JPH09331229A - 弾性表面波素子 - Google Patents
弾性表面波素子Info
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- JPH09331229A JPH09331229A JP5323997A JP5323997A JPH09331229A JP H09331229 A JPH09331229 A JP H09331229A JP 5323997 A JP5323997 A JP 5323997A JP 5323997 A JP5323997 A JP 5323997A JP H09331229 A JPH09331229 A JP H09331229A
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- surface acoustic
- acoustic wave
- substrate
- cut
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ニオブ酸リチウム基板及びタンタル酸リチウ
ム基板において、従来よりも適切なカット面及び弾性表
面波伝搬方向を見出し、これによって高性能の弾性表面
波素子を提供する。 【構成】 ニオブ酸リチウムからなる圧電基板について
は、該圧電基板のカット面及び弾性表面波伝搬方向を、
オイラー角表示で(φ，θ，ψ)及びこれと実質的に等価
な範囲とするとき、０°≦φ≦８６°，７３°≦θ≦１
１８°，０°≦ψ≦４４°に設定する。
ム基板において、従来よりも適切なカット面及び弾性表
面波伝搬方向を見出し、これによって高性能の弾性表面
波素子を提供する。 【構成】 ニオブ酸リチウムからなる圧電基板について
は、該圧電基板のカット面及び弾性表面波伝搬方向を、
オイラー角表示で(φ，θ，ψ)及びこれと実質的に等価
な範囲とするとき、０°≦φ≦８６°，７３°≦θ≦１
１８°，０°≦ψ≦４４°に設定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ニオブ酸リチウム或い
はタンタル酸リチウムを圧電材料とする弾性表面波素子
の技術分野に関するものである。
はタンタル酸リチウムを圧電材料とする弾性表面波素子
の技術分野に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】携帯用電話機等の通信機器においては、
共振器フィルター、信号処理用遅延線等の回路素子とし
て、弾性表面波素子が広く応用されている。弾性表面波
素子は、例えば圧電性を有する基板の表面に簾状の電極
や格子状の反射器を形成し、電気信号と弾性表面波の相
互の変換を行なうものである。
共振器フィルター、信号処理用遅延線等の回路素子とし
て、弾性表面波素子が広く応用されている。弾性表面波
素子は、例えば圧電性を有する基板の表面に簾状の電極
や格子状の反射器を形成し、電気信号と弾性表面波の相
互の変換を行なうものである。
【０００３】一般に、弾性表面波素子の圧電基板に於い
ては、電気機械結合係数が大きいこと、伝搬損失が小さ
いこと等が要求される。
ては、電気機械結合係数が大きいこと、伝搬損失が小さ
いこと等が要求される。
【０００４】ところで、近年の通信機器の高周波化に伴
って、ギガヘルツ帯で使用可能な弾性表面波素子へのニ
ーズが高まっている。弾性表面波素子の中心周波数ｆ0
は、弾性表面波の伝搬速度Ｖと電極指周期Ｌ(＝波長λ)
との関係で、次式によって表わされる。
って、ギガヘルツ帯で使用可能な弾性表面波素子へのニ
ーズが高まっている。弾性表面波素子の中心周波数ｆ0
は、弾性表面波の伝搬速度Ｖと電極指周期Ｌ(＝波長λ)
との関係で、次式によって表わされる。
【０００５】
【数１】
【０００６】従って、弾性表面波素子の高周波化に対応
するには、より高い伝搬速度(位相速度)Ｖが得られる圧
電基板を開発する必要がある。これには、ダイヤモンド
の様な硬質の基板材料を用いる方法と、所謂漏洩弾性表
面波を利用する方法とがある。
するには、より高い伝搬速度(位相速度)Ｖが得られる圧
電基板を開発する必要がある。これには、ダイヤモンド
の様な硬質の基板材料を用いる方法と、所謂漏洩弾性表
面波を利用する方法とがある。
【０００７】特に後者の漏洩弾性表面波は、弾性体の深
さ方向にエネルギーを放射しながら表面を伝搬する弾性
波であって、使用する弾性体の表面のカット面や弾性表
面波伝搬方向を適切に選択することによって、伝搬損失
を小さくし、更に、レイリー（Rayleigh）波よりも高い
伝搬速度を実現することが可能である。
さ方向にエネルギーを放射しながら表面を伝搬する弾性
波であって、使用する弾性体の表面のカット面や弾性表
面波伝搬方向を適切に選択することによって、伝搬損失
を小さくし、更に、レイリー（Rayleigh）波よりも高い
伝搬速度を実現することが可能である。
【０００８】この種の漏洩弾性表面波を用いた弾性表面
波素子としては、水晶ＬＳＴカット、ニオブ酸リチウム
(ＬiＮbＯ3)の４１°Ｙ−Ｘカット、６４°Ｙ−Ｘカッ
ト、及びタンタル酸リチウム(ＬiＴaＯ3)の３６°Ｙ−
Ｘカットが知られている(清水康敬「弾性表面波材料の
伝搬物性と利用の現状」電子情報通信学会論文誌Ａ Vo
l.J76-A,2,pp129-137,1993)。
波素子としては、水晶ＬＳＴカット、ニオブ酸リチウム
(ＬiＮbＯ3)の４１°Ｙ−Ｘカット、６４°Ｙ−Ｘカッ
ト、及びタンタル酸リチウム(ＬiＴaＯ3)の３６°Ｙ−
Ｘカットが知られている(清水康敬「弾性表面波材料の
伝搬物性と利用の現状」電子情報通信学会論文誌Ａ Vo
l.J76-A,2,pp129-137,1993)。
【０００９】又、四硼酸リチウム(Ｌi2Ｂ4Ｏ7)基板にお
いては、速い横波の位相速度を超える漏洩弾性表面波が
報告されている(佐藤隆裕、阿部秀典「四硼酸リチウム
基板を伝搬する縦波型リーキー波」学術振150委員会第3
9回研究会資料(6.6.23))。この漏洩弾性表面波の位相速
度は、縦波の位相速度に近いので縦波型リーキー波と呼
ばれている。
いては、速い横波の位相速度を超える漏洩弾性表面波が
報告されている(佐藤隆裕、阿部秀典「四硼酸リチウム
基板を伝搬する縦波型リーキー波」学術振150委員会第3
9回研究会資料(6.6.23))。この漏洩弾性表面波の位相速
度は、縦波の位相速度に近いので縦波型リーキー波と呼
ばれている。
【００１０】更に、任意のカット面を有するニオブ酸リ
