JP2015103618A - リードフレーム、半導体実装用基板、半導体装置、および、半導体実装用基板の製造方法 - Google Patents
リードフレーム、半導体実装用基板、半導体装置、および、半導体実装用基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015103618A JP2015103618A JP2013242087A JP2013242087A JP2015103618A JP 2015103618 A JP2015103618 A JP 2015103618A JP 2013242087 A JP2013242087 A JP 2013242087A JP 2013242087 A JP2013242087 A JP 2013242087A JP 2015103618 A JP2015103618 A JP 2015103618A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lead frame
- resin
- anchor portion
- width
- die
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16245—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
Landscapes
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
Abstract
【課題】樹脂の密着性を向上させたリードフレームを提供する。
【解決手段】半導体素子を実装するために用いられるリードフレーム10であって、リードフレーム10の側面に形成された先端部にカエリ形状を施したアンカー部10d,カエリ形状を施したアンカーホール10hを有し、先端部にカエリ形状を施したアンカー部10d,カエリ形状を施したアンカーホール10hはリードフレーム10に成形される樹脂で覆われる位置において、プレス加工により形成されている。
【選択図】図7
【解決手段】半導体素子を実装するために用いられるリードフレーム10であって、リードフレーム10の側面に形成された先端部にカエリ形状を施したアンカー部10d,カエリ形状を施したアンカーホール10hを有し、先端部にカエリ形状を施したアンカー部10d,カエリ形状を施したアンカーホール10hはリードフレーム10に成形される樹脂で覆われる位置において、プレス加工により形成されている。
【選択図】図7
Description
本発明は、樹脂の密着性を向上させたリードフレームに関する。
従来から、リードフレームと樹脂との密着性を高めるため、リードフレームにアンカーホールを形成する対策が採られている。
例えば特許文献1には、リードフレームの表面に、断面がR形状または矩形状である凹溝(アンカーホール)を形成することにより、樹脂との密着性低下や樹脂の剥離を抑制するリードフレームおよびLEDパッケージ用基板が開示されている。
しかしながら、特許文献1に開示された凹溝(アンカーホール)では、アンカーホールの断面(側面)は加工するためのパンチを抜くためにR形状または矩形状(ストレート形状)であるため、樹脂の引っ掛かりが弱く、抜け止め効果(樹脂の密着性)が十分でない場合がある。
そこで本発明は、樹脂の密着性を向上させたリードフレーム、半導体実装用基板、半導体装置、および、半導体実装用基板の製造方法を提供する。
本発明の一側面としてのリードフレームは、半導体素子を実装するために用いられるリードフレームであって、前記リードフレームの側面に形成されたアンカー部を有する。
本発明の他の側面としての半導体実装用基板は、前記リードフレームと、少なくとも前記アンカー部を覆う樹脂とを有する。
本発明の一側面としての半導体装置は、前記リードフレームと、前記リードフレームの上に実装された半導体素子と、少なくとも前記アンカー部を覆う樹脂とを有する。
本発明の他の側面としての半導体装置の製造方法は、半導体実装用基板の製造方法であって、プレス加工によりリードフレームの側面にアンカー部を形成するステップと、少なくとも前記アンカー部を覆うように樹脂成形を行うステップとを有する。
本発明の他の目的及び特徴は、以下の実施例において説明される。
本発明によれば、樹脂の密着性を向上させたリードフレーム、半導体実装用基板、半導体装置、および、半導体実装用基板の製造方法を提供することができる。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
まず、図1を参照して、本発明の実施例1における半導体装置に用いられるリードフレームの加工方法について説明する。図1は、リードフレーム10のプレス加工処理を示す図(断面図)であり、図1(A)〜図1(F)の順に時系列で示している。
まず、図1(A)に示されるように、本実施例のプレス加工装置を構成するダイ51(上型、一方金型)およびダイ61(下型、他方金型)を用いて、リードフレーム10の両面をクランプする(リードフレーム10を挟み込む)。ダイ51には空隙部52が設けられている。ダイ61には、空隙部52に対応する位置(空隙部52との対向位置)において、パンチ62が設けられている。なお、空隙部52に、ばねで支持した受けピンを設けてもよい。この場合、後述するように凸部10aを形成した後にプレス型からのリードフレーム10の取り出しを容易にすることができる。
