JPH08323798A - 樹脂モールド装置 - Google Patents

樹脂モールド装置

Info

Publication number
JPH08323798A
JPH08323798A JP13131295A JP13131295A JPH08323798A JP H08323798 A JPH08323798 A JP H08323798A JP 13131295 A JP13131295 A JP 13131295A JP 13131295 A JP13131295 A JP 13131295A JP H08323798 A JPH08323798 A JP H08323798A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tie bar
resin
lead frame
crushing block
movable
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP13131295A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshinori Kiyohara
俊範 清原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
Original Assignee
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd, Kansai Nippon Electric Co Ltd filed Critical Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Priority to JP13131295A priority Critical patent/JPH08323798A/ja
Publication of JPH08323798A publication Critical patent/JPH08323798A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 リードフレームのタイバ両端部での樹脂漏れ
を防止した樹脂モールド装置の提供。 【構成】 上下一対の金型9、15のうち下金型9の上
面に、多数のキャビティ12を配列形成し、各リード2
の中間部をタイバ6にて連結一体化し、タイバ6の両端
6aを最外端のリードより突出させ、リード2遊端部を
キャビティ12内に位置させ、タイバ6の突出部を囲む
位置に平面形状がコの字状をなしかつタイバ6の突出部
の端面に向かって近接動する可動潰しブロック19を配
置する。 【効果】 潰しブロック19を可動としたからタイバ6
両端と潰しブロック19の密着性を向上でき、樹脂漏れ
を完全に防止できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は樹脂モールド装置に関
し、特に多数本のリードを一体に連結したタイバの両端
を最外端のリードより突出させた構造のリードフレーム
のタイバ両端部での樹脂漏れを防止した樹脂モールド装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】樹脂モールド型電子部品の一例を図5か
ら説明する。図において、1は一端部に取付用の穴1a
を穿設した放熱板、2は図示例では3本一組のリード
で、中央のリード2aは放熱板1に連結され、他のリー
ド2b、2cはリード2aの両側に平行配置され、各遊
端は放熱板1の近傍に配置されている。3は放熱板1に
マウントされた電子部品本体、例えば半導体ペレット、
4は半導体ペレット3上の電極(図示せず)とリード2
b、2cとを電気的に接続した金属細線、5は半導体ペ
レット3、リード2の遊端部、取付穴1aの内周を含む
放熱板1の全面を被覆した樹脂を示す。この半導体装置
の製造に用いられるリードフレームの構造を図6から説
明する。
【0003】図において、図5と同一物には同一符号を
付し重複する説明を省略する。図中、6、7は多数本一
組、図示例では3本一組の平行配置されたリード2を多
数組互いに平行配置した状態で、各リード2の中間部及
び外端部を連結して一体化しリードフレーム8を構成す
る連結条で、各連結条6、7は平行配置され、リード中
間部を連結する連結条(タイバ)6は図示例では一端6
aのみを示すが、両端が最外端のリードより突出してい
る。このリードフレーム8は、半導体ペレット3を放熱
板1上に溶融半田あるいは導電性ペーストなどの接着材
を介してマウントするマウント工程、半導体ペレット3
上の電極(図示せず)とリード2b、2cとを金属細線
4にて電気的に接続するワイヤボンディング工程、半導
体ペレット3を含む放熱板1の全面を樹脂5にて被覆す
る樹脂モールド工程、タイバ6、連結条7など樹脂から
露呈したリードフレーム8の不要部分を切断除去し個々
