JP2013071186A - ハンドおよびロボット - Google Patents

Abstract

【課題】部材の摩耗を抑えてメンテナンスの手間を軽減すること。
【解決手段】上記した課題を解決するために、基部であるプレートと、かかるプレートに配置され、半導体ウェハなどの基板の周縁部にそれぞれ接してかかる基板を把持する支持部であるところの把持爪を複数個備えたハンドおよびロボットにおいて、かかる把持爪の少なくとも１つは、基板の周縁部の当接を受けながら基板の周縁部に沿って回転するようにハンドおよびロボットを構成する。
【選択図】図２

Description

開示の実施形態は、ハンドおよびロボットに関する。

従来、半導体ウェハなどの円板状の基板を搬送する基板搬送用のロボットが知られている。かかるロボットは、把持爪のような把持部材を複数個備えるハンドを有しており、把持部材でハンド上に載置された基板の周縁部を挟みつけることによって、所定位置で基板を把持する。

たとえば、特許文献１には、移動可能な把持部材である移動ガイドおよび固定された把持部材である固定ガイドを有するハンドを備え、基板を移動ガイドで固定ガイドの壁面へ押し付けることによって把持動作を行う基板搬送装置が開示されている。

特開平１０−２７９０６８号公報

しかしながら、従来のハンドは、前述の押し付けなどを繰り返すことによって、把持部材を磨耗させやすいという問題があった。このため、把持部材の交換頻度が高く、メンテナンスに手間がかかっていた。

実施形態の一態様は、上記に鑑みてなされたものであって、部材の摩耗を抑えてメンテナンスの手間を軽減することができるハンドおよびロボットを提供することを目的とする。

実施形態の一態様に係るハンドは、基部と、前記基部に配置され、基板の周縁部にそれぞれ接して当該基板を把持する複数個の支持部とを備えたハンドであって、前記支持部の少なくとも一つは、前記基板の周縁部の当接を受けながら回転する。

実施形態の一態様によれば、部材の摩耗を抑えてメンテナンスの手間を軽減することができる。

図１は、実施形態に係るロボットの構成例を示す図である。 図２は、実施形態に係るハンドの構成例を示す図である。 図３は、可動爪の動作を示す図である。 図４Ａは、固定爪の構成例を示す図である。 図４Ｂは、固定爪の構成例を示す図である。 図５Ａは、ローラの動作を示す図である。 図５Ｂは、ローラの動作を示す図である。 図６Ａは、変形例に係るハンドの構成例を示す図である。 図６Ｂは、変形例に係るハンドの構成例を示す図である。 図７は、従来の固定爪の構成例を示す図である。

以下、添付図面を参照して、本願の開示するハンドおよびロボットの実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。

また、以下では、主に、基板が半導体ウェハである場合について説明する。

また、以下では、基板の周縁部を挟みつけて把持する把持部材を、主に「把持爪」と記載することとする。なお、「把持爪」の「把持」には、基板の周縁部を挟みつけるだけでなく、基板を所定位置において支持する意味を含むものとする。したがって、「把持爪」を「支持部」と言い換えてもよい。

図１は、実施形態に係るロボット１の構成例を示す図である。なお、図１には、説明を分かりやすくするために、鉛直上向きを正方向とするＺ軸を含む３次元の直交座標系を図示している。かかる直交座標系は、以下の説明に用いる他の図面においても示す場合がある。

図１に示すように、ロボット１は、多関節ロボットであり、基台２と、アーム３、アーム５およびアーム７と、関節部４、関節部６および関節部８と、ハンド１０とを備える。

また、ロボット１には、制御装置２０が接続されており、かかる制御装置２０によってロボット１が行う基板の把持動作および搬送動作などが制御される。なお、かかる制御は、制御装置２０にあらかじめ格納された教示データに基づいて行われる。