続いて図1(B)に示されるように、ダイ51、61を用いてリードフレーム10をクランプした状態で、パンチ62を上方に移動させる。このとき、パンチ62が上昇することによりリードフレーム10の所定領域は押され、空隙部52に突出した凸部10aが形成される。凸部10aの幅は、例えば0.25mmである。このとき、パンチ62によりリードフレーム10の下面には凹部10bが形成される。凹部10bの幅は、例えば0.2mmである。
続いて図1(C)に示されるように、ダイ51、61に代えて、ダイ53、63を用いてリードフレーム10をクランプする。ダイ53にはパンチ54が設けられている。また、ダイ63には受けピン64が設けられている。ダイ53、63によりクランプされたリードフレーム10は、パンチ62の押圧により形成された凹部10bにて、受けピン64により支持される。なお、受けピン64にノックアウトの機能を持たせて上下方向に移動可能に構成してもよい。また、パンチ54は、リードフレーム10の凸部10aの上方に配置されている。
続いて、図1(C)のようにダイ53、63を用いてリードフレーム10をクランプした状態で、図1(D)に示されるようにパンチ54を下方に移動させる。このとき、パンチ54はリードフレーム10の凸部10aを押圧しながら下方へ移動する。これにより、リードフレーム10の凸部10aの上面は押しつぶされて、凸部10aは凸部10cのように変形する。この変形の過程で、凸部10cの外周上部(凸部10cの上面周囲)において、アンカー部10d(アンダーカット部、すなわち、先端部にカエリ形状を施したアンカー部)が形成される。なお、凸部10cの幅(アンカー部10dを除いた幅W1)は、例えば0.25mmである。
このように本実施例において、アンカー部10dは、プレス加工により形成されている。またアンカー部10dは、プレス加工装置のダイ53、63を用いてリードフレーム10の表面をクランプした状態で、プレス加工装置のパンチ54を用いてリードフレーム10の側面(凸部10cの側面)を側面の面内方向(図1中の下方向)に押圧することにより形成される。
続いて、加工後のリードフレーム10をプレス加工装置(ダイ53、63)から取り外す。これにより、図1(E)に示されるように、加工後のリードフレーム10が形成される。そして、加工後のリードフレーム10に対して、樹脂モールド用の金型を用いて樹脂成形を行う。これにより、図1(F)に示されるように、リードフレーム10の上に樹脂25が成形される。樹脂25は、少なくともアンカー部10dを覆うようにリードフレーム10上に成形される。
このように本実施例において、リードフレーム10は半導体素子を実装するために用いられるリードフレームであり、リードフレーム10の一部であって凸部10a先端の側面に形成されたアンカー部10dを有する。アンカー部10dは、リードフレーム10に成形される樹脂で覆われる位置に形成されている。またリードフレーム10の側面は、リードフレーム10の表面(図1中のリードフレーム10の上面)から突出した第1の幅(幅W1)を有する凸部10aの側面であり、アンカー部10dは、凸部10aの先端側(図1中の上側)において第1の幅よりも大きい第2の幅(幅W2)を有する。
本実施例において、樹脂25は、アンカー部10dを含む凸部10cに絡みつくようにリードフレーム10の上に成形される。このため、アンカー効果(ロッキング効果)によりリードフレーム10の上に成形された樹脂25の密着性(食い付き力)を向上させることができる。
次に、図2を参照して、本発明の実施例2における半導体装置に用いられるリードフレームの加工方法について説明する。図2は、リードフレーム10のプレス加工処理を示す図(断面図)であり、図2(A)〜図2(F)の順に時系列で示している。
まず、図2(A)に示されるように、本実施例のプレス加工装置を構成するダイ151(上型、一方金型)およびダイ161(下型、他方金型)を用いて、リードフレーム10の両面をクランプする(リードフレーム10を挟み込む)。ダイ162には空隙部162が設けられている。ダイ151には、空隙部162に対応する位置(空隙部162との対向位置)において、パンチ152が設けられている。なお、空隙部162に、ばねで支持した受けピンを設けてもよい。この場合、後述するように凸部10eを形成した後にプレス型からのリードフレーム10の取り出しを容易にすることができる。
続いて図2(B)に示されるように、ダイ151、161を用いてリードフレーム10をクランプした状態で、パンチ152を下方に移動させる。このとき、パンチ152が下降することによりリードフレーム10の所定領域は押され、空隙部162に突出した凸部10eが形成される。凸部10eの幅は、例えば0.35mmである。また、パンチ152によりリードフレーム10の上面には凹部10fが形成される。凹部10fの幅は、例えば0.25mmである。
