JP2012049818A5 - - Google Patents

Description

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
本発明のある実施形態に係る弾性表面波共振子は、オイラー角を（φ＝０°、１１０°≦θ≦１５０°、８８°≦ψ≦９２°）とした水晶基板と、前記水晶基板上に設けられ、複数の電極指を備えるとともに、弾性表面波を励振するＩＤＴと、前記水晶基板上に設けられ、平面視で、前記弾性表面波の伝播方向と交差する方向に延在するとともに、前記弾性表面波の伝播方向に沿って複数配置されている溝と、を有し、前記電極指が、前記溝の間、または前記溝の内部に配置されていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る弾性表面波共振子は、前記弾性表面波の波長をλ、前記溝及び前記電極指により形成された段差をＤとして、
０．０４λ≦Ｄ≦０．１４λ
を満たしたことを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る弾性表面波共振子は、前記電極指の膜厚をＨとして、
０．０１λ≦Ｈ≦０．０６λ
を満たしたことを特徴とする。
本発明のある実施形態に係る電子機器は、前述の弾性表面波共振子を搭載したことを特徴とする。
［適用例１］オイラー角を（φ＝０°、１１０°≦θ≦１５０°、８８°≦ψ≦９２°）とした水晶基板と、前記水晶基板上に配置された複数の電極指を有し、励振波を弾性表面波としたＩＤＴと、を有した弾性表面波共振子であって、前記水晶基板上には、前記弾性表面波の伝播方向にストライプ状に並んだ複数の溝が配置され、前記電極指が、前記溝の間、または前記溝の内部に配置されたことを特徴とする弾性表面波共振子。

Claims (5)

1. オイラー角を（φ＝０°、１１０°≦θ≦１５０°、８８°≦ψ≦９２°）とした水晶基板と、
   前記水晶基板上に設けられ、複数の電極指を備えるとともに、弾性表面波を励振するＩＤＴと、
   前記水晶基板上に設けられ、平面視で、前記弾性表面波の伝播方向と交差する方向に延在するとともに、前記弾性表面波の伝播方向に沿って複数配置されている溝と、を有し、
   前記電極指が、前記溝の間、または前記溝の内部に配置されていることを特徴とする弾性表面波共振子。
2. 前記弾性表面波の波長をλ、前記溝及び前記電極指により形成された段差をＤとして、
   ０．０４λ≦Ｄ≦０．１４λ
   を満たしたことを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波共振子。
3. 前記電極指の膜厚をＨとして、
   ０．０１λ≦Ｈ≦０．０６λ
   を満たしたことを特徴とする請求項１または２に記載の弾性表面波共振子。
4. 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の弾性表面波共振子を搭載したことを特徴とする弾性表面波発振器。
5. 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の弾性表面波共振子を搭載したことを特徴とする電子機器。