JP2012049817A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012049817A5 JP2012049817A5 JP2010189863A JP2010189863A JP2012049817A5 JP 2012049817 A5 JP2012049817 A5 JP 2012049817A5 JP 2010189863 A JP2010189863 A JP 2010189863A JP 2010189863 A JP2010189863 A JP 2010189863A JP 2012049817 A5 JP2012049817 A5 JP 2012049817A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- surface acoustic
- wave device
- idt
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Description
本発明は上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
第1の形態の弾性表面波デバイスは、オイラー角を(−60°≦φ≦60°,1.7845×10 −9 ×|φ| 6 +2.2009×10 −17 ×|φ| 5 −1.1608×10 −5 ×|φ| 4 −4.6486×10 −13 ×|φ| 3 +1.8409×10 −2 ×|φ| 2 −3.1338×10 −9 ×|φ|+1.1803×10 2 ≦θ≦1.7845×10 −9 ×|φ| 6 +2.2009×10 −17 ×|φ| 5 −1.1608×10 −5 ×|φ| 4 −4.6486×10 −13 ×|φ| 3 +1.8409×10 −2 ×|φ| 2 −3.1338×10 −9 ×|φ|+1.4303×10 2 ,2.5961×10 −9 ×|φ| 6 +1.2224×10 −17 ×|φ| 5 −1.6416×10 −5 ×|φ| 4 −3.2260×10 −13 ×|φ| 3 +2.5407×10 −2 ×|φ| 2 −1.2131×10 −9 ×|φ|+4.2235×10≦ψ≦2.5961×10 −9 ×|φ| 6 +1.2224×10 −17 ×|φ| 5 −1.6416×10 −5 ×|φ| 4 −3.2260×10 −13 ×|φ| 3 +2.5407×10 −2 ×|φ| 2 −1.2131×10 −9 ×|φ|+4.9905×10)とした第1水晶基板、オイラー角を(−60°≦φ≦60°,6.7778×10 −7 ×|φ| 6 −1.2200×10 −4 ×|φ| 5 +8.1111×10 −3 ×|φ| 4 −2.4133×10 −1 ×|φ| 3 +3.0521×|φ| 2 −1.2247×10×|φ|+1.1700≦θ≦6.7778×10 −7 ×|φ| 6 −1.2200×10 −4 ×|φ| 5 +8.1111×10 −3 ×|φ| 4 −2.4133×10 −1 ×|φ| 3 +3.0521×|φ| 2 −1.2247×10×|φ|+1.4200,2.7816×10 −9 ×|φ| 6 +2.7322×10 −17 ×|φ| 5 −1.7524×10 −5 ×|φ| 4 −1.1334×10 −13 ×|φ| 3 +2.7035×10 −2 ×|φ| 2 −9.9045×10 −10 ×|φ|+1.3504×10 2 ≦ψ≦2.7816×10 −9 ×|φ| 6 +2.7322×10 −17 ×|φ| 5 −1.7524×10 −5 ×|φ| 4 −1.1334×10 −13 ×|φ| 3 +2.7035×10 −2 ×|φ| 2 −9.9045×10 −10 ×|φ|+1.427×10 2 )とした第2水晶基板、及びオイラー角を(−60°≦φ≦60°,−2.5000×10 −8 ×|φ| 6 +4.5000×10 −6 ×|φ| 5 −3.1667×10 −4 ×|φ| 4 +1.1000×10 −2 ×|φ| 3 −1.8308×10 −1 ×|φ| 2 +9.0500×10 −1 ×|φ|+3.2000×10≦θ≦−2.5000×10 −8 ×|φ| 6 +4.5000×10 −6 ×|φ| 5 −3.1667×10 −4 ×|φ| 4 +1.1000×10 −2 ×|φ| 3 −1.8308×10 −1 ×|φ| 2 +9.0500×10 −1 ×|φ|+5.7000×10,−4.3602×10 −9 ×|φ| 6 −1.2360×10 −17 ×|φ| 5 +2.7151×10 −5 ×|φ| 4 +3.2536×10 −14 ×|φ| 3 −4.1462×10 −2 ×|φ| 2 −9.4085×10 −10 ×|φ|+8.9090×10≦ψ≦−4.3602×10 −9 ×|φ| 6 −1.2360×10 −17 ×|φ| 5 +2.7151×10 −5 ×|φ| 4 +3.2536×10 −14 ×|φ| 3 −4.1462×10 −2 ×|φ| 2 −9.4085×10 −10 ×|φ|+9.6760×10)とした第3水晶基板のいずれかの主面に設けられ、ストップバンドの上端モードの弾性表面波を励振するIDTを有することを特徴とする弾性表面波デバイス。
第2の形態の弾性表面波デバイスは、第1の形態に記載の弾性表面波デバイスであって、前記IDTは、複数の電極指を備えるとともに、前記電極指の間に位置する部分に設けられた電極指間溝を有することを特徴とする弾性表面波デバイス。
第3の形態の弾性表面波デバイスは、第1または第2の形態に記載の弾性表面波デバイスであって、前記IDTのライン占有率ηが、
0.49≦η≦0.70
