JP3126416B2 - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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- acoustic wave
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は四ほう酸リチウム単結晶
を用いた弾性表面波装置に関する。弾性表面波装置は、
圧電材料表面上に、櫛形電極等の弾性表面波を励起、受
信する手段を有し、材料表面に発生する弾性表面波を利
用した回路素子であり、高周波デバイスとして注目され
ている。
を用いた弾性表面波装置に関する。弾性表面波装置は、
圧電材料表面上に、櫛形電極等の弾性表面波を励起、受
信する手段を有し、材料表面に発生する弾性表面波を利
用した回路素子であり、高周波デバイスとして注目され
ている。
【０００２】
【従来の技術】弾性表面波装置はフィルタ、共振子、遅
延線等に多く利用されているが、その特性は圧電基板を
伝搬する弾性表面波の伝搬特性に依存している。したが
って、圧電基板を選定するにあたっては、伝搬速度、電
気機械結合係数、温度特性、スプリアス特性、パワーフ
ロー角等の弾性表面波の伝搬特性が重要である。特に弾
性表面波の高周波化に対応させるためには伝搬速度の速
い圧電基板が必要である。
延線等に多く利用されているが、その特性は圧電基板を
伝搬する弾性表面波の伝搬特性に依存している。したが
って、圧電基板を選定するにあたっては、伝搬速度、電
気機械結合係数、温度特性、スプリアス特性、パワーフ
ロー角等の弾性表面波の伝搬特性が重要である。特に弾
性表面波の高周波化に対応させるためには伝搬速度の速
い圧電基板が必要である。
【０００３】現在、弾性表面波装置に用いられる圧電基
板材料として、水晶、ＬｉＮｂＯ3、ＬｉＴａＯ3、Ｌｉ
2Ｂ4Ｏ7等が用いられている。弾性表面波として基本モ
ードのレイリー波を用いた場合の伝搬速度は、ＳＴ水晶
で３１００ｍ／ｓｅｃ、１２８°Ｙ−ＸＬｉＮｂＯ3で
４０００ｍ／ｓｅｃ、Ｘ−１１２°ＹＬｉＴａＯ3で３
３００ｍ／ｓｅｃ、４５°Ｘ−ＺＬｉ2Ｂ4Ｏ7で３４０
０ｍ／ｓｅｃである。弾性表面波としてリーキー波を用
いた場合の伝搬速度は、３６°Ｙ−ＸＬｉＴａＯ 3で４
２００ｍ／ｓｅｃ、４１°Ｙ−ＸＬｉＮｂＯ3で４５０
０ｍ／ｓｅｃ、６４°Ｙ−ＸＬｉＮｂＯ3で４５００ｍ
／ｓｅｃである。
板材料として、水晶、ＬｉＮｂＯ3、ＬｉＴａＯ3、Ｌｉ
2Ｂ4Ｏ7等が用いられている。弾性表面波として基本モ
ードのレイリー波を用いた場合の伝搬速度は、ＳＴ水晶
で３１００ｍ／ｓｅｃ、１２８°Ｙ−ＸＬｉＮｂＯ3で
４０００ｍ／ｓｅｃ、Ｘ−１１２°ＹＬｉＴａＯ3で３
３００ｍ／ｓｅｃ、４５°Ｘ−ＺＬｉ2Ｂ4Ｏ7で３４０
０ｍ／ｓｅｃである。弾性表面波としてリーキー波を用
いた場合の伝搬速度は、３６°Ｙ−ＸＬｉＴａＯ 3で４
２００ｍ／ｓｅｃ、４１°Ｙ−ＸＬｉＮｂＯ3で４５０
０ｍ／ｓｅｃ、６４°Ｙ−ＸＬｉＮｂＯ3で４５００ｍ
／ｓｅｃである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このようにリーキー波
はレイリー波に比較して高周波化に適しているが、伝搬
速度が高々５０００ｍ／ｓｅｃであり、弾性表面波装置
の更なる高周波化の要求に十分対応することができない
という問題があった。本発明の目的は、更なる高周波動
作をさせることができる弾性表面波装置を提供すること
にある。
はレイリー波に比較して高周波化に適しているが、伝搬
速度が高々５０００ｍ／ｓｅｃであり、弾性表面波装置
の更なる高周波化の要求に十分対応することができない
という問題があった。本発明の目的は、更なる高周波動
作をさせることができる弾性表面波装置を提供すること
にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本願発明者は、四ほう酸
