JP2001267880A - Saw共振子 - Google Patents
Saw共振子Info
- Publication number
- JP2001267880A JP2001267880A JP2000073086A JP2000073086A JP2001267880A JP 2001267880 A JP2001267880 A JP 2001267880A JP 2000073086 A JP2000073086 A JP 2000073086A JP 2000073086 A JP2000073086 A JP 2000073086A JP 2001267880 A JP2001267880 A JP 2001267880A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- saw resonator
- width direction
- width
- reflector
- dimension
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
振子の小型化を行う際に、反射器の導体ストリップおよ
びすだれ状電極の電極指の線幅L(Y)を、幅方向に変化さ
せて振動エネルギの閉じ込め効果を向上する。 【解決手段】 弾性表面波の伝搬方向Xに直交する幅方
向Yに関して、前記反射器とすだれ状電極を構成する平
行導体のX方向幅寸法L(Y)が、幅方向Yの中央位置に
おいて広く(寸法LC)、かつ両側において狭い寸法LSを
とることを特徴とする。
Description
て構成されるSAW共振子において、素子サイズの小型化
に役立つ技術を提供するSAW共振子に関する。
電圧を加えて弾性表面波に変換するすだれ状電極(以
降、省略してIDT(Interdigital Transduser)と略記
する)を1つと、その両側に一対の反射器からなる構成
をもつSAW共振子が一般的である(特開平3−2612
10号公報)。前記SAW共振子の動作原理については、
本発明の詳細な説明において詳しく説明するが、いわゆ
るエネルギ閉じ込め型SAW共振子(参考文献:エネルギ
ー閉じ込め弾性表面波共振子,信学技法US87−3
6,pp9−16(1987.9.))と呼ばれるもの
であり、弾性表面波の伝播方向とこれに直交する幅方向
に関しても、振動エネルギの閉じ込め状態が良く比較的
共振先鋭度(Q値)が高いため、VHF,UHF帯周波数を利用す
るSAW発振器に広く使用されるに至っている。
た、約30度から45度の回転Y板である水晶STカッ
トX伝搬基板にてSAW共振子を構成すると、素子の平面
サイズが(x×y)=2mm×2.8mmで、200MH
zにおいて20Ω程度の直列等価抵抗R1の特性をもつも
のが得られている。
スト化要求が著しい民生装置に対して、従来の半分以下
の幅寸法を有する素子サイズ1mm×2.8mmにおい
て、前述の200MHz程度の周波数のSAW共振子を従来と
同一R1性能水準を維持して製造することが困難であっ
た。この原因を究明してみると、主たる原因として、周
波数に依存して決まる弾性表面波の波長λを基準として
幅方向の波長数nが約半分に減少し、SAW共振子におけ
る幅方向のエネルギ閉じ込めが不十分となって(図12参
照)、素子の幅端部においてエネルギの散逸が発生してQ
値の低下が起こり、結果としてR1が増大するためとわか
った。図12において、1200はSAW共振子の幅方
向Yに関する振動変位V(Y)示し、1201は電極導体パ
ターン、1202は振動変位の端部変位ε、1203は
SAW共振子の素子チツプの外形形状(圧電体平板)であ
る。そこで本発明はこのような問題点を解決するもの
で、その目的は、水晶STカットのような周波数温度特
性が優れ、かつ材料のQ値が優れた基板を用いて、従来
に無く小型化をはかりかつ、SAW共振子のQ値が高く、
結果として周波数安定度に優れかつC/Nが良いSAW共振
子を市場に提供することにある。
振子は、圧電体平板上に、少なくとも1個のすだれ状電
極と、前記すだれ状電極が発生する弾性表面波をその両
側において反射するための1対の反射器を前記弾性表面
波の伝搬方向(縦方向X)に配置し、前記反射器とすだ
れ状電極は、前記圧電体平板上に金属の平行導体を周期
的に配置して形成し、前記反射器と前記すだれ状電極間
の最も近接した平行導体間の距離は、すだれ状電極の1
周期長が有するラインLTとスペースSTのうちスペー
スSTからなり、前記すだれ状電極の平行導体の配列周
期長PTを、前記反射器の配列周期長PRより小さい設
定となし、前記すだれ状電極の全体が有するトータル反
射係数Гを10>Γ>0.8とした周波数上昇エネルギ
ー閉込型であるSAW共振子において、前記弾性表面波
の伝搬方向Xに直交する幅方向Yに関して、前記反射器
とすだれ状電極を構成する平行導体のX方向幅寸法L
(Y)が、幅方向Yの中央位置と、両側の寸法が異なるを
特徴とする。 (2)前記(1)において、前記弾性表面波の伝搬方向
Xに直交する幅方向Yに関して、前記反射器とすだれ状
電極を構成する平行導体のX方向幅寸法L(Y)が、幅方
向Yの中央位置において広く(寸法LC)、かつ両側にお
いて細い寸法LSをとることを特徴とする。 (3)前記(1)において、前記弾性表面波の伝搬方向
Xに直交する幅方向Yに関して、前記反射器とすだれ状
電極を構成する平行導体のX方向幅寸法L(Y)が、幅方
向Yの中央位置において細く(寸法LC)、かつ両側にお
