JP5054923B2 - 電子部品の樹脂封止成形方法 - Google Patents

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Description

本発明は、リードフレームに装着した電子部品(IC等)を樹脂材料にて封止成形する電子部品の樹脂封止成形方法とその金型及びその成形方法に用いられるリードフレームに係り、特に、QFN(Quad Flat Non-leaded Package)型等のノンリード型タイプに関するものである。
従来から、例えば、マトリクス形に配置したQFN型等のノンリード型リードフレーム(以下、ノンリード型リードフレームと云う)に装着した電子部品を樹脂材料にて封止成形することが行われているが、この方法は、次のようにして行われている。
なお、図4には、従来の成形済リードフレームが示されている。
即ち、まず、電子部品の樹脂封止成形用金型(上下両型)における下型面の所定位置に電子部品を装着したリードフレームを供給セットして前記した金型を型締めすることにより、前記した下型の金型キャビティ内に前記した電子部品を嵌装セットし、次に、前記した下キャビティ内に当該下キャビティの角部に設けた金型ゲート(コーナーゲート)を通して加熱溶融化した樹脂材料(溶融樹脂)を注入することが行われている(片面モールド)。
従って、硬化に必要な所要時間の経過後、前記した両型を型開きして前記した電子部品を前記した下キャビティの形状に対応したパッケージ(樹脂成形体)内に封止成形することにより、例えば、図4に示す封止済リードフレーム71(成形品)を形成することができる。
また、図4に示す成形済リードフレーム71において、72はリードフレーム部を、73はパッケージを、74はランナ樹脂を、75はコーナーゲート樹脂を示すと共に、前記したパッケージ73は前記したリードフレーム部72にマトリクス形に配置されて構成されている。
また、前記した成形済リードフレーム71において、前記したリードフレーム部72の幅方向(図4に示す図例では上下方向)に配置した二列のパッケージ73間には、前記したランナ樹脂74が各別に配置されて構成されていると共に、前記したランナ樹脂74とその両側に配置された各パッケージ73の夫々とは前記したコーナーゲート樹脂75を介して各別に接続されて構成されている。
従って、前記した封止済リードフレーム71を前記したパッケージ73の外周辺に沿って切断することにより、当該パッケージ73部分にリードが付着した状態で形成されたノンリード型のパッケージ73(製品)を得ることができるように構成されている。
なお、図4に示すようなマトリクス形配置を採用したノンリード型のリードフレームにおいては、前記したリード部が存在しない金型キャビティのコーナーから金型ゲートを通して注入しているのが通例である(コーナーゲート方式)。
特開平05−315514号公報
しかしながら、図4に示すように、前記したランナ樹脂74と前記した各パッケージ73の夫々とは前記したコーナーゲート樹脂75を介して接続されているため、前記した各パッケージ73の間に前記したコーナーゲート樹脂75を配置する必要があるので、リードフレームの配置構造上(レイアウト上)、前記したパッケージ73の間隔を、前記リードフレーム部72(前記した成形済リードフレーム71)において、その幅方向或いはその長手方向に狭くする(短くする)ことが非常に難しい。
即ち、前記したノンリード型パッケージ73(製品)の生産において、1枚のマトリクス形リードフレーム(72)で成形されるパッケージ73の数を効率良く向上させることができないため、前記したパッケージ73の歩留まりが悪くなるので、前記したパッケージ73の生産性を効率良く向上させることができないと云う弊害がある。
従って、本発明は、ノンリード型パッケージ(製品)を成形するマトリクス形リードフレームにおけるパッケージの間隔を効率良く狭めることにより、当該リードフレームで成形される製品の数を効率良く増加させて、製品の生産性を効率良く向上させることを目的とするものである。
