JP2000056200A - 光学素子の保持具 - Google Patents
光学素子の保持具Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な構成で、異なる大きさ・形状の複数種
の光学素子を保持することが可能な光学素子の保持具を
提供する。 【解決手段】 複数のスライド溝１５が形成された二枚
の平板部材１３を対向配設し、両平板部材１３のスライ
ド溝１５に三本以上の棒部材１１を取り付けて各棒部材
１１をスライド溝１５に沿ってスライド移動可能とす
る。棒部材１１には軸方向に並んだ凸部１９の列を設
け、各凸部１９には外径方向に狭まるテーパ面１９ａを
形成する。テストピースＰを保持するには、棒部材１１
をスライド溝１５に沿ってスライド移動させ、テストピ
ースＰを三本の棒部材１１で挟持するようにする。また
このときテストピースＰの外縁を隣接テーパ面１９ａ、
１９ａにおいて支持するようにする。
の光学素子を保持することが可能な光学素子の保持具を
提供する。 【解決手段】 複数のスライド溝１５が形成された二枚
の平板部材１３を対向配設し、両平板部材１３のスライ
ド溝１５に三本以上の棒部材１１を取り付けて各棒部材
１１をスライド溝１５に沿ってスライド移動可能とす
る。棒部材１１には軸方向に並んだ凸部１９の列を設
け、各凸部１９には外径方向に狭まるテーパ面１９ａを
形成する。テストピースＰを保持するには、棒部材１１
をスライド溝１５に沿ってスライド移動させ、テストピ
ースＰを三本の棒部材１１で挟持するようにする。また
このときテストピースＰの外縁を隣接テーパ面１９ａ、
１９ａにおいて支持するようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光学素子の保持具に
関し、更に詳しくは、透過率測定等の前に素子表面の汚
染物質を除去するために行う湿式洗浄・乾燥用に用いら
れる光学素子の保持具に関する。
関し、更に詳しくは、透過率測定等の前に素子表面の汚
染物質を除去するために行う湿式洗浄・乾燥用に用いら
れる光学素子の保持具に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、シリコン等のウエハ上に集積回路
の微細パターンを露光・転写する光リソグラフィー技術
においては、ステッパーと呼ばれる露光装置が用いられ
ている。このステッパーの光源は、近年のＬＳＩの高集
積化に伴ってｇ線（４３６ｎｍ）からｉ線（３６５ｎ
ｍ）、更にはＫｒＦ（２４８ｎｍ）やＡｒＦ（１９３ｎ
ｍ）エキシマレーザへと短波長化が進められている。こ
のようなエキシマレーザステッパーの照明系或いは投影
レンズとして用いられる光学ガラスは、ｉ線よりも短い
波長領域では光透過率が低下するため、従来の光学ガラ
スに代えて合成石英ガラスや蛍石（ＣａＦ2 ）等のフッ
化物単結晶を用いることが提案されている。
の微細パターンを露光・転写する光リソグラフィー技術
においては、ステッパーと呼ばれる露光装置が用いられ
ている。このステッパーの光源は、近年のＬＳＩの高集
積化に伴ってｇ線（４３６ｎｍ）からｉ線（３６５ｎ
ｍ）、更にはＫｒＦ（２４８ｎｍ）やＡｒＦ（１９３ｎ
ｍ）エキシマレーザへと短波長化が進められている。こ
のようなエキシマレーザステッパーの照明系或いは投影
レンズとして用いられる光学ガラスは、ｉ線よりも短い
波長領域では光透過率が低下するため、従来の光学ガラ
スに代えて合成石英ガラスや蛍石（ＣａＦ2 ）等のフッ
化物単結晶を用いることが提案されている。
【０００３】ステッパーに搭載される光学系は多数のレ
ンズの組合せにより構成されているが、各レンズでの透
過率低下は使用レンズ枚数分だけ積算されるため、ウエ
ハ上での光量低下とスループットの低下を防ぐために
は、各レンズにおける透過率低下量を最小に抑える必要
がある。このため、エキシマレーザーステッパーの照明
系或いは投影レンズに用いられる石英ガラスや蛍石は、
内部透過率９９．８％／ｃｍ以上が要求される。このた
め紫外光領域での光学素材の高透過率化を目指した開発
が進められている。
ンズの組合せにより構成されているが、各レンズでの透
過率低下は使用レンズ枚数分だけ積算されるため、ウエ
ハ上での光量低下とスループットの低下を防ぐために
は、各レンズにおける透過率低下量を最小に抑える必要
がある。このため、エキシマレーザーステッパーの照明
系或いは投影レンズに用いられる石英ガラスや蛍石は、
内部透過率９９．８％／ｃｍ以上が要求される。このた
め紫外光領域での光学素材の高透過率化を目指した開発
が進められている。
【０００４】また、露光光源の短波長化が進む一方で、
光学素材の内部透過率を高精度で測定することが技術的
に非常に難しくなっている。従って、微弱な吸収しか存
在しない合成石英ガラスや結晶材料等の光学素材の高透
過率を達成するためには、これらの内部透過率（内部吸
収０．１％／ｃｍ程度）を精度良く測定し評価する技術
が不可欠である。このような光学素材の内部透過率を精
度良く測定し、評価するための技術の一つとして、測定
対象となるテストピースの湿式洗浄、中でもＩＰＡ（イ
ソプロピルアルコール）を用いたテストピース表面の洗
