JPH08139154A - ウェハハンドリング方法及び装置 - Google Patents
ウェハハンドリング方法及び装置Info
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- JPH08139154A JPH08139154A JP27656694A JP27656694A JPH08139154A JP H08139154 A JPH08139154 A JP H08139154A JP 27656694 A JP27656694 A JP 27656694A JP 27656694 A JP27656694 A JP 27656694A JP H08139154 A JPH08139154 A JP H08139154A
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- arm
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体装置の製造工程において、ウェハを保
持し、搬送するウェハハンドリング方法及び装置に関
し、パーティクルの付着が少なく、保持のためのスペー
スが小さくて済むウェハハンドリング方法及び装置を提
供することを目的とする。 【構成】 基台６からウェハ２の外径に湾曲された板バ
ネ１２及び板バネ１２に平行に配置され、エアが貫通す
るフレキシブルチューブ１３よりなるアーム部を延出さ
せ、ウェハ２を保持する際にはフレキシブルチューブ１
３にエアが供給されないようにして板バネ１２及び基台
６の係合部１０，１１及びブロック１４によりウェハ２
の外周端部を保持し、ウェハ２を離脱させる際にはフレ
キシブルチューブ１３にエアを供給し、エアによりフレ
キシブルチューブ１３を直状にする力を働かせて、アー
ム部を直状にし、ウェハ２との係合を解除する。
持し、搬送するウェハハンドリング方法及び装置に関
し、パーティクルの付着が少なく、保持のためのスペー
スが小さくて済むウェハハンドリング方法及び装置を提
供することを目的とする。 【構成】 基台６からウェハ２の外径に湾曲された板バ
ネ１２及び板バネ１２に平行に配置され、エアが貫通す
るフレキシブルチューブ１３よりなるアーム部を延出さ
せ、ウェハ２を保持する際にはフレキシブルチューブ１
３にエアが供給されないようにして板バネ１２及び基台
６の係合部１０，１１及びブロック１４によりウェハ２
の外周端部を保持し、ウェハ２を離脱させる際にはフレ
キシブルチューブ１３にエアを供給し、エアによりフレ
キシブルチューブ１３を直状にする力を働かせて、アー
ム部を直状にし、ウェハ２との係合を解除する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はウェハハンドリング方法
及び装置に係り、特に、半導体装置の製造工程において
ウェハを保持し、搬送するウェハハンドリング方法及び
装置に関する。近年、半導体装置の製造装置には小型化
が要求されており、このために、各工程の製造装置のチ
ャンバの開口部のスペースを減少させる必要がある。こ
のためには、ウェハのハンドリング装置の幅を減少させ
る必要があった。
及び装置に係り、特に、半導体装置の製造工程において
ウェハを保持し、搬送するウェハハンドリング方法及び
装置に関する。近年、半導体装置の製造装置には小型化
が要求されており、このために、各工程の製造装置のチ
ャンバの開口部のスペースを減少させる必要がある。こ
のためには、ウェハのハンドリング装置の幅を減少させ
る必要があった。
【０００２】一方、半導体装置の微細化が進むにつれ、
その製造工程でウェハに付着するパーティクルをより減
少させたいという要求がある。パーティクルはウェハの
搬送時などにウェハハンドリング装置等より付着するた
め、ウェハのハンドリング時のウェハとの接触部分を少
なくすることが必要とされている。このためウェハの端
面でウェハを保持するウェハハンドリング装置が開発さ
れている。
その製造工程でウェハに付着するパーティクルをより減
少させたいという要求がある。パーティクルはウェハの
搬送時などにウェハハンドリング装置等より付着するた
め、ウェハのハンドリング時のウェハとの接触部分を少
なくすることが必要とされている。このためウェハの端
面でウェハを保持するウェハハンドリング装置が開発さ
れている。
【０００３】このため、できるだけ小さいスペースで製
造装置のチャンバ内へ挿入でき、ウェハの端部を保持で
きるウェハハンドリング装置が要求されている。
造装置のチャンバ内へ挿入でき、ウェハの端部を保持で
きるウェハハンドリング装置が要求されている。
【０００４】
【従来の技術】従来のウェハハンドリング方法は、ウェ
ハの処理工程により選択される方法は異なるが、ウェハ
に付着するパーティクルを考慮し、できるだけ接触部分
の少ない方法が望まれ、ウェハ裏面にコンタクトして真
空で吸着保持する方法と、ウェハの外周・端部を保持す
る方法が主流なものとして用いられている。
ハの処理工程により選択される方法は異なるが、ウェハ
に付着するパーティクルを考慮し、できるだけ接触部分
の少ない方法が望まれ、ウェハ裏面にコンタクトして真
空で吸着保持する方法と、ウェハの外周・端部を保持す
る方法が主流なものとして用いられている。
【０００５】図１５乃至図１７に従来のウェハ搬送装置
におけるウェハハンドリング装置の構成図を示す。図１
５は外周保持方式のもので、一対の可動アーム４１，４
２をアクチュエータ４３によりガイドレール４４により
ガイドしつつ矢印Ｂ方向にスライドさせることによりウ
ェハ４５端部を左右より挟持する構成とされていた。
におけるウェハハンドリング装置の構成図を示す。図１
５は外周保持方式のもので、一対の可動アーム４１，４
２をアクチュエータ４３によりガイドレール４４により
ガイドしつつ矢印Ｂ方向にスライドさせることによりウ
ェハ４５端部を左右より挟持する構成とされていた。
【０００６】図１６は吸着保持方式のハンドリング装置
の構成図で、図１６（Ａ）は平面図、図１６（Ｂ）は立
面（側面）図を示す。吸着保持方式のハンドリング装置
はアーム５１，５２の先端に設けられた吸着パッド５３
をアーム５１，５２の内部を通して真空ポンプ５４によ
り真空状態としてウェハ５４を吸着して保持するもの
で、ウェハ５４にパーティクルが付着しないように吸着
パッド５３はウェハ５４の裏面でウェハ５４を吸着する
構成とされていた。
の構成図で、図１６（Ａ）は平面図、図１６（Ｂ）は立
面（側面）図を示す。吸着保持方式のハンドリング装置
はアーム５１，５２の先端に設けられた吸着パッド５３
をアーム５１，５２の内部を通して真空ポンプ５４によ
り真空状態としてウェハ５４を吸着して保持するもの
で、ウェハ５４にパーティクルが付着しないように吸着
パッド５３はウェハ５４の裏面でウェハ５４を吸着する
構成とされていた。
【０００７】図１７は積載方式のハンドリング装置で、
図１７（Ａ）は平面図、図１７（Ｂ）は側面図を示す。
積載方式のハンドリング装置はウェハ６１の直径よりわ
ずかに大きく一部に切欠部６２を有する円環状の積載部
６３にウェハ６１の下面を支持する支持部６４を複数ケ
所に設け、積載部６３を矢印Ｘ，Ｙ，Ｚ方向に移動させ
る駆動部６５により駆動することによりウェハ６１を端
部下面で支持する構成とされていた。
図１７（Ａ）は平面図、図１７（Ｂ）は側面図を示す。
積載方式のハンドリング装置はウェハ６１の直径よりわ