いて広い寸法LSをとることを特徴とする。 (4)前記(1)において、寸法L(Y)が幅方向Yの中
央位置について対称なn値(n>2)階段状関数にて与えら
れていることを特徴とする。 (5)前記(4)において、寸法L(Y)がLC>LSの関
係式をもつLCとLSの階段状関数からなることを特徴と
する。 (6)前記(4)において、寸法L(Y)がLC<LSの関
係式をもつLCとLSの2値の階段状関数からなることを
特徴とする。 (7)前記(5)において、寸法L(Y)がLC>LSの関
係式に従っており、SAW共振子の横モードである基本
波斜対称モードA0がのもつ共振周波数f(A0)が、前記
SAW共振子の反共振周波数frより大きくした( f(A
0)> fr )ことを特徴とする。 (8)前記(6)において、寸法L(Y)がLC<LSの関
係式に従っており、SAW共振子の横モードである基本波
対称モードS0に対して、基本波斜対称モードA0のも
つ共振周波数が小さいこと(f(A0)<f(S0))を特徴とす
る。 (9)前記(7)において、寸法LCとLSの関係式がL
C/LS=0.6から0.85であり、すだれ状電極の電
極指交差幅の全長WCに対するLCを有する部分の長さ
WCCの比がWCC/WC=1/3であることを特徴とす
る。 (10)前記(8)において、寸法LCとLSの関係式がL
C/LS=1.05から1.2であり、すだれ状電極の電
極指交差幅の全長WCに対するLCを有する部分の長さ
WCCの比がWCC/WC=1/3であることを特徴とす
る。 (11)前記(1)において、前記圧電体平板が水晶であ
って、30〜45度回転Y板のSTカットであり、かつ
前記すだれ状電極の電極指交差幅WCが、弾性表面波の
波長をλとして、10λから40λの範囲としたことを
特徴とする。 (12)前記(1)において、前記1個のSAW共振子が
有するすだれ状電極の対数Mと片側反射器の導体本数N
の和M+Nが150から200の範囲内であることを特
徴とする。
を説明する前に理論的な解説を行ない、本発明の理解を
助けることにする。水晶、タンタル酸リチウム、PZ
T、四ほう酸リチウム等の圧電体材料から平板を切り出
して、その表面を鏡面研磨した後、レイリー型、SH
型、リーキー型、BGS波等の弾性表面波の位相伝搬方
向に対して直交して、例えば金属アルミニウムからなる
多数の平行導体の電極指を周期的に配置したIDT(す
だれ状電極)を形成し、さらには、その両側に一対の反
射器を多数の導体ストリップを平行にかつ周期的に配置
して構成し、1ポート型のSAW共振子を形成する。
を構成する際の要点として、正電極と負電極を1対とし
てM対としたときに、IDTの電極指全体でのトータル
反射係数Гを次式(1)の通り定義した上で、10>Г
>0.8とすれば、振動エネルギーが共振子の中央に集
中した、いわゆるエネルギー閉込型SAW共振子(参考
文献:エネルギー閉じ込め弾性表面波共振子,信学技法
US87−36,pp9−16(1987.9.))を
実現できることが知られている。
りの弾性表面波の反射係数、Hは前記導体の膜厚、λは
弾性表面波の波長である。
ウム導体で形成されたIDTであれば、b=0.25
5、H/λ=0.03としてM=80対、1個の反射器
の導体本数をN=100本とすれば、従来の1ポートS
AW共振子を構成できる。このときΓ=2.448程度
となる。この構成条件を周波数200MHzの場合に当
てはめてみると、前記STカットの弾性表面波速度Vs
が3150m/sであるから、λ=3150/200=1
5.75μm/sとなり、SAW共振子の全長は、λ
(M+N)=2835μmとなって、素子サイズの全長
が2.8mmの妥当性を説明している。
てWCが40波長とした場合に、素子の幅サイズyが2
mmのとき、R1=20Ω程度、y=1mmではR1が
30から60Ωの範囲でばらつく結果となっている。本
発明はこの原因を解明し、従来水準のR1値を得る対策
を検討する過程で得られたものであるが、解析の手法と
して、以下に述べる独自の理論的な手段を用いた。
わゆる横モードとよばれるモードの振動変位とその共振
周波数を算出し、SAW共振子の設計を行ったもので、
この内容を順に説明する。前記横モードは、SAW共振
子の幅方向(弾性表面波の伝搬方向Xに対してに直交す
るY軸方向のこと)の長さに依存して存在する固有振動
モードであり、前記幅方向の長さとはIDTのもつ電極
指交差幅WCを指すことが一般的である。この電極指交
差幅WCとは、正極性と負極性の電極指が相互に重なる
配置となる幅方向の寸法である。
とする)について、SAW共振子の振動変位を簡便に計
算するための方法として、発明者等はすでにこれら横モ
ードを支配する微分方程式を導いて公開している(高
木,桃崎,他:”常温に動的及び静的零温度係数をもつ
Kカット水晶SAW共振子”,電気学会 電子回路技術
委員会 第25回EMシンポジウム,pp79−80,
(1996))。あらためて、この方程式を記述すると
式(2)となる。
子角周波数、aは幅方向の実効的せん断剛性定数(別名
横異方性定数)、V(Y)は幅方向の弾性表面波変位の
振幅、Yは弾性表面波の波長で規格化したY座標であ
る。また、ω0(Y)は座標Yにおける弾性表面波の速
度を角周波数に換算した量であり、周波数ポテンシャル
関数と呼ぶことにする。この周波数ポテンシャル関数は
SAW共振子の動作点近傍においては、弾性表面波の伝
搬路に存在するアルミニウム金属導体膜の厚みH
(Y)、あるいは線幅L(Y)、さらには前記導体の配
列構造によっても変化する。特に金属導体のλ/2から
