JP5563378B2 - 弾性波素子 - Google Patents
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Description
1.000<H/λ<1.350
0.003<Hs/λ<0.020
0.001<Hb/λ<0.020
の範囲で温度特性が最適となる組み合わせを探すことができる。
0.020<Hs/λ<0.150の範囲となる。
12 水晶基板
13 櫛形励振電極
14 周波数調整膜
15,16 IDT電極
15a,16a ベース電極部
15b,16b 電極指
Claims (1)
- 基板内部を板波が伝搬するようにオイラー角(0°、37.85°、0°)によってカット形成された水晶基板と、この水晶基板の表面に板波を励振させる少なくとも1つの励振電極膜と、裏面に周波数の調整を行う周波数調整膜とを備え、
前記水晶基板の板厚をH、励振電極膜及び周波数調整膜がAuを主成分とする材料からなり、励振電極膜の膜厚をHs、周波数調整膜の膜厚をHb、板波の波長をλとした場合に、
規格化された板厚H/λが、1.00<H/λ<1.29、且つ
規格化された励振電極膜の膜厚Hs/λ及び規格化された周波数調整膜の膜厚Hb/λが、0.005<(Hs/λ=Hb/λ)<0.013
である条件を満たし、
前記水晶基板から位相速度が4500〜6000m/sの範囲の板波を選択して振動モードとしたことを特徴とする弾性波素子。
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