リチウム単結晶基板において切り出し角度及び伝搬方向
を所定範囲に設定した場合に、バルクの速い横波より高
速な縦波と同程度の速度の弾性表面波の存在を予測し、
シミュレーションにより確認した。そのシミュレーショ
ンの方法及び計算結果について図１乃至図４を用いて説
明する。
リチウム単結晶基板において切り出し角度及び伝搬方向
を所定範囲に設定した場合に、バルクの速い横波より高
速な縦波と同程度の速度の弾性表面波の存在を予測し、
シミュレーションにより確認した。そのシミュレーショ
ンの方法及び計算結果について図１乃至図４を用いて説
明する。
【０００６】シミュレーションは、四ほう酸リチウム単
結晶基板の（１００）面における弾性表面波の伝搬方向
を変化させたときの弾性表面波特性を計算することを目
的として行った。シミュレーションにあたっては、図１
(a) に示すように、四ほう酸リチウム単結晶からなる圧
電基板１０全面に所定の厚さの層１２があり、その層１
２が導電性部分１２ａと非導電性部分１２ｂにストライ
プ状に分かれているという電極構造のモデルを仮定して
行った。この導電性部分１２ａが弾性表面波を励起、受
信するための電極（インターデジタル型電極）として機
能する。
結晶基板の（１００）面における弾性表面波の伝搬方向
を変化させたときの弾性表面波特性を計算することを目
的として行った。シミュレーションにあたっては、図１
(a) に示すように、四ほう酸リチウム単結晶からなる圧
電基板１０全面に所定の厚さの層１２があり、その層１
２が導電性部分１２ａと非導電性部分１２ｂにストライ
プ状に分かれているという電極構造のモデルを仮定して
行った。この導電性部分１２ａが弾性表面波を励起、受
信するための電極（インターデジタル型電極）として機
能する。
【０００７】図１(a) に示す電極構造のモデルによるシ
ミュレーション結果は、図１(b) に示す実際の櫛形電極
の構造だけでなく、図１(c) 〜(d) に示す他の電極構造
にも適用可能である。図２乃至図４にシミュレーション
の計算結果を示す。四ほう酸リチウム単結晶からなる圧
電基板１０の切出し角及び弾性表面波の伝搬方向をオイ
ラ角表示で（０°、９０°、ψ）とし、角度ψを０°か
ら９０°まで変化させたときの位相伝搬速度（図２）、
電気機械結合係数ｋ2（図３）、１波長当りの伝搬損失
（図４）について計算した。このとき、層１２は金（Ａ
ｕ）であり、その厚さｈを弾性表面波の波長λにより規
格化した規格化膜厚ｈ／λを０．５％とした。
ミュレーション結果は、図１(b) に示す実際の櫛形電極
の構造だけでなく、図１(c) 〜(d) に示す他の電極構造
にも適用可能である。図２乃至図４にシミュレーション
の計算結果を示す。四ほう酸リチウム単結晶からなる圧
電基板１０の切出し角及び弾性表面波の伝搬方向をオイ
ラ角表示で（０°、９０°、ψ）とし、角度ψを０°か
ら９０°まで変化させたときの位相伝搬速度（図２）、
電気機械結合係数ｋ2（図３）、１波長当りの伝搬損失
（図４）について計算した。このとき、層１２は金（Ａ
ｕ）であり、その厚さｈを弾性表面波の波長λにより規
格化した規格化膜厚ｈ／λを０．５％とした。
【０００８】図２は位相伝搬速度を示している。点線は
バルクの縦波の伝搬速度の計算結果を示し、一点鎖線は
本発明による弾性表面波（以下、本ＳＡＷという）の伝
搬速度の計算結果を示し、実線はレイリー波の伝搬速度
の計算結果を示している。図３は電気機械結合係数ｋ2
を示している。一点鎖線は本ＳＡＷの電気機械結合係数
の計算結果を示し、実線はレイリー波の電気機械結合係
数の計算結果を示している。
バルクの縦波の伝搬速度の計算結果を示し、一点鎖線は
本発明による弾性表面波（以下、本ＳＡＷという）の伝
搬速度の計算結果を示し、実線はレイリー波の伝搬速度
の計算結果を示している。図３は電気機械結合係数ｋ2
を示している。一点鎖線は本ＳＡＷの電気機械結合係数
の計算結果を示し、実線はレイリー波の電気機械結合係
数の計算結果を示している。