ずかに大きく一部に切欠部６２を有する円環状の積載部
６３にウェハ６１の下面を支持する支持部６４を複数ケ
所に設け、積載部６３を矢印Ｘ，Ｙ，Ｚ方向に移動させ
る駆動部６５により駆動することによりウェハ６１を端
部下面で支持する構成とされていた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、図１６に示
す吸着保持方式のハンドリング装置ではウェハ裏面では
あるものの吸着パッドとの接触部分が大きく、パーティ
クルが付着しやすく、パーティクルの影響を受けやす
く、また、図１５，図１７の外周保持方式や積載方式の
ハンドリング方法ではウェハ端部を保持できるため、パ
ーティクルの付着は最小限にできるが、ウェハの両側部
に突出するため、ウェハを処理する処理ユニットのチャ
ンバをハンドリング装置の幅に応じて設定する必要があ
り、処理ユニットの小型化を妨げてしまう等の問題点が
あった。
す吸着保持方式のハンドリング装置ではウェハ裏面では
あるものの吸着パッドとの接触部分が大きく、パーティ
クルが付着しやすく、パーティクルの影響を受けやす
く、また、図１５，図１７の外周保持方式や積載方式の
ハンドリング方法ではウェハ端部を保持できるため、パ
ーティクルの付着は最小限にできるが、ウェハの両側部
に突出するため、ウェハを処理する処理ユニットのチャ
ンバをハンドリング装置の幅に応じて設定する必要があ
り、処理ユニットの小型化を妨げてしまう等の問題点が
あった。
【０００９】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、パーティクルの付着が少なく、保持のためのスペー
スが小さくて済むウェハハンドリング方法、装置及びウ
ェハ搬送装置を提供することを目的とする。
で、パーティクルの付着が少なく、保持のためのスペー
スが小さくて済むウェハハンドリング方法、装置及びウ
ェハ搬送装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１は、ウ
ェハの端部の一部に基台を係合させ、該ウェハの端部の
一部に該基台を係合させた後、前記基台から延出したア
ームを前記ウェハの端部の他の部分に巻回させ、前記ウ
ェハ端部を前記基台及び前記アームで巻回しつつ保持
し、前記ウェハを把持することを特徴とする。
ェハの端部の一部に基台を係合させ、該ウェハの端部の
一部に該基台を係合させた後、前記基台から延出したア
ームを前記ウェハの端部の他の部分に巻回させ、前記ウ
ェハ端部を前記基台及び前記アームで巻回しつつ保持
し、前記ウェハを把持することを特徴とする。
【００１１】請求項２は、ウェハの端部の一部に係合す
る基台と、前記基台から延出し、前記ウェハの端部にそ
って湾曲可能とされ、湾曲時に前記ウェハの端部の他の
部分に係合し、前記基台と協同して前記ウェハを把持す
るアーム部と、前記アーム部の湾曲動作を制御するアー
ム制御部とを有する構成としてなる。
る基台と、前記基台から延出し、前記ウェハの端部にそ
って湾曲可能とされ、湾曲時に前記ウェハの端部の他の
部分に係合し、前記基台と協同して前記ウェハを把持す
るアーム部と、前記アーム部の湾曲動作を制御するアー
ム制御部とを有する構成としてなる。
【００１２】請求項３は、前記アーム部は前記ウェハの
外径に略そって湾曲された板バネと、前記板バネにそっ
て配設された伸縮自在な管体と、前記板バネ及び前記管
体と共に移動し、前記ウェハの端部と係合する係合部
と、前記アーム制御部からの制御信号に応じた該管の流
体を前記管体に供給する流体供給部とを有する構成とし
てなる。
外径に略そって湾曲された板バネと、前記板バネにそっ
て配設された伸縮自在な管体と、前記板バネ及び前記管
体と共に移動し、前記ウェハの端部と係合する係合部
と、前記アーム制御部からの制御信号に応じた該管の流
体を前記管体に供給する流体供給部とを有する構成とし
てなる。
【００１３】請求項４は、前記アーム部は所定の温度で
前記ウェハの外径に略そって湾曲された形状に復元する
ように形状が記憶された形状記憶合金製の板材と、前記
板材に近接して設けられ、前記アーム制御部からの制御
信号に応じて前記板材を前記所定の温度にする温度制御
手段と、前記板材にそって配設された伸縮自在な管体
と、前記板バネ及び前記管体と共に移動し、前記ウェハ
の端部と係合する係合部と、前記アーム制御部からの制
御信号に応じた流量の流体を前記管体に供給する流体供
給部とを有する構成としてなる。
前記ウェハの外径に略そって湾曲された形状に復元する
ように形状が記憶された形状記憶合金製の板材と、前記
板材に近接して設けられ、前記アーム制御部からの制御
信号に応じて前記板材を前記所定の温度にする温度制御
手段と、前記板材にそって配設された伸縮自在な管体
と、前記板バネ及び前記管体と共に移動し、前記ウェハ
の端部と係合する係合部と、前記アーム制御部からの制
御信号に応じた流量の流体を前記管体に供給する流体供
給部とを有する構成としてなる。
【００１４】請求項５は、前記アーム部は所定の温度で
前記ウェハの外径に略そって湾曲された形状に復元する
ように形状が記憶された形状記憶合金製の第１の板材
と、前記第１の板材に近接して設けられ、前記アーム制
御部からの制御信号に応じて前記第１の板材を前記所定
の温度にする第１の温度制御部と、前記第１の板材に平
行に前記第１の板材と共に変形可能に配設され、所定の
温度で直状の形状に復元するように形状が記憶された形
状記憶合金製の第２の板材と、前記第２の板材に近接し
て設けられ、前記アーム制御部からの制御信号に応じて
前記第２の板材を前記所定の温度にする第２の温度制御
部と、前記第１及び第２の板材と共に移動し、前記ウェ
ハの端部に係合する係合部とを有する構成としてなる。
前記ウェハの外径に略そって湾曲された形状に復元する
ように形状が記憶された形状記憶合金製の第１の板材
と、前記第１の板材に近接して設けられ、前記アーム制
御部からの制御信号に応じて前記第１の板材を前記所定
の温度にする第１の温度制御部と、前記第１の板材に平
行に前記第１の板材と共に変形可能に配設され、所定の
温度で直状の形状に復元するように形状が記憶された形
状記憶合金製の第２の板材と、前記第２の板材に近接し
て設けられ、前記アーム制御部からの制御信号に応じて
前記第２の板材を前記所定の温度にする第２の温度制御
部と、前記第１及び第２の板材と共に移動し、前記ウェ
ハの端部に係合する係合部とを有する構成としてなる。
【００１５】請求項６は、前記アーム制御部は前記アー
ム部を湾曲時に湾曲が大きくなる程遅く変形するように
制御する構成としてなる。
ム部を湾曲時に湾曲が大きくなる程遅く変形するように
制御する構成としてなる。
【００１６】
【作用】本発明の請求項１，２によれば、アーム部をウ
ェハの外径端部に巻回させることによりウェハを把持す
る方法とすることにより、ウェハの両側端にはアーム部
の幅だけのわずかなスペースを設けておけばよく、した
がって、ウェハの搭載部分のスペースを不必要に大きく
する必要がなくなり、半導体製造装置等をコンパクトに
できる。
ェハの外径端部に巻回させることによりウェハを把持す
る方法とすることにより、ウェハの両側端にはアーム部
の幅だけのわずかなスペースを設けておけばよく、した
がって、ウェハの搭載部分のスペースを不必要に大きく
する必要がなくなり、半導体製造装置等をコンパクトに
できる。
【００１７】請求項３によれば、予め、ウェハの外径に