の関係を満たすことを特徴とする弾性表面波デバイス。
第4の形態の弾性表面波デバイスは、第1乃至第3のいずれか1形態に記載の弾性表面波デバイスであって、前記電極指間溝の深さをGとして、
0.02λ≦G≦0.04λ
の関係を満たすことを特徴とする弾性表面波デバイス。
第5の形態の弾性表面波発振器は、第1乃至第4のいずれか1形態に記載の弾性表面波デバイスを備えたことを特徴とする弾性表面波発振器。
第6の形態の弾性表面波電子機器は、第1乃至第4のいずれか1形態に記載の弾性表面波デバイスを備えたことを特徴とする電子機器。
[適用例1]オイラー角を(−60°≦φ≦60°,1.7845×10−9×|φ|6+2.2009×10−17×|φ|5−1.1608×10−5×|φ|4−4.6486×10−13×|φ|3+1.8409×10−2×|φ|2−3.1338×10−9×|φ|+1.1803×102≦θ≦1.7845×10−9×|φ|6+2.2009×10−17×|φ|5−1.1608×10−5×|φ|4−4.6486×10−13×|φ|3+1.8409×10−2×|φ|2−3.1338×10−9×|φ|+1.4303×102,2.5961×10−9×|φ|6+1.2224×10−17×|φ|5−1.6416×10−5×|φ|4−3.2260×10−13×|φ|3+2.5407×10−2×|φ|2−1.2131×10−9×|φ|+4.2235×10≦ψ≦2.5961×10−9×|φ|6+1.2224×10−17×|φ|5−1.6416×10−5×|φ|4−3.2260×10−13×|φ|3+2.5407×10−2×|φ|2−1.2131×10−9×|φ|+4.9905×10)とした第1水晶基板、オイラー角を(−60°≦φ≦60°,6.7778×10−7×|φ|6−1.2200×10−4×|φ|5+8.1111×10−3×|φ|4−2.4133×10−1×|φ|3+3.0521×|φ|2−1.2247×10×|φ|+1.1700≦θ≦6.7778×10−7×|φ|6−1.2200×10−4×|φ|5+8.1111×10−3×|φ|4−2.4133×10−1×|φ|3+3.0521×|φ|2−1.2247×10×|φ|+1.4200,2.7816×10−9×|φ|6+2.7322×10−17×|φ|5−1.7524×10−5×|φ|4−1.1334×10−13×|φ|3+2.7035×10−2×|φ|2−9.9045×10−10×|φ|+1.3504×102≦ψ≦2.7816×10−9×|φ|6+2.7322×10−17×|φ|5−1.7524×10−5×|φ|4−1.1334×10−13×|φ|3+2.7035×10−2×|φ|2−9.9045×10−10×|φ|+1.427×102)とした第2水晶基板、及びオイラー角を(−60°≦φ≦60°,−2.5000×10−8×|φ|6+4.5000×10−6×|φ|5−3.1667×10−4×|φ|4+1.1000×10−2×|φ|3−1.8308×10−1×|φ|2+9.0500×10−1×|φ|+3.2000×10≦θ≦−2.5000×10−8×|φ|6+4.5000×10−6×|φ|5−3.1667×10−4×|φ|4+1.1000×10−2×|φ|3−1.8308×10−1×|φ|2+9.0500×10−1×|φ|+5.7000×10,−4.3602×10−9×|φ|6−1.2360×10−17×|φ|5+2.7151×10−5×|φ|4+3.2536×10−14×|φ|3−4.1462×10−2×|φ|2−9.4085×10−10×|φ|+8.9090×10≦ψ≦−4.3602×10−9×|φ|6−1.2360×10−17×|φ|5+2.7151×10−5×|φ|4+3.2536×10−14×|φ|3−4.1462×10−2×|φ|2−9.4085×10−10×|φ|+9.6760×10)とした第3水晶基板のいずれかの主面に設けられ、ストップバンドの上端モードの弾性表面波を励振するIDTを有することを特徴とする弾性表面波デバイス。
このような特徴を有する弾性表面波デバイスであれば、良好な周波数温度特性を得ることが可能となる。
第1の形態の弾性表面波デバイスは、オイラー角を(−60°≦φ≦60°,1.7845×10 −9 ×|φ| 6 +2.2009×10 −17 ×|φ| 5 −1.1608×10 −5 ×|φ| 4 −4.6486×10 −13 ×|φ| 3 +1.8409×10 −2 ×|φ| 2 −3.1338×10 −9 ×|φ|+1.1803×10 2 ≦θ≦1.7845×10 −9 ×|φ| 6 +2.2009×10 −17 ×|φ| 5 −1.1608×10 −5 ×|φ| 4 −4.6486×10 −13 ×|φ| 3 +1.8409×10 −2 ×|φ| 2 −3.1338×10 −9 ×|φ|+1.4303×10 2 ,2.5961×10 −9 ×|φ| 6 +1.2224×10 −17 ×|φ| 5 −1.6416×10 −5 ×|φ| 4 −3.2260×10 −13 ×|φ| 3 +2.5407×10 −2 ×|φ| 2 −1.2131×10 −9 ×|φ|+4.2235×10≦ψ≦2.5961×10 −9 ×|φ| 6 +1.2224×10 −17 ×|φ| 5 −1.6416×10 −5 ×|φ| 4 −3.2260×10 −13 ×|φ| 3 +2.5407×10 −2 ×|φ| 2 −1.2131×10 −9 ×|φ|+4.9905×10)とした第1水晶基板、オイラー角を(−60°≦φ≦60°,6.7778×10 −7 ×|φ| 6 −1.2200×10 −4 ×|φ| 5 +8.1111×10 −3 ×|φ| 4 −2.4133×10 −1 ×|φ| 3 +3.0521×|φ| 2 −1.2247×10×|φ|+1.1700≦θ≦6.7778×10 −7 ×|φ| 6 −1.2200×10 −4 ×|φ| 5 +8.1111×10 −3 ×|φ| 4 −2.4133×10 −1 ×|φ| 3 +3.0521×|φ| 2 −1.2247×10×|φ|+1.4200,2.7816×10 −9 ×|φ| 6 +2.7322×10 −17 ×|φ| 5 −1.7524×10 −5 ×|φ| 4 −1.1334×10 −13 ×|φ| 3 +2.7035×10 −2 ×|φ| 2 −9.9045×10 −10 ×|φ|+1.3504×10 2 ≦ψ≦2.7816×10 −9 ×|φ| 6 +2.7322×10 −17 ×|φ| 5 −1.7524×10 −5 ×|φ| 4 −1.1334×10 −13 ×|φ| 3 +2.7035×10 −2 ×|φ| 2 −9.9045×10 −10 ×|φ|+1.427×10 2 )とした第2水晶基板、及びオイラー角を(−60°≦φ≦60°,−2.5000×10 −8 ×|φ| 6 +4.5000×10 −6 ×|φ| 5 −3.1667×10 −4 ×|φ| 4 +1.1000×10 −2 ×|φ| 3 −1.8308×10 −1 ×|φ| 2 +9.0500×10 −1 ×|φ|+3.2000×10≦θ≦−2.5000×10 −8 ×|φ| 6 +4.5000×10 −6 ×|φ| 5 −3.1667×10 −4 ×|φ| 4 +1.1000×10 −2 ×|φ| 3 −1.8308×10 −1 ×|φ| 2 +9.0500×10 −1 ×|φ|+5.7000×10,−4.3602×10 −9 ×|φ| 6 −1.2360×10 −17 ×|φ| 5 +2.7151×10 −5 ×|φ| 4 +3.2536×10 −14 ×|φ| 3 −4.1462×10 −2 ×|φ| 2 −9.4085×10 −10 ×|φ|+8.9090×10≦ψ≦−4.3602×10 −9 ×|φ| 6 −1.2360×10 −17 ×|φ| 5 +2.7151×10 −5 ×|φ| 4 +3.2536×10 −14 ×|φ| 3 −4.1462×10 −2 ×|φ| 2 −9.4085×10 −10 ×|φ|+9.6760×10)とした第3水晶基板のいずれかの主面に設けられ、ストップバンドの上端モードの弾性表面波を励振するIDTを有することを特徴とする弾性表面波デバイス。
第2の形態の弾性表面波デバイスは、第1の形態に記載の弾性表面波デバイスであって、前記IDTは、複数の電極指を備えるとともに、前記電極指の間に位置する部分に設けられた電極指間溝を有することを特徴とする弾性表面波デバイス。
第3の形態の弾性表面波デバイスは、第1または第2の形態に記載の弾性表面波デバイスであって、前記IDTのライン占有率ηが、
0.49≦η≦0.70
の関係を満たすことを特徴とする弾性表面波デバイス。
第4の形態の弾性表面波デバイスは、第1乃至第3のいずれか1形態に記載の弾性表面波デバイスであって、前記電極指間溝の深さをGとして、
0.02λ≦G≦0.04λ
の関係を満たすことを特徴とする弾性表面波デバイス。
第5の形態の弾性表面波発振器は、第1乃至第4のいずれか1形態に記載の弾性表面波デバイスを備えたことを特徴とする弾性表面波発振器。
第6の形態の弾性表面波電子機器は、第1乃至第4のいずれか1形態に記載の弾性表面波デバイスを備えたことを特徴とする電子機器。
[適用例1]オイラー角を(−60°≦φ≦60°,1.7845×10−9×|φ|6+2.2009×10−17×|φ|5−1.1608×10−5×|φ|4−4.6486×10−13×|φ|3+1.8409×10−2×|φ|2−3.1338×10−9×|φ|+1.1803×102≦θ≦1.7845×10−9×|φ|6+2.2009×10−17×|φ|5−1.1608×10−5×|φ|4−4.6486×10−13×|φ|3+1.8409×10−2×|φ|2−3.1338×10−9×|φ|+1.4303×102,2.5961×10−9×|φ|6+1.2224×10−17×|φ|5−1.6416×10−5×|φ|4−3.2260×10−13×|φ|3+2.5407×10−2×|φ|2−1.2131×10−9×|φ|+4.2235×10≦ψ≦2.5961×10−9×|φ|6+1.2224×10−17×|φ|5−1.6416×10−5×|φ|4−3.2260×10−13×|φ|3+2.5407×10−2×|φ|2−1.2131×10−9×|φ|+4.9905×10)とした第1水晶基板、オイラー角を(−60°≦φ≦60°,6.7778×10−7×|φ|6−1.2200×10−4×|φ|5+8.1111×10−3×|φ|4−2.4133×10−1×|φ|3+3.0521×|φ|2−1.2247×10×|φ|+1.1700≦θ≦6.7778×10−7×|φ|6−1.2200×10−4×|φ|5+8.1111×10−3×|φ|4−2.4133×10−1×|φ|3+3.0521×|φ|2−1.2247×10×|φ|+1.4200,2.7816×10−9×|φ|6+2.7322×10−17×|φ|5−1.7524×10−5×|φ|4−1.1334×10−13×|φ|3+2.7035×10−2×|φ|2−9.9045×10−10×|φ|+1.3504×102≦ψ≦2.7816×10−9×|φ|6+2.7322×10−17×|φ|5−1.7524×10−5×|φ|4−1.1334×10−13×|φ|3+2.7035×10−2×|φ|2−9.9045×10−10×|φ|+1.427×102)とした第2水晶基板、及びオイラー角を(−60°≦φ≦60