JP2012049817A5 - - Google Patents

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本発明は上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
第１の形態の弾性表面波デバイスは、オイラー角を（−６０°≦φ≦６０°，１．７８４５×１０ −９ ×｜φ｜ ６ ＋２．２００９×１０ −１７ ×｜φ｜ ５ −１．１６０８×１０ −５ ×｜φ｜ ４ −４．６４８６×１０ −１３ ×｜φ｜ ３ ＋１．８４０９×１０ −２ ×｜φ｜ ２ −３．１３３８×１０ −９ ×｜φ｜＋１．１８０３×１０ ２ ≦θ≦１．７８４５×１０ −９ ×｜φ｜ ６ ＋２．２００９×１０ −１７ ×｜φ｜ ５ −１．１６０８×１０ −５ ×｜φ｜ ４ −４．６４８６×１０ −１３ ×｜φ｜ ３ ＋１．８４０９×１０ −２ ×｜φ｜ ２ −３．１３３８×１０ −９ ×｜φ｜＋１．４３０３×１０ ２ ，２．５９６１×１０ −９ ×｜φ｜ ６ ＋１．２２２４×１０ −１７ ×｜φ｜ ５ −１．６４１６×１０ −５ ×｜φ｜ ４ −３．２２６０×１０ −１３ ×｜φ｜ ３ ＋２．５４０７×１０ −２ ×｜φ｜ ２ −１．２１３１×１０ −９ ×｜φ｜＋４．２２３５×１０≦ψ≦２．５９６１×１０ −９ ×｜φ｜ ６ ＋１．２２２４×１０ −１７ ×｜φ｜ ５ −１．６４１６×１０ −５ ×｜φ｜ ４ −３．２２６０×１０ −１３ ×｜φ｜ ３ ＋２．５４０７×１０ −２ ×｜φ｜ ２ −１．２１３１×１０ −９ ×｜φ｜＋４．９９０５×１０）とした第１水晶基板、オイラー角を（−６０°≦φ≦６０°，６．７７７８×１０ −７ ×｜φ｜ ６ −１．２２００×１０ −４ ×｜φ｜ ５ ＋８．１１１１×１０ −３ ×｜φ｜ ４ −２．４１３３×１０ −１ ×｜φ｜ ３ ＋３．０５２１×｜φ｜ ２ −１．２２４７×１０×｜φ｜＋１．１７００≦θ≦６．７７７８×１０ −７ ×｜φ｜ ６ −１．２２００×１０ −４ ×｜φ｜ ５ ＋８．１１１１×１０ −３ ×｜φ｜ ４ −２．４１３３×１０ −１ ×｜φ｜ ３ ＋３．０５２１×｜φ｜ ２ −１．２２４７×１０×｜φ｜＋１．４２００，２．７８１６×１０ −９ ×｜φ｜ ６ ＋２．７３２２×１０ −１７ ×｜φ｜ ５ −１．７５２４×１０ −５ ×｜φ｜ ４ −１．１３３４×１０ −１３ ×｜φ｜ ３ ＋２．７０３５×１０ −２ ×｜φ｜ ２ −９．９０４５×１０ −１０ ×｜φ｜＋１．３５０４×１０ ２ ≦ψ≦２．７８１６×１０ −９ ×｜φ｜ ６ ＋２．７３２２×１０ −１７ ×｜φ｜ ５ −１．７５２４×１０ −５ ×｜φ｜ ４ −１．１３３４×１０ −１３ ×｜φ｜ ３ ＋２．７０３５×１０ −２ ×｜φ｜ ２ −９．９０４５×１０ −１０ ×｜φ｜＋１．４２７×１０ ２ ）とした第２水晶基板、及びオイラー角を（−６０°≦φ≦６０°，−２．５０００×１０ −８ ×｜φ｜ ６ ＋４．５０００×１０ −６ ×｜φ｜ ５ −３．１６６７×１０ −４ ×｜φ｜ ４ ＋１．１０００×１０ −２ ×｜φ｜ ３ −１．８３０８×１０ −１ ×｜φ｜ ２ ＋９．０５００×１０ −１ ×｜φ｜＋３．２０００×１０≦θ≦−２．５０００×１０ −８ ×｜φ｜ ６ ＋４．５０００×１０ −６ ×｜φ｜ ５ −３．１６６７×１０ −４ ×｜φ｜ ４ ＋１．