略そって湾曲された板バネによりアーム部をウェハの外
周端部にそって湾曲し、巻回することができ、板バネに
平行に設けられた管体に流体を供給することにより管体
が供給された流体の抵抗を減少させようとして直状にな
ろうとする力により板バネを延ばしてアーム部を直状と
することができる。
略そって湾曲された板バネによりアーム部をウェハの外
周端部にそって湾曲し、巻回することができ、板バネに
平行に設けられた管体に流体を供給することにより管体
が供給された流体の抵抗を減少させようとして直状にな
ろうとする力により板バネを延ばしてアーム部を直状と
することができる。
【００１８】請求項４によれば、請求項３の板バネに代
えて所定の温度で前記ウェハの外径に略そって湾曲され
た形状に復元するように形状が記憶された形状記憶合金
製の板材と、前記板材に近接して設けられ、前記アーム
制御部からの制御信号に応じて前記板材を前記所定の温
度にする温度制御手段と、を設け、板材を所定の温度と
することにより板材を湾曲した形状に復元する力を用い
て、アーム部を湾曲させることができる。
えて所定の温度で前記ウェハの外径に略そって湾曲され
た形状に復元するように形状が記憶された形状記憶合金
製の板材と、前記板材に近接して設けられ、前記アーム
制御部からの制御信号に応じて前記板材を前記所定の温
度にする温度制御手段と、を設け、板材を所定の温度と
することにより板材を湾曲した形状に復元する力を用い
て、アーム部を湾曲させることができる。
【００１９】請求項５によれば、請求項４の管体及び流
体供給部に代え所定の温度で直状となるように形状が記
憶された板材と、その板材の温度を所定の温度とする温
度制御部を設け、温度制御部により板材を所定の温度と
することにより板材を直状とし、アーム部を直状にする
ことができる。請求項６によれば、アーム部の動作をウ
ェハ端部に接するときにゆっくりとすることにより、ウ
ェハを確実に保持でき、かつ、ウェハにダメージを与え
ることなく保持可能とできる。
体供給部に代え所定の温度で直状となるように形状が記
憶された板材と、その板材の温度を所定の温度とする温
度制御部を設け、温度制御部により板材を所定の温度と
することにより板材を直状とし、アーム部を直状にする
ことができる。請求項６によれば、アーム部の動作をウ
ェハ端部に接するときにゆっくりとすることにより、ウ
ェハを確実に保持でき、かつ、ウェハにダメージを与え
ることなく保持可能とできる。
【００２０】
【実施例】図１に本発明の第１実施例の構成図を示す。
本実施例のウェハ搬送装置１はウェハ２を把持するハン
ドリング装置３，ハンドリング装置３を矢印Ｘ，Ｙ方向
に移動させる駆動装置４，ハンドリング装置３の把持及
び駆動装置４によるハンドリング装置３の移動を制御す
る制御装置５より構成される。
本実施例のウェハ搬送装置１はウェハ２を把持するハン
ドリング装置３，ハンドリング装置３を矢印Ｘ，Ｙ方向
に移動させる駆動装置４，ハンドリング装置３の把持及
び駆動装置４によるハンドリング装置３の移動を制御す
る制御装置５より構成される。
【００２１】ハンドリング装置３はウェハ２の端部に係
合し、その一部を保持する基台６，及び基台６から延在
し、矢印Ａ方向に移動しつつウェハ２端部に巻回し、ウ
ェハ２を基台６と共に把持するアーム部７，アーム部７
の動作を制御するエアーを供給するエア供給部８、エア
供給部８からのエアのアーム部７への供給を制御装置５
からの制御信号に応じて制御する流量制御バルブ９より
構成される。
合し、その一部を保持する基台６，及び基台６から延在
し、矢印Ａ方向に移動しつつウェハ２端部に巻回し、ウ
ェハ２を基台６と共に把持するアーム部７，アーム部７
の動作を制御するエアーを供給するエア供給部８、エア
供給部８からのエアのアーム部７への供給を制御装置５
からの制御信号に応じて制御する流量制御バルブ９より
構成される。
【００２２】基台６は一辺がウェハ２の外周にそって湾
曲した略三角形状をなし、湾曲した辺の両端にはウェハ
２と係合する係合部１０，１１が一体に形成されてい
る。係合部１０，１１は断面形状が図１（Ｂ）に示すよ
うに側面が傾斜した凹状に形成されており、ウェハ２端
部が係合部１０，１１の最深部にガイドされる構成とさ
れている。
曲した略三角形状をなし、湾曲した辺の両端にはウェハ
２と係合する係合部１０，１１が一体に形成されてい
る。係合部１０，１１は断面形状が図１（Ｂ）に示すよ
うに側面が傾斜した凹状に形成されており、ウェハ２端
部が係合部１０，１１の最深部にガイドされる構成とさ
れている。
【００２３】アーム部７はウェハ２を把持する力を発生
する板バネ１２と、ウレタン、ナイロンよりなり変形可
能で、一端が流量制御バルブ９を介してエア供給部８と
接続され、他端が開放されエアにより板バネ１２を直線
状に変形させるフレキシブルチューブ１３，板バネ１２
とフレキシブルチューブ１３とを平行に保持すると共に
ウェハ２の端部と係合する保持ブロック１４とよりな
り、一端が基台６に固定される。
する板バネ１２と、ウレタン、ナイロンよりなり変形可
能で、一端が流量制御バルブ９を介してエア供給部８と
接続され、他端が開放されエアにより板バネ１２を直線
状に変形させるフレキシブルチューブ１３，板バネ１２
とフレキシブルチューブ１３とを平行に保持すると共に
ウェハ２の端部と係合する保持ブロック１４とよりな
り、一端が基台６に固定される。
【００２４】板バネ１２はウェハ２の径又はそれより若
干小さい径で湾曲しており、一端が基台６の湾曲した辺
に連続するように固定されている。フレキシブルチュー
ブ１３はウレタンや、ナイロン製の直線状のフレキシブ
ルチューブで、ブロック１４により板バネ１２に平行と
なるようにブロック１４に対して摺動自在に配設され一
端が流量制御バルブ９を介してエア供給部８に接続され
る。ブロック１４は板バネ１２の先端及び中間部分に固
定され、板バネ１２の固定側の端部には図１（Ｃ）に示
すように側面が傾斜した凹部１５が形成されており、ウ
ェハ２の端部との係合時に傾斜により、ウェハ２の端部
がガイドされ、凹部１５の最深部でウェハ２を保持でき
る構成とされている。
干小さい径で湾曲しており、一端が基台６の湾曲した辺
に連続するように固定されている。フレキシブルチュー
ブ１３はウレタンや、ナイロン製の直線状のフレキシブ
ルチューブで、ブロック１４により板バネ１２に平行と
なるようにブロック１４に対して摺動自在に配設され一
端が流量制御バルブ９を介してエア供給部８に接続され
る。ブロック１４は板バネ１２の先端及び中間部分に固
定され、板バネ１２の固定側の端部には図１（Ｃ）に示
すように側面が傾斜した凹部１５が形成されており、ウ
ェハ２の端部との係合時に傾斜により、ウェハ２の端部
がガイドされ、凹部１５の最深部でウェハ２を保持でき
る構成とされている。
【００２５】フレキシブルチューブ１３の一端は開放さ
れ、他端は基台６を貫通して、流量制御バルブ９に接続
され、流量制御バルブ９を介してエア供給部８と接続さ
れている。流量制御バルブ９は制御装置５と接続され、
制御装置５からのハンドリング制御信号に応じてフレキ
シブルチューブ１３に供給するエアの流量を制御する。
れ、他端は基台６を貫通して、流量制御バルブ９に接続
され、流量制御バルブ９を介してエア供給部８と接続さ
れている。流量制御バルブ９は制御装置５と接続され、
制御装置５からのハンドリング制御信号に応じてフレキ
シブルチューブ１３に供給するエアの流量を制御する。