浄（以下、ＩＰＡ洗浄と称する）が注目されている。特
に、ＡｒＦエキシマレーザー波長のような真空紫外領域
においては、テストピース表面に付着した汚染物質が透
過率測定値に与える影響は大きく、測定前のＩＰＡ洗浄
は必須のものとなりつつある。
光学素材の内部透過率を高精度で測定することが技術的
に非常に難しくなっている。従って、微弱な吸収しか存
在しない合成石英ガラスや結晶材料等の光学素材の高透
過率を達成するためには、これらの内部透過率（内部吸
収０．１％／ｃｍ程度）を精度良く測定し評価する技術
が不可欠である。このような光学素材の内部透過率を精
度良く測定し、評価するための技術の一つとして、測定
対象となるテストピースの湿式洗浄、中でもＩＰＡ（イ
ソプロピルアルコール）を用いたテストピース表面の洗
浄（以下、ＩＰＡ洗浄と称する）が注目されている。特
に、ＡｒＦエキシマレーザー波長のような真空紫外領域
においては、テストピース表面に付着した汚染物質が透
過率測定値に与える影響は大きく、測定前のＩＰＡ洗浄
は必須のものとなりつつある。
【０００５】ＩＰＡ洗浄は、先ず洗浄するテストピース
を薬液等に浸漬し、表面汚染物質を除去した後純水です
すぎ、続いてＩＰＡに浸漬して素材表面の水をＩＰＡで
置換した後、ＩＰＡベーパ中でゆっくりと引き上げて乾
燥させる手順で行われる。なお、これら一連の工程中に
おいて、湿式洗浄・乾燥されるテストピースは専用の保
持具に保持されるが、この保持具はテストピースの洗浄
・乾燥が効率良く行われるような形状をしていることが
必要である。
を薬液等に浸漬し、表面汚染物質を除去した後純水です
すぎ、続いてＩＰＡに浸漬して素材表面の水をＩＰＡで
置換した後、ＩＰＡベーパ中でゆっくりと引き上げて乾
燥させる手順で行われる。なお、これら一連の工程中に
おいて、湿式洗浄・乾燥されるテストピースは専用の保
持具に保持されるが、この保持具はテストピースの洗浄
・乾燥が効率良く行われるような形状をしていることが
必要である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、測定対
象となるテストピースは一般に評価目的によって様々な
形状をしているため、これらテストピースの洗浄・乾燥
用の保持具についてもそれぞれ専用のものが必要であっ
た。このため新規形状のテストピースを作製した場合に
はその保持具も新たに作製する必要があり、またこれら
を保管する広いスペースも必要であった。また、新規の
テストピースが既に作製されている場合であっても、そ
の保持具が完成するまではテストピースの物性評価を行
うことができず、迅速な研究開発を妨げる虞があるとい
う問題があった。
象となるテストピースは一般に評価目的によって様々な
形状をしているため、これらテストピースの洗浄・乾燥
用の保持具についてもそれぞれ専用のものが必要であっ
た。このため新規形状のテストピースを作製した場合に
はその保持具も新たに作製する必要があり、またこれら
を保管する広いスペースも必要であった。また、新規の
テストピースが既に作製されている場合であっても、そ
の保持具が完成するまではテストピースの物性評価を行
うことができず、迅速な研究開発を妨げる虞があるとい
う問題があった。
【０００７】本発明は、このような問題に鑑みてなされ
たものであり、湿式洗浄・乾燥用に用いられ、簡単な構
成で、異なる大きさ・形状の複数種の光学素子を保持す
ることが可能な光学素子の保持具を提供することを目的
とする。
たものであり、湿式洗浄・乾燥用に用いられ、簡単な構
成で、異なる大きさ・形状の複数種の光学素子を保持す
ることが可能な光学素子の保持具を提供することを目的
とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明に係る光学素子の保持具は、ほぼ同一長さ
である三本以上の棒部材と、これら棒部材が互いにほぼ
平行になるように棒部材の両端を支持する支持部材とを
有し、上記棒部材により挟持して光学素子（例えば、実
施形態におけるテストピースＰ）を保持する構成であ
り、更に、棒部材を軸と直角方向に平行移動させること
が可能である。更に、支持部材が対向配設された二枚の
平板部材を有し、これら二枚の平板部材に穿設された複
数の穴部（例えば、実施形態におけるスライド溝１５）
に各棒部材の両端を取り付けるように構成されており、
穴部が長穴からなり、これらの長穴に沿って棒部材を平
行移動させることが可能であることが好ましい。このよ
うな構成とすれば、棒部材間の間隔を任意に変化させる
ことができるので、異なる大きさ・形状の複数種の光学
素子をこの保持具一つで保持することが可能である。ま
た構成が簡単であるのでコスト的にも有利である。更
に、テストピースは複数の棒部材で挟持されるのでガタ
つくことがなく、振動を受けても傷つく虞がない。
めに、本発明に係る光学素子の保持具は、ほぼ同一長さ
である三本以上の棒部材と、これら棒部材が互いにほぼ
平行になるように棒部材の両端を支持する支持部材とを
有し、上記棒部材により挟持して光学素子（例えば、実
施形態におけるテストピースＰ）を保持する構成であ
り、更に、棒部材を軸と直角方向に平行移動させること
が可能である。更に、支持部材が対向配設された二枚の