なる周期的な配列構造においては、小範囲の近似的な解
釈ではアルミニウム金属の質量m(Y)の関数で変化す
ることが確認されている。従って、SAW共振子の主要
部を構成するすだれ状電極部においては、すだれ状電極
のもつ質量m(Y)によりω0(Y)はほぼ決定され
る。すなはち、ω0(m(Y))である。さらに質量m
(Y)はρを金属導体の密度として、m(Y)=ρH
(Y)L(Y)であるから、前記のω0(Y)は線幅L
(Y)に対してほぼ比例して直線的に降下すると言え
る。 ここで計算を簡単にするために式(2)におい
て、無限の幅寸法(WC=∞)を有するSAW共振子の
周波数ω00を基準としてω002で割って、
=ω0(Y)/ω00は規格化されたポテンシャル関数と
なる。さらにまた、前記P(Y)に代えて、次式の関数
N(Y)を導入することにより、N(Y)=1においてP(Y)=1(即
ちω0(Y)=ω00)に対応させ、N(Y)=0においてP(Y)
=1/η(即ちω0(Y)=ω00η=ωf)に対応させるこ
とができる。ここでωfは電極が存在しない自由表面の
周波数であり、η=ωf/ω00は周波数降下係数であ
る。
次積分にて計算することができる。
が、現実に起きる変位振幅は、エネルギーの最小原理で
ある次式により与えられるΩにおいて得られる。
式であり、これらを用いて、後述の具体的実施例になる
SAW共振子の設計を行い、試作品を製作して測定して
みたので、これらを順に説明する。
図1から順を追って説明する。図1は本発明のSAW共
振子の一種に使用される電極パターンを、平面図で表し
た実施例1である。図1中の各部位の名称は、100は
圧電体平板、102はSAW共振子のすだれ状電極の全
体、101と103は各々、SAW共振子の反射器1と
反射器2である。104と107等は、前記反射器の導
体ストリップであり、105と106等はすだれ状電極
(IDT)の電極指である。前記104、107は導体
ストリップの周期的配列がPR、105,106等は周
期的配列PTで形成されており、それらは弾性表面波の
伝播方向X軸(109)に直交して、幅方向であるY軸
(110)に平行して配置されている。前記PTとPR
の関係は、水晶STカットX軸伝播基板(水晶の機械軸
Yに垂直なY板を電気軸X回りに、反時計方向に30度
から46度回転したカット)を用いた場合には、PR>
PTの関係に設定してIDT102から放射される弾性
表面波の最大強度となる周波数fTと反射器における反
射係数の最大周波数fRをほぼ一致させてSAW共振子
の共振先鋭度を向上させることができる。また、前記の
PTとPRはアルミニウム等の金属薄膜を膜の存在する
領域であるL(ライン)と存在しない領域S(スペー
ス)の和として形成する(PT=LT(ライン)+ST
(スペース),PR=LR(ライン)+SR(スペー
ス))。反射器101とIDT102および反射器10
7とIDT102の導体間距離は、前記STに設定す
る。さらにまた、反射器101、107とIDT102
の正負電極指105と106等は、交差幅の中央部位に
おいて前記L=Lcが広く、両側においてL=Lsが細
い関係(Lc(111)>Ls(112,113))を
もって、全て同一の幅方向Yの長さA1をもって形成す
る(図1領域108WCc)。
平板は、水晶、タンタル酸リチウム、四ほう酸リチウム
等の圧電性を有する単結晶およびZnO等の圧電性薄膜
を形成した基板等からなる。前記の100上に形成され
た前記SAW共振子を構成するIDT102ならびに反
射器101,107等は、アルミニウムおよび金等の導
電性を有する金属膜を蒸着、スパッタ等の手段により薄
膜形成した後、フォトリソグラフィ技術によりパターン
形成して作られる。前記IDTと反射器の電極指群は、
利用する弾性表面波(レーリー波及びSH波等)の位相
進行方向(長手方向+X)に対して直交して、平行かつ
周期的に多数配置される。
共振子に関する他の一実施例について図1のIDT部位
102に限定して図示した電極パターン図である。反射
器等の構成は幅方向Yの形状を図2と同一として図1の
SAW共振子の構成をとる。図中の各部位の名称は、2
01と202は給電導体、203と204はIDTの電
極指等である。205は弾性表面波の位相伝播方向であ
るX軸、206は前記X軸に直交して203,204等
に平行に位置するY軸である。203,204等の電極
指群は幅方向Yに関して3つの領域B21、A22=W
Cc,B23=B21において、異なる線幅Lをとって
いる。領域A22においてL=Lc,領域B21,B2
3においてL=Lsであり、Lc<Lsの関係をとって
いる例である。
AW共振子に関するさらに他の一実施例について図1の
IDT部位102に限定して図示した電極パターン図で
ある。反射器等の構成は幅方向Yの形状を図1と同一と
して、図1のSAW共振子の構成をとる。図3を見れば
わかる通り、nを整数としてn個の線幅 Ln(n=5)
を図示したものである。図中の各部位の名称は、301
と302は給電導体、303と304はIDTの電極指
等である。305は弾性表面波の位相伝播方向であるX
軸、306は前記X軸に直交して303,304等に平
行に位置するY軸、307は電極指の配列周期長Ptで
ある。303,304等の電極指群は幅方向Yに関して
5つの領域 C1,C2,C3,C4,C5において、
各々異なる線幅Li(i=1〜5)をとっている。ただ
し、C1とC5,C2とC3は同一の線幅を有する。ま
た図3の例は、幅方向Yの中央線幅が広く両側が細い例
であるが、逆に中央部位が細く両側が広い場合もあるこ