の半導体装置に分離する切断工程、電気的特性を検査し
て良否判別をする検査工程、リード表面に半田付け性の
良好な金属または合金を被覆するリードメッキ工程、外
観検査工程などの各工程を順次経由して図5に示す半導
体装置が製造される。上記工程のうち、樹脂モールド工
程では図7及び図8に示す樹脂モールド装置が用いられ
る。
【0004】図において、9は下金型、10は下金型9
の上面中央部に形成されたカル部、11は一端がカル部
10に接続され中間部乃至他端が下金型9の周縁に沿っ
て延びるランナ、12aはランナ11に沿って配置され
た多数のキャビティ、13は各キャビティ12とランナ
11とを連通するゲートを示す。リードフレーム8はそ
の放熱板1がキャビティ12a内に収容され、リード2
が下金型9上に支持される。14は図4に示すように下
金型9上に支持されたリードフレーム8のタイバ6の突
出した端部6aを囲む平面形状がコの字状の潰しブロッ
クで、その内部は階段状に形成されリードフレーム8の
両端を持ち上げその表面を潰しブロック14上面から突
出させた状態で支持する。15は下金型9の上方に配置
され相対的に近接離隔し下金型9に照合する上金型、1
6は上金型15を貫通し下端開口部を下金型9のカル部
10と対向配置したポット、17は予め上下金型9、1
5を型締めした状態でポット16内に投入された樹脂タ
ブレット18を加圧するプランジャを示す。
【0005】12bは下金型9のキャビティ12aと対
向する位置に形成されたキャビティを示す。なお、上下
金型9、15は固定盤及び可動盤に連結されているが図
示省略する。また、上下金型9、15は加熱手段(図示
せず)により適温に加熱されている。この装置の動作を
以下に説明する。まず、上下金型9、15を開き、下金
型9上にリードフレーム8を配置する。次に、上下金型
9、15を近接させリードフレーム8のリード2を挟持
した状態で各金型9、15を衝合させる。この時、タイ
バ6の端部6aは潰しブロック14内で一部が押し潰さ
れ、潰しブロック14内で膨出して潰しブロック14と
タイバの両端部とが密着する。上下金型の衝合により、
タイバ6を閉空間の一部として放熱板1を収容したキャ
ビティ12a、12bが閉じる
【0006】そしてポット16内に樹脂タブレット18
を投入し、さらにポット16内にプランジャ17を挿入
して、樹脂タブレット18を加圧する。樹脂タブレット
18は加熱、加圧され流動化し、流動化した樹脂は、ラ
ンナ11、ゲート13を経てキャビティ12内に注入さ
れ、キャビティ12内に残留した空気を追い出しつつ充
填され、半導体ペレット3を含む放熱板1の全面を被覆
する。このようにして樹脂の充填が完了すると、上下金
型9、15を開き、カル部、ランナ部、ゲート部の樹脂
と一体の樹脂成形品を取り出し、不要な樹脂が除去され
て次工程に送られる。樹脂成形品が取り出された金型は
クリーニングされ、上記動作が繰返される。この装置で
は、樹脂注入時にキャビティ12内に注入された樹脂が
キャビティ12a、12bの隙間からしみ出し樹脂の薄
ばりが形成されるが、この樹脂ばりは不要樹脂として容
易に除去できる。
【0007】図7に示す樹脂モールド装置はリードフレ
ーム8を上下金型9、15で挟持しキャビティ12の閉
空間を形成しているが、リードフレームの厚みのばらつ
きによりタイバ6部分に金型との間で隙間が形成され、
この隙間から樹脂がしみ出し、タイバ6より外方でリー
ド2の表面に樹脂ばりが形成されると、この部分には続
くリードメッキ工程で、メッキ材が被覆できないため、
この電子部品を印刷配線基板などに半田付け実装した場
合、半田付けが不充分となり、樹脂ばり部分から腐食が
進行して、電気的接続を不良にし電子回路装置の信頼性
を低下させるという問題がある。そのためメッキ作業に
先だって樹脂ばりを除去する必要があり、作業が煩雑
で、費用もかかるという問題があった。そのため、リー
ドフレームのタイバ部分またこのタイバと対向する金型
挟持面に凸部を形成し、リードフレームに厚さのばらつ
きがあっても金型とリードフレームとを完全に密着させ
樹脂漏れを防止している。(例えば実開昭61−698
40号公報、実開昭63−36056号公報、特開昭6
2−32622号公報参照)
【0008】
【発明が解決しようとする課題】一方、リードフレーム
8のタイバ両端部6a、6aはリードフレーム8に厚み
のばらつきを生じても圧潰されるように段部の高さが設
定されているが、リードフレームの厚みが薄い方向にば
らつくと圧潰量が減少し、潰しブロック14とタイバ両
端部6aとの間で十分密着させることができず、樹脂が
タイバ両端部6aに沿って漏れでて、リードの側面に到
達しこの部分のリードメッキが不完全となるという問題
があった。また、リードフレーム8にはタイバ6に沿う
長さのばらつきもあり、さらには下金型9上にリードフ
レーム8を載置する際に、位置ずれも生じる。