平板部材を有し、これら二枚の平板部材に穿設された複
数の穴部（例えば、実施形態におけるスライド溝１５）
に各棒部材の両端を取り付けるように構成されており、
穴部が長穴からなり、これらの長穴に沿って棒部材を平
行移動させることが可能であることが好ましい。このよ
うな構成とすれば、棒部材間の間隔を任意に変化させる
ことができるので、異なる大きさ・形状の複数種の光学
素子をこの保持具一つで保持することが可能である。ま
た構成が簡単であるのでコスト的にも有利である。更
に、テストピースは複数の棒部材で挟持されるのでガタ
つくことがなく、振動を受けても傷つく虞がない。
【０００９】また、棒部材が外径方向に狭まるテーパ状
の凸部の列を有し、これら凸部のテーパ面において光学
素子の外縁を支持することが可能であることが好まし
い。このため、棒部材に軸方向に延びた板部材を取り付
け、この板部材に上記凸部の列を形成してもよく、或い
は、棒部材に複数の円筒部材（例えば、実施形態におけ
る突起部材３６）を貫通配設し、これら円筒部材に上記
凸部を形成してもよい。なお、後者においては、複数の
円筒部材同士の間に一又は二以上の円筒状の間隔部材が
貫通配設されれば、光学素子の形状に応じた隣接凸部間
の間隔設定が容易となる。このような構成によれば、光
学素子と保持具との接触面積が小さくなるので、洗浄中
に保持具から受ける汚染を低減することができ、また乾
燥に費やす時間を短くすることができる。
の凸部の列を有し、これら凸部のテーパ面において光学
素子の外縁を支持することが可能であることが好まし
い。このため、棒部材に軸方向に延びた板部材を取り付
け、この板部材に上記凸部の列を形成してもよく、或い
は、棒部材に複数の円筒部材（例えば、実施形態におけ
る突起部材３６）を貫通配設し、これら円筒部材に上記
凸部を形成してもよい。なお、後者においては、複数の
円筒部材同士の間に一又は二以上の円筒状の間隔部材が
貫通配設されれば、光学素子の形状に応じた隣接凸部間
の間隔設定が容易となる。このような構成によれば、光
学素子と保持具との接触面積が小さくなるので、洗浄中
に保持具から受ける汚染を低減することができ、また乾
燥に費やす時間を短くすることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の好
ましい実施形態について説明する。図１は本発明の第１
の実施例に係る光学素子の保持具を示している。この保
持具１０は三本の棒部材１１と、これら棒部材１１を互
いに平行に支持する支持部材１２とを有して構成されて
いる。支持部材１２は、対向配設されて棒部材１１の両
端が取り付けられる二枚の平板部材１３と、これら二枚
の平板部材１３を結合する複数の結合部材１４により構
成されている。
ましい実施形態について説明する。図１は本発明の第１
の実施例に係る光学素子の保持具を示している。この保
持具１０は三本の棒部材１１と、これら棒部材１１を互
いに平行に支持する支持部材１２とを有して構成されて
いる。支持部材１２は、対向配設されて棒部材１１の両
端が取り付けられる二枚の平板部材１３と、これら二枚
の平板部材１３を結合する複数の結合部材１４により構
成されている。
【００１１】両平板部材１３には、棒部材１１の端部を
取り付け、且つ、スライド移動（平行移動）させるため
の複数のスライド溝１５が設けられている。これらスラ
イド溝１５はいずれも平板部材１３の表裏を貫通する長
穴であり、図１に示すように、両平板部材１３の上半部
には一つの水平方向のスライド溝１５ａが設けられてお
り、下半部には複数の垂直方向のスライド溝１５ｂが互
いに平行に設けられている。なお、これらスライド溝１
５は両平板部材１３に対称に形成される。
取り付け、且つ、スライド移動（平行移動）させるため
の複数のスライド溝１５が設けられている。これらスラ
イド溝１５はいずれも平板部材１３の表裏を貫通する長
穴であり、図１に示すように、両平板部材１３の上半部
には一つの水平方向のスライド溝１５ａが設けられてお
り、下半部には複数の垂直方向のスライド溝１５ｂが互
いに平行に設けられている。なお、これらスライド溝１
５は両平板部材１３に対称に形成される。
【００１２】棒部材１１の構成を図２及び図３（図３は
図２におけるIII−III断面図）に示す。棒部１６は円柱
状に形成されており、両端の端部１７にはねじ溝１７ａ
が形成されている。棒部１６には軸方向に延びて溝部１
６ａが設けられており（このため棒部１６は被削性のよ
い真鍮製とすることが好ましい）、この溝部１６ａに圧
入取り付けされたフッ素樹脂製の板状部材１８には軸方
向に並んで台形状の凸部１９の列が形成されている。各
々の凸部１９の両側辺は棒部材１１の外径方向に狭まる
テーパ状になっており、一対のテーパ面１９ａ、１９ａ
を形成している。
図２におけるIII−III断面図）に示す。棒部１６は円柱
状に形成されており、両端の端部１７にはねじ溝１７ａ
が形成されている。棒部１６には軸方向に延びて溝部１
６ａが設けられており（このため棒部１６は被削性のよ
い真鍮製とすることが好ましい）、この溝部１６ａに圧
入取り付けされたフッ素樹脂製の板状部材１８には軸方
向に並んで台形状の凸部１９の列が形成されている。各