続いて図2(C)に示されるように、ダイ151、161に代えて、ダイ153、163を用いてリードフレーム10をクランプする。ダイ153にはパンチ154が設けられている。また、ダイ163には凹部164が形成されている。ダイ153、163によりクランプされたリードフレーム10において、パンチ152の押圧により形成された凸部10eは、ダイ163の凹部164に載置される。また、パンチ154は、パンチ152の押圧により形成された凹部10fに対応する位置(凹部10fとの対向位置)に配置されている。本実施例において、パンチ154の幅は、凹部10fの幅よりも大きい。このため、後述のように、パンチ154はリードフレーム10のうち凹部10fの周囲の面10gを押圧するように構成される。
続いて、図2(C)のようにダイ153、163を用いてリードフレーム10をクランプした状態で、図2(D)に示されるようにパンチ154を下方に移動させる。このとき、パンチ154はリードフレーム10の凹部10fの周囲の面10gを押圧しながら下方へ移動する。これにより、リードフレーム10の面10gは押しつぶされて、凹部10fおよびその周囲の面10gは変形し、凹部10fにおいてアンカー部10h(アンダーカット部、すなわち、先端部にカエリ形状を施したアンカーホール)が形成される。このように、パンチ154は、先端形状が平面状であるため、凹部10fの周囲の面10gを押し潰し凹部10f内に肉厚を確実に移動させることができ、無駄な力をかけることなくアンカー部10hを形成することができる。なお、アンカー部10hよりも上側における凹部10fの幅は、例えば0.3mmであり、アンカー部10hよりも下側における凹部10fの幅0.25mmよりも広い。
続いて、加工後のリードフレーム10をプレス加工装置(ダイ153、163)から取り外す。これにより、図2(E)に示されるように、加工後のリードフレーム10が形成される。そして、加工後のリードフレーム10に対して、樹脂モールド用の金型を用いて樹脂成形を行う。これにより、図2(F)に示されるように、リードフレーム10の上に樹脂25が成形される。
このように本実施例において、リードフレーム10の側面は、リードフレーム10の表面から窪んだ第3の幅(幅W3)を有する凹部10fの側面であり、アンカー部10hは、凹部10fの内側において第3の幅よりも小さい第4の幅(幅W4)を有する。
本実施例において、樹脂25は、アンカー部10hに絡みつくようにリードフレーム10の上(特に、凹部10fの中)に成形される。このため、アンカー効果(ロッキング効果)によりリードフレーム10の上に成形された樹脂25の密着性(食い付き力)を向上させることができる。
なお、実施例1と実施例2のそれぞれの構造は単独で適用される場合に限定されるものではなく、実施例1、2の両方の構造を有するものであってもよい。図7は、実施例1および実施例2の両方を適用して得られたリードフレーム10の斜視図であり、図7(A)は一方面側、図7(B)は他方面側から見た図をそれぞれ示している。図7に示されるように、リードフレーム10には、実施例1を適用して得られた構造(凹部10b、凸部10c、アンカー部10d)、および、実施例2を適用して得られた構造(凸部10e、凹部10f、アンカー部10h)が形成されている。
次に、図3および図4を参照して、本発明の実施例3における半導体装置の製造方法について説明する。図3および図4は、本実施例における半導体装置の製造工程を示す図であり、図3(A)〜(C)、図4(A)〜(C)の順に時系列で示している。なお本実施例は、半導体装置としてLEDパッケージの製造方法について説明しているが、これに限定されるものではなく、他の半導体装置の製造方法にも適用可能である。
図3(A)は、本実施例において用いられるリードフレーム10の断面図である。図3(A)に示されるリードフレーム10は、図1および図2を参照して説明した実施例1および実施例2のそれぞれの方法により加工されたリードフレームである。本実施例において、リードフレーム10は、ダイパッド側リードフレーム11(一例としてアノード電極部)と端子側リードフレーム12(一例としてカソード電極部)とに分離されている。ダイパッド側リードフレーム11と端子側リードフレーム12との間には、リード形成溝13(空間部)が設けられており、これらの間は電気的なギャップ部として構成するために分離(絶縁)される。
ダイパッド側リードフレーム11および端子側リードフレーム12の上面には、実施例1の方法により加工されたアンカー部10dを備えた凸部10cが形成されている。また、ダイパッド側リードフレーム11および端子側リードフレーム12の上面には、実施例2の方法により加工されたアンカー部10hを備えた凹部10fが形成されている。また、ダイパッド側リードフレーム11および端子側リードフレーム12の下面には、凸部10cを加工する際に形成された凹部10b、および、凹部10fを加工する際に形成された凸部10eが形成されている。
続いて図3(B)において、樹脂成形(一次成形)を行うため、モールド金型を構成する上金型70(一方金型)とモールド金型を構成する下金型80(他方金型)を用いてリードフレーム10を両面からクランプする。上金型70には、樹脂を充填するためのキャビティ72が設けられている。上金型70は、凸部71によりリードフレーム10を上面側から押圧する。下金型80には、リードフレーム10の凸部10eを収容するための凹部81が形成されている。下金型80は、リードフレーム10を下面側から押圧する。