アーム３は、基台２から鉛直方向（Ｚ軸方向）にスライド可能に設けられる（図中の両矢印ａ０参照）。これにより、ハンド１０は、鉛直方向へ昇降することができる。

アーム５は、アーム３と関節部４を介して連結される。このとき、アーム５は、関節部４の回転軸ａ１まわりに回転自在に支持される（回転軸ａ１まわりの両矢印参照）。同様に、アーム７は、アーム５と関節部６を介して連結される。このとき、アーム７は、関節部６の回転軸ａ２まわりに回転自在に支持される（回転軸ａ２まわりの両矢印参照）。

ハンド１０は、載置された半導体ウェハなどの基板を把持するエンドエフェクタであり、アーム７の終端部に関節部８を介して連結される。このとき、ハンド１０は、関節部８の回転軸ａ３まわりに回転自在に支持される（回転軸ａ３まわりの両矢印参照）。

ここで、関節部４、関節部６および関節部８にはそれぞれ、アクチュエータやモータといった図示しない駆動機構が内蔵されており、かかる駆動機構の駆動によって、アーム５、アーム７およびハンド１０はそれぞれ、図中のＸＹ平面に沿った旋回動作を行う。

なお、図１には、ハンド１０を１つ備えるロボット１を例示したが、ハンド１０の個数を限定するものではない。たとえば、複数個のハンド１０を、アナログ時計の長針および短針のように、回転軸ａ３について重ねて設けることとしてもよい。

次に、実施形態に係るハンド１０の構成例について、図２を用いて説明する。図２は、実施形態に係るハンド１０の構成例を示す図である。なお、図２には、ハンド１０をＺ軸の正方向からみた場合の平面図を示している。また、ここでは、図１において既に示したアーム５、関節部６、アーム７、関節部８、回転軸ａ２および回転軸ａ３についての説明は省略することとする。

図２に示すように、ハンド１０は、プレート１１と、固定爪１２と、可動爪１３と、受け座１４と、駆動部１５とを備える。また、固定爪１２は、基板Ｗの周縁部に沿って回転可能なローラ１２ａと、受け座１２ｂとを備える。なお、ローラ１２ａおよび受け座１２ｂは一体に連接されており、受け座１２ｂは、ローラ１２ａとともに回転する。

プレート１１は、基板Ｗが載置される基底部もしくは基部ともいえる部材である。なお、図２には、シャベル状に成形されたプレート１１を例示しているが、かかるプレート１１の形状を限定するものではない。

固定爪１２は、プレート１１に設けられ、設けられた位置から変位しない固定式の把持爪であり、たとえば、プレート１１の先端部近傍に配置される。なお、図２には、１対の固定爪１２が、プレート１１の先端部両端に配置されている例を示している。

かかる固定爪１２は、ローラ１２ａにおいて基板Ｗの周縁部と当接し、受け座１２ｂにおいて基板Ｗを下方から（すなわち、Ｚ軸の正方向向きに）支持する。なお、かかる固定爪１２の詳細については、図４Ａおよび図４Ｂを用いて後述する。

可動爪１３は、可動式の把持爪であり、図中のＸ軸に沿ってスライド可能に設けられる。かかる可動爪１３の動作の詳細については、図３を用いて後述する。

受け座１４は、前述の受け座１２ｂと同様に、基板Ｗを下方から支持する部材である。なお、図２には、１対の受け座１４が、プレート１１の末端部近傍両端に配置されている例を示している。

駆動部１５は、可動爪１３をスライド動作させる駆動機構であり、たとえば、エアシリンダなどを用いて構成される。

ここで、可動爪１３の動作について、図３を用いて説明しておく。図３は、可動爪１３の動作を示す図である。なお、図３には、Ｙ軸の負方向からみた場合を簡略的に示しており、図３の上段には、基板Ｗの載置後および把持前の様子を、図３の下段には、基板Ｗの把持後の様子を、それぞれ示している。

図３の上段に示すように、基板Ｗの把持前においては、基板Ｗは、受け座１２ｂおよび受け座１４によって下方からのみ支持される。このとき、基板Ｗと把持爪、たとえば、固定爪１２のローラ１２ａとの間には、クリアランスｉが存在する。なお、基板Ｗと可動爪１３との間にもクリアランスが存在する場合があるが、かかる場合については図示を省略している。