チウム基板を伝搬する漏洩弾性表面波については既に報
告されている(清水康敬、村上享司「ＬiＮbＯ3基板漏洩
弾性表面波の特性と新カット」Vol.J69-C,10,pp1309-13
18,1986)。
チウム基板を伝搬する漏洩弾性表面波については既に報
告されている(清水康敬、村上享司「ＬiＮbＯ3基板漏洩
弾性表面波の特性と新カット」Vol.J69-C,10,pp1309-13
18,1986)。
【００１１】近年、ここにきて従来にあっては、タンタ
ル酸リチウム基板およびニオブ酸リチウム基板で得られ
る位相速度が精々約４４００ｍ／ｓであったものが、約
７０００ｍ／ｓを越える位相速度が得られるような従来
よりも良好なカット面及び弾性表面波伝搬方向を本願発
明者等は見出し、従来よりも高性能な弾性表面波素子を
提案している（第１５回超音波エレクトロニクスの基礎
と応用に関するシンポジウムｐ．１８５（平成６年１１
月２９日））。
ル酸リチウム基板およびニオブ酸リチウム基板で得られ
る位相速度が精々約４４００ｍ／ｓであったものが、約
７０００ｍ／ｓを越える位相速度が得られるような従来
よりも良好なカット面及び弾性表面波伝搬方向を本願発
明者等は見出し、従来よりも高性能な弾性表面波素子を
提案している（第１５回超音波エレクトロニクスの基礎
と応用に関するシンポジウムｐ．１８５（平成６年１１
月２９日））。
【００１２】本発明者等が提案する漏洩弾性表面波は、
ニオブ酸リチウム基板及びタンタル酸リチウム基板にお
ける漏洩弾性表面波の伝搬特性を、カット面及び弾性表
面波伝搬方向を種々に変えることによって理論的に研究
した結果によるもので、２つのタイプの漏洩弾性表面
波、つまり遅い横波と速い横波との間の位相速度を持つ
第１漏洩表面波（First Leaky Wave）と、速い横波を越
える位相速度を持つ第２漏洩表面波（Second Leaky Wav
e）を見出したものである。
ニオブ酸リチウム基板及びタンタル酸リチウム基板にお
ける漏洩弾性表面波の伝搬特性を、カット面及び弾性表
面波伝搬方向を種々に変えることによって理論的に研究
した結果によるもので、２つのタイプの漏洩弾性表面
波、つまり遅い横波と速い横波との間の位相速度を持つ
第１漏洩表面波（First Leaky Wave）と、速い横波を越
える位相速度を持つ第２漏洩表面波（Second Leaky Wav
e）を見出したものである。
【００１３】ここで、本願発明を説明するに先立って、
すでに発明者等が提案しているこれら漏洩表面波のうち
本願発明との特性面での比較が可能な第２漏洩表面波に
ついて簡単に説明すると、まず第１には、タンタル酸リ
チウムからなる圧電基板上に電極を形成した弾性表面波
素子であって、該圧電基板のカット面及び弾性表面波伝
搬方向を、右手系のオイラー角表示で(φ，θ，ψ)及び
これと実質的に等価な範囲とするとき、φを９０°、θ
を９０°、ψを０°〜１８０°の範囲としたものであ
る。
すでに発明者等が提案しているこれら漏洩表面波のうち
本願発明との特性面での比較が可能な第２漏洩表面波に
ついて簡単に説明すると、まず第１には、タンタル酸リ
チウムからなる圧電基板上に電極を形成した弾性表面波
素子であって、該圧電基板のカット面及び弾性表面波伝
搬方向を、右手系のオイラー角表示で(φ，θ，ψ)及び
これと実質的に等価な範囲とするとき、φを９０°、θ
を９０°、ψを０°〜１８０°の範囲としたものであ
る。
【００１４】そして、第２には、ニオブ酸リチウムから
なる圧電基板上に電極を形成したものにあっては、該圧
電基板のカット面及び弾性表面波伝搬方向を、オイラー
角表示で(φ，θ，ψ)及びこれと実質的に等価な範囲と
するとき、φを９０°、θを９０°、ψを０°〜１８０
°の範囲に設定したものである。
なる圧電基板上に電極を形成したものにあっては、該圧
電基板のカット面及び弾性表面波伝搬方向を、オイラー
角表示で(φ，θ，ψ)及びこれと実質的に等価な範囲と
するとき、φを９０°、θを９０°、ψを０°〜１８０
°の範囲に設定したものである。
【００１５】但し、ここで使用するカット面及び弾性表
面波伝搬方向を特定するためのオイラー角(φ，θ，ψ)
については、図９で示す如く結晶軸をＸ、Ｙ、Ｚとする
とき、Ｚ軸を中心としてＸ軸をＹ軸側へ角度φだけ回転
させて、これをＡ１軸とし、次にＡ１軸を中心としてＺ
軸を反時計回りに角度θだけ回転させ、これをＡ２軸と
する。このＡ２軸を法線としてＡ１軸を含む面方位でカ
ットし、基板とする。そして、該面方位にカットした基
板において、Ａ２軸を中心としてＡ１軸を反時計回りに
角度ψだけ回転させた軸をＡ３軸とし、このＡ３軸を弾
性表面波伝搬方向とする。斯る関係をカット面及び弾性
表面波伝搬方向をオイラー角(φ，θ，ψ)と表示してい
る。
面波伝搬方向を特定するためのオイラー角(φ，θ，ψ)
については、図９で示す如く結晶軸をＸ、Ｙ、Ｚとする
とき、Ｚ軸を中心としてＸ軸をＹ軸側へ角度φだけ回転
させて、これをＡ１軸とし、次にＡ１軸を中心としてＺ
軸を反時計回りに角度θだけ回転させ、これをＡ２軸と
する。このＡ２軸を法線としてＡ１軸を含む面方位でカ
ットし、基板とする。そして、該面方位にカットした基
板において、Ａ２軸を中心としてＡ１軸を反時計回りに
角度ψだけ回転させた軸をＡ３軸とし、このＡ３軸を弾
性表面波伝搬方向とする。斯る関係をカット面及び弾性
表面波伝搬方向をオイラー角(φ，θ，ψ)と表示してい
る。
【００１６】図１０及び図１１は、前記第１のタンタル
酸リチウム基板の(９０°，９０°，ψ)カットにおい
て、表面が電気的開放及び電気的短絡の各場合における
第２漏洩表面波の伝搬特性を角度ψの関数として表わし
たもので、図１０に示す様に、第２漏洩表面波の位相速
度は、表面が開放、短絡の何れの場合にも約６０００ｍ
／ｓと、レイリー波の約２倍の高い位相速度を有し、縦
波（Longitudinal）の位相速度に非常に近くなってい
る。
酸リチウム基板の(９０°，９０°，ψ)カットにおい
て、表面が電気的開放及び電気的短絡の各場合における
第２漏洩表面波の伝搬特性を角度ψの関数として表わし
たもので、図１０に示す様に、第２漏洩表面波の位相速
度は、表面が開放、短絡の何れの場合にも約６０００ｍ
／ｓと、レイリー波の約２倍の高い位相速度を有し、縦
波（Longitudinal）の位相速度に非常に近くなってい
る。
【００１７】更に 図１１によれば、電気機械結合係数
及び１波長当たりの伝搬損失を表わしている。図示の如
く、ψが３１°にて、電気機械結合係数Ｋ2は最大値２.