１０００×１０ −２ ×｜φ｜ ３ −１．８３０８×１０ −１ ×｜φ｜ ２ ＋９．０５００×１０ −１ ×｜φ｜＋５．７０００×１０，−４．３６０２×１０ −９ ×｜φ｜ ６ −１．２３６０×１０ −１７ ×｜φ｜ ５ ＋２．７１５１×１０ −５ ×｜φ｜ ４ ＋３．２５３６×１０ −１４ ×｜φ｜ ３ −４．１４６２×１０ −２ ×｜φ｜ ２ −９．４０８５×１０ −１０ ×｜φ｜＋８．９０９０×１０≦ψ≦−４．３６０２×１０ −９ ×｜φ｜ ６ −１．２３６０×１０ −１７ ×｜φ｜ ５ ＋２．７１５１×１０ −５ ×｜φ｜ ４ ＋３．２５３６×１０ −１４ ×｜φ｜ ３ −４．１４６２×１０ −２ ×｜φ｜ ２ −９．４０８５×１０ −１０ ×｜φ｜＋９．６７６０×１０）とした第３水晶基板のいずれかの主面に設けられ、ストップバンドの上端モードの弾性表面波を励振するＩＤＴを有することを特徴とする弾性表面波デバイス。
第２の形態の弾性表面波デバイスは、第１の形態に記載の弾性表面波デバイスであって、前記ＩＤＴは、複数の電極指を備えるとともに、前記電極指の間に位置する部分に設けられた電極指間溝を有することを特徴とする弾性表面波デバイス。
第３の形態の弾性表面波デバイスは、第１または第２の形態に記載の弾性表面波デバイスであって、前記ＩＤＴのライン占有率ηが、
０．４９≦η≦０．７０
の関係を満たすことを特徴とする弾性表面波デバイス。
第４の形態の弾性表面波デバイスは、第１乃至第３のいずれか１形態に記載の弾性表面波デバイスであって、前記電極指間溝の深さをＧとして、
０．０２λ≦Ｇ≦０．０４λ
の関係を満たすことを特徴とする弾性表面波デバイス。
第５の形態の弾性表面波発振器は、第１乃至第４のいずれか１形態に記載の弾性表面波デバイスを備えたことを特徴とする弾性表面波発振器。
第６の形態の弾性表面波電子機器は、第１乃至第４のいずれか１形態に記載の弾性表面波デバイスを備えたことを特徴とする電子機器。
［適用例１］オイラー角を（−６０°≦φ≦６０°，１．７８４５×１０−９×｜φ｜６＋２．２００９×１０−１７×｜φ｜５−１．１６０８×１０−５×｜φ｜４−４．６４８６×１０−１３×｜φ｜３＋１．８４０９×１０−２×｜φ｜２−３．１３３８×１０−９×｜φ｜＋１．１８０３×１０２≦θ≦１．７８４５×１０−９×｜φ｜６＋２．２００９×１０−１７×｜φ｜５−１．１６０８×１０−５×｜φ｜４−４．６４８６×１０−１３×｜φ｜３＋１．８４０９×１０−２×｜φ｜２−３．１３３８×１０−９×｜φ｜＋１．４３０３×１０２，２．５９６１×１０−９×｜φ｜６＋１．２２２４×１０−１７×｜φ｜５−１．６４１６×１０−５×｜φ｜４−３．２２６０×１０−１３×｜φ｜３＋２．５４０７×１０−２×｜φ｜２−１．２１３１×１０−９×｜φ｜＋４．２２３５×１０≦ψ≦２．５９６１×１０−９×｜φ｜６＋１．２２２４×１０−１７×｜φ｜５−１．６４１６×１０−５×｜φ｜４−３．２２６０×１０−１３×｜φ｜３＋２．５４０７×１０−２×｜φ｜２−１．２１３１×１０−９×｜φ｜＋４．９９０５×１０）とした第１水晶基板、オイラー角を（−６０°≦φ≦６０°，６．７７７８×１０−７×｜φ｜６−１．２２００×１０−４×｜φ｜５＋８．１１１１×１０−３×｜φ｜４−２．４１３３×１０−１×｜φ｜３＋３．０５２１×｜φ｜２−１．２２４７×１０×｜φ｜＋１．１７００≦θ≦６．７７７８×１０−７×｜φ｜６−１．