°,−2.5000×10−8×|φ|6+4.5000×10−6×|φ|5−3.1667×10−4×|φ|4+1.1000×10−2×|φ|3−1.8308×10−1×|φ|2+9.0500×10−1×|φ|+3.2000×10≦θ≦−2.5000×10−8×|φ|6+4.5000×10−6×|φ|5−3.1667×10−4×|φ|4+1.1000×10−2×|φ|3−1.8308×10−1×|φ|2+9.0500×10−1×|φ|+5.7000×10,−4.3602×10−9×|φ|6−1.2360×10−17×|φ|5+2.7151×10−5×|φ|4+3.2536×10−14×|φ|3−4.1462×10−2×|φ|2−9.4085×10−10×|φ|+8.9090×10≦ψ≦−4.3602×10−9×|φ|6−1.2360×10−17×|φ|5+2.7151×10−5×|φ|4+3.2536×10−14×|φ|3−4.1462×10−2×|φ|2−9.4085×10−10×|φ|+9.6760×10)とした第3水晶基板のいずれかの主面に設けられ、ストップバンドの上端モードの弾性表面波を励振するIDTを有することを特徴とする弾性表面波デバイス。
このような特徴を有する弾性表面波デバイスであれば、良好な周波数温度特性を得ることが可能となる。
Claims (6)
- オイラー角を(−60°≦φ≦60°,1.7845×10−9×|φ|6+2.2009×10−17×|φ|5−1.1608×10−5×|φ|4−4.6486×10−13×|φ|3+1.8409×10−2×|φ|2−3.1338×10−9×|φ|+1.1803×102≦θ≦1.7845×10−9×|φ|6+2.2009×10−17×|φ|5−1.1608×10−5×|φ|4−4.6486×10−13×|φ|3+1.8409×10−2×|φ|2−3.1338×10−9×|φ|+1.4303×102,2.5961×10−9×|φ|6+1.2224×10−17×|φ|5−1.6416×10−5×|φ|4−3.2260×10−13×|φ|3+2.5407×10−2×|φ|2−1.2131×10−9×|φ|+4.2235×10≦ψ≦2.5961×10−9×|φ|6+1.2224×10−17×|φ|5−1.6416×10−5×|φ|4−3.2260×10−13×|φ|3+2.5407×10−2×|φ|2−1.2131×10−9×|φ|+4.9905×10)とした第1水晶基板、オイラー角を(−60°≦φ≦60°,6.7778×10−7×|φ|6−1.2200×10−4×|φ|5+8.1111×10−3×|φ|4−2.4133×10−1×|φ|3+3.0521×|φ|2−1.2247×10×|φ|+1.1700≦θ≦6.7778×10−7×|φ|6−1.2200×10−4×|φ|5+8.1111×10−3×|φ|4−2.4133×10−1×|φ|3+3.0521×|φ|2−1.2247×10×|φ|+1.4200,2.7816×10−9×|φ|6+2.7322×10−17×|φ|5−1.7524×10−5×|φ|4−1.1334×10−13×|φ|3+2.7035×10−2×|φ|2−9.9045×10−10×|φ|+1.3504×102≦ψ≦2.7816×10−9×|φ|6+2.7322×10−17×|φ|5−1.7524×10−5×|φ|4−1.1334×10−13×|φ|3+2.7035×10−2×|φ|2−9.9045×10−10×|φ|+1.427×102)とした第2水晶基板、及びオイラー角を(−60°≦φ≦60°,−2.5000×10−8×|φ|6+4.5000×10−6×|φ|5−3.1667×10−4×|φ|4+1.1000×10−2×|φ|3−1.8308×10−1×|φ|2+9.0500×10−1×|φ|+3.2000×10≦θ≦−2.5000×10−8×|φ|6+4.5000×10−6×|φ|5−3.1667×10−4×|φ|4+1.1000×10−2×|φ|3−1.8308×10−1×|φ|2+9.0500×10−1×|φ|+5.7000×10,−4.3602×10−9×|φ|6−1.2360×10−17×|φ|5+2.7151×10−5×|φ|4+3.2536×10−14×|φ|3−4.1462×10−2×|φ|2−9.4085×10−10×|φ|+8.9090×10≦ψ≦−4.3602×10−9×|φ|6−1.2360×10−17×|φ|5+2.7151×10−5×|φ|4+3.2536×10−14×|φ|3−4.1462×10−2×|φ|2−9.4085×10−10×|φ|+9.6760×10)とした第3水晶基板のいずれかの主面に設けられ、ストップバンドの上端モードの弾性表面波を励振するIDTを有することを特徴とする弾性表面波デバイス。
- 請求項1に記載の弾性表面波デバイスであって、
前記IDTは、複数の電極指を備えるとともに、前記電極指の間に位置する部分に設けられた電極指間溝を有することを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 請求項1または請求項2に記載の弾性表面波デバイスであって、
前記IDTのライン占有率ηが、
0.49≦η≦0.70
の関係を満たすことを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の弾性表面波デバイスであって、
前記電極指間溝の深さをGとして、
0.02λ≦G≦0.04λ
の関係を満たすことを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の弾性表面波デバイスを備えたことを特徴とする弾性表面波発振器。