【0009】そのため、タイバ両端部の潰しブロック1
4上に位置する支持長さが異なり、圧潰量が大幅に相違
し、前記支持長さが短いと樹脂漏れの問題が顕著とな
り、改善が望まれていた。そのため、出願人は先に特願
平6−307486号にて、潰しブロックのタイバ支持
部の構造を改良しタイバの圧潰部を確実に潰しブロック
内壁に密着させるようにした樹脂モールド装置を提案
し、上記問題を改善している。この場合、樹脂漏れは改
善されるが、圧潰量が過大になるとタイバの両端部が潰
しブロックに圧着し金型から樹脂成形品を取り出す時に
リードフレームを変形させる虞があった。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題の解決
を目的として提案されたもので、上下一対の金型のうち
下金型の上面に、樹脂供給源から延びるランナに沿いか
つこのランナにゲートを介して連通した多数のキャビテ
ィを配列形成し、複数本一組のリードを多数組互いに平
行配置して各リードの中間部をタイバにて連結一体化す
るとともにこのタイバの両端を最外端のリードより突出
させたリードフレームを、そのリード遊端部をキャビテ
ィ内に位置させて支持するとともに、タイバの突出部を
囲む位置に平面形状がコの字状をなしかつタイバの突出
部の端面に向かって近接動する可動潰しブロックを配置
したことを特徴とする樹脂モールド装置を提供する。
【0011】
【作用】本発明により、可動潰しブロックの内壁がタイ
バ両端部に当接させることができるため、リードフレー
ムの長さのばらつき、リードフレームの位置ずれを生じ
ても樹脂漏れを防止でき、樹脂成形品の取り出しも容易
にできる。
【0012】
【実施例】以下に本発明を図7及び図8に示す樹脂モー
ルド装置に適用し具体的実施例を図1から説明する。図
において、図7及び図8と同一部分には同一符号を付し
重複する説明を省略する。本発明による樹脂モールド装
置が図7装置と相違するのは、下金型9上に載置したリ
ードフレーム8の両端部分に突出したタイバ6の両端6
aを囲む潰しブロック19のみで、下金型9上で位置決
めされたリードフレーム8のタイバ6の両端部6aを囲
む位置に平面形状がコの字状をなしかつタイバ6の両端
部6aの端面に向かって近接動するように可動としたこ
とを特徴とする。この可動潰しブロック19は、下金型
9上に載置されるリードフレームのタイバ6の両端位置
に配置されてタイバ6の延在方向に移動可能に下金型9
にガイドされ、図示しないコイルスプリングなどの弾性
部材により外方に弾性力が付与されている。
【0012】また、この可動潰しブロック19は背面1
9aがテーパ面に形成されている。図中、15aは下金
型9と対向する上金型15の衝合面の可動潰しブロック
19背面19aと対向する部分に穿設した縦穴、20は
縦穴15a内に挿入され、コイルスプリング21によっ
て下方に弾性力が付与された状態で下端を上金型衝合面
より突出させた駆動ピンを示す。以下にこの装置の動作
を説明する。先ず、電子部品本体がマウントされ、電子
部品本体とリードとが電気的に接続された図6に示す形
状のリードフレーム8を開放状態の下金型9上の所定位
置に載置する。この時、リードフレーム8のタイバ6の
突出した両端6aは可動潰しブロック19によって囲ま
れるが、タイバ両端6aの端面と可動潰しブロック19
の対向面間には大きな隙間が形成されている。
【0014】次に、上下金型9、15を互いに近接させ
衝合させる。駆動ピン20は上金型15の衝合面より突
出しているため、金型の衝合に先だって、駆動ピン20
が可動潰しブロック19の背面19aに当接し押圧する
ことによって、可動潰しブロック19はタイバ両端6a
に当接するまで下金型9上を移動する。そして、可動潰
しブロック19とタイバ6の対向面が衝合すると、駆動
ピン20の降下が停止し、上下金型9、15の近接をコ
イルスプリング21が吸収する。そのため、駆動ピン2
0の下降は停止しても可動潰しブロック19に対する押
圧力は漸増し可動潰しブロック19とタイバ両端との密
着を確実にすることができる。このようにして、上下金
型9、15が衝合するとポット内に樹脂タブレットを投
入し、加熱状態の樹脂タブレットをプランジャにて加圧
して流動化させて、流動化した樹脂をランナ11、ゲー
ト13を介してキャビティ12に注入しリードフレーム
8上の要部を樹脂被覆する。
【0015】キャビティ12に注入された樹脂はキャビ
ティ12内に閉じ込められた空気を図示しないエアベン
トから追い出しつつキャビティ12内に充填される。こ
の時、キャビティ12内に先行して注入された樹脂は、
エアベント以外に隙間があればその部分からキャビティ
12外に漏れるが、タイバ6の両端部6aは少なくとも
その端面と可動潰しブロック19の内壁とが密着してい
るため、リードフレーム8の厚みのばらつき、リードフ
レームの載置位置のずれがあっても圧潰によるタイバ両