１４％となっている。又、表面が電気的開放の場合にお
ける伝搬損失は、電気的短絡の場合における伝搬損失よ
りも非常に小さい。そして、表面が開放及び短絡の両場
合において、伝搬損失は、ψが１６４°にて略零となっ
ている。
及び１波長当たりの伝搬損失を表わしている。図示の如
く、ψが３１°にて、電気機械結合係数Ｋ2は最大値２.
１４％となっている。又、表面が電気的開放の場合にお
ける伝搬損失は、電気的短絡の場合における伝搬損失よ
りも非常に小さい。そして、表面が開放及び短絡の両場
合において、伝搬損失は、ψが１６４°にて略零となっ
ている。
【００１８】また、一方、前記第２のニオブ酸リチウム
基板の(９０°，９０°，ψ)カットにおいて、表面が電
気的開放及び電気的短絡の各場合における第２漏洩表面
波の伝搬特性を角度ψの関数として表わしたものが図１
２及び図１３である。
基板の(９０°，９０°，ψ)カットにおいて、表面が電
気的開放及び電気的短絡の各場合における第２漏洩表面
波の伝搬特性を角度ψの関数として表わしたものが図１
２及び図１３である。
【００１９】これらが示す様に、第２漏洩表面波の位相
速度は約７０００ｍ／ｓと、極めて高速であり、レイリ
ー波の位相速度の約２倍となり、又その一方で第２漏洩
弾性表面波の位相速度は、電気的開放の場合と電気的短
絡の場合で異なる変化を示しており、ψが３７°では約
５００ｍ／ｓの違いがあり、この結果、大きな機械電気
結合係数が得られる。
速度は約７０００ｍ／ｓと、極めて高速であり、レイリ
ー波の位相速度の約２倍となり、又その一方で第２漏洩
弾性表面波の位相速度は、電気的開放の場合と電気的短
絡の場合で異なる変化を示しており、ψが３７°では約
５００ｍ／ｓの違いがあり、この結果、大きな機械電気
結合係数が得られる。
【００２０】尚、、前述した第２の弾性表面波、及び後
述する本願発明においても、弾性表面波素子の特性評価
方法としては、従来から知られている一般的な解法(例
えば、J.J.Campbell, W.R.Jones,”A Method for Estim
ating Optimal Crystal Cutsand Propagation Directio
ns for Excitation of Piezoelectric Surface Wave
s”, IEEE transaction on Sonics and Ultrasonics, v
ol.SU-15, No.4, pp209-217,(1968)参照)を採用し、コ
ンピュータシミュレーションによって、位相速度、 電
気機械結合係数及び伝搬損失を算出した。
述する本願発明においても、弾性表面波素子の特性評価
方法としては、従来から知られている一般的な解法(例
えば、J.J.Campbell, W.R.Jones,”A Method for Estim
ating Optimal Crystal Cutsand Propagation Directio
ns for Excitation of Piezoelectric Surface Wave
s”, IEEE transaction on Sonics and Ultrasonics, v
ol.SU-15, No.4, pp209-217,(1968)参照)を採用し、コ
ンピュータシミュレーションによって、位相速度、 電
気機械結合係数及び伝搬損失を算出した。
【００２１】そして又、本願発明にあっても、最適なカ
ット面及び弾性表面波伝搬方向については、実際に弾性
表面波素子を試作して、その特性を実測したところ、シ
ミュレーション結果と符合する測定値が得られた。これ
によって、コンピュータシミュレーションの妥当性が裏
付けられる。
ット面及び弾性表面波伝搬方向については、実際に弾性
表面波素子を試作して、その特性を実測したところ、シ
ミュレーション結果と符合する測定値が得られた。これ
によって、コンピュータシミュレーションの妥当性が裏
付けられる。
【００２２】
【発明が解決しようとする課題】然し乍ら、本発明者等
は、これら第２弾性表面波には、更に高い位相速度であ
って、且つ伝搬損失の少なく、然も大きな電気機械結合
係数が得られる最適なカット面及び弾性表面波伝搬方向
が存在する可能性があるものと、鋭意研究の結果、これ
を発明したものである。
は、これら第２弾性表面波には、更に高い位相速度であ
って、且つ伝搬損失の少なく、然も大きな電気機械結合
係数が得られる最適なカット面及び弾性表面波伝搬方向
が存在する可能性があるものと、鋭意研究の結果、これ
を発明したものである。
【００２３】本発明の目的は、ニオブ酸リチウム基板及
びタンタル酸リチウム基板において、これまでよりもよ
り適切なカット面及び弾性表面波伝搬方向を見出し、こ
れによって高性能の弾性表面波素子を提供することであ
る。
びタンタル酸リチウム基板において、これまでよりもよ
り適切なカット面及び弾性表面波伝搬方向を見出し、こ
れによって高性能の弾性表面波素子を提供することであ
る。
【００２４】
【課題を解決するための手段】本発明における第１の弾
性表面波素子は、ニオブ酸リチウムからなる圧電基板上
に電極を形成したものであって、該圧電基板のカット面
及び弾性表面波伝搬方向を、右手系のオイラー角表示で
(φ，θ，ψ)及びこれと実質的に等価な範囲とすると
き、０°≦φ≦８６°，７３°≦θ≦１１８°，０°≦
ψ≦４４°に設定し、更には９５°≦φ≦１８０°，７
３°≦θ≦１１８°，０°≦ψ≦４４°に設定する。
性表面波素子は、ニオブ酸リチウムからなる圧電基板上
に電極を形成したものであって、該圧電基板のカット面
及び弾性表面波伝搬方向を、右手系のオイラー角表示で
(φ，θ，ψ)及びこれと実質的に等価な範囲とすると
き、０°≦φ≦８６°，７３°≦θ≦１１８°，０°≦
ψ≦４４°に設定し、更には９５°≦φ≦１８０°，７
３°≦θ≦１１８°，０°≦ψ≦４４°に設定する。
【００２５】更に、前記オイラー角表示で０°≦φ≦８
３°，８３°≦θ≦１０５°，０°≦ψ≦３８°に設定