- 請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の弾性表面波デバイスを備えたことを特徴とする電子機器。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010189863A JP2012049817A (ja) | 2010-08-26 | 2010-08-26 | 弾性表面波デバイス、および弾性表面波発振器、ならびに電子機器 |
US13/212,725 US8471434B2 (en) | 2010-08-26 | 2011-08-18 | Surface acoustic wave device, surface acoustic wave oscillator, and electronic apparatus |
CN2011203138119U CN202261188U (zh) | 2010-08-26 | 2011-08-24 | 表面声波器件、表面声波振荡器以及电子设备 |
CN201410616565.2A CN104506159A (zh) | 2010-08-26 | 2011-08-24 | 表面声波器件、表面声波振荡器以及电子设备 |
CN201110246685.4A CN102386880B (zh) | 2010-08-26 | 2011-08-24 | 表面声波器件、表面声波振荡器以及电子设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010189863A JP2012049817A (ja) | 2010-08-26 | 2010-08-26 | 弾性表面波デバイス、および弾性表面波発振器、ならびに電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012049817A JP2012049817A (ja) | 2012-03-08 |
JP2012049817A5 true JP2012049817A5 (ja) | 2013-10-10 |
Family
ID=45696364
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010189863A Pending JP2012049817A (ja) | 2010-08-26 | 2010-08-26 | 弾性表面波デバイス、および弾性表面波発振器、ならびに電子機器 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8471434B2 (ja) |
JP (1) | JP2012049817A (ja) |
CN (3) | CN102386880B (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2403141B1 (en) * | 2009-02-27 | 2018-10-24 | Seiko Epson Corporation | Surface acoustic wave resonator, surface acoustic wave oscillator, and electronic device |
JP2012049817A (ja) * | 2010-08-26 | 2012-03-08 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波デバイス、および弾性表面波発振器、ならびに電子機器 |
CN111273470B (zh) * | 2020-03-26 | 2023-04-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 液晶移相器及电子装置 |
Family Cites Families (68)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US382217A (en) | 1888-05-01 | Sand-molding machine | ||
JPS54156455A (en) | 1978-05-31 | 1979-12-10 | Toshiba Corp | Surface acoustic wave element and its trimming method |
JPS5799813A (en) | 1980-12-13 | 1982-06-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Surface acoustic wave resonator |
US4387355A (en) | 1980-06-13 | 1983-06-07 | Nippon Telegraph & Telephone Public Corporation | Surface acoustic wave resonator |
JPS575418A (en) | 1980-06-13 | 1982-01-12 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Cavity type surface elastic wave resonator |
JPS5833309A (ja) | 1981-08-21 | 1983-02-26 | Toyo Commun Equip Co Ltd | すべり波共振器 |
JPS6192011A (ja) | 1984-10-11 | 1986-05-10 | Nec Kansai Ltd | 弾性表面波素子の製造方法 |