【００２６】フレキシブルチューブ１３は流量制御バル
ブ９からエアが供給されない状態では変形自在な状態
で、板バネ１２の湾曲にそって変形している。フレキシ
ブルチューブ１３にエアが流れるとフレキシブルチュー
ブ１３はエアの流れにより直線状に復元しようとする。
フレキシブルチューブ１３に働く復元力はエアの流量に
比例している。
ブ９からエアが供給されない状態では変形自在な状態
で、板バネ１２の湾曲にそって変形している。フレキシ
ブルチューブ１３にエアが流れるとフレキシブルチュー
ブ１３はエアの流れにより直線状に復元しようとする。
フレキシブルチューブ１３に働く復元力はエアの流量に
比例している。
【００２７】このため、フレキシブルチューブ１３にエ
アが供給されると、フレキシブルチューブ１３は板バネ
１２の湾曲に抗して直線状に復元しようとし、アーム部
７が直線状になり、ブロック１４の凹部１５のウェハ２
との係合が解除され、ウェハ２の把持を解除できる。ま
た、フレキシブルチューブ１３に供給するエアの流量を
低下させれば、フレキシブルチューブ１３を直線状にし
ようとする力が減少するため、板バネ１２が元の状態に
復元しようとして、アーム部７が湾曲する。フレキシブ
ルチューブ１３に供給されるエアがなくなれば、フレキ
シブルチューブ１３は変形自在となり、板バネ１２が湾
曲した状態に完全に復元し、アーム部７はウェハ２を把
持できる状態となる。
アが供給されると、フレキシブルチューブ１３は板バネ
１２の湾曲に抗して直線状に復元しようとし、アーム部
７が直線状になり、ブロック１４の凹部１５のウェハ２
との係合が解除され、ウェハ２の把持を解除できる。ま
た、フレキシブルチューブ１３に供給するエアの流量を
低下させれば、フレキシブルチューブ１３を直線状にし
ようとする力が減少するため、板バネ１２が元の状態に
復元しようとして、アーム部７が湾曲する。フレキシブ
ルチューブ１３に供給されるエアがなくなれば、フレキ
シブルチューブ１３は変形自在となり、板バネ１２が湾
曲した状態に完全に復元し、アーム部７はウェハ２を把
持できる状態となる。
【００２８】駆動装置４はハンドリング装置３に結合さ
れ、制御装置５と接続され、制御装置５からの駆動制御
信号に応じてハンドリング装置３を矢印Ｘ，Ｙ方向及び
矢印Ｘ，Ｙ方向に直交する方向及び、回転させる。な
お、本実施例ではフレキシブルチューブ１３の一端を開
放とし、フレキシブルチューブ１３に流れるエアの流量
に応じてフレキシブルチューブ１３を直線状にし、アー
ム部６の把持状態を解放にする構成としたが、これに限
ることはなく、例えば、フレキシブルチューブ１３の一
端を閉塞し、フレキシブルチューブ１３内のエアの圧力
を変化させることによりフレキシブルチューブ１３を変
形自在な状態から直線状に変形させる構成も考えられ
る。
れ、制御装置５と接続され、制御装置５からの駆動制御
信号に応じてハンドリング装置３を矢印Ｘ，Ｙ方向及び
矢印Ｘ，Ｙ方向に直交する方向及び、回転させる。な
お、本実施例ではフレキシブルチューブ１３の一端を開
放とし、フレキシブルチューブ１３に流れるエアの流量
に応じてフレキシブルチューブ１３を直線状にし、アー
ム部６の把持状態を解放にする構成としたが、これに限
ることはなく、例えば、フレキシブルチューブ１３の一
端を閉塞し、フレキシブルチューブ１３内のエアの圧力
を変化させることによりフレキシブルチューブ１３を変
形自在な状態から直線状に変形させる構成も考えられ
る。
【００２９】次に本発明の第１実施例の動作を説明す
る。図２に制御装置５の制御フローチャート、図３乃至
図７にハンドリング装置３の動作説明図を示す。制御装
置５にウェハ２の搬送コマンドが入力されると、制御装
置５は流量制御バルブ９を制御してフレキシブルチュー
ブ１３にエアを供給し、フレキシブルチューブ１３を直
線状にする（ステップＳ１-1）。
る。図２に制御装置５の制御フローチャート、図３乃至
図７にハンドリング装置３の動作説明図を示す。制御装
置５にウェハ２の搬送コマンドが入力されると、制御装
置５は流量制御バルブ９を制御してフレキシブルチュー
ブ１３にエアを供給し、フレキシブルチューブ１３を直
線状にする（ステップＳ１-1）。
【００３０】次に制御装置５は駆動装置４を制御してハ
ンドリング装置３を図３に示すように矢印Ｙ方向に駆動
してアーム部７がウェハ載置台１６上に搭載されたウェ
ハ２の端面のわずかに横をすり抜けるように移動させ、
図４に示すように基台６の係合部１０，１１とウェハ２
の端面が当接する把持位置まで移動させる（ステップＳ
１-2）。
ンドリング装置３を図３に示すように矢印Ｙ方向に駆動
してアーム部７がウェハ載置台１６上に搭載されたウェ
ハ２の端面のわずかに横をすり抜けるように移動させ、
図４に示すように基台６の係合部１０，１１とウェハ２
の端面が当接する把持位置まで移動させる（ステップＳ
１-2）。
【００３１】次に制御装置５は流量制御バルブ９を徐々
に閉鎖し、フレキシブルチューブ１３へのエアの供給を
停止させ、図５に示すようにアーム部７をウェハ２の端
部に巻回させ、ウェハ２を基台６及びアーム部７により
把持させる（ステップＳ１-3）。このとき、制御装置５
により流量制御バルブ９をフレキシブルチューブ１３に
対するエアの供給が図６に実線で示すように制御するこ
とによりアーム部の動作をウェハ２の付近でゆっくり動
作させることができ、ウェハ２をゆっくり把持できるた
め、ウェハ２を確実に把持できると共に把持動作を迅速
に行なえる。また、ウェハ２はアーム部７により把持さ
れることによりセンタリングされる。
に閉鎖し、フレキシブルチューブ１３へのエアの供給を
停止させ、図５に示すようにアーム部７をウェハ２の端
部に巻回させ、ウェハ２を基台６及びアーム部７により
把持させる（ステップＳ１-3）。このとき、制御装置５
により流量制御バルブ９をフレキシブルチューブ１３に
対するエアの供給が図６に実線で示すように制御するこ
とによりアーム部の動作をウェハ２の付近でゆっくり動
作させることができ、ウェハ２をゆっくり把持できるた
め、ウェハ２を確実に把持できると共に把持動作を迅速
に行なえる。また、ウェハ２はアーム部７により把持さ
れることによりセンタリングされる。
【００３２】次に制御装置５は駆動装置４を制御してハ
ンドリング装置３を図７に示すように矢印Ｚ1 方向に駆
動させ、ウェハ２を載置台１６より浮かせる（ステップ
Ｓ１ -4）。次に制御装置５は駆動装置４を制御して、図
８に示すようにハンドリング装置３をウェハ２の次の処
理工程に移動させる（ステップＳ１-5）。
ンドリング装置３を図７に示すように矢印Ｚ1 方向に駆
動させ、ウェハ２を載置台１６より浮かせる（ステップ
Ｓ１ -4）。次に制御装置５は駆動装置４を制御して、図
８に示すようにハンドリング装置３をウェハ２の次の処
理工程に移動させる（ステップＳ１-5）。
【００３３】ハンドリング装置３が所定のウェハ移動位
置に移動されると、制御装置５は流量制御バルブ９をエ
ア供給部８から供給されるエアをフレキシブルチューブ
１３に供給されるように制御する（ステップＳ１-6）。
フレキシブルチューブ１３にエアが供給されるとフレキ
シブルチューブ１３が板バネ１２に抗して直状になり、
アーム部７を直状とする。アーム部７が直状となるとブ
ロック１４の凹部１５とウェハ２の端部との係合が解除
される。このとき、制御装置５により流量制御バルブ９
をフレキシブルチューブ１３へのエアの供給量が図７に
直線で示すような特性となるように制御することにより