２２００×１０−４×｜φ｜５＋８．１１１１×１０−３×｜φ｜４−２．４１３３×１０−１×｜φ｜３＋３．０５２１×｜φ｜２−１．２２４７×１０×｜φ｜＋１．４２００，２．７８１６×１０−９×｜φ｜６＋２．７３２２×１０−１７×｜φ｜５−１．７５２４×１０−５×｜φ｜４−１．１３３４×１０−１３×｜φ｜３＋２．７０３５×１０−２×｜φ｜２−９．９０４５×１０−１０×｜φ｜＋１．３５０４×１０２≦ψ≦２．７８１６×１０−９×｜φ｜６＋２．７３２２×１０−１７×｜φ｜５−１．７５２４×１０−５×｜φ｜４−１．１３３４×１０−１３×｜φ｜３＋２．７０３５×１０−２×｜φ｜２−９．９０４５×１０−１０×｜φ｜＋１．４２７×１０２）とした第２水晶基板、及びオイラー角を（−６０°≦φ≦６０°，−２．５０００×１０−８×｜φ｜６＋４．５０００×１０−６×｜φ｜５−３．１６６７×１０−４×｜φ｜４＋１．１０００×１０−２×｜φ｜３−１．８３０８×１０−１×｜φ｜２＋９．０５００×１０−１×｜φ｜＋３．２０００×１０≦θ≦−２．５０００×１０−８×｜φ｜６＋４．５０００×１０−６×｜φ｜５−３．１６６７×１０−４×｜φ｜４＋１．１０００×１０−２×｜φ｜３−１．８３０８×１０−１×｜φ｜２＋９．０５００×１０−１×｜φ｜＋５．７０００×１０，−４．３６０２×１０−９×｜φ｜６−１．２３６０×１０−１７×｜φ｜５＋２．７１５１×１０−５×｜φ｜４＋３．２５３６×１０−１４×｜φ｜３−４．１４６２×１０−２×｜φ｜２−９．４０８５×１０−１０×｜φ｜＋８．９０９０×１０≦ψ≦−４．３６０２×１０−９×｜φ｜６−１．２３６０×１０−１７×｜φ｜５＋２．７１５１×１０−５×｜φ｜４＋３．２５３６×１０−１４×｜φ｜３−４．１４６２×１０−２×｜φ｜２−９．４０８５×１０−１０×｜φ｜＋９．６７６０×１０）とした第３水晶基板のいずれかの主面に設けられ、ストップバンドの上端モードの弾性表面波を励振するＩＤＴを有することを特徴とする弾性表面波デバイス。
このような特徴を有する弾性表面波デバイスであれば、良好な周波数温度特性を得ることが可能となる。

Claims (6)

  1. オイラー角を（−６０°≦φ≦６０°，１．７８４５×１０−９×｜φ｜６＋２．２００９×１０−１７×｜φ｜５−１．１６０８×１０−５×｜φ｜４−４．６４８６×１０−１３×｜φ｜３＋１．８４０９×１０−２×｜φ｜２−３．１３３８×１０−９×｜φ｜＋１．１８０３×１０２≦θ≦１．７８４５×１０−９×｜φ｜６＋２．２００９×１０−１７×｜φ｜５−１．１６０８×１０−５×｜φ｜４−４．６４８６×１０−１３×｜φ｜３＋１．８４０９×１０−２×｜φ｜２−３．１３３８×１０−９×｜φ｜＋１．４３０３×１０２，２．５９６１×１０−９×｜φ｜６＋１．２２２４×１０−１７×｜φ｜５−１．６４１６×１０−５×｜φ｜４−３．２２６０×１０−１３×｜φ｜３＋２．５４０７×１０−２×｜φ｜２−１．２１３１×１０−９×｜φ｜＋４．２２３５×１０≦ψ≦２．５９６１×１０−９×｜φ｜６＋１．２２２４×１０−１７×｜φ｜５−１．６４１６×１０−５×｜φ｜４−３．２２６０×１０−１３×｜φ｜３＋２．５４０７×１０−２×｜φ｜２−１．２１３１×１０−９×｜φ｜＋４．９９０５×１０）とした第１水晶基板、オイラー角を（−６０°≦φ≦６０°，６．７７７８×１０−７×｜φ｜６−１．２２００×１０−４×｜φ｜５＋８．１１１１×１０−３×｜φ｜４−２．４１３３×１０−１×｜φ｜３＋３．