また、受け座１２ｂおよび受け座１４は所定の高さを有しており、基板Ｗの下面とプレート１１の上面との間にかかる高さに基づく所定のクリアランスをおいて基板Ｗを支持する。これにより、基板Ｗへのパーティクルの付着などを防止することができる。

そして、図３の下段に示すように、基板Ｗを把持する場合、ロボット１は、駆動部１５に対して可動爪１３をプレート１１の先端部へ向けて（すなわち、図中のＸ軸の正方向へ向けて）スライドさせる（図中の矢印１０１参照）。

そして、スライドされた可動爪１３は、基板Ｗを固定爪１２へ当接させる向きに押圧し、クリアランスｉを埋めて基板Ｗの周縁部を固定爪１２のローラ１２ａへ当接させる（図中の矢印１０２参照）。

この結果、基板Ｗは、その周縁部を固定爪１２と可動爪１３とで挟みつけられ、把持されることとなる。

ここで、従来の固定爪１２’の構成例について、図７を用いて触れておく。図７は、従来の固定爪１２’の構成例を示す図である。図７に示すように、従来の固定爪１２’は、たとえば、基板Ｗが押し付けられる側壁部と、基板Ｗを下方から支持する受け座とで、固定的に一体成形されていた。

このため、側壁部へ基板Ｗが繰り返し押し付けられた場合（図中の両矢印１０６参照）、側壁部の特定の部位に対して繰り返し応力がかかり、摩耗ａが生じやすかった（図中の閉曲線Ｍ１に囲まれた部分参照）。

そして、かかる摩耗ａが生じた場合、プレート１１上における基板Ｗの位置決めにずれが生じるため、固定爪１２’をそのたびに交換する必要があった。すなわちメンテナンスに手間がかかっていた。

図３の説明に戻る。そこで、本実施形態に係るハンド１０では、基板Ｗの周縁部を、かかる周縁部に沿って回転可能なローラ１２ａへ当接させることとした。これにより、特定の部位に対して繰り返し応力がかかるのを抑えることができるので、固定爪１２の摩耗を抑えてメンテナンスの手間を軽減することができる。

また、図３の上段に示した、基板Ｗが下方からのみ支持されている状態においては、Ｘ軸方向に沿ったクリアランスだけでなく、ＸＹ平面に沿ったずれが生じる場合が多い。

この点につき、本実施形態に係るハンド１０は、基板Ｗの当接を受けたローラ１２ａを基板Ｗの周縁部に沿って受動的に回転させることで、かかるＸＹ平面に沿ったずれを修正し、基板Ｗを所定位置へ案内する。かかる点の詳細については、図５Ａおよび図５Ｂを用いて後述する。

図２の説明に戻り、基板Ｗの所定位置について述べておく。図２は、基板Ｗが、１対の固定爪１２および可動爪１３によって把持され、３点支持されている様子をあらわしている。

ここで、基板Ｗの所定位置とは、かかる状態における基板Ｗの位置であるものとする。また、以下では、かかる所定位置にある基板Ｗの中心を中心Ｐと、かかる中心Ｐを通るＸ軸に平行な軸線を軸Ｃ１と、同様に中心Ｐを通るＹ軸に平行な軸線を軸Ｃ２と、それぞれあらわすこととする。

また、可動爪１３の稼働回数をカウントし、かかる稼働回数に応じて固定爪１２の交換時期をユーザに対して通知する通知部を設けることとしてもよい。たとえば、図２には、駆動部１５が、可動爪１３の稼働回数に応じて点灯する通知ランプ１５ａを備えている例を示している。ユーザは、かかる通知ランプ１５ａの点灯を、固定爪１２の交換時期を知るひとつの目安とすることができる。なお、通知ランプ１５ａは、駆動部１５以外の箇所に配置されてもよいし、通知手段もランプに限られるものではない。

次に、固定爪１２の構成例について、図４Ａおよび図４Ｂを用いて説明する。図４Ａおよび図４Ｂは、固定爪１２の構成例を示す図である。なお、図４Ａには、固定爪１２をＺ軸の正方向からみた平面図を、図４Ｂには、図４Ａに示すＡ−Ａ’断面をＹ軸の負方向からみた断面図を、それぞれ示している。

