JP2008098974A5 - - Google Patents
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- 235000019687 Lamb Nutrition 0.000 claims 6
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims 6
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Claims (2)
- 水晶基板と、該水晶基板の一方の主面に形成される櫛歯状のIDT電極と、
前記水晶基板の他方の主面の少なくともラム波が伝搬する領域にAlまたはAlを主成分とする金属からなる調整膜が形成されており、
前記調整膜の厚さをt、ラム波の波長をλとしたとき、規格化調整膜厚みt/λが、0.04≦t/λ≦0.08の範囲に設定されていることを特徴とするラム波型高周波デバイス。 - 請求項1に記載のラム波型高周波デバイスにおいて、
前記水晶基板の前記調整膜側に接合される補強板を備え、
前記水晶基板と前記補強板との間に形成され且つ平面視においてラム波が伝搬する領域よりも広い面積を有する空間が形成され、
前記空間の周縁の対向する二辺において前記水晶基板と前記補強板とが接合されていることを特徴とするラム波型高周波デバイス。
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JP2006278407A JP2008098974A (ja) | 2006-10-12 | 2006-10-12 | ラム波型高周波デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2006278407A JP2008098974A (ja) | 2006-10-12 | 2006-10-12 | ラム波型高周波デバイス |
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JP2008098974A JP2008098974A (ja) | 2008-04-24 |
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Family Applications (1)
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JP2006278407A Withdrawn JP2008098974A (ja) | 2006-10-12 | 2006-10-12 | ラム波型高周波デバイス |
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