端と可動潰しブロック19内壁との密着を確実にでき、
タイバより外方でリード側壁に樹脂ばりが形成されるこ
とはない。このようにして、樹脂の充填が完了すると上
下金型を開き、樹脂成形品を取り出す。金型を開くとき
に、駆動ピン20が可動潰しブロック19から離れると
可動潰しブロック19は弾性力によりリードフレーム8
を両側から引っ張る。そのため、離型されるリードフレ
ーム8には両側からの引張力と金型に対して直交方向の
力が作用し、圧潰により密着した可動潰しブロック19
からリードフレーム8は容易に外れる。
【0015】このようにして下金型9から樹脂成形品を
取り出した後、金型をクリーニングし、次のリードフレ
ームに対して上記動作を繰返し樹脂モールド作業を行う
ことができる。このように、可動潰しブロック19を設
けることにより、リードフレームの厚みのばらつきや、
その位置ずれによるタイバ両端の圧潰量のばらつきに基
づく樹脂漏れ、リードフレームの離型時の変形を防止で
きる。図3は本発明の他の実施例を示す。図において、
図7と同一部分には同一符号を付し重複する説明を省略
する。図中、図1実施例と相違するのは、可動潰しブロ
ック22とこの背面に接続されて駆動する駆動機構23
のみで、可動潰しブロック22は図1実施例の可動潰し
ブロック19とほぼ同一構造で、平面形状が略コの字上
で内部のタイバ両端部6aを支持する部分には段差が形
成されている。
【0016】駆動機構23はエアまたは油圧さらには電
気モータを駆動源とし、作動時にピストン23aが退入
するシリンダ23bと、不動時にピストン23aを弾性
的に突出させるコイルスプリング23cとで構成されて
いる。この装置は、開放した下金型9上にリードフレー
ム8を載置する前に駆動機構23を作動させ、タイバ両
端6aから外れない範囲で可動潰しブロック22を外方
に移動させ、リードフレーム8の載置が完了し、完全に
型締めが完了する前に駆動機構23を不動とする。これ
により、タイバ6の両端は可動潰しブロック22と弾性
的に密着する。このようにして、リードフレームの両端
を潰しブロック22の内壁に弾性接触させた状態で上下
金型9、15を型締めすると、リードフレームは載置時
に位置ずれしていても、可動潰しブロック22により位
置が矯正され、タイバ両端の圧潰量が均等となり、タイ
バ両端と可動潰しブロック22とを密着させることがで
き、樹脂漏れを防止できる。
【0017】また樹脂成形後、金型9、15の挟持加圧
を開放した状態で駆動機構23を作動させると、リード
フレーム8は両側から駆動力に応じた力で引っ張られ、
タイバの圧着部分が容易に外れ、金型から樹脂成形品の
取り出しが容易にできる。図4は本発明の他の実施例を
示す。図において、図7と同一部分には同一符号を付し
重複する説明を省略する。図中、図7装置と相違するの
は、可動潰しブロック24とランナ11に供給される樹
脂を導いてこの樹脂により可動潰しブロック24の背面
を押圧して移動させるサブランナ25を形成したことの
みである。可動潰しブロック24は図1、図3実施例の
可動潰しブロック19、22とほぼ同一構造で、平面形
状が略コの字上で内部のタイバ両端部6aを支持する部
分には段差が形成されている。
【0019】この可動潰しブロック24はリードフレー
ムのカル部に近いタイバ端部側に配置され、図示しない
コイルスプリングにより通常は外方に位置しており、タ
イバ他端側には、可動潰しブロック24とほぼ同一形状
の固定潰しブロック(図示せず)が配置されている。サ
ブランナ25は図示例ではランナ11のカル部2に近い
部分で一端が接続され、キャビティの側方に沿って配置
されて、可動潰しブロック24の背面に連通している。
この装置は、開放した下金型9上にリードフレーム8を
載置しタイバ両端6aをそれぞれ可動潰しブロック24
及び固定潰しブロック上に支持し、完全に型締めする。
この状態では、タイバ両端と各潰しブロックの対向面間
に隙間が形成されている。そして、樹脂タブレットを流
動化させランナ11に供給すると樹脂の一部はサブラン
ナ25にも流入し可動潰しブロック24を押圧し密着さ
せる。このようにして、リードフレームの一端を可動潰
しブロック24の内壁に接触させることができるため、
リードフレームは載置時に位置ずれしていても、可動潰
しブロック24によりタイバ6aと密着し、樹脂漏れを
防止できる。
【0020】ランナの末端側のキャビティ12に注入さ
れる樹脂は粘度が上昇し流動性が低下しているため、カ
ル部側キャビティより樹脂漏れは顕著ではないため、潰
しブロックを固定しているが、ランナ末端にもサブラン
ナを形成して潰しブロックを可動とすることもできる。
樹脂成形後は、金型9、15の挟持加圧を開放すると可
動潰しブロック24は外方に外れタイバを外方に引っ張
るため圧着部分を容易に外すことができ、金型から樹脂
成形品の取り出しが容易にできる。尚、本発明は上記実