また、図４Ａおよび図４Ｂには、図２において示した１対の固定爪１２のうち、軸Ｃ１で区切られた左方の固定爪１２を示しているが、右方の固定爪１２についても同様の構成であるものとする。

図２を用いた説明と一部重複するが、図４Ａおよび図４Ｂに示すように、固定爪１２は、ローラ１２ａと、受け座１２ｂとを備える。なお、ローラ１２ａおよび受け座１２ｂは一体に連接されている。ローラ１２ａは、基板Ｗの周縁部の当接を受けて、基板Ｗの周縁部に沿って受動的に回転する。

受け座１２ｂは、ローラ１２ａと一体となって回転する台座ともいえる部材である。すなわち、ローラ１２ａと受け座１２ｂとで、基板Ｗの周縁部に沿って回転可能な回転体を構成する。なお、受け座１２ｂは、ローラ１２ａの直径を上回る最大幅を有する。そして、かかるローラ１２ａの直径を上回る部位において基板Ｗを載置して、基板Ｗを下方から支持する。

そして、ローラ１２ａおよび受け座１２ｂは、プレート１１の上で、回転軸ａ４まわりに回転自在に回転するように設けられる（図中の両矢印１０３参照）。すなわち、固定爪１２は、上述のように変位しない固定式であり、かつ、プレート１１に対して回転可能に支持された回転式の把持爪である。かかる固定爪１２の設置の構造としては、たとえば、図４Ｂに示すように、プレート１１に対して貫設される支持ピン１２ａａを、プレート１１内部に固着された軸受１２ａｂと、一体のローラ１２ａおよび受け座１２ｂとによって軸支してもよい。

なお、かかる設置構造である場合、ローラ１２ａおよび受け座１２ｂが滑らかに回転自在であるように、ローラ１２ａおよび受け座１２ｂとプレート１１との間、あるいは、プレート１１と支持ピン１２ａａとの間に、所定のクリアランスが設けられることが好ましい。

また、図４Ａおよび図４Ｂに示すように、ローラ１２ａおよび受け座１２ｂは、それぞれその形状から、ローラ１２ａについては円筒状に形成された「円筒部」と、受け座１２ｂについては円筒部から鍔（つば）状に張り出して形成された「鍔部」と、言い換えることができる。すなわち、「円筒部」は、その外周面において基板Ｗの周縁部端面と接し、「鍔部」は、その上面において基板Ｗの周縁部下面と接する。

次に、基板Ｗが当接された場合のローラ１２ａの動作について、図５Ａおよび図５Ｂを用いて説明する。図５Ａおよび図５Ｂは、ローラ１２ａの動作を示す図である。なお、図５Ａおよび図５Ｂにおいては、説明に必要な部材のみを簡略的に示すこととし、ローラ１２ａとともに回転する受け座１２ｂについては図示を省略している。また、図５Ｂには、図５Ａに示すＭ２部を拡大的に示している。

まず、図５Ａに示すように、１対のローラ１２ａは、軸Ｃ１を挟んで間隔ｎをおいて対称位置に配置されているものとする。このように、１対のローラ１２ａは、可動爪１３が基板Ｗを押圧する軌道について対称位置に配置されることが好ましい。

ここで、図５Ａの実線の基板Ｗに示されるように、把持前の基板Ｗは、所定位置にある仮想的な基板Ｗ０に対し、ＸＹ平面に沿ってずれたまま載置されることが多い。たとえば、図５Ａに示すように、基板Ｗの中心Ｑが、所定位置の中心Ｐに対して、軸Ｃ１を挟んで左方に、かつ、軸Ｃ２を挟んで下方にずれているものとする。

かかる状態において、可動爪１３がＸ軸方向に沿って基板Ｗを押圧したものとする。かかる場合、基板Ｗは、１対のローラ１２ａへ同時に当接されるのではなく、まず、閉曲線Ｍ２に囲まれた左方のローラ１２ａへ偏って当接される。