アーム部７がウェハ２から離れるときアーム部７をゆっ
くり動作させることができるため、アーム部７の動作に
よりウェハ２が載置位置からずれたりすることがなく、
ウェハ２を所定の位置に確実に載置できる。
置に移動されると、制御装置５は流量制御バルブ９をエ
ア供給部８から供給されるエアをフレキシブルチューブ
１３に供給されるように制御する（ステップＳ１-6）。
フレキシブルチューブ１３にエアが供給されるとフレキ
シブルチューブ１３が板バネ１２に抗して直状になり、
アーム部７を直状とする。アーム部７が直状となるとブ
ロック１４の凹部１５とウェハ２の端部との係合が解除
される。このとき、制御装置５により流量制御バルブ９
をフレキシブルチューブ１３へのエアの供給量が図７に
直線で示すような特性となるように制御することにより
アーム部７がウェハ２から離れるときアーム部７をゆっ
くり動作させることができるため、アーム部７の動作に
よりウェハ２が載置位置からずれたりすることがなく、
ウェハ２を所定の位置に確実に載置できる。
【００３４】以上のように本実施例によれば、ウェハ２
の側部にはアーム部７が挿入可能なスペースを設けるだ
けでよく、図９に示すように図１５に示す従来の装置の
８０％程度の幅で済み、ウェハ２の処理部の開口スペー
スを最小にでき、したがって、処理部を極力小さく構成
できる。図１０に本発明の第１実施例の変形例の構成図
を示す。同図中、図１と同一構成部分には同一符号を付
し、その説明は省略する。
の側部にはアーム部７が挿入可能なスペースを設けるだ
けでよく、図９に示すように図１５に示す従来の装置の
８０％程度の幅で済み、ウェハ２の処理部の開口スペー
スを最小にでき、したがって、処理部を極力小さく構成
できる。図１０に本発明の第１実施例の変形例の構成図
を示す。同図中、図１と同一構成部分には同一符号を付
し、その説明は省略する。
【００３５】本変形例は図２のステップＳ１-4でウェハ
２をウェハ載置台１６より離間させる際に図１０に示す
ように制御装置５は駆動装置４を制御してハンドリング
装置３を駆動装置４との結合軸１７を中心に矢印Ｒ方向
に約1.5 °程度のわずかな角度回転させることによりウ
ェハ２をウェハ載置台１６より離間させる。図１１に本
発明の第２実施例の構成図を示す。同図中、図１と同一
構成部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
２をウェハ載置台１６より離間させる際に図１０に示す
ように制御装置５は駆動装置４を制御してハンドリング
装置３を駆動装置４との結合軸１７を中心に矢印Ｒ方向
に約1.5 °程度のわずかな角度回転させることによりウ
ェハ２をウェハ載置台１６より離間させる。図１１に本
発明の第２実施例の構成図を示す。同図中、図１と同一
構成部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
【００３６】本実施例はハンドリング装置２１の駆動方
法が第１実施例の駆動方法とは異なる。本実施例のハン
ドリング装置２１は第１実施例の把持手段である板バネ
１２を形状記憶合金よりなる板材２２で構成してなる。
板材２２はウェハ２の外径よりわずかに小さい径で湾曲
した状態で形状が記憶されており、温度が例えば３０℃
で記憶した形状に復元される。板材２２にはヒータ２３
が近接して設けられており、ヒータ２３により記憶した
形状に復元される温度とされる構成とされている。
法が第１実施例の駆動方法とは異なる。本実施例のハン
ドリング装置２１は第１実施例の把持手段である板バネ
１２を形状記憶合金よりなる板材２２で構成してなる。
板材２２はウェハ２の外径よりわずかに小さい径で湾曲
した状態で形状が記憶されており、温度が例えば３０℃
で記憶した形状に復元される。板材２２にはヒータ２３
が近接して設けられており、ヒータ２３により記憶した
形状に復元される温度とされる構成とされている。
【００３７】ヒータ２３は制御装置２４と接続されてお
り、制御装置２４から制御信号が供給され、制御装置２
４からの制御信号に応じて加熱される構成とされてい
る。次に本発明の第２実施例の動作を説明する。図１２
に制御装置２４の制御フローチャートを示す。制御装置
２４にウェハ２の搬送コマンドが入力されると、制御装
置２４は駆動装置４を制御してハンドリング装置２１を
矢印Ｙ方向に駆動してアーム部２５がウェハ載置台１６
上に搭載されたウェハ２の端面のわずかに横をすり抜け
るように移動させ、基台６の係合部１０，１１とウェハ
２の端面が当接する把持位置まで移動させる（ステップ
Ｓ２-1）。
り、制御装置２４から制御信号が供給され、制御装置２
４からの制御信号に応じて加熱される構成とされてい
る。次に本発明の第２実施例の動作を説明する。図１２
に制御装置２４の制御フローチャートを示す。制御装置
２４にウェハ２の搬送コマンドが入力されると、制御装
置２４は駆動装置４を制御してハンドリング装置２１を
矢印Ｙ方向に駆動してアーム部２５がウェハ載置台１６
上に搭載されたウェハ２の端面のわずかに横をすり抜け
るように移動させ、基台６の係合部１０，１１とウェハ
２の端面が当接する把持位置まで移動させる（ステップ
Ｓ２-1）。
【００３８】次に制御装置２４はヒータ２３に電流を供
給し、板材２２を約３０℃に加熱し、板材２２の形状を
湾曲した状態に復元し、アーム部をウェハ２の端部に巻
回させ、ブロック１４の凹部１５をウェハ２の端部に係
合させウェハ２を基台６及びアーム部２５により把持さ
せる（ステップＳ２-2）。このとき、制御装置２４はヒ
ータ２３への供給電流を初めは変化量が大きくし、終り
では小さくすることによりアーム部７の動きを初めは早
く、ウェハ２の付近でゆっくりなるように制御する。
給し、板材２２を約３０℃に加熱し、板材２２の形状を
湾曲した状態に復元し、アーム部をウェハ２の端部に巻
回させ、ブロック１４の凹部１５をウェハ２の端部に係
合させウェハ２を基台６及びアーム部２５により把持さ
せる（ステップＳ２-2）。このとき、制御装置２４はヒ
ータ２３への供給電流を初めは変化量が大きくし、終り
では小さくすることによりアーム部７の動きを初めは早
く、ウェハ２の付近でゆっくりなるように制御する。
【００３９】このような制御を行なうことによりアーム
部７がウェハ２に対して衝撃を与えないようにすること
ができ、把持動作を確実に実行する。次に制御装置２４
は駆動装置４を制御してハンドリング装置２１を矢印Ｚ
1 方向に駆動させ、ウェハ２を載置台１６より浮かせる
（ステップＳ２-3）。次に制御装置２４は駆動装置４を
制御して、ハンドリング装置２１をウェハ２の次の処理
工程に移動させる（ステップＳ２-4）。
部７がウェハ２に対して衝撃を与えないようにすること
ができ、把持動作を確実に実行する。次に制御装置２４
は駆動装置４を制御してハンドリング装置２１を矢印Ｚ
1 方向に駆動させ、ウェハ２を載置台１６より浮かせる
（ステップＳ２-3）。次に制御装置２４は駆動装置４を
制御して、ハンドリング装置２１をウェハ２の次の処理
工程に移動させる（ステップＳ２-4）。
【００４０】ハンドリング装置２１が所定のウェハ移動
位置に移動されると、制御装置２４は流量制御バルブ９
を、エア供給部８から供給されるエアをフレキシブルチ
ューブ１３に供給されるように制御する（ステップＳ２
-5）。フレキシブルチューブ１３にエアが供給されると
フレキシブルチューブ１３が板材２２に抗して直状にな