々の凸部１９の両側辺は棒部材１１の外径方向に狭まる
テーパ状になっており、一対のテーパ面１９ａ、１９ａ
を形成している。
【００１３】棒部材１１は棒部１６のそれぞれの端部１
７を平板部材１３のスライド溝１５に貫通させた後、ね
じ溝にナット２０を取り付けて固定される。なお、各ス
ライド溝１５の溝幅は、棒部材１１の端部１７がスライ
ド溝１５内でガタつかない大きさに形成されており、棒
部材１１をこれらのスライド溝１５に沿ってスライド移
動（平行移動）させることができるようになっている。
７を平板部材１３のスライド溝１５に貫通させた後、ね
じ溝にナット２０を取り付けて固定される。なお、各ス
ライド溝１５の溝幅は、棒部材１１の端部１７がスライ
ド溝１５内でガタつかない大きさに形成されており、棒
部材１１をこれらのスライド溝１５に沿ってスライド移
動（平行移動）させることができるようになっている。
【００１４】このような構成の保持具１０によりテスト
ピースＰを保持するには、棒部材１１をスライド溝１５
に沿ってスライド移動させ、テストピースＰを三本の棒
部材１１で挟持するようにする。またこのときテストピ
ースＰの外縁を隣接テーパ面１９ａ、１９ａにおいて支
持するようにする。
ピースＰを保持するには、棒部材１１をスライド溝１５
に沿ってスライド移動させ、テストピースＰを三本の棒
部材１１で挟持するようにする。またこのときテストピ
ースＰの外縁を隣接テーパ面１９ａ、１９ａにおいて支
持するようにする。
【００１５】保持具１０によりテストピースＰを保持し
た状態の例を図４及び図５に示す。図４（ａ）、（ｂ）
は保持具１０により円柱状の石英ガラステストピースＰ
を保持した状態を示す一例である。このような円柱状の
テストピースＰは主に真空紫外域の透過率を高精度に測
定する場合に用いられる。また、図５（ａ）、（ｂ）は
保持具１０により角柱状の石英ガラステストピースＰを
保持した状態を示す一例である。このような角柱状のテ
ストピースＰは主に長軸方向の透過率・ＯＨ基濃度な
ど、各種物性の物性の分布を調査する場合に用いられ
る。なお、テストピースＰを安定した位置で保持するた
めには、各棒部材１１をテストピースＰの形状及び大き
さに応じて最適のスライド溝１５を選択して取り付けて
おく必要がある。
た状態の例を図４及び図５に示す。図４（ａ）、（ｂ）
は保持具１０により円柱状の石英ガラステストピースＰ
を保持した状態を示す一例である。このような円柱状の
テストピースＰは主に真空紫外域の透過率を高精度に測
定する場合に用いられる。また、図５（ａ）、（ｂ）は
保持具１０により角柱状の石英ガラステストピースＰを
保持した状態を示す一例である。このような角柱状のテ
ストピースＰは主に長軸方向の透過率・ＯＨ基濃度な
ど、各種物性の物性の分布を調査する場合に用いられ
る。なお、テストピースＰを安定した位置で保持するた
めには、各棒部材１１をテストピースＰの形状及び大き
さに応じて最適のスライド溝１５を選択して取り付けて
おく必要がある。
【００１６】このようにして保持されたテストピースＰ
は保持具１０ごと湿式洗浄され、且つ、乾燥される。湿
式洗浄中のテストピースは保持具からその接触部を通じ
て汚染される虞があるが、この保持具１０では、上述し
たようにテストピースＰをテーパ面１９ａにおいて小さ
い接触面積で支持することができるので、上記のような
汚染を低減することができる。また接触面積が小さい
分、乾燥に費やす時間も短くできる。
は保持具１０ごと湿式洗浄され、且つ、乾燥される。湿
式洗浄中のテストピースは保持具からその接触部を通じ
て汚染される虞があるが、この保持具１０では、上述し
たようにテストピースＰをテーパ面１９ａにおいて小さ
い接触面積で支持することができるので、上記のような
汚染を低減することができる。また接触面積が小さい
分、乾燥に費やす時間も短くできる。
【００１７】また、各棒部材１１をスライド溝１５に沿
ってスライド移動させることにより、棒部材１１間の間
隔を任意に変化させることができるので、異なる大きさ
・形状の複数種のテストピースをこの保持具１０一つで
保持することが可能である。このため従来のように形状
等の異なるテストピースの種類分だけの保持具を用意す
る必要がなく、保持具の保管場所に大きなスペースを必
要としない。また、新規形状の光学素子を作製した場合
であっても新たな保持具を作製する必要がなく、更に構
成が簡単であるのでコスト的にも有利である。更に、テ
ストピースは複数の棒部材１１で挟持されるのでガタつ
くことがなく、振動を受けても傷つく虞がない。
ってスライド移動させることにより、棒部材１１間の間
隔を任意に変化させることができるので、異なる大きさ
・形状の複数種のテストピースをこの保持具１０一つで
保持することが可能である。このため従来のように形状
等の異なるテストピースの種類分だけの保持具を用意す
る必要がなく、保持具の保管場所に大きなスペースを必
要としない。また、新規形状の光学素子を作製した場合
であっても新たな保持具を作製する必要がなく、更に構
成が簡単であるのでコスト的にも有利である。更に、テ
ストピースは複数の棒部材１１で挟持されるのでガタつ
くことがなく、振動を受けても傷つく虞がない。