とは容易に考えられる。
AW共振子に関するさらに他の一実施例について図1の
IDT部位102の1対の電極指に限定して図示した電
極パターン図である。反射器等の構成は幅方向Yの形状
を図2と同一として図1のSAW共振子の構成をとる。
図4を見ればわかる通り、連続的にかわる線幅 L
(Y)の場合を図示したものである。図中の各部位の名
称は、401と402は給電導体、403と404はI
DTの電極指等である。405は弾性表面波の位相伝播
方向であるX軸、406は前記X軸に直交して403,
404等の中心軸(408,409)に平行に位置する
Y軸である。403,404等の電極指群は幅方向Yに
関して、中心軸Xに関して対称関数からなる線幅L(Y)
をもつ。407は電極指の中心軸(408,409)間
の長さを示し、電極指の周期長Ptを表す。また図4の例
は、幅方向Yの中央線幅が広く両側が細い例であるが、
逆に中央部位が細く両側が広い場合もあることは容易に
考えられる。
性につき前述の理論計算結果である図5、図6、図7、
図8を用いて、実測結果である図9、図10の関係を説
明する。
様な線幅 L(Y)=cnst.をもつSAW共振子において実現
する固有モードの変位V(Y)を図示したものである。
上から順に501がS0モード、A0(502)モー
ド、S1(503)モード、A1モード(504)、S
2(505)モードである。前記固有モードの周波数
は、従来の構成であれば前記のS0、A0…の順に増加
する。つぎに図6は前記線幅L(Y)が特定の条件を取る
場合について、規格化ポテンシャル関数N(Y)の形(61
1,612,613)と、横モードの変位V(Y)(60
1,612,613)と、IDTにおける電極指(61
2,622,623)を図示したものである。
る場合は、線幅L(Y)が中央部において細く、両側におい
て広い場合である。この場合の前記関数N(Y)は、前記L
(Y)が小さければ自由表面であるN(Y)=0に近く、L(Y)
が大きければN(Y)は大きくなる。601の変位V(Y)は、
N(Y)の大きな領域により多くの振動エネルギが蓄積され
るため端部において振幅が増大する形となる。つぎに中
央に配置した602,612,622の条件では、電極
指622の線幅L(Y)=一定であり、幅方向変位V(Y)(6
02)は一様に端部に向かって減少する。またつぎに、
変位603,N(Y)が613,623の電極指の条件の場
合には、線幅L(Y)は中央部において広く両端部において
細い場合である。この条件下では、幅方向変位V(Y)は、
前述の602の場合より一層中央部に集中していること
がわかる。変位601の例が図2の実施例に相当し、変
位603の例が図1の実施例に相当する。変位602の
例は従来の構成条件である。
図6の611で示されるN(Y)の状態を取った場合に示す
共振周波数変化である。図6のY軸は5λ分割の目盛り
がとられているから、線幅L(Y)が細い領域WCcは、4
0λの電極指交差幅WCの1/3であり、広い部分は片
側40λの1/3である。図7の横軸は前記線幅L(Y)が
細い領域のポテンシャルN(Y)が0.6から1.0の範囲
で変化した場合である。縦軸は周波数変化率Δf/fを1
0-6(ppm)単位で表示した。図中の700はS0モー
ドでこれがSAW共振子の主共振の直列共振周波数fr
に相当する。701はA0モード、702はSAW共振
子の反共振周波数faである。703はS1モード、7
04はA1モード、705はS2モードである。図7か
ら分かるとおりN=0.85にある点PにおいてS0モ
ードとA0モードは交差しており、0.6から0.85
の範囲あるいは線幅の関係としてLC/LS=0.6から
0.85でにおいては、A0モード周波数f(A0)はS0
モード周波数f(S0)より小さくなることがわかる。
の図5の各横モードが、図6の611で示されるN(Y)の
状態を取った場合に示す共振周波数変化である。Y軸は
5λ分割の目盛りがとられているから、線幅L(Y)が細い
領域は、40λの電極指交差幅WCの1/3であり、広
い部分は片側40λの1/3である。図8の横軸は前記
線幅L(Y)が広い領域のポテンシャルN(Y)が1.0から
1.2の範囲あるいは線幅の関係としてLC/LS=1.
0から1.2で変化した場合である。縦軸は周波数変化
率Δf/fを10-6(ppm)単位で表示した。図中の800
はS0モードでこれがSAW共振子の主共振の直列共振
周波数frに相当する。801はA0モード、804は
SAW共振子の反共振周波数faである。802はS1
モード、803はA1モードである。図8から分かると
おり1.04付近にある点Qにおいて804の反共振周
波数faとA0モードの周波数f(A0)は交差していること
がわかる。
SAW共振子の共振特性を図9と図10に示す。図9は
図8のQ点に対応するものであり、図10は図7のP点
に対応している。
ードの共振周波数fr(903)であり、901はA0
モードの共振である。また、902はS1モードの共振
である。904はS0モードの反共振周波数faであ
る。901のA0モードは、反共振周波数faより十分
にはなれた約1300ppm上に存在していることがわ
かる。従って、903のfrと904のfa間には、ス
プリアスとなる共振が存在しないため、良好な変動のな
い発振周波数が維持できる。ちなみに本発明のSAW共
振子を用いて発振回路を構成した場合の発振周波数につ
いて図11を用いて解説する。図11中の1100の破
線で囲まれた中はSAW共振子の等価回路であり、等価
