JP2012080039A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】下金型の窪み部分にリードフレームを乗せる工程と、前記下金型と上金型を重ね合わせ、前記リードフレームをスライドさせる手段によって、前記下金型の窪み部分及び前記上金型の窪み部分の側面であって樹脂注入が行われるゲートが形成された注入面の方向に前記リードフレームをスライドさせる工程と、前記下金型と前記上金型で型締めして、前記上金型に形成された突起によって前記リードフレームの端部を潰し、前記ゲートの左右に前記注入面と前記リードフレームの間を埋める張り出し部を形成する工程と、前記ゲートからモールド樹脂を注入する工程と、を備えたことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る半導体装置の製造方法で使用する上金型の平面図である。上金型10には、その外周部分よりも一段低い窪み部分12が形成されている。窪み部分12には突起14a及び14b、並びにスライド用突起16a及び16bが形成されている。スライド用突起16a及び16bは、突起14a及び14bよりも長い。窪み部分12の中央部分には、窪み部分12よりも一段低いキャビティ18が形成されている。
図13は本発明の実施の形態2に係る半導体装置の製造方法で使用する上金型を示す図である。上金型110にはスライド用突起112が形成されている。スライド用突起112の先端部分には、ゲート側(注入面12a側)に向いた傾斜面が形成されている。実施の形態2に係る半導体装置の製造方法では、この上金型110を用いて、実施の形態1と同様の方法で半導体装置を製造する。
図14は本発明の実施の形態3に係る半導体装置の製造方法で使用する上金型を示す図である。上金型120には傾斜面122が形成されている。この傾斜面122は実施の形態1における突起とスライド用突起の両方の機能を有するものである。実施の形態3に係る半導体装置の製造方法では、この上金型120を用いて、実施の形態1と同様の方法で半導体装置を製造する。
図15は本発明の実施の形態4に係る半導体装置の製造方法で使用する上金型と下金型を示す図である。上金型130には突起14aが形成されている。下金型140にはゲート側(注入面12a及び32a側)に向いた傾斜面142が形成されている。実施の形態4に係る半導体装置の製造方法では、この上金型130及び下金型140を用いて、実施の形態1と同様の方法で半導体装置を製造する。
Claims (8)
- 下金型の窪み部分にリードフレームを乗せる工程と、
前記下金型と上金型を重ね合わせ、前記下金型の窪み部分又は前記上金型の窪み部分に形成された前記リードフレームをスライドさせる手段により、前記下金型の窪み部分及び前記上金型の窪み部分の側面であってゲートが形成された注入面の方向に前記リードフレームをスライドさせる工程と、
前記下金型と前記上金型で型締めして、前記上金型に形成された突起によって前記リードフレームの端部を潰し、前記ゲートの左右に前記注入面と前記リードフレームの間を埋める張り出し部を形成する工程と、
前記ゲートからモールド樹脂を注入する工程と、を備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記スライドさせる手段は、前記上金型の窪み部分に、前記突起よりも長く形成されたスライド用突起であり、
前記スライドさせる工程では、前記スライド用突起の先端部分の一部のみが前記リードフレームの前記端部と反対の端部とあたることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記スライド用突起の先端部分には、前記ゲート側に向いた傾斜面が形成されたことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記リードフレームはタイバーを有し、
前記上金型は前記タイバーを潰すタイバー用突起を有し、
前記張り出し部を形成する工程では、前記タイバー用突起が前記タイバーを潰し、前記タイバーと前記上金型及び前記下金型との間を埋める張り出し部を形成することを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記上金型に前記突起を3箇所以上形成したことを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記突起及び前記スライド用突起は円筒形状であることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記突起及び前記スライドさせる手段は、前記上金型に形成された前記ゲート側に向くように形成された傾斜面であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記スライドさせる手段は、前記下金型に前記ゲート側に向くように形成された傾斜面であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
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