【００１８】なお、板状部材１８に形成される凸部１９
の形状は上記実施例に示した台形状のものに限られな
い。例えば図６に示す凸部２１のように三角形状であっ
てもよい。この場合には二つの斜辺がテーパ面２１ａ、
２１ａとなる。また、棒部材１１に凸部の列を複数設け
てもよく、このような棒部材１１を前述の保持具１０に
追加して設ければ保持できるテストピース数を増やすこ
とができる。図７に、三角形状の凸部２１の列を円筒部
材１６の対称位置に二列設けた例を示す。
の形状は上記実施例に示した台形状のものに限られな
い。例えば図６に示す凸部２１のように三角形状であっ
てもよい。この場合には二つの斜辺がテーパ面２１ａ、
２１ａとなる。また、棒部材１１に凸部の列を複数設け
てもよく、このような棒部材１１を前述の保持具１０に
追加して設ければ保持できるテストピース数を増やすこ
とができる。図７に、三角形状の凸部２１の列を円筒部
材１６の対称位置に二列設けた例を示す。
【００１９】次に、図８に基づいて本発明に係る第２の
実施例について説明する。図８に示す保持具３０は、四
本の棒部材３１とこれらを互いに平行に支持する支持部
材３２とを有して構成されている。支持部材３２の二枚
の平板部材３３は第１の実施例における保持具１０の場
合と同様に対向配設されるとともに、結合部材（図示せ
ず）により結合されている。また、両平板部材３３には
四隅から中心に向かう四つの長穴のスライド溝３４が形
成されている。
実施例について説明する。図８に示す保持具３０は、四
本の棒部材３１とこれらを互いに平行に支持する支持部
材３２とを有して構成されている。支持部材３２の二枚
の平板部材３３は第１の実施例における保持具１０の場
合と同様に対向配設されるとともに、結合部材（図示せ
ず）により結合されている。また、両平板部材３３には
四隅から中心に向かう四つの長穴のスライド溝３４が形
成されている。
【００２０】棒部材３１は、図９に示すように芯部３５
に突起部材３６及び間隔部材３７が貫通取り付けされて
構成されている。突起部材３６及び間隔部材３７はとも
に円筒形状をしているが、突起部材３６には芯部３５を
中心とする円盤形状の凸部３８が設けられており、この
凸部３８はその両面に外径方向に狭まるテーパ面３８ａ
を有している。突起部材３６及び間隔部材３７は芯部３
５に着脱自在になっており、隣接する突起部材３６、３
６間に間隔部材３７を一又は二以上取り付けることによ
り、保持対称となるテストピースＰの形状等に合わせて
隣接テーパ面３８ａ、３８ａの間を調整することができ
るようになっている（従って不要であれば間隔部材３７
は用いられない）。
に突起部材３６及び間隔部材３７が貫通取り付けされて
構成されている。突起部材３６及び間隔部材３７はとも
に円筒形状をしているが、突起部材３６には芯部３５を
中心とする円盤形状の凸部３８が設けられており、この
凸部３８はその両面に外径方向に狭まるテーパ面３８ａ
を有している。突起部材３６及び間隔部材３７は芯部３
５に着脱自在になっており、隣接する突起部材３６、３
６間に間隔部材３７を一又は二以上取り付けることによ
り、保持対称となるテストピースＰの形状等に合わせて
隣接テーパ面３８ａ、３８ａの間を調整することができ
るようになっている（従って不要であれば間隔部材３７
は用いられない）。
【００２１】棒部材３１の芯部３５の両端にはねじ溝
（図示せず）が設けられており、第１の実施例において
説明した要領で支持部材３２のスライド溝３４に取り付
けられ、内部にねじが切られた固定具３９で固定され
る。なお、ここでも各スライド溝３４の溝幅は、棒部材
３１の端部がスライド溝３４内でガタつかない大きさに
形成されているので、棒部材３１はスライド溝３４に沿
ってスライド移動（平行移動）させることが可能であ
る。
（図示せず）が設けられており、第１の実施例において
説明した要領で支持部材３２のスライド溝３４に取り付
けられ、内部にねじが切られた固定具３９で固定され
る。なお、ここでも各スライド溝３４の溝幅は、棒部材
３１の端部がスライド溝３４内でガタつかない大きさに
形成されているので、棒部材３１はスライド溝３４に沿
ってスライド移動（平行移動）させることが可能であ
る。
【００２２】このような構成の保持具３０によりテスト
ピースＰを保持するときには、第１の実施例の場合と同
様に、棒部材３１をスライド溝３４に沿って移動させ、
テストピースＰを四本の棒部材３１で挟持する。保持具
３０により円柱状のテストピースＰの保持した状態の一
例を図１０（ａ）、（ｂ）に示す。これら両図に示すよ
うに、テストピースＰは棒部材３１の隣接凸部３８、３
８間のテーパ面３８ａ、３８ａにおいてテストピースＰ
の外縁を支持するようにする。各棒部材３１はスライド
溝３４に沿ってスライド移動させて棒部材３１間の間隔
を任意に変化させることができるので、異なる大きさ・
形状の複数種のテストピースをこの保持具３０一つで保
持することが可能である。またテストピースＰをテーパ
面３８ａで支持することにより、第１の実施例の場合と
同様の効果を得ることができる。
ピースＰを保持するときには、第１の実施例の場合と同
様に、棒部材３１をスライド溝３４に沿って移動させ、