直列インダクタンスL1、等価直列キャパシタンスC
1、等価直列抵抗R1、並列容量C0からなっている。
1101で表される破線内は発振回路の増幅側の部分で
あって、CLは負荷容量、−Rは増幅回路がつくる負性
抵抗である。この場合において得られる発振周波数fosc
は、次式となる。
るfrと、 CL=0点であるfaの間においてのみ使用で
きることになる。
共振周波数fr(1003)であり、1001はA0モ
ードの共振である。また、1002はS1モードの共振
である。1004はS0モードの反共振周波数faであ
る。1001のA0モードは、共振振周波数frより下
側に約200ppmはなれたて存在していることがわか
る。従って、1003のfrと1004のfa間には、
スプリアスとなる共振が存在しないため、良好な変動の
ない発振周波数が維持できる。この関係は、図7のP点
以下の規格化ポテンシャル値N(0.85以下0.6の
範囲)であれば成り立つことが容易にわかる。
特性につき説明した。構成例は水晶STカットで示した
が、他のカットである16度回転Y板であるLSTカッ
トとか、9.6度回転Y板であるKカットでもよく、さ
らにまた水晶以外の圧電気材料であっても適合できるこ
とをつけくわえる。
ば水晶基板を用いてSAW共振子の小型化をはかるに際
して、前記SAW共振子のIDTを構成する電極指の線
幅L(Y)に幅方向Yに対して変化する形状とすることに
より、幅方向に対する振動エネルギの閉じ込め状態を変
化させることにより所望の特性を得たものである。例え
ば、中央部の線幅LCを両側の線幅LSの関係をLC>LS
とすれば、従来品よりエネルギ閉じ込め状態が良好なS
AW共振子が得られ、逆に LC<LSとすれば、A0モ
ードスプリアスを直列共振周波数より低下させることが
でき、スプリアスによって周波数変動が起きないSAW
発振器が構成できる。その結果として、小型で良好な水
晶SAW発振器を高速通信装置市場に提供でき、今後多
大の利点が期待できる。
体パターンを示す平面図。
IDTの導体パターン図。
例が示す導体パターン図。
一実施例が示す導体パターン図。
ド図。
図。
図。
Claims (12)
- 【請求項1】 圧電体平板上に、少なくとも1個のすだ
れ状電極と、前記すだれ状電極が発生する弾性表面波を
その両側において反射するための1対の反射器を前記弾
性表面波の伝搬方向(縦方向X)に配置し、前記反射器
とすだれ状電極は、前記圧電体平板上に金属の平行導体
を周期的に配置して形成し、前記反射器と前記すだれ状
電極間の最も近接した平行導体間の距離は、すだれ状電
極の1周期長が有するラインLTとスペースSTのうち
スペースSTからなり、前記すだれ状電極の平行導体の
配列周期長PTを、前記反射器の配列周期長PRより小
さい設定となし、 前記すだれ状電極の全体が有するトータル反射係数Гを
10>Γ>0.8とした周波数上昇エネルギー閉込型で
あるSAW共振子において、 前記弾性表面波の伝搬方向Xに直交する幅方向Yに関し
て、前記反射器とすだれ状電極を構成する平行導体のX
方向幅寸法L(Y)が、幅方向Yの中央位置と、両側の寸
法が異なることを特徴とするSAW共振子。 - 【請求項2】前記弾性表面波の伝搬方向Xに直交する幅
方向Yに関して、前記反射器とすだれ状電極を構成する
平行導体のX方向幅寸法L(Y)が、幅方向Yの中央位置
において広く(寸法LC)、かつ両側において細い寸法LS
をとることを特徴とする請求項1記載のSAW共振子。 - 【請求項3】前記弾性表面波の伝搬方向Xに直交する幅
方向Yに関して、前記反射器とすだれ状電極を構成する
平行導体のX方向幅寸法L(Y)が、幅方向Yの中央位置
において細く(寸法LC)、かつ両側において広い寸法LS
をとることを特徴とする請求項1記載のSAW共振子。 - 【請求項4】前記寸法L(Y)が幅方向Yの中央位置につ
いて対称なn値(n>2)階段状関数にて与えられているこ
とを特徴とする請求項1記載のSAW共振子。 - 【請求項5】前記寸法L(Y)がLC>LSの関係式をもつ
LCとLSの階段状関数からなることを特徴とする請求項
4記載のSAW共振子。 - 【請求項6】前記寸法L(Y)がLC<LSの関係式をもつ
LCとLSの2値の階段状関数からなることを特徴とする
請求項4記載のSAW共振子。 - 【請求項7】前記寸法L(Y)がLC>LSの関係式に従っ
ており、SAW共振子の横モードである基本波斜対称モ
ードA0のもつ共振周波数f(A0)が、前記SAW共振子
の反共振周波数frより大きくした( f(A0)> fr )
ことを特徴とする請求項5記載のSAW共振子。 - 【請求項8】前記寸法L(Y)がLC<LSの関係式に従っ
ており、SAW共振子の横モードである基本波対称モード
S0に対して、基本波斜対称モードA0のもつ共振周波
数が小さいこと( f(S0)> f(A0) )を特徴とする請求
項6記載のSAW共振子。 - 【請求項9】前記寸法LCとLSの関係式がLC/LS=
0.6から0.85の範囲であり、すだれ状電極の電極
指交差幅の全長WCに対するLCを有する部分の長さW
CCの比がWCC/WC=1/3であることを特徴とする
請求項7記載のSAW共振子。 - 【請求項10】前記寸法LCとLSの関係式がLC/LS=
1.05から1.2であり、すだれ状電極の電極指交差
幅の全長WCに対するLCを有する部分の長さWCCの比
がWCC/WC=1/3であることを特徴とする請求項
8記載のSAW共振子。 - 【請求項11】前記圧電体平板が水晶であって、30〜