し、具体的には、９８°≦φ１８０°，８３°≦θ≦１
０５°，０°≦ψ≦３８°に設定する。
３°，８３°≦θ≦１０５°，０°≦ψ≦３８°に設定
し、具体的には、９８°≦φ１８０°，８３°≦θ≦１
０５°，０°≦ψ≦３８°に設定する。
【００２６】本発明に係る第２の弾性表面波素子は、タ
ンタル酸リチウムからなる圧電基板上に電極を形成した
ものであって、該圧電基板のカット面及び弾性表面波伝
搬方向を、オイラー角表示で(φ，θ，ψ)及びこれと実
質的に等価な範囲とするとき、０°≦φ≦８７°，８０
°≦θ≦１２０°，０°≦ψ≦４４°に設定したことを
特徴とする。
ンタル酸リチウムからなる圧電基板上に電極を形成した
ものであって、該圧電基板のカット面及び弾性表面波伝
搬方向を、オイラー角表示で(φ，θ，ψ)及びこれと実
質的に等価な範囲とするとき、０°≦φ≦８７°，８０
°≦θ≦１２０°，０°≦ψ≦４４°に設定したことを
特徴とする。
【００２７】より具体的には、前記圧電基板のカット面
及び弾性表面波伝搬方向を、９１°≦φ≦１８０°，８
０°≦θ≦１２９°，０°≦ψ≦４４°に設定する。
及び弾性表面波伝搬方向を、９１°≦φ≦１８０°，８
０°≦θ≦１２９°，０°≦ψ≦４４°に設定する。
【００２８】更に、前記オイラー角表示で、０°≦φ≦
８５°，８７°≦θ≦１１４°，０°≦ψ≦３６°とし
たことであり、より具体的には、９３°≦φ≦１８０
°，８７°≦θ≦１１４°，０°≦ψ≦３６°に設定し
たことにある。
８５°，８７°≦θ≦１１４°，０°≦ψ≦３６°とし
たことであり、より具体的には、９３°≦φ≦１８０
°，８７°≦θ≦１１４°，０°≦ψ≦３６°に設定し
たことにある。
【００２９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態につ
き、図面に沿って詳述する。
き、図面に沿って詳述する。
【００３０】ニオブ酸リチウム基板における第１漏洩弾
性表面波図１は及び図２は、ＬｉＮｂＯ3基板（φ，
θ，３７°）カットにおいて、φが８２°及び９０°夫
々の場合において、θを変化させたときの第２漏洩弾性
表面波の伝搬特性である。
性表面波図１は及び図２は、ＬｉＮｂＯ3基板（φ，
θ，３７°）カットにおいて、φが８２°及び９０°夫
々の場合において、θを変化させたときの第２漏洩弾性
表面波の伝搬特性である。
【００３１】図１は、θに対する位相速度及び電気機械
結合係数Ｋ2を、図２は、θに対する伝搬損失を示して
いる。
結合係数Ｋ2を、図２は、θに対する伝搬損失を示して
いる。
【００３２】これら図によれば、φをパラメータとして
９０°から８２°へと変化させると、伝搬特性は連続的
に変化し推移するものの、更にφが８２°を下回ると第
２漏洩弾性表面波は存在しなくなる。これは、本願発明
が利用せんとする第２漏洩弾性表面波とは異なったモー
ドに変化するためであり、コンピュータシミュレーショ
ン上では、解が存在しないとして現れる。
９０°から８２°へと変化させると、伝搬特性は連続的
に変化し推移するものの、更にφが８２°を下回ると第
２漏洩弾性表面波は存在しなくなる。これは、本願発明
が利用せんとする第２漏洩弾性表面波とは異なったモー
ドに変化するためであり、コンピュータシミュレーショ
ン上では、解が存在しないとして現れる。
【００３３】従って、図２から、ψを３７°とした場合
にあっては、φが８２°とした場合、θの広い範囲でも
っとも伝搬損失を低減させることが可能であり、とりわ
けθが９２°付近にあっては最も伝搬損失が小さくなる
ことが分かる。
にあっては、φが８２°とした場合、θの広い範囲でも
っとも伝搬損失を低減させることが可能であり、とりわ
けθが９２°付近にあっては最も伝搬損失が小さくなる
ことが分かる。
【００３４】即ち、伝搬損失として、０．０５ｄＢ／λ
以下の条件を満たすものとしては、θは、７３°以上１
１８°以下とすることが好ましいことが分かる。更に、
好適なものとしては、０．０２ｄＢ／λ以下の条件とす
る場合としては、θは、８３°以上１０５°以下とする
ことが好ましいことが分かる。
以下の条件を満たすものとしては、θは、７３°以上１
１８°以下とすることが好ましいことが分かる。更に、
好適なものとしては、０．０２ｄＢ／λ以下の条件とす
る場合としては、θは、８３°以上１０５°以下とする
ことが好ましいことが分かる。
【００３５】斯る伝搬特性を考慮して、θを９２°、ψ
を３７°として、即ちＬｉＮｂＯ3基板（φ，９２°，
３７°）カットにおいて、φを変化させた場合の伝搬損
失特性を示したのが図３である。同図によれば、φを７
０°から１１０°まで変化させると、約８０°以下と約
１００°以上においては損失はないものの、約８０°以
上約１００°以下ではφが９１°で最大値となるような
伝搬損失を示すことが分かる。
を３７°として、即ちＬｉＮｂＯ3基板（φ，９２°，
３７°）カットにおいて、φを変化させた場合の伝搬損
失特性を示したのが図３である。同図によれば、φを７
０°から１１０°まで変化させると、約８０°以下と約
１００°以上においては損失はないものの、約８０°以
上約１００°以下ではφが９１°で最大値となるような
伝搬損失を示すことが分かる。
【００３６】従って、同図から伝搬損失として、０．０
５ｄＢ／λ以下の条件を満たすものとしては、φは、８
６°以下または９６°以上とすることが好ましいことが
分かる。更に、好適なものとしては、０．０２ｄＢ／λ
以下の条件とする場合としては、φは、８３°以下また
は９８°以上とすることが好ましいことが分かる。
５ｄＢ／λ以下の条件を満たすものとしては、φは、８
６°以下または９６°以上とすることが好ましいことが
分かる。更に、好適なものとしては、０．０２ｄＢ／λ
以下の条件とする場合としては、φは、８３°以下また
は９８°以上とすることが好ましいことが分かる。
【００３７】以上の特性を考慮して、次にＬｉＮｂＯ3
基板（８２°，９２°，ψ）カットにおいて、ψを変化