前記した技術的課題を解決するための本発明に係る電子部品の樹脂封止成形方法は、電子部品の樹脂封止成形用金型を用いて、前記金型を型締めしてノンリード型リードフレームに装着した電子部品を金型キャビティ内に嵌装すると共に、前記金型キャビティ内に金型ランナ及び金型ゲートを通して溶融樹脂を注入することにより、前記した金型キャビティの形状に対応したパッケージ内に前記した電子部品を封止成形して封止済リードフレームを形成し、前記した封止済リードフレームからノンリード型パッケージを形成する電子部品の樹脂封止成形方法であって、前記ノンリード型リードフレームに前記金型キャビティの開口部に対応した金型キャビティ対応部を設ける工程と、前記ノンリード型リードフレームにおいて、前記金型キャビティ対応部を、前記リードフレームの幅方向と長手方向とにマトリクス形に配置する工程と、前記リードフレームの幅方向に配置した金型キャビティ対応部に対応した金型キャビティの二つの列の間に金型ランナを配置する工程と、
前記金型ランナに、前記幅方向配置の金型キャビティに各別に対応した短い金型ゲートを、前記金型キャビティの側方位置と離間した状態で設ける工程と、前記金型の型締時に、前記金型キャビティと前記金型ゲートとを前記金型キャビティの側方位置で前記リードフレームに設けた樹脂注入用の切欠部を通して連通させる工程と、前記金型キャビティの側方位置から、前記金型ランナと前記金型ゲート及び前記切欠部を通して前記金型キャビティ内に溶融樹脂を注入する工程と、前記金型ランナ内及び金型ゲート内で樹脂を硬化させることにより、前記金型ランナ内の硬化樹脂と前記金型ゲート内の硬化樹脂とを形成する工程と、前記切欠部内で樹脂を硬化させることにより、前記切欠部内で薄板状の板厚ゲート樹脂を硬化させる工程と、前記金型ランナ内の硬化樹脂を突出す工程と、前記金型ランナ内の硬化樹脂の突出時に、前記金型ランナ内の硬化樹脂と前記金型ゲート内の硬化樹脂及び前記薄板状の板厚ゲート樹脂を一体にして突出す工程と、前記金型ランナ内の硬化樹脂の突出時に、前記薄板状の板厚ゲート樹脂と前記したパッケージとを切断する工程とを含むことを特徴とする。
本発明によれば、ノンリード型パッケージ(製品)を成形するマトリクス形リードフレームにおけるパッケージの間隔を効率良く狭めることにより、当該リードフレームで成形される製品の数を効率良く増加させて、製品の生産性を効率良く向上させることができると云う優れた効果を奏するものである。
図1、図2は、本発明に係るマトリクス形に配置したノンリード型リードフレームを樹脂封止成形した成形済リードフレームであって、前記した成形済リードフレームの表面側を示している。
図3は、図1に示す成形済リードフレームを樹脂封止成形する電子部品の樹脂封止成形用金型である。
(リードフレームの構造)
まず、図1、図2に示す成形済リードフレーム1を用いて、本発明に係る成形前ノンリード型リードフレーム2(リードフレーム部2)の配置構造を説明する。
なお、図1、図2に示す成形済リードフレーム1において、図3に示す電子部品の樹脂封止成形用金型31に関連する構成には二点鎖線で示した。
即ち、本発明に係る成形前ノンリード型リードフレーム2には、図3に示す金型31に設けた金型キャビティ34の開口部に対応する金型キャビティ対応部3(二点鎖線で示す)が設けられると共に、前記した金型キャビティ対応部3内のダイパッド部10に装着したIC等の電子部品4を前記した金型キャビティ34内で前記した金型キャビティ34の形状に対応したパッケージ21(樹脂成形体)内に樹脂封止成形することができるように構成されている(図1・図2を参照)。
また、前記したノンリード型リードフレーム2には前記した金型キャビティ対応部3(パッケージ21)が当該リードフレームの幅方向と長手方向とにマトリクス形に配置されて構成されている。
なお、図1(図2)に示す封止済リードフレーム1(リードフレーム部2)において、その幅方向は図例の上下方向であり、その長手方向は図例の左右方向である。
また、図1に示すように、前記したマトリクス形リードフレーム2における幅方向に配置した金型キャビティ対応部3(パッケージ21)の列において、その幅方向に配置した金型キャビティ対応部3における二つの列の間に、図3に示す金型ランナ35(図1、図2に示すランナ樹脂22に対応している)を各別に配置することができるように構成されている。
なお、後述するように、図3に示す金型31において、前記した金型ランナ35の両側に設けられた金型キャビティ34(金型キャビティ対応部3)に対して、図3に示す短い金型ゲート36(図1、図2に示すゲート樹脂23に対応している)が離間した状態で各別に設定されて構成されている。
また、図2に示すように、前記したマトリクス形リードフレーム2において、前記した金型キャビティ対応部3の側方位置(金型キャビティ対応部3の四辺)には所要数のリード部5が各別に設けられて構成されている。