ここで、図５Ｂに示すように、接点ｍにおいて基板Ｗがローラ１２ａに当接したものとする。かかる場合、ローラ１２ａの回転中心を通り、かつ、可動爪１３の押圧方向に平行な軸Ｃ３を挟んで右方に位置する接点ｍで当接された基板Ｗは、その押圧力と当接面の摩擦力とによって、ローラ１２ａを受動的に反時計回りに回転させる（矢印１０４参照）。なお、図示していないが、かかる回転には、受け座１２ｂ（図４Ａおよび図４Ｂ参照）とかかる受け座１２ｂがその上面において接している基板Ｗの周縁部下面との摩擦力があわせてはたらいている。

また、基板Ｗは、かかるローラ１２ａの回転に応じて、押圧方向から矢印１０５方向へ向きを変えて回転しつつ移動する。そして、基板Ｗは、軸Ｃ１を挟んで対称位置に位置する右方のローラ１２ａに当接されることによってその動きを止め、基板Ｗ０の示す所定位置に収まる。すなわち、基板Ｗは、ＸＹ平面に沿って生じたずれを修正しつつ所定位置へ案内され、１対の固定爪１２および可動爪１３によって把持されることとなる。

そして、基板Ｗが案内される間、ローラ１２ａは回転しながら基板Ｗと当接することとなるので、ローラ１２ａの外周面は、当接によってかかる応力を特定部位だけで受けることがない。すなわち、ローラ１２ａの摩耗を抑えることができるので、交換作業などにかかるメンテナンスの手間を軽減することができる。

また、図示していないが、受け座１２ｂ（図４Ａおよび図４Ｂ参照）は、基板Ｗを下方から支持しつつローラ１２ａとともに回転することで、基板Ｗを、その下面へ傷を生じさせることなく滑らかに移動させる。

なお、上述したように、ローラ１２ａおよび受け座１２ｂ（図４Ａおよび図４Ｂ参照）は、受動的に回転するにあたって基板Ｗとの当接面に摩擦力を生じる必要があるので、ローラ１２ａおよび受け座１２ｂの外周面を構成する素材は、基板Ｗの周縁部と接して所定の摩擦力を生じるものであることが好ましい。

また、図５Ａおよび図５Ｂには、軸Ｃ１を挟んで左方に位置するローラ１２ａを例示して説明を行ったが、右方に位置するローラ１２ａについても、左右の差異はあれ同様の動作を示すことは言うまでもない。

ところで、これまでは、基板Ｗの当接を受けて受動的に回転するローラ１２ａが、固定爪１２に備えられている例を示したが、基板Ｗを押圧する側の把持部材に対して設けることとしてもよい。

そこで、かかる変形例について、図６Ａおよび図６Ｂを用いて説明する。図６Ａは、変形例に係るハンド１０Ａの構成例を示す図であり、図６Ｂは、変形例に係るハンド１０Ｂの構成例を示す図である。

なお、図６Ａおよび図６Ｂにおいては、実施形態に係るハンド１０と同一の構成要素については説明に必要な構成要素にのみ符号を付している。

図６Ａに示すように、変形例に係るハンド１０Ａは、駆動部１５によってスライドされ、基板Ｗを押圧する把持部材としてローラ１３ａを備える。ローラ１３ａは、回転軸ａ５まわりに回転自在に設けられる。

かかるローラ１３ａもまた、基板ＷがＸＹ平面に沿ったずれを生じて載置されている場合には、図５Ａおよび図５Ｂに示した場合と同様の理由で基板Ｗとの当接時に回転することとなる。すなわち、外周面の特定部位だけに応力がかかりにくいので、摩耗を抑えて、メンテナンスの手間を軽減することができる。

また、図６Ｂに示す、ハンド１０Ｂの回転軸ａ６まわりに回転自在に回転するローラ１３ａ’のように、押圧する側の把持部材を複数個設け、連結部材１３ｂで連結して平行にスライドさせてもよい。かかる場合には、ローラ１３ａ’の摩耗を防ぐだけでなく、基板Ｗのずれが大きい場合にも確実に対応することができる。