【０００９】図４は１波長当りの伝搬損失を示してい
る。一点鎖線は本ＳＡＷの伝搬損失の計算結果を示して
いる。図２に示すように、本ＳＡＷは、レイリー波より
もはるかに高速なバルクの縦波と同程度の伝搬速度であ
る。図４に示すように、伝搬方向ψが６５°以下（望ま
しくは６０°以下）の範囲では伝搬損失が小さい。ま
た、図３に示すように、伝搬方向ψが４０°以上（望ま
しくは５０°以上）では電気機械結合係数が１．５〜
２．０％以上とレイリー波より充分大きい。このように
四ほう酸リチウム単結晶からなる圧電基板１０表面での
伝搬方向ψを４０°以上６５°以下とすることで、電気
機械結合係数が大きく、かつ、伝搬損失の小さい弾性表
面波（本ＳＡＷ）を利用できる。図２に示すように、本
ＳＡＷの伝搬速度は６１００〜６８００ｍ／ｓｅｃもの
高速であり、従来のレイリー波の伝搬速度（３１００〜
３３００ｍ／ｓｅｃ）に比較して２倍程度の高速であ
る。
る。一点鎖線は本ＳＡＷの伝搬損失の計算結果を示して
いる。図２に示すように、本ＳＡＷは、レイリー波より
もはるかに高速なバルクの縦波と同程度の伝搬速度であ
る。図４に示すように、伝搬方向ψが６５°以下（望ま
しくは６０°以下）の範囲では伝搬損失が小さい。ま
た、図３に示すように、伝搬方向ψが４０°以上（望ま
しくは５０°以上）では電気機械結合係数が１．５〜
２．０％以上とレイリー波より充分大きい。このように
四ほう酸リチウム単結晶からなる圧電基板１０表面での
伝搬方向ψを４０°以上６５°以下とすることで、電気
機械結合係数が大きく、かつ、伝搬損失の小さい弾性表
面波（本ＳＡＷ）を利用できる。図２に示すように、本
ＳＡＷの伝搬速度は６１００〜６８００ｍ／ｓｅｃもの
高速であり、従来のレイリー波の伝搬速度（３１００〜
３３００ｍ／ｓｅｃ）に比較して２倍程度の高速であ
る。
【００１０】図５乃至図８に電極膜厚に相当する層１２
の厚さを変化させた場合のシュミレーションの計算結果
を示す。金（Ａｕ）又はアルミニウム（Ａｌ）からなる
層１２の規格化膜厚ｈ／λを０〜３％又は０〜１５％ま
で変化させたときの１波長当りの伝搬損失（図５、図
６）、電気機械結合係数（図７、図８）について計算し
た。このとき、圧電基板１０の切出し角及び伝搬方向を
オイラ角表示で（０°、９０°、５５°）とした。
の厚さを変化させた場合のシュミレーションの計算結果
を示す。金（Ａｕ）又はアルミニウム（Ａｌ）からなる
層１２の規格化膜厚ｈ／λを０〜３％又は０〜１５％ま
で変化させたときの１波長当りの伝搬損失（図５、図
６）、電気機械結合係数（図７、図８）について計算し
た。このとき、圧電基板１０の切出し角及び伝搬方向を
オイラ角表示で（０°、９０°、５５°）とした。
【００１１】図５は電極が金の場合の本ＳＡＷの伝搬損
失を示しており、規格化膜厚が０．５〜０．６％で損失
がほとんどなくなり、０．７％以下では損失が０．５ｄ
Ｂ／λ以下と充分低いことがわかる．また、図６は電極
がアルミニウムの場合の本ＳＡＷの伝搬損失を示してお
り、金の場合と同様に規格化膜厚が５〜６％で損失がほ
とんどなくなり、７％以下では損失が０．５ｄＢ／λ以
下と充分低いことがわかる。
失を示しており、規格化膜厚が０．５〜０．６％で損失
がほとんどなくなり、０．７％以下では損失が０．５ｄ
Ｂ／λ以下と充分低いことがわかる．また、図６は電極
がアルミニウムの場合の本ＳＡＷの伝搬損失を示してお
り、金の場合と同様に規格化膜厚が５〜６％で損失がほ
とんどなくなり、７％以下では損失が０．５ｄＢ／λ以
下と充分低いことがわかる。
【００１２】図７は、電極が金の場合の本ＳＡＷ（実
線）とレイリー波（破線）の電気機械結合係数を示して
おり、規格化膜厚が０．２〜１．４％で本ＳＡＷによる
電気機械結合係数は１．５〜２．５％となり、レイリー
波によるそれよりも充分に大きくなる。特に、規格化膜
厚が０．４％以上では、２％以上の電気機械結合係数が
得られる。
線）とレイリー波（破線）の電気機械結合係数を示して
おり、規格化膜厚が０．２〜１．４％で本ＳＡＷによる