施例にのみ限定されることなく、例えば、可動潰しブロ
ック19、22、24は従来の潰しブロック14と同様
にタイバ6の端部6aを圧潰するように内部を階段上に
形成しているが、この端部6a載置面を下金型9のリー
ドフレーム載置面と面一にして、タイバ端部6aを圧潰
しないようにしてもよい。
【0021】これにより、樹脂モールド後のリードフレ
ームの取り出しをより容易にできる。また可動潰しブロ
ック19、22、24のタイバ端部6aと対向する面に
凹凸を形成し、可動潰しブロックとタイバ端部との接触
が不充分でも樹脂漏れを最小にできる。さらには、可動
潰しブロック19、22、24は各実施例のように平面
形状が略コの字状のブロック全体を可動にしてもよい
し、タイバと対向し当接する部分のみを可動としてもよ
い。
【0022】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば樹脂モー
ルド時にリードフレームの最外端のリードより突出した
タイバの端部を圧潰して樹脂漏れを防止する潰しブロッ
クを可動としたからタイバ両端と潰しブロックの密着性
を向上でき、樹脂漏れを完全に防止できる。また樹脂モ
ールド後、リードフレームを両側から引っ張った状態で
離型させることができるから、リードフレームを変形さ
せることなく樹脂成形品を取り出すことができる。この
結果、樹脂ばり除去作業が不要で、リードのめっき不良
も防止でき、実装性の良好な高信頼性の電子部品を実現
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例を示す樹脂モールド装置の部
分平面図
【図2】 図1装置のA−A断面図
【図3】 本発明の他の実施例を示す樹脂モールド装置
の要部平面図
【図4】 本発明の他の実施例を示す樹脂モールド装置
の要部平面図
【図5】 樹脂モールド型電子部品の一例を示す一部断
面斜視図
【図6】 電子部品の製造に用いられるリードフレーム
の一部平面図
【図7】 電子部品の製造に用いられる樹脂モールド装
置の側断面図
【図8】 図8装置の下金型の要部平面図
【符号の説明】
6 タイバ 6a タイバ端部 8 リードフレーム 9 下金型 11 ランナ 12 キャビティ 13 ゲート 19 可動潰しブロック 22 可動潰しブロック 24 可動潰しブロック

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】上下一対の金型のうち下金型の上面に、樹
    脂供給源から延びるランナに沿いかつこのランナにゲー
    トを介して連通した多数のキャビティを配列形成し、複
    数本一組のリードを多数組互いに平行配置して各リード
    の中間部をタイバにて連結一体化するとともにこのタイ
    バの両端を最外端のリードより突出させたリードフレー
    ムを、そのリード遊端部をキャビティ内に位置させて支
    持するとともに、タイバの突出部を囲む位置に平面形状
    がコの字状をなしかつタイバの突出部の端面に向かって
    近接動する可動潰しブロックを配置したことを特徴とす
    る樹脂モールド装置。
  2. 【請求項2】可動潰しブロックをタイバの突出部の端面
    に向かって押圧し変位させる押圧手段を設けたことを特
    徴とする請求項1に記載の樹脂モールド装置
  3. 【請求項3】押圧手段を、上金型の下面より突出し下端
    部が可動潰しブロック背面に形成したテーパ面に係合す
    るピンにて構成したことを特徴とする請求項2に記載の
    樹脂モールド装置。
  4. 【請求項4】押圧手段がシリンダーであることを特徴と
    する請求項2に記載の樹脂モールド装置。
  5. 【請求項5】押圧手段を、ランナから分岐し流動化した
    樹脂を可動潰しブロックの背面にガイドするサブランナ
    にて構成したことを特徴とする請求項2に記載の樹脂モ
    ールド装置。
JP13131295A 1995-05-30 1995-05-30 樹脂モールド装置 Pending JPH08323798A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13131295A JPH08323798A (ja) 1995-05-30 1995-05-30 樹脂モールド装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13131295A JPH08323798A (ja) 1995-05-30 1995-05-30 樹脂モールド装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08323798A true JPH08323798A (ja) 1996-12-10

Family

ID=15055018