させた場合の伝搬損失特性を示したのが図４である。同
図によれば、伝搬損失はψを３０°から６０°まで変化
させるにつれて、ψが約３５°となる近傍から単調に増
加することが分かる。
基板（８２°，９２°，ψ）カットにおいて、ψを変化
させた場合の伝搬損失特性を示したのが図４である。同
図によれば、伝搬損失はψを３０°から６０°まで変化
させるにつれて、ψが約３５°となる近傍から単調に増
加することが分かる。
【００３８】従って、同図によれば、伝搬損失が０．０
５ｄＢ／λ以下となる条件を満たすものとしては、ψ
は、４４°以下とすることが好ましいく、更に、好適な
伝搬損失が０．０２ｄＢ／λ以下となる場合としては、
ψは、３８°以下とすることが好ましい。 ＜タンタル酸リチウム基板における第２漏洩弾性表面波
＞図５は、ＬｉＴａＯ3基板（８５°，θ，３１°）カ
ットにおいて、θを変化させた場合の伝搬損失特性を示
したものである。同図によれば、伝搬損失は、θが６０
°から９０°近辺にまで増加するにつれて漸次減少し、
９０°以上１１０°以下では伝搬損失がゼロを示してい
る。そして、１１０°以上では損失の増加傾向を示して
いる。同図にはφをパラメータとして変化させた場合の
伝搬損失の変化を示しており、ニオブ酸リチウムと同様
に連続的に変化していることが分かる。
５ｄＢ／λ以下となる条件を満たすものとしては、ψ
は、４４°以下とすることが好ましいく、更に、好適な
伝搬損失が０．０２ｄＢ／λ以下となる場合としては、
ψは、３８°以下とすることが好ましい。 ＜タンタル酸リチウム基板における第２漏洩弾性表面波
＞図５は、ＬｉＴａＯ3基板（８５°，θ，３１°）カ
ットにおいて、θを変化させた場合の伝搬損失特性を示
したものである。同図によれば、伝搬損失は、θが６０
°から９０°近辺にまで増加するにつれて漸次減少し、
９０°以上１１０°以下では伝搬損失がゼロを示してい
る。そして、１１０°以上では損失の増加傾向を示して
いる。同図にはφをパラメータとして変化させた場合の
伝搬損失の変化を示しており、ニオブ酸リチウムと同様
に連続的に変化していることが分かる。
【００３９】従って、同図によれば、伝搬損失が０．０
０５ｄＢ／λ以下となる条件としては、θが８０°以上
１２０°以下とするのが好ましく、より好ましい０．０
０２ｄＢ／λ以下のなる条件としては、θが８７°以上
１１４°以下の範囲に設定することが好ましい。
０５ｄＢ／λ以下となる条件としては、θが８０°以上
１２０°以下とするのが好ましく、より好ましい０．０
０２ｄＢ／λ以下のなる条件としては、θが８７°以上
１１４°以下の範囲に設定することが好ましい。
【００４０】斯様な伝搬特性を考慮して、θを９１°、
ψを３１°として、即ちＬｉＴａＯ３基板（φ，９１
°，３１°）カットにおいて、φを８０°から１００°
まで変化させたものが図６である。同図によれば、φが
約８３°以上約９５°以下の範囲では、約８９°で最大
となる伝搬損失特性を呈することが分かる。
ψを３１°として、即ちＬｉＴａＯ３基板（φ，９１
°，３１°）カットにおいて、φを８０°から１００°
まで変化させたものが図６である。同図によれば、φが
約８３°以上約９５°以下の範囲では、約８９°で最大
となる伝搬損失特性を呈することが分かる。
【００４１】従って、伝搬損失として、０．００５ｄＢ
／λ以下の条件を満たすには、φは、８７°以下または
９１°以上とすることが好ましいことが分かる。更に、
好適な０．００２ｄＢ／λ以下の条件とする場合として
は、φは、８５°以下または９３°以上とすることが好
ましい。
／λ以下の条件を満たすには、φは、８７°以下または
９１°以上とすることが好ましいことが分かる。更に、
好適な０．００２ｄＢ／λ以下の条件とする場合として
は、φは、８５°以下または９３°以上とすることが好
ましい。
【００４２】斯る特性を考慮し、次にＬｉＴａＯ3基板
（８５°，９１°，ψ）カットにおいて、ψを２０°か
ら６０°まで変化させた場合の伝搬損失特性を示したの
が図７である。同図は、伝搬損失がψが約３０°近傍か
ら単調に増加することを示しており、伝搬損失が０．０
０５ｄＢ／λ以下となる条件を満たすものとしては、ψ
は、４４°以下とすることが好ましく、更に、好適な伝
搬損失が０．００２ｄＢ／λ以下となる場合としては、
ψは、３６°以下とすることが好ましい。
（８５°，９１°，ψ）カットにおいて、ψを２０°か
ら６０°まで変化させた場合の伝搬損失特性を示したの
が図７である。同図は、伝搬損失がψが約３０°近傍か
ら単調に増加することを示しており、伝搬損失が０．０
０５ｄＢ／λ以下となる条件を満たすものとしては、ψ
は、４４°以下とすることが好ましく、更に、好適な伝
搬損失が０．００２ｄＢ／λ以下となる場合としては、
ψは、３６°以下とすることが好ましい。
【００４３】本願発明と、前述した本発明者等が提案し
た第２漏洩表面波とを比較したのが表１である。同表に
は、本願発明のＬｉＮｂＯ3の伝搬特性の代表値とし
て、（８２°，９２°，３７°）カットにおける特性
と、すでに提案した（９０°，９０°，３７°）カット
の特性を示している。これに示すように、位相速度及び
電気機械結合係数の値は、殆ど同程度であるものの、伝
搬損失は本願発明では２０分の１と小さくなっている。
また同表には、ＴＣＤ（遅延特性の温度特性）及びＰＦ
Ａ（パワーフロー角）についても併せて示しているが、
いずれも本願発明は同程度の値であり、他の特性を劣化
させることなく、伝搬損失を低減することができている
ことが分かる。
た第２漏洩表面波とを比較したのが表１である。同表に
は、本願発明のＬｉＮｂＯ3の伝搬特性の代表値とし
て、（８２°，９２°，３７°）カットにおける特性
と、すでに提案した（９０°，９０°，３７°）カット
の特性を示している。これに示すように、位相速度及び
電気機械結合係数の値は、殆ど同程度であるものの、伝
搬損失は本願発明では２０分の１と小さくなっている。
また同表には、ＴＣＤ（遅延特性の温度特性）及びＰＦ
Ａ（パワーフロー角）についても併せて示しているが、
いずれも本願発明は同程度の値であり、他の特性を劣化
させることなく、伝搬損失を低減することができている
ことが分かる。
【００４４】
【表１】
【００４５】因みに、図８は、同表に示したＴＣＤ及び
ＰＦＡについてのθとの関係を示したものであり、ＴＣ
Ｄに関しては、θが８５°近傍で、極小値（約６８ppm
／℃）を持ち、ＰＦＡにあっては、θが６０°から７５
°近傍まで、ほぼゼロの値を保ち、約７５°以上では、
ゆるやかに増加傾向を示す。
ＰＦＡについてのθとの関係を示したものであり、ＴＣ
Ｄに関しては、θが８５°近傍で、極小値（約６８ppm
／℃）を持ち、ＰＦＡにあっては、θが６０°から７５
°近傍まで、ほぼゼロの値を保ち、約７５°以上では、
ゆるやかに増加傾向を示す。
【００４６】尚、図１乃至図８に示す特性は、コンピュ
ータシミュレーションによるものであるが、本実施例で
採用した前述の特性評価手法に、例えば弾性表面波素子
のモデル化に伴う多少の誤差があったとしても、その誤
差は図１乃至図８のグラフの横軸方向には殆ど発生しな
いと考えられる。然も、本発明に係る第２漏洩表面波と
従来のレイリー波とを比較する上では、両者に同じ大き
さの誤差が含まれるから、上述の比較結果に影響はない
と言える。
ータシミュレーションによるものであるが、本実施例で
採用した前述の特性評価手法に、例えば弾性表面波素子
のモデル化に伴う多少の誤差があったとしても、その誤
差は図１乃至図８のグラフの横軸方向には殆ど発生しな
いと考えられる。然も、本発明に係る第２漏洩表面波と
従来のレイリー波とを比較する上では、両者に同じ大き
さの誤差が含まれるから、上述の比較結果に影響はない
と言える。
【００４７】上述の如く、本発明では、ニオブ酸リチウ
ム基板及びタンタル酸リチウム基板における第２漏洩表
面波を理論的に研究した結果、これらの基板について夫
々、最適なカット面及び弾性表面波伝搬方向を見出し、
これによって、伝搬損失が小さく且つ高い周波数帯域に
対応可能な弾性表面波素子を完成した。
ム基板及びタンタル酸リチウム基板における第２漏洩表
面波を理論的に研究した結果、これらの基板について夫
々、最適なカット面及び弾性表面波伝搬方向を見出し、
これによって、伝搬損失が小さく且つ高い周波数帯域に
対応可能な弾性表面波素子を完成した。
【００４８】このように、本発明の第１の弾性表面波素
子に於いては、ニオブ酸リチウム基板のカット面及び弾
性表面波伝搬方向を、オイラー角表示で(φ，θ，ψ)及
びこれと実質的に等価な範囲とするとき、０°≦φ≦８
６°，７３°≦θ≦１１８°，０°≦ψ≦４４°に設定
することにより、又９５°≦φ≦１８０°，７３°≦θ
≦１１８°，０°≦ψ≦４４°に設定することにより、
従来と比べ、位相速度や電気機械結合係数を劣化させる
ことなく、伝搬損失を０．０５ｄＢ／λ以下とすること
ができ、さらに０°≦φ≦８３°，８３°≦θ≦１０５
°，０°≦ψ≦３８°に設定することにより、又９８°
≦φ≦１８０°，８３°≦θ≦１０５°，０°≦ψ≦３
８°に設定することにより、従来と比べ、位相速度や電
気機械結合係数を劣化させることなく、伝搬損失を０．
０２ｄＢ／λ以下とすることができる。
子に於いては、ニオブ酸リチウム基板のカット面及び弾
性表面波伝搬方向を、オイラー角表示で(φ，θ，ψ)及
びこれと実質的に等価な範囲とするとき、０°≦φ≦８
６°，７３°≦θ≦１１８°，０°≦ψ≦４４°に設定
することにより、又９５°≦φ≦１８０°，７３°≦θ
≦１１８°，０°≦ψ≦４４°に設定することにより、
従来と比べ、位相速度や電気機械結合係数を劣化させる
ことなく、伝搬損失を０．０５ｄＢ／λ以下とすること
ができ、さらに０°≦φ≦８３°，８３°≦θ≦１０５
°，０°≦ψ≦３８°に設定することにより、又９８°
≦φ≦１８０°，８３°≦θ≦１０５°，０°≦ψ≦３
８°に設定することにより、従来と比べ、位相速度や電
気機械結合係数を劣化させることなく、伝搬損失を０．
０２ｄＢ／λ以下とすることができる。
【００４９】上記第２の弾性表面波素子に於いては、タ
ンタル酸リチウム基板のカット面及び弾性表面波伝搬方
向を、オイラー角表示で(φ，θ，ψ)及びこれと実質的
に等価な範囲とするとき、０°≦φ≦８７°，８０°≦
θ≦１２０°，０°≦ψ≦４４°に設定することによ
り、又９１°≦φ≦１８０°，８０°≦θ≦１２０°，
０°≦ψ≦４４°に設定することにより、従来と比べ、
位相速度や電気機械結合係数を劣化させることなく、伝
搬損失を０．００５ｄＢ／λ以下とすることができ、さ
らに０°≦φ≦８５°，８７°≦θ≦１１４°，０°≦
ψ≦３６°に設定することにより、又９３°≦φ≦１８
０°，８７°≦θ≦１１４°，０°≦ψ≦３６°に設定
することにより、従来と比べ、位相速度や電気機械結合
係数を劣化させることなく、伝搬損失を０．００２ｄＢ
／λ以下とすることができる。
ンタル酸リチウム基板のカット面及び弾性表面波伝搬方
向を、オイラー角表示で(φ，θ，ψ)及びこれと実質的
に等価な範囲とするとき、０°≦φ≦８７°，８０°≦
θ≦１２０°，０°≦ψ≦４４°に設定することによ
り、又９１°≦φ≦１８０°，８０°≦θ≦１２０°，
０°≦ψ≦４４°に設定することにより、従来と比べ、
位相速度や電気機械結合係数を劣化させることなく、伝
搬損失を０．００５ｄＢ／λ以下とすることができ、さ
らに０°≦φ≦８５°，８７°≦θ≦１１４°，０°≦
ψ≦３６°に設定することにより、又９３°≦φ≦１８
０°，８７°≦θ≦１１４°，０°≦ψ≦３６°に設定
することにより、従来と比べ、位相速度や電気機械結合
係数を劣化させることなく、伝搬損失を０．００２ｄＢ
／λ以下とすることができる。
【００５０】上記実施例の説明は、本発明を説明するた
めのものであって、特許請求の範囲に記載の発明を限定
し、或は範囲を減縮する様に解すべきではない。又、本
発明の各部構成は上記実施例に限らず、特許請求の範囲
に記載の技術的範囲内で種々の変形が可能であることは
勿論である。
めのものであって、特許請求の範囲に記載の発明を限定
し、或は範囲を減縮する様に解すべきではない。又、本
発明の各部構成は上記実施例に限らず、特許請求の範囲
に記載の技術的範囲内で種々の変形が可能であることは
勿論である。
【００５１】
【発明の効果】本発明によれば、ニオブ酸リチウム基板
及びタンタル酸リチウム基板においてカット面及び弾性
表面波伝搬方向が適切に設定されて、高い位相速度と大
きな電気機械結合係数を保持したままで、伝搬損失を十
分に低減させることができる。
及びタンタル酸リチウム基板においてカット面及び弾性
表面波伝搬方向が適切に設定されて、高い位相速度と大
きな電気機械結合係数を保持したままで、伝搬損失を十
分に低減させることができる。
【図１】(φ，θ，３７°)カットのニオブ酸リチウム基
板を有する弾性表面波素子の位相速度及び電気機械結合
係数についての特性を表わす特性図である。
板を有する弾性表面波素子の位相速度及び電気機械結合
係数についての特性を表わす特性図である。
【図２】(φ，θ，３７°)カットのニオブ酸リチウム基
板を有する弾性表面波素子の伝搬損失のθ依存性を示す
特性図である。
板を有する弾性表面波素子の伝搬損失のθ依存性を示す
特性図である。
【図３】(φ，９２°，３７°)カットのニオブ酸リチウ
ム基板を有する弾性表面波素子の伝搬損失のφ依存性を
示す特性図である。
ム基板を有する弾性表面波素子の伝搬損失のφ依存性を
示す特性図である。
【図４】(８２°，９２°，ψ)カットのニオブ酸リチウ
ム基板を有する弾性表面波素子の伝搬損失のψ依存性を
示す特性図である。
ム基板を有する弾性表面波素子の伝搬損失のψ依存性を
示す特性図である。
【図５】(８５°，θ，３１°)カットのタンタル酸リチ
ウム基板を有する弾性表面波素子の伝搬損失のθ依存性
を示す特性図である。
ウム基板を有する弾性表面波素子の伝搬損失のθ依存性
を示す特性図である。
【図６】(φ，９１°，３１°)カットのタンタル酸リチ
ウム基板を有する弾性表面波素子の伝搬損失のφ依存性
を示す特性図である。
ウム基板を有する弾性表面波素子の伝搬損失のφ依存性
を示す特性図である。
【図７】(８５°，９１°，ψ)カットのタンタル酸リチ
ウム基板を有する弾性表面波素子の伝搬損失のψ依存性
を示す特性図である。
ウム基板を有する弾性表面波素子の伝搬損失のψ依存性
を示す特性図である。
【図８】ＰＦＡ及びＴＣＤのθに対する依存性を示す特
性図である。
性図である。
【図９】オイラー角表示を説明する図である。
【図１０】（９０°，９０°，ψ）カットのタンタル酸
リチウム基板を有する弾性表面波素子の伝搬損失のψ依
存性を示す特性図である。
リチウム基板を有する弾性表面波素子の伝搬損失のψ依
存性を示す特性図である。
【図１１】同上の電気機械結合係数及び伝搬損失につい
ての特性を表す特性図である。
ての特性を表す特性図である。
【図１２】（９０°，９０°，ψ）カットのニオブ酸リ
チウム基板を有する弾性表面波素子の伝搬損失のψ依存
性を示す特性図である。
チウム基板を有する弾性表面波素子の伝搬損失のψ依存
性を示す特性図である。
【図１３】同上の電気機械結合係数及び伝搬損失につい
ての特性を示す特性図である。
ての特性を示す特性図である。
Claims (8)
- 【請求項１】 ニオブ酸リチウムからなる圧電基板上
に、弾性表面波を伝搬させるための電極を形成した弾性
表面波素子に於いて、該圧電基板のカット面及び弾性表
面波伝搬方向を、オイラー角表示で(φ，θ，ψ)及びこ
れと実質的に等価な範囲とするとき、これらφ、θ及び
ψを夫々、 ０°≦φ≦８６° ７３°≦θ≦１１８° ０°≦ψ≦４４° の範囲に設定したことを特徴とする弾性表面波素子。 - 【請求項２】 前記圧電基板のカット面及び弾性表面波
伝搬方向を、 ９５°≦φ≦１８０° ７３°≦θ≦１１８° ０°≦ψ≦４４° の範囲に設定したことを特徴とする請求項１に記載の弾
性表面波素子。 - 【請求項３】 ニオブ酸リチウムからなる圧電基板上
に、弾性表面波を伝搬させるための電極を形成した弾性
表面波素子に於いて、該圧電基板のカット面及び弾性表
面波伝搬方向を、オイラー角表示で(φ，θ，ψ)及びこ
れと実質的に等価な範囲とするとき、これらφ、θ及び
ψを夫々、 ０°≦φ≦８３° ８３°≦θ≦１０５° ０°≦ψ≦３８° の範囲に設定したことを特徴とする弾性表面波素子。 - 【請求項４】 前記圧電基板のカット面及び弾性表面波
伝搬方向を、 ９８°≦φ≦１８０° ８３°≦θ≦１０５° ０°≦ψ≦３８° の範囲に設定したことを特徴とする請求項３に記載の弾
性表面波素子。 - 【請求項５】 タンタル酸リチウムからなる圧電基板上
に、弾性表面波を伝搬させるための電極を形成した弾性
表面波素子に於いて、該圧電基板のカット面及び弾性表
面波伝搬方向を、オイラー角表示で(φ，θ，ψ)及びこ
れと実質的に等価な範囲とするとき、これらφ、θ及び
ψを夫々、 ０°≦φ≦８７° ８０°≦θ≦１２０° ０°≦ψ≦４４° の範囲に設定したことを特徴とする弾性表面波素子。 - 【請求項６】 前記圧電基板のカット面及び弾性表面波
伝搬方向を、 ９１°≦φ≦１８０° ８０°≦θ≦１２０° ０°≦ψ≦４４° の範囲に設定したことを特徴とする請求項５に記載の弾
性表面波素子。 - 【請求項７】 タンタル酸リチウムからなる圧電基板上
に、弾性表面波を伝搬させるための電極を形成した弾性
表面波素子に於いて、該圧電基板のカット面及び弾性表
面波伝搬方向を、オイラー角表示で(φ，θ，ψ)及びこ
れと実質的に等価な範囲とするとき、これらφ、θ及び
ψを夫々、 ０°≦φ≦８５° ８７°≦θ≦１１４° ０°≦ψ≦３６° の範囲に設定したことを特徴とする弾性表面波素子。 - 【請求項８】 前記圧電基板のカット面及び弾性表面波
伝搬方向を、 ９３°≦φ≦１８０° ８７°≦θ≦１１４° ０°≦ψ≦３６° の範囲に設定したことを特徴とする請求項７に記載の弾