り、アーム部２５を直状とする。このとき、フレキシブ
ルチューブ１３に対するエアの供給を第１実施例と同様
に図６に点線で示すような特性となるように制御する。
アーム部２５が直状となるとブロック１４の凹部１５と
ウェハ２の端部との係合が解除され、制御装置２４は流
量制御バルブ９を開放し、フレキシブルチューブ１３へ
のエアの供給を停止させる（ステップＳ２-6）。
位置に移動されると、制御装置２４は流量制御バルブ９
を、エア供給部８から供給されるエアをフレキシブルチ
ューブ１３に供給されるように制御する（ステップＳ２
-5）。フレキシブルチューブ１３にエアが供給されると
フレキシブルチューブ１３が板材２２に抗して直状にな
り、アーム部２５を直状とする。このとき、フレキシブ
ルチューブ１３に対するエアの供給を第１実施例と同様
に図６に点線で示すような特性となるように制御する。
アーム部２５が直状となるとブロック１４の凹部１５と
ウェハ２の端部との係合が解除され、制御装置２４は流
量制御バルブ９を開放し、フレキシブルチューブ１３へ
のエアの供給を停止させる（ステップＳ２-6）。
【００４１】本実施例によれば、第１実施例と同様の効
果を得られると共に板バネに代えて形状記憶合金よりな
る板材を設けることによりアーム部２５を直状にする際
にフレキシブルチューブにエアを供給し続ける必要がな
くなり、粉じんの飛散を最小限に押さえることができ
る。図１３に本発明の第３実施例の構成図を示す。同図
中、図４と同一構成部分には同一符号を付し、その説明
は省略する。
果を得られると共に板バネに代えて形状記憶合金よりな
る板材を設けることによりアーム部２５を直状にする際
にフレキシブルチューブにエアを供給し続ける必要がな
くなり、粉じんの飛散を最小限に押さえることができ
る。図１３に本発明の第３実施例の構成図を示す。同図
中、図４と同一構成部分には同一符号を付し、その説明
は省略する。
【００４２】本実施例はハンドリング装置３１の構成が
第１実施例と異なる。本実施例のハンドリング装置３１
はアーム部３２の湾曲及び直状への変形を共に形状記憶
合金で行なうものである。本実施例のアーム部３２は約
３０℃の温度でウェハ２の外径と同等か又はわずかに小
さい径で湾曲した形状に復元すべく記憶された形状記憶
合金製の板材３３と、約３０℃の温度で直状に復元すべ
く記憶された形状記憶合金製の板材３４とをブロック３
５により平行に配置し、基台６に固定してなる。
第１実施例と異なる。本実施例のハンドリング装置３１
はアーム部３２の湾曲及び直状への変形を共に形状記憶
合金で行なうものである。本実施例のアーム部３２は約
３０℃の温度でウェハ２の外径と同等か又はわずかに小
さい径で湾曲した形状に復元すべく記憶された形状記憶
合金製の板材３３と、約３０℃の温度で直状に復元すべ
く記憶された形状記憶合金製の板材３４とをブロック３
５により平行に配置し、基台６に固定してなる。
【００４３】板材３３，３４には近接してヒータ３６，
３７が設けられており、ヒータ３６，３７にはヒータ３
６，３７への電流の供給を制御する制御装置３８が接続
されている。制御装置３８はハンドリング装置３１を矢
印Ｘ，Ｙ方向及び結合軸１７を中心に回転させる駆動装
置４と接続され、駆動装置４によるハンドリング装置３
１の移動を制御する。
３７が設けられており、ヒータ３６，３７にはヒータ３
６，３７への電流の供給を制御する制御装置３８が接続
されている。制御装置３８はハンドリング装置３１を矢
印Ｘ，Ｙ方向及び結合軸１７を中心に回転させる駆動装
置４と接続され、駆動装置４によるハンドリング装置３
１の移動を制御する。
【００４４】次に本発明の第３実施例の動作を説明す
る。図１４に制御装置３８の制御フローチャートを示
す。制御装置３８にウェハ２の搬送コマンドが入力され
ると、制御装置３８は駆動装置４を制御してハンドリン
グ装置３１を矢印Ｙ方向に駆動してアーム部３２がウェ
ハ載置台１６上に搭載されたウェハ２の端面のわずかに
横をすり抜けるように移動させ、基台６の係合部１０，
１１とウェハ２の端面が当接する把持位置まで移動させ
る（ステップＳ３-1）。
る。図１４に制御装置３８の制御フローチャートを示
す。制御装置３８にウェハ２の搬送コマンドが入力され
ると、制御装置３８は駆動装置４を制御してハンドリン
グ装置３１を矢印Ｙ方向に駆動してアーム部３２がウェ
ハ載置台１６上に搭載されたウェハ２の端面のわずかに
横をすり抜けるように移動させ、基台６の係合部１０，
１１とウェハ２の端面が当接する把持位置まで移動させ
る（ステップＳ３-1）。
【００４５】次に制御装置３８はヒータ３６に電流を供
給し、板材３３を約３０℃に加熱し、板材３３の形状を
湾曲した状態に復元し、アーム部３２をウェハ２の端部
に巻回させ、ブロック３５の凹部１５をウェハ２の端部
に係合させ、ウェハ２を基台６及びアーム部３２により
把持させる（ステップＳ３-2）。このとき、制御装置３
８はヒータ３６への電流を初めは変化を大きくし、終り
付近で変化を小さくすることによりアーム部７の動作を
ウェハ２の付近でゆっくり動作するように制御する。ハ
ンドリング装置３１によりウェハ２が把持されると制御
装置３８はヒータ３６への通電を停止させる（ステップ
Ｓ３-3）。
給し、板材３３を約３０℃に加熱し、板材３３の形状を
湾曲した状態に復元し、アーム部３２をウェハ２の端部
に巻回させ、ブロック３５の凹部１５をウェハ２の端部
に係合させ、ウェハ２を基台６及びアーム部３２により
把持させる（ステップＳ３-2）。このとき、制御装置３
８はヒータ３６への電流を初めは変化を大きくし、終り
付近で変化を小さくすることによりアーム部７の動作を
ウェハ２の付近でゆっくり動作するように制御する。ハ
ンドリング装置３１によりウェハ２が把持されると制御
装置３８はヒータ３６への通電を停止させる（ステップ
Ｓ３-3）。
【００４６】次に制御装置３８は駆動装置４を制御し
て、ハンドリング装置３１を矢印Ｚ1方向に駆動させ、
ウェハ２を載置台１６より浮かせる（ステップＳ
３-4）。次に制御装置３８は駆動装置４を制御してハン
ドリング装置３１をウェハ２の次の処理工程に移動させ
る（ステップＳ３-5）。ハンドリング装置３１が所定の
ウェハ移動位置に移動されると、制御装置３８はヒータ
３７に電流を供給し、板材３４を約３０℃に加熱して直
状に復元させ、アーム部３２を直状に変形させ、ウェハ
２のハンドリング装置３１による把持を解除する（ステ
ップＳ３-6）。このとき、制御装置３８はヒータ３７へ
の電流の供給を初めは小さく終りは大きくして、アーム
部７の動作がウェハ２からゆっくりなるように制御す
る。
て、ハンドリング装置３１を矢印Ｚ1方向に駆動させ、
ウェハ２を載置台１６より浮かせる（ステップＳ
３-4）。次に制御装置３８は駆動装置４を制御してハン
ドリング装置３１をウェハ２の次の処理工程に移動させ
る（ステップＳ３-5）。ハンドリング装置３１が所定の
ウェハ移動位置に移動されると、制御装置３８はヒータ
３７に電流を供給し、板材３４を約３０℃に加熱して直
状に復元させ、アーム部３２を直状に変形させ、ウェハ
２のハンドリング装置３１による把持を解除する（ステ
ップＳ３-6）。このとき、制御装置３８はヒータ３７へ
の電流の供給を初めは小さく終りは大きくして、アーム
部７の動作がウェハ２からゆっくりなるように制御す
る。
【００４７】次に制御装置３８はヒータ３７への通電を
停止し、次の搬送コマンドを待つ（ステップＳ３-7）。