続いて、例えば図示しないポットに供給された樹脂を、図示しないプランジャを用いた加圧により圧流を行うことでキャビティ72に充填して樹脂成形(一次成形)を行い、モールド金型(上金型70、下金型80)を離型する。これにより、図3(C)に示されるように、一次成形後のリードフレーム(半導体実装用基板)が製造される。20は、一次成形樹脂としてのリフレクタ樹脂(第1の樹脂)である。リフレクタ樹脂20は、例えば、フィラーとしてのシリカと酸化チタンやアルミナ等の白色顔料を主として含有したエポキシまたはシリコーン樹脂が好適に用いられる。リフレクタ樹脂20は、熱硬化性樹脂であればアクリル樹脂やウレタン樹脂など上述のもの以外を用いることができ、その材質に限定されるものではない。リフレクタ樹脂20は、モールド金型(上金型70、下金型80)を用いてリードフレーム10を両面からクランプし、トランスファ成形により樹脂を流し込んで硬化させることにより、リードフレーム10の上面(キャビティ72の領域)およびリード形成溝13に形成(充填)される。リフレクタ樹脂20は、LEDチップの周囲に凹部を形成し、LEDチップ(半導体素子)から発せられた光を上方に反射させるリフレクタとして機能する。また、リフレクタ樹脂20は、LEDパッケージの強度を向上させるという機能も有する。
本実施例において、リフレクタ樹脂20は、凸部10cを覆うように充填される。凸部10cにはアンカー部10dが形成されているため、リフレクタ樹脂20とリードフレーム10との密着性(食い付き力)を向上させることにより、リフレクタ樹脂20がリードフレーム10から脱落することを効果的に抑制することができる。
なお図3(C)に示されるように、リフレクタ樹脂20は、LEDチップが搭載されることになるリードフレーム10上の所定の領域には形成されない。この領域は、LEDチップを実装するためのLEDチップ実装領域15であり、一次成形後でもリードフレーム10の表面が露出した領域である。
続いて図4(A)に示されるように、LEDチップ実装領域15(ダイパッド側リードフレーム11の上)に、LEDチップ40(半導体素子)を実装する。LEDチップ40は、アノード電極(正極)およびカソード電極(負極) の一対の電極を備え、これらの電極の間に順バイアスの所定電圧を印加することにより光を放出する素子である。LEDチップ40は、金ワイヤなどのボンディングワイヤ42により、LEDチップ40のアノード電極とダイパッド側リードフレーム11との間、および、LEDチップ40のカソード電極と端子側リードフレーム12との間をそれぞれ電気的に接続する。なお、本実施例ではボンディングワイヤ42を用いているが、これに限定されるものではなく、フリップチップ実装によりLEDチップ40をリードフレーム10上に実装してもよい。この場合、リード形成溝13(抜き孔)を跨ぐようにLEDチップ40を配置して、LEDチップ40の下面に形成された各電極をダイパッド側リードフレーム11および端子側リードフレーム12のそれぞれにボンディングして実装する。このため、ボンディングワイヤ42は不要となる。
また、図4(A)に示されるように、樹脂成形(二次成形)を行うため、上金型75(一方金型)と下金型85(他方金型)を用いてリードフレーム10を両面からクランプする。上金型75には、透明樹脂(レンズ樹脂)を充填するための半球状のキャビティ78が設けられている。上金型75は、リードフレーム10(リードフレーム10上に形成されたリフレクタ樹脂20)を上面側から押圧する。下金型85には、リードフレーム10の凸部10eを収容するための凹部86が形成されている。下金型85は、リードフレーム10を下面側から押圧する。
続いて、樹脂成形(二次成形)を行い、モールド金型(上金型75、下金型85)を離型する。これにより、図4(B)に示されるように、二次成形後のリードフレームが製造される。図4(B)の構成は、図4(A)に示される一次成形後のリードフレーム(LEDチップ40の実装後のリードフレーム)に、更に、二次成形樹脂(レンズ樹脂)としての透明樹脂30(第2の樹脂)が形成されたものである。なお、リードフレーム10におけるリフレクタ樹脂20の成形領域の外側において、上金型75と下金型85とでリードフレーム10をクランプするようにして、リフレクタ樹脂20も覆うように透明樹脂30を樹脂成形してもよい。
透明樹脂30としては、透光性を有するシリコーン樹脂が用いられる。シリコーン樹脂は、LEDチップ40の発光波長が青色光等の短波長である場合や、LEDチップ40が高輝度LEDであり多量の熱を発生する場合に、その光や熱による変色や劣化に対する耐久性に優れている。ただし、本実施例の透明樹脂30はシリコーン樹脂に限定されるものではなく、エポキシ樹脂などの他の樹脂を用いてもよい。また、透明樹脂30には、LEDチップ40の種類に応じた蛍光体を含有してもよい。