また、前記した金型キャビティ対応部3の側方位置におけるランナ樹脂22配置側(四辺のうちの一辺側)においては、前記した所要数個のリード部5aが他辺よりも長く伸張して設けられて構成されると共に、前記した伸張リード5a間に所要数の樹脂注入用の切欠部6(孔部)が設けられて構成されている。
即ち、後述するように、図3に示す金型31の型締時に、前記した金型キャビティ34(金型キャビティ対応部3)と前記した金型ゲート36とは前記した切欠部6を通して連通するように構成されている。
従って、後述するように、前記した金型ランナ35と金型ゲート36とを通過した溶融樹脂は、前記したリードフレーム2の切欠部6(板厚ゲート)を通して前記した金型キャビティ34内に注入することができるように構成されている。
なお、図2において、7はランナ樹脂22の突き落し孔、8はリードフレーム2の切断孔、9は前記したダイパッド部10を吊る吊ピンを示している。
また、前記したリードフレーム2における丸形或いは角形等の位置決め孔、リードフレーム2の昇温時のばたつき防止用スリット等は省略してある。
また、図1に示す封止済リードフレーム1において、24は前記したランナ樹脂22に接続したダミー樹脂であり、37は前記したダミー樹脂24を成形する金型ランナ35に連通接続した金型ダミーキャビティである。
また、前記した封止済リードフレーム1の構成において、前記したランナ樹脂22とその両側に配置された各パッケージ21とは、前記したゲート樹脂23と前記した切欠部6で硬化した薄板状の板厚ゲート樹脂25とを介して各別に接続されて構成されている。
また、前記した封止済リードフレーム1の構成において、当該リードフレーム部2の幅方向に配置した二つのパッケージ21の列と当該二つのパッケージ21列間の一本のランナ樹脂22とこれらに関連する構成とは一つの組を構成するものである。
(金型の構造)
次に、図3を用いて、本発明に係る電子部品の樹脂封止成形用金型31を説明する。
即ち、図3に示す金型31は、固定上型32と、該上型32に対向配置した可動下型33とから構成されると共に、前記下型33の所定位置には成形前リードフレーム2を供給セットするリードフレームのセット用凹所38が設けられて構成されている。
また、前記した下型33の所定位置には所要数の樹脂成形用の金型キャビティ34(下キャビティ34)が前記した成形前リードフレーム2における金型キャビティ対応部3(前記した封止済リードフレーム1におけるパッケージ21)のマトリクス形配置に対応して設けられて構成されている。
また、前記したリードフレーム2の幅方向に対応する金型キャビティ34列の二つの列の間には、溶融樹脂を移送する金型ランナ35が当該リードフレーム2の幅方向に溶融樹脂が流れるように設けられて構成されている。
また、前記した下型33の型面において、前記した金型キャビティ34の金型ランナ35側の側方位置には、前記した金型ランナ35に連通接続した短い金型ゲート36が前記した金型キャビティ34と離間した状態で各別に設けられて構成されている。
即ち、前記した金型31の型締時に、前記した金型ゲート36と前記した金型ランナ35の両側に設けられた金型キャビティ34とは、前記したセット用凹所38に供給セットされたリードフレーム2における樹脂注入用の切欠孔8を通して連通することができるように構成されている。
従って、前記した金型31において、溶融樹脂を、前記した金型ランナ35から前記した金型ゲート36と切欠部6とに順次に移送して前記した金型キャビティ34内に当該金型キャビティ34の側方位置から注入充填することができるように構成されている(サイドゲート方式)。
なお、図3において、39は溶融樹脂の流れの順路を示すものである。
即ち、本発明において、リードフレーム2に樹脂注入用の切欠部6を設けた構成にて前記した金型キャビティ34の側方位置から溶融樹脂を注入することができるように構成したので、従来のコーナーゲートの構成に較べて、リードフレーム2の幅方向或いは長手方向におけるパッケージ21の間隔を縮小する(狭く)ことができる。
従って、従来例に較べて、マトリクス形に配置されたノンリード型リードフレーム2に配置(レイアウト)されるパッケージ21(製品)の数を効率良く増加させることができるので、製品の生産性を効率良く向上させることができる。
