JPH06177226A - 吸着コレット - Google Patents

吸着コレット

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Publication number
JPH06177226A
JPH06177226A JP34995992A JP34995992A JPH06177226A JP H06177226 A JPH06177226 A JP H06177226A JP 34995992 A JP34995992 A JP 34995992A JP 34995992 A JP34995992 A JP 34995992A JP H06177226 A JPH06177226 A JP H06177226A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor chip
suction
collet
suction collet
sucked
Prior art date
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Pending
Application number
JP34995992A
Other languages
English (en)
Inventor
Shingo Yanagihara
臣吾 柳原
Eiji Yoshida
英治 吉田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
NEC Engineering Ltd
Original Assignee
NEC Corp
NEC Engineering Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp, NEC Engineering Ltd filed Critical NEC Corp
Priority to JP34995992A priority Critical patent/JPH06177226A/ja
Publication of JPH06177226A publication Critical patent/JPH06177226A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
    • H01L24/75Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Die Bonding (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 吸着コレットで半導体チップを吸着し、搬送
する際、半導体チップを水平および回転方向に位置ず
れ、および半導体チップのエッジおよび特性破壊を防止
する。 【構成】 吸着コレット1の底面部3に半導体チップ6
を吸引する吸引孔2が設けられている。そして、吸引孔
2は複数設けられているとともに、底面3の下端面が平
坦状に形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、吸着コレットに関し、
特に半導体装置の製造における半導体チップを吸着し、
搬送する吸着コレットに関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、この種の吸着コレット1は、図
3に示すように、中央に単一の吸引孔2が設けられて筒
状を呈し、下端面3が平坦状に形成されたものや、ある
いは、実開昭61−55340号公報に開示されたもの
で図4に示すように、吸引孔2が少なくとも下端面3近
傍において小径状に複数設けられているとともに、下端
面3の周囲に断面が末広がり状の内側面を有する円環状
の突出部4が設けられたものがある。
【0003】図5は、図4に示した従来の第2の吸着コ
レット1を用いて半導体チップを吸着し、搬送する状態
の動作図を示したものであり、粘着シート5上に、ダイ
シングあるいはスクライブを施されて個片に分割されマ
トリクス状に配列された半導体チップ6が貼着されて、
図示を省略した周知のオートダイスピッカーに装着し、
半導体チップ6の上方に吸着コレット1を位置させ、し
かるのち、下方から突き上げピン7により粘着シート5
を突き破り半導体チップ6を突き上げて、吸着コレット
1に半導体チップ6を吸着させるようにしていた。半導
体チップ6は突出部4の内側面に外側端が係止されるよ
うにして吸着コレット1に吸着されるものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の第1の例では、吸引孔2が単一孔の構造となっ
ているために、半導体チップ6を吸着するときに、吸引
孔2の底面に半導体チップ6が接触する瞬間、水平およ
び回転方向に半導体チップ6がずれて、位置精度とし
て、X、Y方向(水平方向)±20μm、θ方向(回転
方向)±5°以内の精度確保が限界であった。さらに、
顕著の場合には、吸引孔2に半導体6のエッジが侵入し
ていわゆるチップ立ち現象が発生して、半導体チップ6
を正確に吸着することが困難となるといった欠点があっ
た。
【0005】また、第2の例では、吸引孔2の底面の周
囲に円環状の突出部4が形成された構造となっているた
めに、半導体チップ6がGaAs、InP等の化合物か
らなる材質の場合、突出部4によって半導体チップ6の
エッジが破壊されたり、下方からの突き上げピン7によ
って垂直回転方向に半導体チップ6がずれて吸着された
り、あるいは、突き上げピン7の衝撃によって、半導体
チップ6の特性が破壊されるといった問題点があった。
さらに、下端面3の形状が複雑であるため、材質が金属
または樹脂等に制約され、ハードソルダーを使用するダ
イボンダーでは、半導体チップ搭載部を加熱するため
に、金属では熱伝導が大きく熱が逃げてしまい、また樹
脂では耐熱性に限界があることから、第2の例の吸着コ
レットは、ハードソルダーを使用するダイボンダーには
適用できず、オートダイスピッカーのみに適用範囲が制
限され、個のため、工程を簡略化することが不可能とな
るといった問題点があった。
【0006】したがって、本発明は、上記したような従
来の欠点あるいは問題点に鑑みてなされたものであり、
その目的とするところは、吸着コレットで半導体チップ
を吸着し、搬送する際、半導体チップを水平および回転
方向に位置ずれすることなく、また、半導体チップのエ
ッジおよび特性を破壊することなく正確に保持し得る吸
着コレットを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明に係る吸着コレットは、底面部に吸引孔を有
し吸引孔からエアーを吸引することによって半導体チッ
プを底面部の下端面に吸着し、搬送し、底面部の下端面
を平坦状とするとともに、吸引孔を複数設ける。
【0008】
【作用】本発明によれば、複数の吸引孔によって半導体
チップは平均的に吸引され、かつ、底面部の下端面に水
平状態で吸着される。
【0009】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図に基づいて説明
する。図1は本発明に係る吸着コレットを示すものであ
り、(a)は側断面図、(b)は底面図、(c)は吸着
した状態の側面図である。これらの図において、従来技
術と同一の部品もしくは同等の構成については、同一の
符号を付し詳細な説明は省略する。本発明の特徴とする
ところは、底面部3の下端面が平坦状態に形成されてい
るとともに、底面部3の吸引孔2が小径状として複数設
けられた点にある。吸引孔2は、左右、上下に隣接する
互いの間の離間距離が同一でマトリックス状に形成され
て底面部3の全体に亘って設けられている。
【0010】このような構成によれば、吸引孔2に吸引
され底面部3に吸着された半導体チップ6は、半導体チ
ップ6の表面が吸引孔2によって平均的に吸着されるの
で、水平および回転方向に位置ずれを起こすことなく、
吸着コレット1と半導体チップ6との中心線Aがずれず
に、正常な状態で吸着される。
【0011】本出願人が実験した結果によると、吸着す
る半導体チップ6の吸着側表面積に対して、吸引孔2の
総面積を約30%とするのが適切で、かつ、吸引孔2の
面積は約30μmとすることによって、正常な状態での
吸着を再現性良く繰り返すことが可能であった。この結
果、位置精度として、X、Y方向(水平方向)±10μ
m、θ方向(回転方向)±2°以内の精度の確保が可能
となった。このような位置精度が確保できることによ
り、ダイボンディング時の位置精度が向上するため、歩
留まりの向上が図れるとともに、全自動化が可能とな
り、省人化に大きく寄与する。
【0012】図2は本発明の第2の実施例を示す側断面
図である。この第2の実施例では、吸着コレット1が二
体構造とされ、底面部9が別部材で構成されており、吸
引孔2を加工した後に吸着コレット1本体に接着したも
のである。この第2の実施例によれば、吸着コレット1
を熱伝導率が低く、加工性の悪い単結晶材質でも製作す
ることが可能となるため、ハードソルダーを使用するダ
イボンダーにも直接適用することができる。
【0013】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、半
導体チップを吸着する底面部の下端面を平坦状とすると
ともに、吸引孔を複数設けたので、半導体チップ吸着の
際のチップの立ち上がり現象を防止できるだけでなく、
半導体チップを水平および回転方向に位置ずれさせるこ
となく正確に吸着することができるため、直接ダイボン
ダーに適用し精度の高い品質を得ることができ適用範囲
を広げるることができるとともに、正確な位置精度が確
保できることにより、ダイボンディング時の位置精度が
向上するため、歩留まりの向上が図れるとともに、全自
動化が可能となり、省人化を図ることができる。また、
底面部の下端面を平坦状に形成して、下端面に突出部等
を設けていないため、半導体チップを破壊することがな
くなり、このため、GaAs、InP等の化合物半導体
チップにも特性破壊を起こすことがなく正確に吸着する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る吸着コレットを示し、(a)は側
断面図、(b)は底面図、(c)は半導体チップを吸着
した状態の側面図である。
【図2】本発明に係る吸着コレットの第2の実施例の側
断面図である。
【図3】従来の吸着コレットを示し、(a)は側断面
図、(b)は底面図である。
【図4】従来の吸着コレットの第2の例を示し、(a)
は側断面図、(b)は底面図である。
【図5】従来の吸着コレットの第2の例を採用して半導
体チップを吸着する状態を示し、(a)は全体概略側面
図、(b)は要部拡大側断面図である。
【符号の説明】
1 吸着コレット 2 吸着孔 3 底面部 6 半導体チップ 9 底面部