透明樹脂30は、上金型75と下金型85とを用いて、トランスファ成形により樹脂を流し込んで硬化させることにより、リードフレーム10のLEDチップ実装領域15の上に形成される。ただし本実施例は、これに限定されるものではなく、圧縮成形やポッティングにて成形することもできる。図4(B)に示されるように、透明樹脂30(レンズ樹脂)は、LEDチップ実装領域15の上方に球状(半球状)に形成され、LEDチップ40を封止する。また、透明樹脂30は、同図に示される凸レンズ状以外の形状であってもよく、フレネルレンズやレンチキュラーレンズ形状であってもよく、平坦形状としてもよい。
続いて図4(C)に示されるように、二次成形後のリードフレーム10をダイシングして個片化することで、最終製品としての複数のLEDパッケージ(半導体装置)が製造される。リードフレーム10の下面の突出する凸部10eは、そのまま残してもよく、または、削ることにより除去してもよい。また、透明樹脂30が漏れない場合には、凹部10f(半抜き部)に代えて、リードフレーム10を貫通させる打ち抜き孔を用いることもできる。
本実施例によれば、アンカー部10d(第1のアンカー部)を備えた凸部10cにより、リードフレーム10とリフレクタ樹脂20との密着性(食い付き力)を向上させることができる。また、アンカー部10h(第2のアンカー部)を備えた凹部10fにより、リードフレーム10と透明樹脂30(レンズ樹脂)との密着性(食い付き力)を向上させることができる。また、凹部10fの形成面とは反対側の面に突出した凸部10eにより、リフレクタ樹脂20を形成する際の方向誤りを防止することができる。
次に、図5を参照して、本発明の実施例4におけるリードフレームの製造方法について説明する。図5は、本実施例におけるリードフレーム100のエッチング加工処理及びプレス加工処理を示す図であり、図5(A)〜図5(E)の順に時系列に示している。本実施例では、エッチング処理を行うリードフレームを対象とする。
まず、図5(A)に示されるように、リードフレーム100の両面にマスク101、102をそれぞれ配置する。マスク102には開口部103が設けられている。そして図5(B)に示されるように、リードフレーム100に対してエッチング処理を行うことにより、リードフレーム100の一部の領域(マスク102の開口部103)に凹部104を形成する。
続いて図5(C)に示されるように、本実施例のプレス加工装置を構成するダイ251(上型、一方金型)およびダイ261(下型、他方金型)を用いて、リードフレーム100の両面をクランプする。ダイ251には、リードフレーム100に形成された凹部104に対応する位置(凹部104との対向位置)において、パンチ252が設けられている。本実施例において、パンチ252の幅は、凹部104の幅よりも大きい。このため、パンチ252はリードフレーム100のうち凹部104の周囲の面100aを押圧するように構成される。
そして図5(D)に示されるように、ダイ251、261を用いてリードフレーム100をクランプした状態で、パンチ252を下方に移動させる。このとき、パンチ252はリードフレーム100の凹部104の周囲の面100aを押圧しながら下方へ移動する。これにより、リードフレーム100の面100aは押しつぶされて、凹部104およびその周囲の面100aは変形し、凹部104においてアンカー部100b(アンダーカット部)が形成される。続いて、加工後のリードフレーム100をプレス加工装置(ダイ251、261)から取り外す。これにより、図5(E)に示されるように、加工後のリードフレーム100が形成される。
このように本実施例において、実施例2と同様に、リードフレーム100の側面は、リードフレーム100の表面から窪んだ第3の幅(幅W3)を有する凹部104の側面であり、アンカー部100bは、凹部104の内側において第3の幅よりも小さい第4の幅(幅W4)を有する。
このように、本実施例によれば、実施例2のようにリードフレーム100の裏面の凸部10eが形成されないため、この除去工程を不要とすることができる。
なお本実施例において、エッチング処理により凹部104を形成しているが、これに限定されるものではなく、レーザ加工など他の方法を用いて凹部104を形成することもできる。
次に、図6を参照して、本発明の実施例5における半導体装置(リードフレーム)の製造方法について説明する。図5は、本実施例におけるリードフレーム110のプレス加工処理を示す図であり、図6(A)〜図6(F)の順に時系列に示している。本実施例は、打ち抜き後のリードフレームを対象とする点で、半抜き後のリードフレームを対象とする実施例1〜4の構成とは異なる。
まず、図6(A)に示されるように、打ち抜き加工装置を構成するダイ351(上型、一方金型)およびダイ361(下型、他方金型)を用いて、リードフレーム110の両面をクランプする。ダイ361には、空隙部362が形成されている。ダイ351には、ダイ361に形成された空隙部362に対応する位置(空隙部362との対向位置)において、パンチ352が設けられている。
続いて図6(B)に示されるように、ダイ351、361を用いてリードフレーム110をクランプした状態で、パンチ352を下方に移動させる。これにより、リードフレーム110の部位110aが打ち抜かれ、リードフレーム110に打ち抜き孔110b(孔部)が形成される。