以上、本実施例によれば、第１実施例と同じ効果に加え
てヒータ３６，３７への通電によりアーム部の湾曲、直
状の変形を制御でき、エアの供給が不要となり、エアに
よる粉じんの飛散を防止できる。
停止し、次の搬送コマンドを待つ（ステップＳ３-7）。
以上、本実施例によれば、第１実施例と同じ効果に加え
てヒータ３６，３７への通電によりアーム部の湾曲、直
状の変形を制御でき、エアの供給が不要となり、エアに
よる粉じんの飛散を防止できる。
【００４８】なお、上記実施例ではアーム部７の駆動に
板バネを用いたがこれに限ることはなく、コイルバネ等
他のバネでも当然、実現可能である。さらに、第１，第
２実施例ではフレキシブルチューブにエアを供給した
が、要はフレキシブルチューブを直状にできるものであ
ればフレキシブルチューブに供給するものはエアに限る
ものではない。
板バネを用いたがこれに限ることはなく、コイルバネ等
他のバネでも当然、実現可能である。さらに、第１，第
２実施例ではフレキシブルチューブにエアを供給した
が、要はフレキシブルチューブを直状にできるものであ
ればフレキシブルチューブに供給するものはエアに限る
ものではない。
【００４９】
【発明の効果】上述の如く、本発明の請求項１，２によ
れば、アーム部をウェハの外径端部に巻回させることに
よりウェハを把持する方法とすることにより、ウェハの
両側端にはアーム部の幅だけのわずかなスペースを設け
ておけばよく、したがって、ウェハの搭載部分のスペー
スを不必要に大きくする必要がなくなり、半導体製造装
置等をコンパクトにできる等の特長を有する。
れば、アーム部をウェハの外径端部に巻回させることに
よりウェハを把持する方法とすることにより、ウェハの
両側端にはアーム部の幅だけのわずかなスペースを設け
ておけばよく、したがって、ウェハの搭載部分のスペー
スを不必要に大きくする必要がなくなり、半導体製造装
置等をコンパクトにできる等の特長を有する。
【００５０】請求項３によれば、予め、ウェハの外径に
略そって湾曲された板バネによりアーム部をウェハの外
周端部にそって湾曲し、巻回することができ、板バネに
平行に設けられた管体に流体を供給することにより管体
が供給された流体の抵抗を減少させようとして直状にな
ろうとする力により板バネを延ばしてアーム部を直状と
することができ、ウェハの保持、高性能を確実に、か
つ、小スペースで行なえる等の特長を有する。
略そって湾曲された板バネによりアーム部をウェハの外
周端部にそって湾曲し、巻回することができ、板バネに
平行に設けられた管体に流体を供給することにより管体
が供給された流体の抵抗を減少させようとして直状にな
ろうとする力により板バネを延ばしてアーム部を直状と
することができ、ウェハの保持、高性能を確実に、か
つ、小スペースで行なえる等の特長を有する。
【００５１】請求項４によれば、請求項３の板バネに代
えて所定の温度で前記ウェハの外径に略そって湾曲され
た形状に復元するように形状が記憶された形状記憶合金
製の板材と、前記板材に近接して設けられ、前記アーム
制御部からの制御信号に応じて前記板材を前記所定の温
度にする温度制御手段と、を設け、板材を所定の温度と
することにより板材を湾曲した形状に復元する力を用い
て、アーム部を湾曲させることができ、ウェハの保持、
高性能を確実に、かつ、小スペースで行なえる等の特長
を有する。
えて所定の温度で前記ウェハの外径に略そって湾曲され
た形状に復元するように形状が記憶された形状記憶合金
製の板材と、前記板材に近接して設けられ、前記アーム
制御部からの制御信号に応じて前記板材を前記所定の温
度にする温度制御手段と、を設け、板材を所定の温度と
することにより板材を湾曲した形状に復元する力を用い
て、アーム部を湾曲させることができ、ウェハの保持、
高性能を確実に、かつ、小スペースで行なえる等の特長
を有する。
【００５２】請求項５によれば、請求項４の管体及び流
体供給部に代え所定の温度で直状となるように形状が記
憶された板材と、その板材の温度を所定の温度とする温
度制御部を設け温度制御部により板材を所定の温度とす
ることにより板材を直状とし、アーム部を直状にするこ
とができ、ウェハの保持、高性能を確実に、かつ、小ス
ペースで行なえる等の特長を有する。
体供給部に代え所定の温度で直状となるように形状が記
憶された板材と、その板材の温度を所定の温度とする温
度制御部を設け温度制御部により板材を所定の温度とす
ることにより板材を直状とし、アーム部を直状にするこ
とができ、ウェハの保持、高性能を確実に、かつ、小ス
ペースで行なえる等の特長を有する。
【００５３】請求項６によれば、アーム部の動作をウェ
ハ端部に接するときにゆっくりとすることにより、ウェ
ハを確実に保持でき、かつ、ウェハにダメージを与える
ことなく保持可能とでき、ウェハの保持、高性能を確実
に、かつ、小スペースで行なえる等の特長を有する。
ハ端部に接するときにゆっくりとすることにより、ウェ
ハを確実に保持でき、かつ、ウェハにダメージを与える
ことなく保持可能とでき、ウェハの保持、高性能を確実
に、かつ、小スペースで行なえる等の特長を有する。
【図１】本発明の第１実施例の構成図である。
【図２】本発明の第１実施例の制御装置の制御フローチ
ャートである。
ャートである。
【図３】本発明の第１実施例のハンドリング装置の動作
説明図である。
説明図である。
【図４】本発明の第１実施例のハンドリング装置の動作
説明図である。
説明図である。
【図５】本発明の第１実施例のハンドリング装置の動作
説明図である。
説明図である。
【図６】本発明の第１実施例のハンドリング装置の動作
説明図である。
説明図である。
【図７】本発明の第１実施例のハンドリング装置の動作
説明図である。
説明図である。
【図８】本発明の第１実施例のハンドリング装置の動作
説明図である。
説明図である。
【図９】本発明の第１実施例の効果を説明するための図
である。
である。
【図１０】本発明の第１実施例の変形例の説明図であ
る。
る。
【図１１】本発明の第２実施例の構成図である。
【図１２】本発明の第２実施例の動作フローチャートで
ある。
ある。
【図１３】本発明の第３実施例の構成図である。
【図１４】本発明の第３実施例の動作フローチャートで
ある。
ある。
【図１５】従来の外周保持方式のハンドリング装置の一
例の構成図である。
例の構成図である。
【図１６】従来の吸着保持方式のハンドリング装置の一
例の構成図である。
例の構成図である。
【図１７】従来の積載方式のハンドリング装置の一例の
構成図である。
構成図である。
１ ウェハ搬送装置 ２ ウェハ ３，２１，３１ ウェハハンドリング装置 ４ 駆動装置 ６ 基台 ７，２５，３２ アーム部 ８ エア供給部 ９ 流量制御バルブ １０，１１ 係合部 １２ 板バネ １３ フレキシブルチューブ １４ ブロック １５ 凹部 ２２，３３ 板材 ２３，３６ ヒータ ３４ 板材 ３７ ヒータ
Claims (6)
- 【請求項１】ウェハの端部の一部に基台を係合させ、 該ウェハの端部の一部に該基台を係合させた後、前記基
台から延出したアームを前記ウェハの端部の他の部分に
巻回させ、 前記ウェハ端部を前記基台及び前記アームで巻回しつつ
保持し、前記ウェハを把持することを特徴とするウェハ
ハンドリング方法。 - 【請求項２】 ウェハの端部の一部に係合する基台と、 前記基台から延出し、前記ウェハの端部にそって湾曲可
能とされ、湾曲時に前記ウェハの端部の他の部分に巻回
して係合し、前記基台と協同して前記ウェハを把持する