JPS6434411A (en) | 1987-07-29 | 1989-02-03 | Hitachi Ltd | Controlling device for injection amount of flocculant in purification plant |
JPH01231412A (ja) | 1988-03-11 | 1989-09-14 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波ディバイスの周波数特性調整方法 |
JPH02189011A (ja) | 1989-01-18 | 1990-07-25 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波デバイスの製造方法 |
CA2038474C (en) | 1990-03-19 | 1994-09-20 | Yoshio Satoh | Surface-acoustic-waver filter having a plurality of electrodes |
JP2982208B2 (ja) | 1990-03-30 | 1999-11-22 | 富士通株式会社 | 弾性表面波素子 |
JP2532310B2 (ja) * | 1991-05-29 | 1996-09-11 | 新日本製鐵株式会社 | 建造物の振動抑制装置 |
JP3126416B2 (ja) * | 1991-06-26 | 2001-01-22 | キンセキ株式会社 | 弾性表面波装置 |
JPH0575418A (ja) | 1991-09-11 | 1993-03-26 | Omron Corp | 過電流検出回路 |
JPH0590865A (ja) | 1991-09-30 | 1993-04-09 | Oki Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波フイルタの中心周波数調整方法 |
JPH10270974A (ja) | 1997-03-25 | 1998-10-09 | Kenwood Corp | 表面弾性波素子 |
JP3266846B2 (ja) | 1998-01-20 | 2002-03-18 | 東洋通信機株式会社 | 反射反転型弾性表面波変換器及びフィルタ |
JP3301399B2 (ja) | 1998-02-16 | 2002-07-15 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置 |
FR2779289B1 (fr) | 1998-05-29 | 2000-09-01 | Thomson Csf | Transducteur unidirectionnel grave a ondes acoustiques de surface |
JP3840852B2 (ja) | 1998-10-15 | 2006-11-01 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波装置及び2ポート弾性表面波共振子 |
JP2000216632A (ja) * | 1999-01-20 | 2000-08-04 | Kubota Corp | 表面弾性波発振器 |
JP2002100959A (ja) | 2000-09-25 | 2002-04-05 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 弾性表面波デバイス |
JP3897229B2 (ja) | 2001-04-27 | 2007-03-22 | 株式会社村田製作所 | 表面波フィルタ |
JP3724575B2 (ja) | 2001-08-09 | 2005-12-07 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波装置 |
JP3622202B2 (ja) | 2001-08-29 | 2005-02-23 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波装置の温度特性調整方法 |
JP2003258601A (ja) | 2001-12-28 | 2003-09-12 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波装置およびそれを用いた通信機器 |
JP2004274696A (ja) | 2002-10-04 | 2004-09-30 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波装置および弾性表面波装置の温度特性調整方法 |
US7135805B2 (en) | 2003-04-08 | 2006-11-14 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Surface acoustic wave transducer |
JP2005012736A (ja) | 2003-06-17 | 2005-01-13 | Kazuhiko Yamanouchi | 弾性表面波変換器とこれを用いた電子装置 |
JP2005204275A (ja) | 2003-12-12 | 2005-07-28 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子片およびその製造方法並びに弾性表面波装置 |
US7315805B2 (en) | 2004-02-05 | 2008-01-01 | Raytheon Company | Operations and support discrete event stimulation system and method |