続いて図6(C)に示されるように、本実施例のプレス加工装置を構成するダイ353(上型、一方金型)およびダイ363(下型、他方金型)を用いて、リードフレーム110の両面をクランプする。ダイ353には、リードフレーム110に形成された打ち抜き孔110bに対応する位置(打ち抜き孔110bとの対向位置)において、パンチ354が設けられている。本実施例において、パンチ354の幅は、打ち抜き孔110bの幅よりも大きい。このため、パンチ354はリードフレーム110のうち打ち抜き孔110bの周囲の面110cを押圧するように構成される。本実施例において、パンチ354の幅は、打ち抜き孔110bの幅よりも大きい。このため、パンチ354はリードフレーム110のうち打ち抜き孔110bの周囲の面110cを押圧するように構成される。
そして図6(D)に示されるように、ダイ353、363を用いてリードフレーム110をクランプした状態で、パンチ354を下方に移動させる。このとき、パンチ354はリードフレーム110の打ち抜き孔110bの周囲の面110cを押圧しながら下方へ移動する。これにより、リードフレーム110の面110cは押しつぶされて、打ち抜き孔110bおよびその周囲の面110cは変形し、打ち抜き孔110bにおいてアンカー部110d(アンダーカット部)が形成される。続いて、加工後のリードフレーム110をプレス加工装置(ダイ353、363)から取り外す。
これにより、図6(E)に示されるように、加工後のリードフレーム110が形成される。なお、図6(E)は、リードフレーム110をひっくり返して(リードフレーム110の上下方向を、図6(A)〜図6(D)とは逆にして)示している。本実施例において、リードフレーム110の側面は、リードフレーム110に形成された第5の幅(幅W5)を有する打ち抜き孔110b(孔部)の側面であり、アンカー部110dは、打ち抜き孔110bの内側において第5の幅よりも小さい第6の幅(幅W6)を有する。
加工後のリードフレーム110は、例えば図6(F)に示されるように、LEDパッケージのリードフレームとして用いられる。図6(F)のLEDパッケージは、リードフレーム110には、LEDチップ実装領域15の周囲において、リフレクタとして機能するリフレクタ樹脂20が形成されている。またリフレクタ樹脂20は、リードフレーム110の打ち抜き部110bの内部に充填されている。リードフレーム110の上には、LEDチップ実装領域15において、LEDチップ40がバンプ48を用いてフリップチップ実装されている。
なお、本実施例のリードフレーム110は、LEDパッケージに限定されるものではなく、QFNなど他の半導体装置にも適用可能である。本実施例において、リフレクタ樹脂20は、アンカー部110dに絡みつくように打ち抜き部110bに充填される。このため、アンカー効果によりリフレクタ樹脂20の密着性(食い付き力)を向上させることができる。
上記各実施例によれば、樹脂の密着性を向上させたリードフレーム、半導体実装用基板、半導体装置、および、半導体実装用基板の製造方法を提供することができる。
以上、本発明の実施例について具体的に説明した。ただし、本発明は上記実施例として記載された事項に限定されるものではなく、本発明の技術思想を逸脱しない範囲内で適宜変更が可能である。
例えば、図4に示される実施例では、透明樹脂30の形成領域に凹部10fを設ける構成について説明したが、各実施例はこれに限定されるものではない。例えば、リフレクタ樹脂20の形成領域と透明樹脂30の形成領域とを跨ぐ位置に凹部10fを設けてもよい。これにより、図3(B)に示される上金型70を用いてリードフレーム10をクランプしたときに、凹部10f内にリフレクタ樹脂20を充填させることができる。また、リフレクタ樹脂20の角部からの剥離を防止し、より確実にリードフレーム10にリフレクタ樹脂20を保持させることができる。
また、上記各実施例では、凹部10fにアンカー部10hを形成する場合、パンチ154により1回加工する方法について説明したが、各実施例はこれに限定されるものではない。例えば、大きさの異なるパンチ154で複数回加工することにより、複数段のアンカー部10hを突起させることで、リードフレーム10との接触面積をさらに増やして密着力を向上させてもよい。
また、上記各実施例では、パンチ154の先端形状が平面状である場合について説明したが、各実施例はこれに限定されるものではない。例えば、図8(A)〜(D)に示されるような変形例を採用することもできる。図8(A)、(B)に示されるように、本変形例では、中央が凸状の傾斜面を有するパンチ154aが用いられる。このような形状を有するパンチ154aを用いることにより、図8(C)、(D)に示されるように、リードフレーム10の表面に段差を付けることなくアンカー部10hを成形することができる。このため、リードフレーム10の表面の凹凸を少なくして凹部10fを目立たなくすることができ、レンズ成形において光学的な特性を損なうことなく透明樹脂30(または樹脂25)を形成しながら、樹脂の密着性を向上させることが可能である。また、アンカー部10hを形成する際にリードフレーム10に対する肉厚の移動を少なくして、歪みや残留応力を低減することができる。
10 リードフレーム
10d、10h アンカー部
20 リフレクタ樹脂