電気機械結合係数は１．５〜２．５％となり、レイリー
波によるそれよりも充分に大きくなる。特に、規格化膜
厚が０．４％以上では、２％以上の電気機械結合係数が
得られる。
【００１３】また、図８は、電極がアルミニウムの場合
の本ＳＡＷ（実線）とレイリー波（破線）の電気機械結
合係数を示しており、規格化膜厚が２％以上で本ＳＡＷ
による電気機械結合係数は１．４〜３．１％となり、レ
イリー波によるそれよりも充分に大きくなる。特に、規
格化膜厚が５％以上では、２％以上の電気機械結合係数
が得られる。
の本ＳＡＷ（実線）とレイリー波（破線）の電気機械結
合係数を示しており、規格化膜厚が２％以上で本ＳＡＷ
による電気機械結合係数は１．４〜３．１％となり、レ
イリー波によるそれよりも充分に大きくなる。特に、規
格化膜厚が５％以上では、２％以上の電気機械結合係数
が得られる。
【００１４】したがって、望ましくは規格化膜厚を、金
を主成分とする場合は０．２〜０．７％、アルミニウム
を主成分とする場合は２〜７％とすれば、伝搬損失が充
分低く、電気機械結合係数の大きい条件で本ＳＡＷを利
用できることがわかる。なお、シミュレーションは四ほ
う酸リチウム単結晶基板の切り出し角度及び弾性表面波
の伝搬方向がオイラ角表示で（０°、９０°、ψ）とし
て計算したが、切り出し角度が±５°程度ずれても同様
な結果を得ることができる。
を主成分とする場合は０．２〜０．７％、アルミニウム
を主成分とする場合は２〜７％とすれば、伝搬損失が充
分低く、電気機械結合係数の大きい条件で本ＳＡＷを利
用できることがわかる。なお、シミュレーションは四ほ
う酸リチウム単結晶基板の切り出し角度及び弾性表面波
の伝搬方向がオイラ角表示で（０°、９０°、ψ）とし
て計算したが、切り出し角度が±５°程度ずれても同様
な結果を得ることができる。
【００１５】
【作用】このように本発明によれば、四ほう酸リチウム
単結晶基板の切り出し角及び弾性表面波の伝搬方向がオ
イラ角表示で（−５°〜５°、８５°〜９５°、４０°
〜６５°）の範囲内になるように電極を形成したので、
伝搬速度が速く、充分な電気機械結合係数が得られ、か
つ、伝搬損失の低い弾性表面波を用いた装置を実現する
ことができる。
単結晶基板の切り出し角及び弾性表面波の伝搬方向がオ
イラ角表示で（−５°〜５°、８５°〜９５°、４０°
〜６５°）の範囲内になるように電極を形成したので、
伝搬速度が速く、充分な電気機械結合係数が得られ、か
つ、伝搬損失の低い弾性表面波を用いた装置を実現する
ことができる。
【００１６】
【実施例】本発明の一実施例による弾性表面波装置を図
９及び図１０を用いて説明する。本実施例の弾性表面波
装置は、図９に示すように、表面が（１００）面である
四ほう酸リチウム単結晶からなる圧電基板２０上に、電
極線幅λ／８のダブルインタディジタル型電極からなる
櫛形電極２２が形成されている。櫛形電極２２の放射ア
ドミッタンスから位相速度、電気機械結合定数を求め
る。
９及び図１０を用いて説明する。本実施例の弾性表面波
装置は、図９に示すように、表面が（１００）面である
四ほう酸リチウム単結晶からなる圧電基板２０上に、電
極線幅λ／８のダブルインタディジタル型電極からなる
櫛形電極２２が形成されている。櫛形電極２２の放射ア
ドミッタンスから位相速度、電気機械結合定数を求め
る。
【００１７】四ほう酸リチウム単結晶からなる圧電基板
２０上に伝搬方向がオイラ角表示で（０°、９０°、５
５°）になるように櫛形電極２２を形成する。櫛形電極
２２はアルミニウム（Ａｌ）により形成され、膜厚が３
７１．８ｎｍ（規格化膜厚＝４．６％）である。櫛形電
極２２の対数は２０対で、周期が８μｍ（電極線幅が１
μｍ）、開口長が４００μｍである。
２０上に伝搬方向がオイラ角表示で（０°、９０°、５
５°）になるように櫛形電極２２を形成する。櫛形電極
２２はアルミニウム（Ａｌ）により形成され、膜厚が３
７１．８ｎｍ（規格化膜厚＝４．６％）である。櫛形電
極２２の対数は２０対で、周期が８μｍ（電極線幅が１