45度回転Y板のSTカットであり、かつ前記すだれ状
電極の電極指交差幅WCが、弾性表面波の波長をλとし
て、10λから40λの範囲としたことを特徴とする請
求項1記載のSAW共振子。 - 【請求項12】前記1個のSAW共振子が有するすだれ
状電極の対数Mと片側反射器の導体本数Nの和M+Nが
150から200の範囲内であることを特徴とする請求
項1記載のSAW共振子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000073086A JP3864665B2 (ja) | 2000-03-15 | 2000-03-15 | Saw共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000073086A JP3864665B2 (ja) | 2000-03-15 | 2000-03-15 | Saw共振子 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001267880A true JP2001267880A (ja) | 2001-09-28 |
JP2001267880A5 JP2001267880A5 (ja) | 2005-03-03 |
JP3864665B2 JP3864665B2 (ja) | 2007-01-10 |
Family
ID=18591392
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000073086A Expired - Fee Related JP3864665B2 (ja) | 2000-03-15 | 2000-03-15 | Saw共振子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3864665B2 (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007081469A (ja) * | 2005-09-09 | 2007-03-29 | Kyocera Corp | 弾性表面波素子及び通信装置 |
JP2008035220A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-02-14 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置及び通信装置 |
WO2011108229A1 (ja) * | 2010-03-04 | 2011-09-09 | パナソニック株式会社 | 弾性波装置 |
JP2014131351A (ja) * | 2010-01-25 | 2014-07-10 | Epcos Ag | 横方向放射損失を低減させ,横方向モードの抑制により性能を高めた電気音響変換器 |
WO2014192756A1 (ja) * | 2013-05-29 | 2014-12-04 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2015007319A1 (en) * | 2013-07-18 | 2015-01-22 | Epcos Ag | Electroacoustic transducer with improved suppression of unwanted modes |
JP2015111923A (ja) * | 2011-03-25 | 2015-06-18 | スカイワークス・パナソニック フィルターソリューションズ ジャパン株式会社 | 高次横モード波を抑制した弾性波デバイス |
JP2017126862A (ja) * | 2016-01-13 | 2017-07-20 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波共振器、フィルタ、及びデュプレクサ |
WO2018079574A1 (ja) * | 2016-10-28 | 2018-05-03 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子 |
WO2018123882A1 (ja) * | 2016-12-26 | 2018-07-05 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
-
2000
- 2000-03-15 JP JP2000073086A patent/JP3864665B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007081469A (ja) * | 2005-09-09 | 2007-03-29 | Kyocera Corp | 弾性表面波素子及び通信装置 |
JP4671820B2 (ja) * | 2005-09-09 | 2011-04-20 | 京セラ株式会社 | 弾性表面波素子 |
JP2008035220A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-02-14 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置及び通信装置 |
CN105680820A (zh) * | 2010-01-25 | 2016-06-15 | 埃普科斯股份有限公司 | 电声转换器及其制造方法 |