０５２１×｜φ｜２−１．２２４７×１０×｜φ｜＋１．１７００≦θ≦６．７７７８×１０−７×｜φ｜６−１．２２００×１０−４×｜φ｜５＋８．１１１１×１０−３×｜φ｜４−２．４１３３×１０−１×｜φ｜３＋３．０５２１×｜φ｜２−１．２２４７×１０×｜φ｜＋１．４２００，２．７８１６×１０−９×｜φ｜６＋２．７３２２×１０−１７×｜φ｜５−１．７５２４×１０−５×｜φ｜４−１．１３３４×１０−１３×｜φ｜３＋２．７０３５×１０−２×｜φ｜２−９．９０４５×１０−１０×｜φ｜＋１．３５０４×１０２≦ψ≦２．７８１６×１０−９×｜φ｜６＋２．７３２２×１０−１７×｜φ｜５−１．７５２４×１０−５×｜φ｜４−１．１３３４×１０−１３×｜φ｜３＋２．７０３５×１０−２×｜φ｜２−９．９０４５×１０−１０×｜φ｜＋１．４２７×１０２）とした第２水晶基板、及びオイラー角を（−６０°≦φ≦６０°，−２．５０００×１０−８×｜φ｜６＋４．５０００×１０−６×｜φ｜５−３．１６６７×１０−４×｜φ｜４＋１．１０００×１０−２×｜φ｜３−１．８３０８×１０−１×｜φ｜２＋９．０５００×１０−１×｜φ｜＋３．２０００×１０≦θ≦−２．５０００×１０−８×｜φ｜６＋４．５０００×１０−６×｜φ｜５−３．１６６７×１０−４×｜φ｜４＋１．１０００×１０−２×｜φ｜３−１．８３０８×１０−１×｜φ｜２＋９．０５００×１０−１×｜φ｜＋５．７０００×１０，−４．３６０２×１０−９×｜φ｜６−１．２３６０×１０−１７×｜φ｜５＋２．７１５１×１０−５×｜φ｜４＋３．２５３６×１０−１４×｜φ｜３−４．１４６２×１０−２×｜φ｜２−９．４０８５×１０−１０×｜φ｜＋８．９０９０×１０≦ψ≦−４．３６０２×１０−９×｜φ｜６−１．２３６０×１０−１７×｜φ｜５＋２．７１５１×１０−５×｜φ｜４＋３．２５３６×１０−１４×｜φ｜３−４．１４６２×１０−２×｜φ｜２−９．４０８５×１０−１０×｜φ｜＋９．６７６０×１０）とした第３水晶基板のいずれかの主面に設けられ、ストップバンドの上端モードの弾性表面波を励振するＩＤＴを有することを特徴とする弾性表面波デバイス。
  2. 請求項１に記載の弾性表面波デバイスであって、
    前記ＩＤＴは、複数の電極指を備えるとともに、前記電極指の間に位置する部分に設けられた電極指間溝を有することを特徴とする弾性表面波デバイス。
  3. 請求項１または請求項２に記載の弾性表面波デバイスであって、
    前記ＩＤＴのライン占有率ηが、
    ０．４９≦η≦０．７０
    の関係を満たすことを特徴とする弾性表面波デバイス。
  4. 請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の弾性表面波デバイスであって、
    前記電極指間溝の深さをＧとして、
    ０．０２λ≦Ｇ≦０．０４λ
    の関係を満たすことを特徴とする弾性表面波デバイス。
  5. 請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の弾性表面波デバイスを備えたことを特徴とする弾性表面波発振器。
  6. 請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の弾性表面波デバイスを備えたことを特徴とする電子機器。
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