また、図示はしていないが、前記した金型31には、樹脂材料供給用の下型ポット、樹脂加圧用のプランジャ、樹脂分配用の上型カルが設けられると共に、前記したポット(カル)と金型ランナ35とは主金型ランナ40を通して連通接続して構成されている。
(電子部品の樹脂封止成形方法)
次に、前記した成形前リードフレーム2に装着した電子部品を樹脂封止成形する方法について説明する。
即ち、まず、図3に示すように、前記した下型33のセット用凹所38に前記したマトリクス形に配置した成形前ノンリード型リードフレーム2を前記した電子部品4を下方向に向けた状態で供給セットして前記した両型32・33を型締めする。
このとき、前記した金型キャビティ34と前記した金型ゲート36とは前記したリードフレーム2の樹脂注入用の切欠部6を通して連通接続するように構成されている。
従って、次に、前記ポット内で加熱溶融化された樹脂材料を前記プランジャで加圧して、前記したカルと主金型ランナ40とを移送し、更に、前記した金型ランナ35と金型ゲート36とを移送して前記した切欠部6から前記した金型キャビティ34内に溶融樹脂を注入することにより、前記した金型キャビティ34内で前記した金型キャビティ34の形状に対応したパッケージ21内に前記したリードフレーム2に装着した電子部品4を封止することができ、前記した金型31で前記した封止済リードフレーム1(成形品)を得ることができる。
このとき、前記した金型ランナ35内と金型ゲート36内と切欠部6内では製品としては不要な硬化樹脂が形成されることになり、前記した切欠部6内では薄板状の板厚ゲート樹脂25が形成されることになる。
硬化に必要な所要時間の経過後、前記した両型32・33を型開きすることにより、前記した金型キャビティ34内から前記したパッケージ21を離型することになる。
即ち、前述したように、マトリクス形に配置されたノンリード型リードフレーム2に樹脂注入用の切欠部6を設けた構成にて、前記した金型キャビティ34の側方位置から溶融樹脂を注入することができるように構成したので、従来のコーナーゲート(75)の構成に較べて、ノンリード型リードフレーム2の幅方向或いは長手方向におけるパッケージ21の間隔を縮小する(狭く)ことができる。
従って、従来例に較べて、マトリクス形に配置されたノンリード型リードフレーム2に配置(レイアウト)されるパッケージ21(製品)の数を効率良く増加させることができるので、製品の生産性を効率良く向上させることができる。
(ゲート切断)
次に、前記した封止済リードフレーム1から製品としては不要な硬化樹脂及び製品としては不要なリードフレーム部分を切断除去する方法を説明する。
なお、予め、前記した成形品において、前記した主ランナ樹脂とランナ樹脂22とをその接続部分から切断して封止済リードフレーム1が形成されている。
即ち、まず、前記した封止済リードフレーム1の裏面側から前記した突き出し孔7に突き出しピンを挿入して突き出すことにより、前記したランナ樹脂22(前記したダミー樹脂24を含む)を突き落として除去する。
このとき、前記した切欠部6内で硬化した薄板状の板厚ゲート樹脂25を前記したゲート樹脂23を含むランナ樹脂22と一体にして突き落すことができるので、前記したパッケージ21と板厚ゲート樹脂25とをその接続部分(強度の弱い薄板状の部分)から切断し得て、前記したパッケージ21から前記した板厚ゲート樹脂25を含むランナ樹脂22・23を切断除去することができる。
従って、従来から行われていたゲート切断刃によるゲート切断を省略することができるので、製品の生産性を効率良く向上させることができる。
また、次に、前記した封止済リードフレーム1におけるパッケージの周囲を切断して前記したパッケージ21(ノンリード型の製品)を得ることができる。
例えば、まず、前記したパッケージ21の四つの角部を切断し、次に、前記したパッケージ21の四つの辺部を切断することが行われている。
従って、前述したように、前記した封止済リードフレーム1から前記したパッケージ21(ノンリード型の製品)を得ることができる。
なお、前記したノンリード型製品21はそのパッケージ部分にリードが付着した状態で構成されている。
また、総じて、前述したように、マトリクス形配置のノンリード型リードフレーム2において、当該リードフレーム2に樹脂注入用の切欠部6を設けた構成を採用したことにより、当該リードフレーム2における金型キャビティ対応部3(パッケージ21)の間隔を効率良く縮小する(狭める)ことができるので、当該リードフレームに配置することができるパッケージ21の数を効率良く増加することができる。