上述してきたように、実施形態に係るハンドは、基部であるプレートと、かかるプレートに配置され、基板の周縁部にそれぞれ接してかかる基板を把持する複数個の把持爪とを備えるハンドであって、把持爪の少なくとも一つは、基板の周縁部の当接を受けながら回転する。

したがって、実施形態に係るハンドによれば、部材の摩耗を抑えてメンテナンスの手間を軽減することができる。

ところで、上述した実施形態では、１対の固定爪を備える場合に、双方ともにローラを備える場合について説明したが、これに限られるものではない。たとえば、一方の固定爪についてのみローラを備えることとしてもよい。

かかる場合、プレートに載置された基板のずれが常に一定方向に偏って生じる場合や、基板の周縁部の形状が一部のみＲ形状などである場合に、かかる部位に当接する固定爪についてのみローラを備えることで、少なくともかかる部位の摩耗を抑えることができる。したがって、基板の形状は円形に限らなくともよい。

また、このように特定の固定爪についてのみローラを備える点は、可動爪について同様に適用することとしてもよい。

また、上述した実施形態では、回転体がローラである場合について主に説明したが、これに限られるものではない。たとえば、基板と当接する部位が球状の回転体である把持部材を用いることとしてもよい。

また、上述した実施形態では、把持部材が、プレートの先端部近傍や末端部近傍に配置される場合について説明したが、かかる把持部材の配置位置を限定するものではない。

また、上述した実施形態では、基板が、主に半導体ウェハである場合を例に挙げて説明したが、基板の種別を問わず適用できることは言うまでもない。

さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。

１ ロボット
２ 基台
３、５、７ アーム
４、６、８ 関節部
１０、１０Ａ、１０Ｂ ハンド
１１ プレート
１２、１２’ 固定爪
１２ａ ローラ
１２ａａ 支持ピン
１２ａｂ 軸受
１２ｂ 受け座
１３ 可動爪
１３ａ、１３ａ’ ローラ
１３ｂ 連結部材
１４ 受け座
１５ 駆動部
１５ａ 通知ランプ
２０ 制御装置

Claims (7)

1. 基部と、前記基部に配置され、基板の周縁部にそれぞれ接して当該基板を把持する複数個の支持部とを備えたハンドにおいて、
   前記支持部の少なくとも一つは、
   前記基板の周縁部の当接を受けながら回転することを特徴とするハンド。
2. 前記支持部の少なくとも一つは、
   前記基板を他の支持部へ当接させる向きに押圧する可動式の支持部であり、
   前記他の支持部は、
   前記基部に対して回転可能に支持され、前記可動式の支持部の押圧によって当接された前記基板の周縁部に沿って回転する回転式の支持部であることを特徴とする請求項１に記載のハンド。
3. 前記回転式の支持部は、
   前記可動式の支持部が前記基板を押圧する軌道について対称位置に少なくとも１対配置されることを特徴とする請求項２に記載のハンド。
4. 前記回転式の支持部は、
   円筒状に形成され、外周面において前記基板の周縁部端面と接する円筒部と、
   前記円筒部から鍔状に張り出して形成され、上面において前記基板の周縁部下面と接する鍔部と
   を有し、
   前記基板の周縁部の当接を受けた際に、前記鍔部と前記基板の周縁部下面との摩擦力に基づいて回転することを特徴とする請求項２または３に記載のハンド。
5. 前記回転式の支持部は、
   前記基部の先端部近傍に配置され、
   前記可動式の支持部は、
   前記基部の末端部近傍に配置されることを特徴とする請求項２、３または４に記載のハンド。
6. 前記可動式の支持部の稼動回数をカウントし、前記稼動回数に応じて前記回転式の支持部の交換時期をユーザに対して通知する通知部
   をさらに備えることを特徴とする請求項２〜５のいずれか一つに記載のハンド。
7. 請求項１〜６のいずれか一つに記載のハンド
   を備えることを特徴とするロボット。

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