JP2012000805A - 半導体装置、半導体装置の保管方法、半導体装置の製造方法、及び半導体製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体パッケージ100は、半導体チップ60と、半導体チップ60をダイパッド52に搭載したリードフレーム50と、半導体チップ60、及びダイパッド52を上面及び下面から封止した樹脂10と、を備え、樹脂10は、表面に設けられた凹部30と、裏面に設けられ、平面視で凹部30の内側に位置する凹部40とを有する。
【選択図】図1
Description
前記半導体チップをダイパッドに搭載したリードフレームと、
前記半導体チップ、及び前記ダイパッドを上面及び下面から封止した樹脂と、
を備え、
前記樹脂は、
表面に設けられた第1凹部と、
裏面に設けられ、平面視で前記第1凹部の内側に位置する第2凹部と、
を有する半導体装置が提供される。
30 凹部
40 凹部
50 リードフレーム
52 ダイパッド
54 リード端子
60 半導体チップ
100 半導体パッケージ
200 半導体パッケージ
300 上金型
310 下金型
320 エジェクタピン
340 エジェクタピン
360 キャビティ
370 貫通穴
380 貫通穴
Claims (7)
- 半導体チップと、
前記半導体チップをダイパッドに搭載したリードフレームと、
前記半導体チップ、及び前記ダイパッドを上面及び下面から封止した樹脂と、
を備え、
前記樹脂は、
表面に設けられた第1凹部と、
裏面に設けられ、平面視で前記第1凹部の内側に位置する第2凹部と、
を有する半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記第1凹部、及び前記第2凹部はエジェクタピンにより形成された跡である半導体装置。 - 請求項1または2に記載の半導体装置において、
前記表面を捺印面とする半導体装置。 - 半導体装置の保管方法であって、
前記半導体装置は、
半導体チップと、
前記半導体チップをダイパッドに搭載したリードフレームと、
前記半導体チップ、及び前記ダイパッドを上面及び下面から封止した樹脂と、
を備え、
前記樹脂は、
表面において設けられた第1凹部と、
裏面に設けられ、平面視で前記第1凹部の内側に位置する第2凹部と、
を有しており、
平面視において、上側の前記半導体装置の前記第2凹部が、下側の前記半導体装置の前記第1凹部の内側に位置するように前記半導体装置を重ね合わせる半導体装置の保管方法。 - 請求項4に記載の半導体装置の保管方法において、
複数の前記半導体装置は、前記リードフレームが互いにつながったフレーム単位で保管されており、複数の前記フレームを重ねて保管する半導体装置の保管方法。 - 金型のキャビティ内に半導体チップをダイパッドに搭載したリードフレームを配置する工程と、
前記キャビティに樹脂を充填し、前記半導体チップ、及び前記ダイパッドを上面及び下面から前記樹脂によって封止する工程と、
前記キャビティの上面から突出する第1エジェクタピン、及び前記キャビティの底面から突出する第2エジェクタピンにより前記リードフレームを金型から押し出す工程と、
を備え、
平面視において前記第2エジェクタピンのうち前記樹脂に押圧する部分は、前記第1エジェクタピンのうち前記樹脂に押圧する部分の内側に位置する半導体装置の製造方法。 - キャビティにおいて半導体チップをダイパッドに搭載したリードフレームを保持し、前記半導体チップ、及び前記ダイパッドを上面及び下面から樹脂によって封止する金型と、
前記キャビティの上面から突出する第1エジェクタピンと、
前記キャビティの底面から突出する第2エジェクタピンと、
を備え、
平面視において前記第2エジェクタピンのうち前記樹脂に押圧する部分は、前記第1エジェクタピンのうち前記樹脂に押圧する部分の内側に位置する半導体製造装置。
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JP2016025212A (ja) * | 2014-07-18 | 2016-02-08 | Towa株式会社 | 電子部品パッケージの製造方法 |
WO2017138092A1 (ja) * | 2016-02-09 | 2017-08-17 | 三菱電機株式会社 | 電力用半導体装置及びその製造方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0661284A (ja) * | 1992-08-07 | 1994-03-04 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 半導体装置用箱形樹脂成形体 |
JP2006073600A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Renesas Technology Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0661284A (ja) * | 1992-08-07 | 1994-03-04 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 半導体装置用箱形樹脂成形体 |
JP2006073600A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Renesas Technology Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016025212A (ja) * | 2014-07-18 | 2016-02-08 | Towa株式会社 | 電子部品パッケージの製造方法 |
WO2017138092A1 (ja) * | 2016-02-09 | 2017-08-17 | 三菱電機株式会社 | 電力用半導体装置及びその製造方法 |
JPWO2017138092A1 (ja) * | 2016-02-09 | 2018-06-21 | 三菱電機株式会社 | 電力用半導体装置及びその製造方法 |
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