KR100858324B1 (ko) | 2004-04-01 | 2008-09-17 | 엡슨 토요콤 가부시키가이샤 | 탄성 표면파 디바이스 |
JP2006074136A (ja) | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子片および弾性表面波装置 |
JP2006148622A (ja) | 2004-11-22 | 2006-06-08 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波装置および電子機器 |
US7382217B2 (en) | 2004-12-03 | 2008-06-03 | Epson Toyocom Corporation | Surface acoustic wave device |
JP2006203408A (ja) | 2005-01-19 | 2006-08-03 | Epson Toyocom Corp | 弾性表面波デバイス |
JP2006186623A (ja) | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子、その製造方法、及び弾性表面波デバイス |
JP2006204275A (ja) | 2005-01-25 | 2006-08-10 | Haruaki Nakamura | 壁掛け植物栽培プランター |
JP2006295311A (ja) | 2005-04-06 | 2006-10-26 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子片および弾性表面波装置 |
JP3851336B1 (ja) | 2005-05-31 | 2006-11-29 | 隆彌 渡邊 | 弾性表面波装置 |
JP2007093213A (ja) | 2005-09-26 | 2007-04-12 | Epson Toyocom Corp | 圧力センサ |
JP4569447B2 (ja) | 2005-11-18 | 2010-10-27 | エプソントヨコム株式会社 | 弾性表面波素子片および弾性表面波デバイス |
JP4412292B2 (ja) | 2006-02-06 | 2010-02-10 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波装置および電子機器 |
DE202006001907U1 (de) | 2006-02-07 | 2006-04-13 | Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH | Entladungslampe mit vergossenem Sockel |
JP2007259414A (ja) | 2006-02-24 | 2007-10-04 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波装置の温度特性調整方法および弾性表面波装置の製造方法、弾性表面波装置 |
JP2007267033A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Epson Toyocom Corp | 弾性表面波素子及び弾性表面波デバイス |
JP5141856B2 (ja) * | 2006-04-04 | 2013-02-13 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波装置の製造方法、及び弾性表面波装置 |
JP4968510B2 (ja) | 2006-04-27 | 2012-07-04 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波素子片の周波数温度特性調整方法、及び弾性表面波素子片、並びに弾性表面波デバイス |
JP2007300287A (ja) * | 2006-04-28 | 2007-11-15 | Epson Toyocom Corp | 弾性表面波素子および弾性表面波デバイス並びに電子機器 |
JP2007333500A (ja) | 2006-06-14 | 2007-12-27 | Epson Toyocom Corp | 圧力センサの製造方法および圧力センサ |
WO2008004408A1 (fr) * | 2006-07-05 | 2008-01-10 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Dispositif d'onde de surface élastique |
JP2008078984A (ja) | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Epson Toyocom Corp | Sawデバイスおよび電子機器 |
JP4645957B2 (ja) | 2006-09-29 | 2011-03-09 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波素子片および弾性表面波装置 |
JP2008236295A (ja) | 2007-03-20 | 2008-10-02 | Seiko Epson Corp | Saw共振子 |
JP5018227B2 (ja) | 2007-05-15 | 2012-09-05 | セイコーエプソン株式会社 | 力検知ユニット |
JP2008286521A (ja) | 2007-05-15 | 2008-11-27 | Epson Toyocom Corp | 回転速度検知ユニット、及び回転速度センサ |