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13131295A Pending JPH08323798A (ja) 1995-05-30 1995-05-30 樹脂モールド装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH08323798A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8334176B2 (en) 2010-10-06 2012-12-18 Mitsubishi Electric Corporation Method of manufacturing semiconductor device
JP2013026325A (ja) * 2011-07-19 2013-02-04 Toyota Motor Corp 半導体装置製造方法及び半導体装置
JP2016076734A (ja) * 2016-01-28 2016-05-12 トヨタ自動車株式会社 半導体装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8334176B2 (en) 2010-10-06 2012-12-18 Mitsubishi Electric Corporation Method of manufacturing semiconductor device
JP2013026325A (ja) * 2011-07-19 2013-02-04 Toyota Motor Corp 半導体装置製造方法及び半導体装置
JP2016076734A (ja) * 2016-01-28 2016-05-12 トヨタ自動車株式会社 半導体装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8117742B2 (en) Fabrication method of semiconductor integrated circuit device
US5783134A (en) Method of resin-sealing semiconductor device
JP3491481B2 (ja) 半導体装置とその製造方法
US20080230950A1 (en) Resin sealing method, mold for resin sealing, and resin sealing apparatus
EP0484297B1 (en) Process for assembling and resin-encapsulating a semiconductor power device mounted on a heat sink
EP2447986B1 (en) Resin encapsulation molding method and apparatus for electrical circuit component
JPH08323798A (ja) 樹脂モールド装置
US6682952B2 (en) Method of forming the resin sealed semiconductor device using the lead frame
JP3612063B2 (ja) 樹脂封止金型、それを用いた樹脂封止方法および樹脂封止装置
US5672550A (en) Method of encapsulating semiconductor devices using a lead frame with resin tablets arranged on lead frame
KR102078722B1 (ko) 반도체 패키지 제조 장치
JPH11126787A (ja) 電子部品の樹脂封止成形方法及び金型
JPH06252188A (ja) 樹脂封止型半導体素子の製造方法および製造装置
JPH11151733A (ja) トランスファモールド装置
JP4605575B2 (ja) 電子装置およびその製造方法
JPH09134930A (ja) 樹脂モールド装置
JPH07283256A (ja) 半導体部品の樹脂封止方法
JP2000317980A (ja) インサート成形方法及びそれに使用される切断具
JP4056652B2 (ja) 樹脂封止装置及び金型取付方法
JPH1140592A (ja) 封止成形方法およびその装置
JPH08156009A (ja) 樹脂モールド装置
US6911719B1 (en) Lead frame for resin sealed semiconductor device
JP3182302B2 (ja) 樹脂封止型半導体装置の製造方法
JPH088363A (ja) リードフレームおよびそれを用いた半導体装置ならびに半導体製造方法およびその製造に用いるモールド金型
KR100456082B1 (ko) 반도체패키지의제조방법