US9257960B2 (en) | 2010-01-25 | 2016-02-09 | Epcos Ag | Electroacoustic transducer having reduced losses due to transverse emission and improved performance due to suppression of transverse modes |
CN105680820B (zh) * | 2010-01-25 | 2018-07-03 | 快速追踪有限公司 | 电声转换器及其制造方法 |
US9673779B2 (en) | 2010-01-25 | 2017-06-06 | Qualcomm Incorporated | Electroacoustic transducer having reduced losses due to transverse emission and improved performance due to suppression of transverse modes |
JP2014131351A (ja) * | 2010-01-25 | 2014-07-10 | Epcos Ag | 横方向放射損失を低減させ,横方向モードの抑制により性能を高めた電気音響変換器 |
CN102783022B (zh) * | 2010-03-04 | 2014-12-10 | 松下电器产业株式会社 | 弹性波装置 |
JPWO2011108229A1 (ja) * | 2010-03-04 | 2013-06-20 | パナソニック株式会社 | 弾性波装置 |
CN102783022A (zh) * | 2010-03-04 | 2012-11-14 | 松下电器产业株式会社 | 弹性波装置 |
US8803402B2 (en) | 2010-03-04 | 2014-08-12 | Panasonic Corporation | Elastic wave device |
WO2011108229A1 (ja) * | 2010-03-04 | 2011-09-09 | パナソニック株式会社 | 弾性波装置 |
JP5333650B2 (ja) * | 2010-03-04 | 2013-11-06 | パナソニック株式会社 | 弾性波装置 |
JP2015111923A (ja) * | 2011-03-25 | 2015-06-18 | スカイワークス・パナソニック フィルターソリューションズ ジャパン株式会社 | 高次横モード波を抑制した弾性波デバイス |
US9640750B2 (en) | 2011-03-25 | 2017-05-02 | Skyworks Filter Solutions Japan Co., Ltd. | Acoustic wave device with suppressed higher order transverse modes |
WO2014192756A1 (ja) * | 2013-05-29 | 2014-12-04 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
US10009009B2 (en) | 2013-05-29 | 2018-06-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device including electrode fingers with elongated sections |
WO2015007319A1 (en) * | 2013-07-18 | 2015-01-22 | Epcos Ag | Electroacoustic transducer with improved suppression of unwanted modes |
US10187034B2 (en) | 2013-07-18 | 2019-01-22 | Snaptrack, Inc. | Electroacoustic transducer with improved suppression of unwanted modes |
JP2017126862A (ja) * | 2016-01-13 | 2017-07-20 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波共振器、フィルタ、及びデュプレクサ |
US10476474B2 (en) | 2016-01-13 | 2019-11-12 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Acoustic wave resonator, filter, and duplexer |
WO2018079574A1 (ja) * | 2016-10-28 | 2018-05-03 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子 |
JPWO2018079574A1 (ja) * | 2016-10-28 | 2019-08-08 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子 |
WO2018123882A1 (ja) * | 2016-12-26 | 2018-07-05 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
CN110114973A (zh) * | 2016-12-26 | 2019-08-09 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