μｍ）、開口長が４００μｍである。
【００１８】このような櫛形電極２２の放射アドミッタ
ンスの測定結果を図１０に示す。位相速度は放射コンダ
クタンスのピーク周波数より求めることができ、電気機
械結合係数は電極容量、対数、放射コンダクタンスのピ
ーク値及びピーク周波数より求めることができる。図１
０の測定結果から計算したところ、６６９４ｍ／ｓｅｃ
の伝搬速度、１．９％の電気機械結合係数を得ることが
でき、本ＳＡＷの存在が確認できた。これは上述のシミ
ュレーションの結果とも一致している。
ンスの測定結果を図１０に示す。位相速度は放射コンダ
クタンスのピーク周波数より求めることができ、電気機
械結合係数は電極容量、対数、放射コンダクタンスのピ
ーク値及びピーク周波数より求めることができる。図１
０の測定結果から計算したところ、６６９４ｍ／ｓｅｃ
の伝搬速度、１．９％の電気機械結合係数を得ることが
でき、本ＳＡＷの存在が確認できた。これは上述のシミ
ュレーションの結果とも一致している。
【００１９】なお、電極線幅λ／４のシングルインタデ
ィジタル型電極を用いた場合、線幅を０．５μｍにすれ
ば、本ＳＡＷを用いることにより３．３ＧＨｚもの高周
波信号に対応した弾性表面波装置を実現することができ
る。本発明は上記実施例に限らず種々の変形が可能であ
る。例えば、上記実施例では電極にアルミニウムを用い
たが、金などの他の金属を用いてもよい。
ィジタル型電極を用いた場合、線幅を０．５μｍにすれ
ば、本ＳＡＷを用いることにより３．３ＧＨｚもの高周
波信号に対応した弾性表面波装置を実現することができ
る。本発明は上記実施例に限らず種々の変形が可能であ
る。例えば、上記実施例では電極にアルミニウムを用い
たが、金などの他の金属を用いてもよい。
【００２０】
【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、四ほう酸
リチウム単結晶基板の切り出し角及び弾性表面波の伝搬
方向がオイラ角表示で（−５°〜５°、８５°〜９５
°、４０°〜６５°）の範囲内になるように電極を形成
したので、伝搬速度が速く、充分な電気機械結合係数が
得られ、かつ、伝搬損失の低い弾性表面波を利用した装
置を実現することができ、更なる高周波動作の要求に十
分対応することができる。
リチウム単結晶基板の切り出し角及び弾性表面波の伝搬
方向がオイラ角表示で（−５°〜５°、８５°〜９５
°、４０°〜６５°）の範囲内になるように電極を形成
したので、伝搬速度が速く、充分な電気機械結合係数が
得られ、かつ、伝搬損失の低い弾性表面波を利用した装
置を実現することができ、更なる高周波動作の要求に十
分対応することができる。
【図１】本発明のシミュレーションによる弾性表面波装
置の電極構造のモデルを示す図である。
置の電極構造のモデルを示す図である。
【図２】本発明による弾性表面波装置における弾性表面
波の伝搬方向を変化させた場合の位相伝搬速度のシミュ
レーション結果を示すグラフである。
波の伝搬方向を変化させた場合の位相伝搬速度のシミュ
レーション結果を示すグラフである。
【図３】本発明による弾性表面波装置における弾性表面
波の伝搬方向を変化させた場合の電気機械結合係数のシ
ミュレーション結果を示すグラフである。
波の伝搬方向を変化させた場合の電気機械結合係数のシ
ミュレーション結果を示すグラフである。
【図４】本発明による弾性表面波装置における弾性表面
波の伝搬方向を変化させた場合の伝搬損失のシミュレー
ション結果を示すグラフである。
波の伝搬方向を変化させた場合の伝搬損失のシミュレー
ション結果を示すグラフである。
【図５】本発明による弾性表面波装置における電極
（金）膜厚を変化させた場合の伝搬損失のシミュレーシ
ョン結果を示すグラフである。
（金）膜厚を変化させた場合の伝搬損失のシミュレーシ
ョン結果を示すグラフである。
【図６】本発明による弾性表面波装置における電極（ア
ルミニウム）膜厚を変化させた場合の伝搬損失のシミュ
