
ることにより、被ハンドリング物16を確実かつ容易に支
持することが可能となる。

【００２６】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば極めて簡単な構造を改良したハンドリング治具
の操作部に加える力の調節により、被ハンドリング物を
３点の支持部で確実に支持することが可能となる利点が
あり、著しい信頼性向上の効果が期待できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明による一実施例のハンドリング治具の
構造を示す図

【図２】 本発明による一実施例のハンドリング治具で
円形の被ハンドリング物を支持した状態を示す図

【図３】 本発明による一実施例のハンドリング治具で
角形の被ハンドリング物を支持した状態を示す図

【図４】 本発明による一実施例のハンドリング治具の
支持部の詳細構造を示す図

【図５】 従来の一例のハンドリング治具を示す図

【図６】 従来の他の例のハンドリング治具を示す図

【符号の説明】

１ アーム 1a 操作部 1b 支点孔 1c 孔 1d 孔 ２ アーム 2a 操作部 2b 支点孔 2c 孔 2d 孔 ３ 支持部 3a 溝 3b 孔 3c 溝 ４ 支持部 ５ ピン ６ ピン ７ ピン ８ ピン ９ リンク 10 リンク 11 支持部 13 ピン 14 ピン 15 被ハンドリング物 16 被ハンドリング物

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一端にそれぞれ第１及び第２の操作部(1
   a,2a) を有し、他端にそれぞれ第１及び第２の支持部
   (3,4) を備え、前記操作部(1a,2a) の近傍にそれぞれ支
   点孔(1b,2b) を有し、該支点孔(1b,2b) に嵌合するピン
   (5) により結合された一対のアーム(1,2) と、 前記アーム(1,2) の前記支点孔(1b,2b) の近傍に設けら
   れた孔(1c,2c) に嵌合するピン(6,7) と、 該ピン(6,7) と嵌合する孔をそれぞれ一端に有し、それ
   ぞれの他端の孔に嵌合するピン(8) を共有する一対のリ
   ンク(9,10)と、 前記ピン(8) と嵌合させて設けた第３の支持部(11)と、 からなり、前記第１の支持部(3) と第２の支持部(4) と
   第３の支持部(11)により被ハンドリング物を支持するこ
   とを特徴とするハンドリング治具。
2. 【請求項２】 請求項１記載の前記第１の支持部(3) と
   第２の支持部(4) と第３の支持部(11)が、円形の被ハン
   ドリング物(15)の最小径の円弧形状を有する溝(3a,4a,1
   1a) を備え、前記第１の支持部(3) と第２の支持部(4)
   が前記アーム(1,2) の他端に設けた孔(1d,2d) と嵌合す
   るピン(13,14) と嵌合する孔(3b,4b)を有し、前記第３
   の支持部(11)が前記ピン(8) と嵌合する孔(11a) を有す
   ることを特徴とするハンドリング治具。
3. 【請求項３】 請求項１記載の前記第１の支持部(3)と
   第２の支持部(4)が、角形の被ハンドリング物(16)の４
   隅の角度の内の最小角度を有する溝(3c,4c) を備え、前
   記第１の支持部(3) と第２の支持部(4) が前記アーム
   (1,2) の他端に設けた孔(1d,2d) と嵌合するピン(13,1
   4) と嵌合する孔(3b,4b) を有し、前記第３の支持部(1
   1)が前記ピン(8) と嵌合する孔(11a) を有することを特
   徴とするハンドリング治具。