テストピースＰを四本の棒部材３１で挟持する。保持具
３０により円柱状のテストピースＰの保持した状態の一
例を図１０（ａ）、（ｂ）に示す。これら両図に示すよ
うに、テストピースＰは棒部材３１の隣接凸部３８、３
８間のテーパ面３８ａ、３８ａにおいてテストピースＰ
の外縁を支持するようにする。各棒部材３１はスライド
溝３４に沿ってスライド移動させて棒部材３１間の間隔
を任意に変化させることができるので、異なる大きさ・
形状の複数種のテストピースをこの保持具３０一つで保
持することが可能である。またテストピースＰをテーパ
面３８ａで支持することにより、第１の実施例の場合と
同様の効果を得ることができる。
【００２３】なお、上記第１及び第２の実施例における
平板部材１２（又は３２）に形成されるスライド溝１５
（又は３４）の位置、形状及び個数等は上記実施例に示
したものに限られず、種々の変更が可能である。棒部材
１１（又は３１）の数もテストピースＰを保持できる最
低本数である三本を有していれば、その数は特に問わな
い。また、各棒部材１１は互いに相対的な平行移動がで
きればよいので、一部の溝を長穴でない孔に置き換えた
ものでも構わない。例えば第２の実施例において、棒部
材３１を三本とするとともに、平板部材３３を図１１に
示すような二つのスライド溝３４ａと一つの孔３４ｂと
を有する形状の平板部材３３ａに置き換えてもよい。こ
のような構成において角柱状のテストピースＰを保持し
た状態の一例を図１２に示す。図１２に示すように、孔
３４ｂに取り付けた棒部材３１はスライド移動できない
が、二つのスライド溝３４ａに取り付けられた棒部材３
１、３１はともにスライド移動が可能であるので、テス
トピースＰを保持することが可能である。この場合であ
っても上述の第２の実施例と同様の効果を得ることがで
きる。
平板部材１２（又は３２）に形成されるスライド溝１５
（又は３４）の位置、形状及び個数等は上記実施例に示
したものに限られず、種々の変更が可能である。棒部材
１１（又は３１）の数もテストピースＰを保持できる最
低本数である三本を有していれば、その数は特に問わな
い。また、各棒部材１１は互いに相対的な平行移動がで
きればよいので、一部の溝を長穴でない孔に置き換えた
ものでも構わない。例えば第２の実施例において、棒部
材３１を三本とするとともに、平板部材３３を図１１に
示すような二つのスライド溝３４ａと一つの孔３４ｂと
を有する形状の平板部材３３ａに置き換えてもよい。こ
のような構成において角柱状のテストピースＰを保持し
た状態の一例を図１２に示す。図１２に示すように、孔
３４ｂに取り付けた棒部材３１はスライド移動できない
が、二つのスライド溝３４ａに取り付けられた棒部材３
１、３１はともにスライド移動が可能であるので、テス
トピースＰを保持することが可能である。この場合であ
っても上述の第２の実施例と同様の効果を得ることがで
きる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る光学
素子の保持具によれば、ほぼ同一長さである三本以上の
棒部材と、これら棒部材が互いにほぼ平行となるように
棒部材の両端を支持する支持部材とを有し、棒部材によ
り挟持して光学素子を保持するように構成されており、
更に、棒部材を軸と直角方向に平行移動させることが可
能であるので、棒部材間の間隔を任意に変化させること
ができ、異なる大きさ・形状の複数種の光学素子をこの
保持具一つで保持することが可能である。このため従来
のように形状等の異なる光学素子の種類分だけの保持具
を用意する必要がなく、保持具の保管場所に大きなスペ
ースを割く必要がない。また、新規形状の光学素子を作
製した場合であっても新たな保持具を作製する必要がな
く、更に構成が簡単であるのでコスト的にも有利であ
る。更に、テストピースは複数の棒部材で挟持されるの
でガタつくことがなく、振動を受けても傷つく虞がな
い。
素子の保持具によれば、ほぼ同一長さである三本以上の
棒部材と、これら棒部材が互いにほぼ平行となるように
棒部材の両端を支持する支持部材とを有し、棒部材によ
り挟持して光学素子を保持するように構成されており、
更に、棒部材を軸と直角方向に平行移動させることが可
能であるので、棒部材間の間隔を任意に変化させること
ができ、異なる大きさ・形状の複数種の光学素子をこの
保持具一つで保持することが可能である。このため従来
のように形状等の異なる光学素子の種類分だけの保持具
を用意する必要がなく、保持具の保管場所に大きなスペ
ースを割く必要がない。また、新規形状の光学素子を作
製した場合であっても新たな保持具を作製する必要がな
く、更に構成が簡単であるのでコスト的にも有利であ
る。更に、テストピースは複数の棒部材で挟持されるの
でガタつくことがなく、振動を受けても傷つく虞がな
い。
【００２５】また、棒部材に外径方向に狭まるテーパ状
の凸部を設け、これら凸部のテーパ面において光学素子
の外縁を支持することが好ましく、このような構成によ
れば、光学素子と保持具との接触面積が小さくなるの
で、洗浄中に保持具から受ける汚染を低減することがで
き、また乾燥に費やす時間を短くすることができる。
の凸部を設け、これら凸部のテーパ面において光学素子