51、61 ダイ
54、64 パンチ
10d、10h アンカー部
20 リフレクタ樹脂
51、61 ダイ
54、64 パンチ
Claims (12)
- 半導体素子を実装するために用いられるリードフレームであって、
前記リードフレームの側面に形成されたアンカー部を有することを特徴とするリードフレーム。 - 前記アンカー部は、前記リードフレームに成形される樹脂で覆われる位置に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のリードフレーム。
- 前記リードフレームの前記側面は、該リードフレームの表面から突出した第1の幅を有する凸部の側面であり、
前記アンカー部は、前記凸部の先端側において前記第1の幅よりも大きい第2の幅を有することを特徴とする請求項1または2に記載のリードフレーム。 - 前記リードフレームの前記側面は、該リードフレームの表面から窪んだ第3の幅を有する凹部の側面であり、
前記アンカー部は、前記凹部の内側において前記第3の幅よりも小さい第4の幅を有することを特徴とする請求項1または2に記載のリードフレーム。 - 前記リードフレームの前記側面は、該リードフレームに形成された第5の幅を有する孔部の側面であり、
前記アンカー部は、前記孔部の内側において前記第5の幅よりも小さい第6の幅を有することを特徴とする請求項1または2に記載のリードフレーム。 - 前記アンカー部は、プレス加工により形成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のリードフレーム。
- 前記アンカー部は、プレス加工装置のダイを用いて前記リードフレームの表面をクランプした状態で、該プレス加工装置のパンチを用いて該リードフレームの前記側面を該側面の面内方向に押圧することにより形成されていることを特徴とする請求項6に記載のリードフレーム。
- 請求項1乃至7のいずれか1項に記載のリードフレームと、
少なくとも前記アンカー部を覆う樹脂と、を有することを特徴とする半導体実装用基板。 - 前記半導体実装用基板は、LEDチップを実装するための基板であり、
前記樹脂は、前記LEDチップから発せられた光を反射させるリフレクタとして機能することを特徴とする請求項8に記載の半導体実装用基板。 - 請求項1乃至7のいずれか1項に記載のリードフレームと、
前記リードフレームの上に実装された半導体素子と、
少なくとも前記アンカー部を覆う樹脂と、を有することを特徴とする半導体装置。 - 前記半導体素子はLEDチップであり、
前記アンカー部は、第1のアンカー部および第2のアンカー部を含み、
前記第1のアンカー部は、前記LEDチップから発せられた光を反射させるリフレクタとして機能する第1の樹脂により覆われ、
前記第2のアンカー部は、前記LEDチップのレンズ樹脂として機能する第2の樹脂により覆われていることを特徴とする請求項10に記載の半導体装置。 - 半導体実装用基板の製造方法であって、
プレス加工によりリードフレームの側面にアンカー部を形成するステップと、
少なくとも前記アンカー部を覆うように樹脂成形を行うステップと、を有することを特徴とする半導体実装用基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013242087A JP2015103618A (ja) | 2013-11-22 | 2013-11-22 | リードフレーム、半導体実装用基板、半導体装置、および、半導体実装用基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013242087A JP2015103618A (ja) | 2013-11-22 | 2013-11-22 | リードフレーム、半導体実装用基板、半導体装置、および、半導体実装用基板の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015103618A true JP2015103618A (ja) | 2015-06-04 |
Family
ID=53379102
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013242087A Pending JP2015103618A (ja) | 2013-11-22 | 2013-11-22 | リードフレーム、半導体実装用基板、半導体装置、および、半導体実装用基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015103618A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017037917A (ja) * | 2015-08-07 | 2017-02-16 | 日亜化学工業株式会社 | リードフレーム、パッケージ及び発光装置、並びにこれらの製造方法 |
JP2018157088A (ja) * | 2017-03-17 | 2018-10-04 | 日亜化学工業株式会社 | リードフレーム |