US11018650B2 (en) | 2016-12-26 | 2021-05-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acoustic wave device |
CN110114973B (zh) * | 2016-12-26 | 2024-04-26 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3864665B2 (ja) | 2007-01-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5488825B2 (ja) | 弾性表面波共振子、および弾性表面波発振器 | |
JP4645923B2 (ja) | 弾性表面波共振子、および弾性表面波発振器 | |
JP5934464B2 (ja) | 弾性表面波共振子、および弾性表面波発振器、ならびに電子機器 | |
JP5648908B2 (ja) | 振動デバイス、並びに発振器、および電子機器 | |
EP3016282B1 (en) | Elastic wave device | |
JP2002084162A (ja) | 弾性表面波装置 | |
US6946932B2 (en) | Surface acoustic wave resonator with an interdigital transducer divided into regions having a different fixed pitch | |
JP2001267880A (ja) | Saw共振子 | |
JPH09298446A (ja) | 弾性表面波装置及びその設計方法 | |
JPS632414A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
US20100289379A1 (en) | Surface acoustic wave (saw) device | |
JP5563378B2 (ja) | 弾性波素子 | |
JP4059147B2 (ja) | 弾性表面波共振子 | |
JP4465464B2 (ja) | ラム波型弾性波素子 | |
US6160339A (en) | Two-port saw resonator | |
JP6288760B2 (ja) | 弾性表面波デバイス、共振子及び発振回路 | |
JP2012049817A (ja) | 弾性表面波デバイス、および弾性表面波発振器、ならびに電子機器 | |
JP2011171887A (ja) | ラム波型共振子および発振器 | |
JP2002111431A (ja) | 弾性表面波装置 | |
JP2009027671A (ja) | Sh型バルク波共振子 | |
JP5737490B2 (ja) | トランスバーサル型弾性表面波デバイス、弾性表面波発振器および電子機器 | |
CN114079436A (zh) | 弹性波元件 | |
JP5750683B2 (ja) | 二端子対弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および電子機器 | |
JP2015084534A (ja) | 二端子対弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および電子機器 | |
JP3498729B2 (ja) | 弾性表面波共振子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040329 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040329 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051205 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060314 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060427 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060912 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060925 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101013 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101013 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111013 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121013 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121013 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131013 Year of fee payment: 7 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |