JP4757860B2 - 弾性表面波機能素子 - Google Patents
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Description
山之内、岩橋、柴山著「Wave Electronics,3,(1979−12)」 山之内、端山著「IEEE,Trans.on Sonics and Ulrason.,Vol-SU-31,No.1,Jan.1984」」
前記基板は、回転Y板のカット角度が−10度以上で−5度以下の範囲で、レーレー型の弾性表面波よりも速い伝搬速度を有する擬似弾性表面波が、基板表面においてX軸方向あるいは前記X軸方向に対してプラス・マイナス5度の範囲で伝搬するLiNbO3基板であり、
前記基板と前記薄膜との間に、擬似弾性表面波の励振と受信のための電極が設けられ、前記電極は、AlまたはCuで形成されており、
前記薄膜の膜厚をH、前記擬似弾性表面波の動作中心周波数での波長をλとしたときに、H/λの値が0.07から0.31の範囲であることを特徴とするものである。
または、前記基板の回転Y板のカット角度が、−10度以上で−5度以下の範囲に代えて、−5度以上で0度未満の範囲であり、さらに前記H/λの値が0.115から0.31の範囲である。
異方性の圧電材料であるLiNbO3のX軸の種結晶で育成した単結晶においては、Y軸方向を零度として、前記Y軸方向を基準とした所定の回転Y板のカット面において弾性表面波がX軸方向または、X軸方向に対してプラス・マイナス5度の範囲内で伝搬する場合を考える。
(2)回転Y板のカット角度が−5度以上で+10度以下のとき、H/λは、0.115以上で0.31以下、
(3)回転Y板のカット角度が+10度以上で+15度以下のとき、H/λは、0.16以上で0.31以下、
(4)回転Y板のカット角度が+15度以上で+20度以下のとき、H/λは、0.2以上で0.31以下、
(5)回転Y板のカット角度が+20度以上で+30度以下のとき、H/λは、0.25以上で0.31以下、
さらに、回転角度が0度以上で+10度以下のときも、H/λの最適な範囲は、0.115以上で0.31以下であり、回転角度が+5度以上で+15度以下のときの、H/λの最適な範囲も、0.16以上で0.31以下である。
(7)基板の回転Y板のカット角度が−5度以上で+10度以下のとき、励振または受信領域5ではH0/λが0以上で0.25以下、好ましくは0.05以上で0.25以下、伝搬領域6,7では、H1/λが0.115以上で0.31以下、好ましくは0.15以上で0.25以下、
(8)基板の回転Y板のカット角度が+10度以上で+15度以下のとき、励振または受信領域5ではH0/λが0以上で0.23以下、好ましくは0.05以上で0.23以下、伝搬領域6,7では、H1/λが0.16以上で0.31以下、好ましくは0.16以上で0.23以下、
(9)基板の回転Y板のカット角度が+15度以上で+20度以下のとき、励振または受信領域5ではH0/λが0以上で0.2以下、好ましくは0.05以上で0.2以下、伝搬領域6,7では、H1/λが0.2以上で0.31以下である。
2 薄膜層(SiO2膜)
3、3a、3b 電極(すだれ状電極)
4 短絡型のグレーティング電極
H1、H0 SiO2の膜厚寸法
Claims (6)
- 圧電性あるいは電歪性基板上に、温度変化に対する弾性表面波の周波数の変動特性が前記基板と逆の特性である薄膜が積層された弾性表面波機能素子において、
前記基板は、回転Y板のカット角度が−10度以上で−5度以下の範囲で、レーレー型の弾性表面波よりも速い伝搬速度を有する擬似弾性表面波が、基板表面においてX軸方向あるいは前記X軸方向に対してプラス・マイナス5度の範囲で伝搬するLiNbO3基板であり、
前記基板と前記薄膜との間に、擬似弾性表面波の励振と受信のための電極が設けられ、前記電極は、AlまたはCuで形成されており、
前記薄膜の膜厚をH、前記擬似弾性表面波の動作中心周波数での波長をλとしたときに、H/λの値が0.07から0.31の範囲であることを特徴とする弾性表面波機能素子。 - 前記基板の回転Y板のカット角度が、−10度以上で−5度以下の範囲に代えて、−5度以上で0度未満の範囲であり、さらに前記H/λの値が0.115から0.31の範囲である請求項1記載の弾性表面波機能素子。
- H/λの値が0.13から0.31の範囲である請求項1または2記載の弾性表面波機能素子。
- 周波数温度特性(TCF)が、25℃において、−30ppm/℃から+30ppm/℃である請求項1ないし3のいずれかに記載の弾性表面波機能素子。
- 前記擬似弾性表面波の電気機械結合係数k2が、0.155以上である請求項1ないし3のいずれかに記載の弾性表面波機能素子。
- 前記薄膜が溶融石英から形成されている請求項1ないし5のいずれかに記載の弾性表面波機能素子。
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