即ち、前記したマトリクス形配置のノンリード型リードフレーム2において、前記した金型キャビティ対応部3(パッケージ21)を本発明に係るレイアウト法にて効率良くマトリクス形配置することができる。
従って、前述したように、前記したマトリクス形配置のノンリード型リードフレーム2を樹脂封止成形することにより、前記したリードフレーム2から生産されるノンリード型パッケージ21(製品)の生産性を効率良く向上させることができる。
本発明は、前述した実施例のものに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて、任意に且つ適宜に変更・選択して採用することができるものである。
また、前記した実施例において、前記した金型ゲート26を用いる構成を例示したが、前記した金型ランナ35のみの構成を採用して前記した金型キャビティ34と前記した金型ランナ35とが前記したリードフレームの切欠部6を通して直接的に連通接続する構成を採用しても良い。
なお、前記した金型ゲート36、金型ランナ35とも前記した金型31に設けられた樹脂移送用の樹脂通路である。
即ち、前記した実施例において、前記した金型キャビティ34の側方位置に設けた樹脂通路内で硬化した通路樹脂を突き出して前記したパッケージ21と前記した切欠部6で硬化した板厚ゲート樹脂25とを切断することにより、前記した板厚ゲート樹脂25を含む通路樹脂を除去することができる。
従って、前述したように、本発明にて、マトリクス形配置のノンリード型リードフレーム2において、当該リードフレームにおけるパッケージ21の間隔を効率良く縮小する(狭める)ことができるので、当該リードフレーム2に配置することができるパッケージ21の数を効率良く増加することができると共に、前記したマトリクス形配置のノンリード型リードフレーム2を樹脂封止成形することにより、前記したリードフレーム2から生産されるノンリード型パッケージ21(製品)の生産性を効率良く向上させることができる。
また、前記した実施例において、前記したリードフレーム2の幅方向に金型ランナ35を配置する構成を例示したが、前記したリードフレーム2の長手方向に金型ランナを配置する構成を採用してもよい。
また、前記した実施例においては、短冊状リードフレームを例示したが、本発明は、長冊状リードフレームに対しても採用することができる。
図1は、本発明に係る封止済リードフレームを概略的に示す概略平面図である。 図2は、図1に示す封止済リードフレームを拡大して概略的に示す拡大概略平面図である。 図3は、本発明に係る電子部品の樹脂封止成形用金型を概略的に示す概略縦断面図である。 図4は、従来の封止済リードフレームを概略的に示す概略平面図である。
1 成形済リードフレーム
2 成形前リードフレーム(リードフレーム部)
3 金型キャビティ対応部
4 電子部品
5 リード部
5a リード部
6 切欠部
7 突き落し孔
8 切断孔
9 吊ピン
10 ダイパッド部
21 パッケージ
22 ランナ樹脂
23 ゲート樹脂
24 ダミー樹脂
25 板厚ゲート樹脂
31 電子部品の樹脂封止成形用金型
32 上型
33 下型
34 金型キャビティ
35 金型ランナ
36 金型ゲート
37 ダミーキャビティ
38 セット用凹所
39 溶融樹脂の流れの順路
40 主金型ランナ

Claims (1)

  1. 電子部品の樹脂封止成形用金型を用いて、前記金型を型締めしてノンリード型リードフレームに装着した電子部品を金型キャビティ内に嵌装すると共に、前記金型キャビティ内に金型ランナ及び金型ゲートを通して溶融樹脂を注入することにより、前記した金型キャビティの形状に対応したパッケージ内に前記した電子部品を封止成形して封止済リードフレームを形成し、前記した封止済リードフレームからノンリード型パッケージを形成する電子部品の樹脂封止成形方法であって、
    前記ノンリード型リードフレームに前記金型キャビティの開口部に対応した金型キャビティ対応部を設ける工程と、
    前記ノンリード型リードフレームにおいて、前記金型キャビティ対応部を、前記リードフレームの幅方向と長手方向とにマトリクス形に配置する工程と、
    前記リードフレームの幅方向に配置した金型キャビティ対応部に対応した金型キャビティの二つの列の間に金型ランナを配置する工程と、