JP2019216265A (ja) * | 2019-08-27 | 2019-12-19 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置の製造方法 |
JP2020136419A (ja) * | 2019-02-15 | 2020-08-31 | 大口マテリアル株式会社 | Led用リードフレーム |
-
2013
- 2013-11-22 JP JP2013242087A patent/JP2015103618A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017037917A (ja) * | 2015-08-07 | 2017-02-16 | 日亜化学工業株式会社 | リードフレーム、パッケージ及び発光装置、並びにこれらの製造方法 |
JP2018157088A (ja) * | 2017-03-17 | 2018-10-04 | 日亜化学工業株式会社 | リードフレーム |
JP2020136419A (ja) * | 2019-02-15 | 2020-08-31 | 大口マテリアル株式会社 | Led用リードフレーム |
JP2019216265A (ja) * | 2019-08-27 | 2019-12-19 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置の製造方法 |
JP7054008B2 (ja) | 2019-08-27 | 2022-04-13 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置の製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5876645B2 (ja) | リードフレームの製造方法 | |
TWI476962B (zh) | 發光裝置 | |
TWI690096B (zh) | 導線架、封裝體及發光裝置、與該等之製造方法 | |
JP5600443B2 (ja) | 発光装置およびその製造方法 | |
US10937666B2 (en) | Method for manufacturing lead frame including electrode and hanger lead, method for manufacturing package having lead frame, and method for manufacturing light-emitting device having package | |
JP2012028699A (ja) | 半導体装置、リードフレーム集合体及びその製造方法 | |
US9853198B2 (en) | Optoelectronic component and method of producing same | |
CN103199187B (zh) | 一种发光二极管封装基板与封装结构及其制作方法 | |
JP2008177496A (ja) | リードフレーム、パッケージ部品、半導体装置およびそれらの製造方法 | |
JP6206442B2 (ja) | パッケージ及びその製造方法、並びに発光装置 | |
JP5554691B2 (ja) | Ledチップ実装用基板の金型、及び、ledチップ実装用基板の製造方法 | |
JP2013251422A (ja) | Ledチップ実装用基板、ledパッケージ、金型、並びに、ledチップ実装用基板及びledパッケージの製造方法 | |
JP2015103618A (ja) | リードフレーム、半導体実装用基板、半導体装置、および、半導体実装用基板の製造方法 | |
JP7030481B2 (ja) | 樹脂封止金型および半導体装置の製造方法 | |
JP2011151102A (ja) | リードフレーム及びリードフレームの製造方法 | |
JP5180694B2 (ja) | Ledチップ実装用基板の製造方法、ledチップ実装用基板のモールド金型、ledチップ実装用基板、及び、led | |
JP2012182357A (ja) | Led発光素子用リードフレーム基板、led発光素子装置、およびled発光素子用リードフレーム | |
JP2014103365A (ja) | 半導体装置 | |
JP6055279B2 (ja) | 半導体装置、半導体チップの実装用基板、および、それらの製造方法 | |
JP5180690B2 (ja) | Ledチップ実装用基板の製造方法、ledチップ実装用基板のモールド金型、ledチップ実装用基板、及び、led | |
JP5684632B2 (ja) | Ledパッケージ用基板の製造方法 | |
JP2010010567A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP5873886B2 (ja) | 樹脂成形体の製造方法、及び、ledパッケージの製造方法 | |
JP5511881B2 (ja) | Ledパッケージ用基板、ledパッケージ用基板の製造方法、ledパッケージ用基板のモールド金型、ledパッケージ、及び、ledパッケージの製造方法 | |
JP2012221963A (ja) | Ledパッケージ用基板 |