JP4591800B2 (ja) * | 2008-02-20 | 2010-12-01 | エプソントヨコム株式会社 | 弾性表面波デバイスおよび弾性表面波発振器 |
JP5177230B2 (ja) * | 2008-10-24 | 2013-04-03 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および弾性表面波モジュール装置 |
EP2403141B1 (en) | 2009-02-27 | 2018-10-24 | Seiko Epson Corporation | Surface acoustic wave resonator, surface acoustic wave oscillator, and electronic device |
JP4645923B2 (ja) | 2009-02-27 | 2011-03-09 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波共振子、および弾性表面波発振器 |
JP5678486B2 (ja) | 2010-06-17 | 2015-03-04 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および電子機器 |
JP5934464B2 (ja) | 2010-08-26 | 2016-06-15 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波共振子、および弾性表面波発振器、ならびに電子機器 |
JP2012049818A (ja) | 2010-08-26 | 2012-03-08 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器、電子機器 |
JP2012049817A (ja) * | 2010-08-26 | 2012-03-08 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波デバイス、および弾性表面波発振器、ならびに電子機器 |
JP2012060422A (ja) | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置 |
JP2012060421A (ja) | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置 |
JP2012060418A (ja) | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置 |
-
2010
- 2010-08-26 JP JP2010189863A patent/JP2012049817A/ja active Pending
-
2011
- 2011-08-18 US US13/212,725 patent/US8471434B2/en active Active
- 2011-08-24 CN CN201110246685.4A patent/CN102386880B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2011-08-24 CN CN201410616565.2A patent/CN104506159A/zh active Pending
- 2011-08-24 CN CN2011203138119U patent/CN202261188U/zh not_active Withdrawn - After Issue
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2012060421A5 (ja) | ||
WO2013021948A1 (ja) | 弾性波装置 | |
EP2211462A3 (en) | Acoustic wave device | |
CN106031033B (zh) | 弹性波装置 | |
JP2012060420A5 (ja) | 弾性表面波デバイス、電子機器、センサー装置および弾性表面波デバイスの製造方法 | |
JP2012060418A5 (ja) | ||
JPWO2017209131A1 (ja) | 複合基板、およびそれを用いた弾性波素子 | |
JP2012060422A5 (ja) | ||
WO2007059740A3 (de) | Elektroakustisches bauelement | |
JP2012060419A5 (ja) | ||
JP2012049816A5 (ja) | ||
JP2012049818A5 (ja) | ||
CN105099389B (zh) | 声波装置 | |
JP2012114496A5 (ja) | ||
WO2020209190A1 (ja) | 弾性波装置及びマルチプレクサ | |
WO2021125013A1 (ja) | 弾性波装置 | |
JP2008098974A5 (ja) | ||
JP2007028664A (ja) | 弾性表面波素子片および弾性表面波装置 | |
JP2012049817A5 (ja) | ||
JP2006295311A (ja) | 弾性表面波素子片および弾性表面波装置 | |
WO2020184621A1 (ja) | 弾性波装置 | |
JP2023036845A (ja) | 弾性波装置 | |
JP2004507960A5 (ja) | ||
JP2010200197A (ja) | 弾性表面波デバイス | |
JP5316197B2 (ja) | 弾性波素子 |