アーム部と、 前記アーム部の湾曲動作を制御するアーム制御部とを有
することを特徴とするウェハハンドリング装置。 - 【請求項３】 前記アーム部は前記ウェハの外径に略そ
って湾曲されたバネと、 前記板バネにそって配設された伸縮自在な管体と、 前記板バネ及び前記管体と共に移動し、前記ウェハの端
部と係合する係合部と、 前記アーム制御部からの制御信号に応じた該管の流体を
前記管体に供給する流体供給部とを有することを特徴と
する請求項１記載のウェハハンドリング装置。 - 【請求項４】 前記アーム部は所定の温度で前記ウェハ
の外径に略そって湾曲された形状に復元するように形状
が記憶された形状記憶合金製の板材と、 前記板材に近接して設けられ、前記アーム制御部からの
制御信号に応じて前記板材を前記所定の温度にする温度
制御手段と、 前記板材にそって配設された伸縮自在な管体と、 前記バネ及び前記管体と共に移動し、前記ウェハの端部
と係合する係合部と、 前記アーム制御部からの制御信号に応じた流量の流体を
前記管体に供給する流体供給部とを有することを特徴と
する請求項２記載のウェハハンドリング装置。 - 【請求項５】 前記アーム部は所定の温度で前記ウェハ
の外径に略そって湾曲された形状に復元するように形状
が記憶された形状記憶合金製の第１の板材と、 前記第１の板材に近接して設けられ、前記アーム制御部
からの制御信号に応じて前記第１の板材を前記所定の温
度にする第１の温度制御部と、前記第１の板材に平行に
前記第１の板材と共に変形可能に配設され、所定の温度
で直状の形状に復元するように形状が記憶された形状記
憶合金製の第２の板材と、 前記第２の板材に近接して設けられ、前記アーム制御部
からの制御信号に応じて前記第２の板材を前記所定の温
度にする第２の温度制御部と、 前記第１及び第２の板材と共に移動し、前記ウェハの端
部に係合する係合部とを有することを特徴とする請求項
２記載のウェハハンドリング装置。 - 【請求項６】 前記アーム制御部は前記アーム部を湾曲
時に湾曲が大きくなる程遅く変形するように制御するこ
とを特徴とする請求項２乃至５のいずれか一項記載のウ
ェハハンドリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27656694A JPH08139154A (ja) | 1994-11-10 | 1994-11-10 | ウェハハンドリング方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27656694A JPH08139154A (ja) | 1994-11-10 | 1994-11-10 | ウェハハンドリング方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08139154A true JPH08139154A (ja) | 1996-05-31 |
Family
ID=17571274
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27656694A Pending JPH08139154A (ja) | 1994-11-10 | 1994-11-10 | ウェハハンドリング方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08139154A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008118019A (ja) * | 2006-11-07 | 2008-05-22 | Mitsubishi Electric Corp | ウェハ保持装置 |
| JP2010010432A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Ｓｕｍｃｏ Ｔｅｃｈｘｉｖ株式会社 | ウェーハ保持治具及びウェーハ処理装置 |
| JP2010509785A (ja) * | 2006-11-15 | 2010-03-25 | ダイナミック マイクロシステムズ セミコンダクター イクイップメント ゲーエムベーハー | ワークピースストッカ用の取外し可能なコンパートメント |
| JP2010509784A (ja) * | 2006-11-15 | 2010-03-25 | ダイナミック マイクロシステムズ セミコンダクター イクイップメント ゲーエムベーハー | 環状に配置されているワークピースストッカ |
| JP2012004522A (ja) * | 2010-06-21 | 2012-01-05 | Brewer Science Inc | 逆に装着されたデバイスウェーハーをキャリヤー基板から分離する方法および装置 |
| US10643878B2 (en) | 2006-11-15 | 2020-05-05 | Brooks Automation (Germany) Gmbh | Removable compartments for workpiece stocker |
-
1994
- 1994-11-10 JP JP27656694A patent/JPH08139154A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10930536B2 (en) | 2006-06-09 | 2021-02-23 | Brooks Automation (Germany) Gmbh | Workpiece stocker with circular configuration |
| JP2008118019A (ja) * | 2006-11-07 | 2008-05-22 | Mitsubishi Electric Corp | ウェハ保持装置 |
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| JP2010509784A (ja) * | 2006-11-15 | 2010-03-25 | ダイナミック マイクロシステムズ セミコンダクター イクイップメント ゲーエムベーハー | 環状に配置されているワークピースストッカ |
| US10643878B2 (en) | 2006-11-15 | 2020-05-05 | Brooks Automation (Germany) Gmbh | Removable compartments for workpiece stocker |
| US10672633B2 (en) | 2006-11-15 | 2020-06-02 | DYNAMIC MICRO SYSTEMS SEMICONDUCTOR EQUIPMENT, GmbH | Removable compartments for workpiece stocker |
| JP2010010432A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Ｓｕｍｃｏ Ｔｅｃｈｘｉｖ株式会社 | ウェーハ保持治具及びウェーハ処理装置 |
| JP2012004522A (ja) * | 2010-06-21 | 2012-01-05 | Brewer Science Inc | 逆に装着されたデバイスウェーハーをキャリヤー基板から分離する方法および装置 |
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