性表面波素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5323997A JPH09331229A (ja) | 1996-03-08 | 1997-03-07 | 弾性表面波素子 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8-51808 | 1996-03-08 | ||
| JP5180896 | 1996-03-08 | ||
| JP5323997A JPH09331229A (ja) | 1996-03-08 | 1997-03-07 | 弾性表面波素子 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006215119A Division JP2006345565A (ja) | 1996-03-08 | 2006-08-07 | 弾性表面波素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09331229A true JPH09331229A (ja) | 1997-12-22 |
Family
ID=26392381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5323997A Pending JPH09331229A (ja) | 1996-03-08 | 1997-03-07 | 弾性表面波素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09331229A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6556104B2 (en) * | 2000-08-31 | 2003-04-29 | Sawtek, Inc. | Surface acoustic wave devices using optimized cuts of a piezoelectric substrate |
| KR100450906B1 (ko) * | 2002-08-09 | 2004-10-01 | 엘지이노텍 주식회사 | 최적 컷팅된 ｓａｗ 장치 및 방법 |
| USRE39975E1 (en) | 1999-09-02 | 2008-01-01 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device and communication device |
| WO2011007690A1 (ja) * | 2009-07-17 | 2011-01-20 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置 |
| JP6050486B2 (ja) * | 2013-10-31 | 2016-12-21 | 京セラ株式会社 | フィルタ素子および通信装置 |
| WO2020209189A1 (ja) * | 2019-04-08 | 2020-10-15 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
-
1997
- 1997-03-07 JP JP5323997A patent/JPH09331229A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USRE39975E1 (en) | 1999-09-02 | 2008-01-01 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device and communication device |
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| WO2011007690A1 (ja) * | 2009-07-17 | 2011-01-20 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置 |
| CN102474238A (zh) * | 2009-07-17 | 2012-05-23 | 株式会社村田制作所 | 声表面波装置 |
| US8427032B2 (en) | 2009-07-17 | 2013-04-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device |
| JP5187444B2 (ja) * | 2009-07-17 | 2013-04-24 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置 |
| CN102474238B (zh) * | 2009-07-17 | 2015-03-11 | 株式会社村田制作所 | 声表面波装置 |
| JP6050486B2 (ja) * | 2013-10-31 | 2016-12-21 | 京セラ株式会社 | フィルタ素子および通信装置 |
| US10153748B2 (en) | 2013-10-31 | 2018-12-11 | Kyocera Corporation | Acoustic wave element, filter element, and communication device |
| WO2020209189A1 (ja) * | 2019-04-08 | 2020-10-15 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
| JPWO2020209189A1 (ja) * | 2019-04-08 | 2021-12-16 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
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