レーション結果を示すグラフである。
ルミニウム）膜厚を変化させた場合の伝搬損失のシミュ
レーション結果を示すグラフである。
【図７】本発明による弾性表面波装置における電極
（金）膜厚を変化させた場合の電気機械結合係数のシミ
ュレーション結果を示すグラフである。
（金）膜厚を変化させた場合の電気機械結合係数のシミ
ュレーション結果を示すグラフである。
【図８】本発明による弾性表面波装置における電極（ア
ルミニウム）膜厚を変化させた場合の電気機械結合係数
のシミュレーション結果を示すグラフである。
ルミニウム）膜厚を変化させた場合の電気機械結合係数
のシミュレーション結果を示すグラフである。
【図９】本発明の一実施例による弾性表面波装置を示す
図である。
図である。
【図１０】本発明の一実施例による弾性表面波装置の放
射アドミッタンスの測定結果を示すグラフである。
射アドミッタンスの測定結果を示すグラフである。
１０…圧電基板 １２…層 １２ａ…導電性部分 １２ｂ…非導電性部分 １４…電極 １６ａ…絶縁層 １６ｂ…金属層 １８ａ…絶縁層 １８ｂ…金属層 ２０…圧電基板 ２２…櫛形電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 電子情報通信学会技術研究報告Ｖｏ ｌ．88，Ｎｏ．181、ｐ．57〜62（ＵＳ 88−40），1988年９月20日発行，特に、 「３−１ Ｙカット基板の特性」の欄 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H03H 9/25
Claims (1)
- 【請求項１】 四ほう酸リチウム単結晶基板表面に、弾
性表面波を励起、受信、反射、伝搬するための電極が形
成された弾性表面波装置において、 前記四ほう酸リチウム単結晶基板の切り出し角度及び弾
性表面波の伝搬方向がオイラ角表示で（−５°〜５°、
８５°〜９５°、４０°〜６５°）の範囲内になるよう
に前記電極が形成されており、前記電極により励起、受
信、反射、伝搬する弾性表面波の伝搬速度が６１００〜
６８００ｍ／ｓｅｃの範囲内であることを特徴とする弾
性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03154322A JP3126416B2 (ja) | 1991-06-26 | 1991-06-26 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03154322A JP3126416B2 (ja) | 1991-06-26 | 1991-06-26 | 弾性表面波装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH057124A JPH057124A (ja) | 1993-01-14 |
| JP3126416B2 true JP3126416B2 (ja) | 2001-01-22 |
Family
ID=15581608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03154322A Expired - Lifetime JP3126416B2 (ja) | 1991-06-26 | 1991-06-26 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3126416B2 (ja) |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3244094B2 (ja) * | 1992-03-13 | 2002-01-07 | キンセキ株式会社 | 弾性表面波装置 |
| JPH05259802A (ja) * | 1992-03-16 | 1993-10-08 | Japan Energy Corp | 弾性表面波装置 |
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