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 底面部に吸引孔を有し吸引孔からエアー
    を吸引することによって半導体チップを底面部の下端面
    に吸着し、搬送する吸着コレットであって、前記底面部
    の下端面を平坦状とするとともに、前記吸引孔を複数設
    けたことを特徴とする吸着コレット。
JP34995992A 1992-12-03 1992-12-03 吸着コレット Pending JPH06177226A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34995992A JPH06177226A (ja) 1992-12-03 1992-12-03 吸着コレット

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34995992A JPH06177226A (ja) 1992-12-03 1992-12-03 吸着コレット

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06177226A true JPH06177226A (ja) 1994-06-24

Family

ID=18407268

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP34995992A Pending JPH06177226A (ja) 1992-12-03 1992-12-03 吸着コレット

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JP (1) JPH06177226A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005311358A (ja) * 2004-04-19 2005-11-04 General Electric Co <Ge> 電子機器組立体並びにそれを組立てるための装置及び方法
EP2381465A1 (en) * 2010-04-22 2011-10-26 Kulicke & Soffa Die Bonding GmbH Tool tip interface for a die handling tool

Citations (3)

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JPS5947382A (ja) * 1982-09-09 1984-03-17 Usui Internatl Ind Co Ltd 耐熱・耐食性被覆鋼材
JPS59140333A (ja) * 1983-01-28 1984-08-11 Nippon Steel Corp 2次加工性と表面処理性の優れた深絞り用冷延鋼板の製造方法
JPH0423750A (ja) * 1990-05-17 1992-01-28 Shibayama Kikai Kk 半導体ウエハ用移送アームの安定型吸着パット

Patent Citations (3)

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