の外縁を支持することが好ましく、このような構成によ
れば、光学素子と保持具との接触面積が小さくなるの
で、洗浄中に保持具から受ける汚染を低減することがで
き、また乾燥に費やす時間を短くすることができる。
【図１】本発明の第１の実施例に係る光学素子の保持具
の構成を示す斜視図である。
の構成を示す斜視図である。
【図２】第１の実施例における棒部材の構成を示す側面
図である。
図である。
【図３】図２に示す棒部材のIII−III断面図である。
【図４】第１の実施例における保持具で円柱状テストピ
ースを保持した状態の一例を示す図であり、模式的な正
面図（ａ）と部分平面図（ｂ）である。
ースを保持した状態の一例を示す図であり、模式的な正
面図（ａ）と部分平面図（ｂ）である。
【図５】第１の実施例における保持具で角柱状テストピ
ースを保持した状態の一例を示す図であり、模式的な正
面図（ａ）と部分平面図（ｂ）である。
ースを保持した状態の一例を示す図であり、模式的な正
面図（ａ）と部分平面図（ｂ）である。
【図６】第１の実施例における棒部材の変形例を示す側
面図である。
面図である。
【図７】第１の実施例における棒部材のもう一つの変形
例を示す側面図である。
例を示す側面図である。
【図８】本発明の第２の実施例に係る光学素子の保持具
の構成を示す斜視図である。
の構成を示す斜視図である。
【図９】第２の実施例に係る棒部材の構成を示す側面図
である。
である。
【図１０】第２の実施例における保持具で円柱状テスト
ピースを保持した状態の一例を示す図であり、模式的な
正面図（ａ）と部分平面図（ｂ）である。
ピースを保持した状態の一例を示す図であり、模式的な
正面図（ａ）と部分平面図（ｂ）である。
【図１１】第２の実施例の変形例に係る保持具に用いら
れる平板部材の構成を示す正面図である。
れる平板部材の構成を示す正面図である。
【図１２】第２の実施例の変形例に係る保持具で角柱状
テストピースを保持した状態の一例を示す図であり、模
式的な正面図（ａ）と部分平面図（ｂ）である。
テストピースを保持した状態の一例を示す図であり、模
式的な正面図（ａ）と部分平面図（ｂ）である。
１０ 保持具 １１ 棒部材 １２ 支持部材 １３ 平板部材 １５ スライド溝 １８ 板状部材 １９ 凸部 １９ａ テーパ面
Claims (6)
- 【請求項１】 ほぼ同一長さである三本以上の棒部材
と、これら棒部材が互いにほぼ平行になるように前記棒
部材の両端を支持する支持部材とを有し、前記棒部材に
より挟持して光学素子を保持する光学素子の保持具であ
って、 前記棒部材を軸と直角方向に平行移動させることが可能
であることを特徴とする光学素子の保持具。 - 【請求項２】 前記支持部材が対向配設された二枚の平
板部材を有し、これら二枚の平板部材に穿設された複数
の穴部に前記各棒部材の両端を取り付けるように構成さ
れており、 前記穴部が長穴からなり、これら長穴に沿って前記棒部
材を平行移動させることが可能であることを特徴とする
請求項１記載の光学素子の保持具。 - 【請求項３】 前記棒部材が外径方向に狭まるテーパ状
の凸部の列を有し、これら凸部のテーパ面において前記
光学素子の外縁を支持することが可能であることを特徴
とする請求項１又は請求項２記載の光学素子の保持具。 - 【請求項４】 前記棒部材に軸方向に延びた板部材を取
り付け、この板部材に前記凸部の列が形成されたことを
特徴とする請求項３記載の光学素子の保持具。 - 【請求項５】 前記棒部材に複数の円筒部材を貫通配設
し、これら円筒部材に前記凸部が形成されたことを特徴
とする請求項３記載の光学素子の保持具。 - 【請求項６】 前記複数の円筒部材同士の間に一又は二
以上の円筒状の間隔部材が貫通配設されたことを特徴と
する請求項５記載の光学素子の保持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10228833A JP2000056200A (ja) | 1998-08-13 | 1998-08-13 | 光学素子の保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10228833A JP2000056200A (ja) | 1998-08-13 | 1998-08-13 | 光学素子の保持具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000056200A true JP2000056200A (ja) | 2000-02-25 |
Family
ID=16882582
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10228833A Pending JP2000056200A (ja) | 1998-08-13 | 1998-08-13 | 光学素子の保持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000056200A (ja) |
Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10155637A1 (de) * | 2001-10-11 | 2003-05-08 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Halte-und Fixiereinrichtung für optische Elemente |
| KR101044184B1 (ko) | 2009-03-30 | 2011-06-28 | 삼성전기주식회사 | 기판 캐리어 박스 및 그 제조방법 |
| CN102366750A (zh) * | 2011-11-21 | 2012-03-07 | 沈阳仪表科学研究院 | 深曲面玻璃反光镜的超声波清洗干燥方法 |
| CN102836851A (zh) * | 2011-06-23 | 2012-12-26 | 苏州五方光电科技有限公司 | 可调清洗夹具 |
| CN103137535A (zh) * | 2013-02-27 | 2013-06-05 | 上海华力微电子有限公司 | 晶圆承载装置及其承载方法 |
| CN103691685A (zh) * | 2013-11-30 | 2014-04-02 | 南通环球光学仪器有限公司 | 一种镜片清洁装置 |
| US8777540B2 (en) | 2005-10-17 | 2014-07-15 | Dynamic Microsystems Semiconductor Equipment Gmbh | Apparatus for storing contamination-sensitive flat articles, in particular for storing semiconductor wafers |
| CN104174622A (zh) * | 2014-07-17 | 2014-12-03 | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 | 通用放置架 |
| CN105598085A (zh) * | 2015-12-22 | 2016-05-25 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种光学元件超声波清洗装置 |
| CN105751180A (zh) * | 2016-04-25 | 2016-07-13 | 苏州市王氏电路板有限公司 | Pcb 收料装置 |
| CN107187713A (zh) * | 2017-05-23 | 2017-09-22 | 苏州木山云智能科技有限公司 | 一种pcb板放置箱 |
| CN107235213A (zh) * | 2017-05-24 | 2017-10-10 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 多功能大型镜片快速包装装置 |
| CN107321694A (zh) * | 2017-08-01 | 2017-11-07 | 北京亦盛精密半导体有限公司 | 一种脆性材料酸洗框 |
| US9947565B2 (en) | 2006-06-09 | 2018-04-17 | Brooks Automation, Inc. | Workpiece stocker with circular configuration |
| CN109080950A (zh) * | 2018-06-25 | 2018-12-25 | 王玉廷 | 一种苹果物流运输放置结构 |
| CN109110268A (zh) * | 2018-09-17 | 2019-01-01 | 天津大学 | 一种高压釜釜盖存放装置 |
| CN110979920A (zh) * | 2020-01-06 | 2020-04-10 | 苏州洋紫瑞信息科技有限公司 | 一种信息安全芯片存放盒 |
| US10643878B2 (en) | 2006-11-15 | 2020-05-05 | Brooks Automation (Germany) Gmbh | Removable compartments for workpiece stocker |
| CN111516976A (zh) * | 2020-05-09 | 2020-08-11 | 宁波金汤科技服务有限公司 | 一种具有安全性高的汽车轮胎放置设备 |
| CN112676253A (zh) * | 2020-12-03 | 2021-04-20 | 江西永强光电科技有限公司 | 一种光学镜片超声波清洗设备 |
-
1998
- 1998-08-13 JP JP10228833A patent/JP2000056200A/ja active Pending
Cited By (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| DE10155637B4 (de) * | 2001-10-11 | 2005-11-24 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Halte-und Fixiereinrichtung für optische Elemente |
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