    前記金型ランナに、前記幅方向配置の金型キャビティに各別に対応した短い金型ゲートを、前記金型キャビティの側方位置と離間した状態で設ける工程と、
    前記金型の型締時に、前記金型キャビティと前記金型ゲートとを前記金型キャビティの側方位置で前記リードフレームに設けた樹脂注入用の切欠部を通して連通させる工程と、
    前記金型キャビティの側方位置から、前記金型ランナと前記金型ゲート及び前記切欠部を通して前記金型キャビティ内に溶融樹脂を注入する工程と、
    前記金型ランナ内及び金型ゲート内で樹脂を硬化させることにより、前記金型ランナ内の硬化樹脂と前記金型ゲート内の硬化樹脂とを形成する工程と、
    前記切欠部内で樹脂を硬化させることにより、前記切欠部内で薄板状の板厚ゲート樹脂を硬化させる工程と、
    前記金型ランナ内の硬化樹脂を突出す工程と、
    前記金型ランナ内の硬化樹脂の突出時に、前記金型ランナ内の硬化樹脂と前記金型ゲート内の硬化樹脂及び前記薄板状の板厚ゲート樹脂を一体にして突出す工程と、
    前記金型ランナ内の硬化樹脂の突出時に、前記薄板状の板厚ゲート樹脂と前記したパッケージとを切断する工程とを含むことを特徴とする電子部品の樹脂封止成形方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014092191A (ja) 2012-11-01 2014-05-19 Nok Corp 基材一体型シール及びその製造用金型
JP5873886B2 (ja) * 2014-03-25 2016-03-01 アピックヤマダ株式会社 樹脂成形体の製造方法、及び、ledパッケージの製造方法
JP6525835B2 (ja) * 2015-09-24 2019-06-05 Towa株式会社 電子部品の製造方法
TWI662659B (zh) * 2017-02-15 2019-06-11 矽品精密工業股份有限公司 承載件
CN112820709B (zh) * 2019-11-15 2024-03-22 无锡华润安盛科技有限公司 引线框、塑封模具及封装结构
CN113276359B (zh) * 2020-02-19 2022-11-08 长鑫存储技术有限公司 注塑模具及注塑方法
DE102021118355A1 (de) * 2021-07-15 2023-01-19 OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung Leadframevergussanordnung und verfahren zur herstellung von qfn-optoelektronikpackages

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04286355A (ja) * 1991-03-15 1992-10-12 Matsushita Electron Corp リードフレーム
JPH06302745A (ja) * 1993-04-15 1994-10-28 Sony Corp 半導体チップの樹脂封止構造
JPH11340403A (ja) * 1998-05-28 1999-12-10 Sony Corp リードフレーム
JP3911361B2 (ja) * 1999-04-19 2007-05-09 アピックヤマダ株式会社 マトリクス状基板のディゲート方法
JP2001217370A (ja) * 2000-02-04 2001-08-10 Nec Yamagata Ltd リ−ドフレ−ム及び樹脂封止装置
JP2002343817A (ja) * 2001-05-11 2002-11-29 Tomoegawa Paper Co Ltd 半導体装置ユニット
JP2003224239A (ja) * 2002-01-29 2003-08-08 Sanyo Electric Co Ltd 半導体装置およびその製造方法
JP2005191240A (ja) * 2003-12-25 2005-07-14 Renesas Technology Corp 半導体装置及びその製造方法
JP4454399B2 (ja) * 2004-06-11 2010-04-21 株式会社ルネサステクノロジ 半導体装置の製造方法

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