JP2011259348A - 弾性波素子 - Google Patents
弾性波素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011259348A JP2011259348A JP2010133838A JP2010133838A JP2011259348A JP 2011259348 A JP2011259348 A JP 2011259348A JP 2010133838 A JP2010133838 A JP 2010133838A JP 2010133838 A JP2010133838 A JP 2010133838A JP 2011259348 A JP2011259348 A JP 2011259348A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- excitation electrode
- thickness
- frequency
- frequency adjustment
- comb
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
【解決手段】 基板内部を板波が伝搬するようにオイラー角(0±2°、35〜40°、0±2°)によってカット形成された水晶基板12と、この水晶基板12の表面に板波を励振させる少なくとも1つの櫛形励振電極13と、裏面に周波数の調整を行う周波数調整膜14とを備え、位相速度が4500〜6000m/sの範囲にある板波の温度特性が25℃付近に変曲点を持つ略3次温度特性になるように櫛形励振電極13と周波数調整膜14の膜厚を調整した。
【選択図】 図1
Description
1.000<H/λ<1.350
0.003<Hs/λ<0.020
0.001<Hb/λ<0.020
の範囲で温度特性が最適となる組み合わせを探すことができる。
0.020<Hs/λ<0.150の範囲となる。
12 水晶基板
13 櫛形励振電極
14 周波数調整膜
15,16 IDT電極
15a,16a ベース電極部
15b,16b 電極指
Claims (7)
- 基板内部を板波が伝搬するようにオイラー角(0±2°、35〜40°、0±2°)によってカット形成された水晶基板を備え、前記水晶基板から位相速度が4500〜6000m/sの範囲の板波を選択して振動モードとしたことを特徴とする弾性波素子。
- 基板内部を板波が伝搬するようにオイラー角(0±2°、35〜40°、0±2°)によってカット形成された水晶基板と、この水晶基板の表面に板波を励振させる少なくとも1つの櫛形励振電極と、裏面に周波数の調整を行う周波数調整膜とを備えたことを特徴とする弾性波素子。
- 前記水晶基板の板厚をH、板波の波長をλとした場合に、
規格化された板厚H/λが、1.000<H/λ<1.350の範囲である請求項2に記載の弾性波素子。 - 前記櫛形励振電極がAuを主成分とする材料からなり、
この櫛形励振電極の膜厚をHs、板波の波長をλとした場合に、
規格化された櫛形励振電極の膜厚Hs/λが、0.003<Hs/λ<0.020の範囲である請求項2に記載の弾性波素子。 - 前記櫛形励振電極がAlを主成分とする材料からなり、
この櫛形励振電極の膜厚をHs、板波の波長をλとした場合に、
規格化された櫛形励振電極の膜厚Hs/λが、0.020<Hs/λ<0.150の範囲である請求項2に記載の弾性波素子。 - 前記周波数調整膜がAuを主成分とする材料からなり、
この周波数調整膜の膜厚をHb、板波の波長をλとした場合に、
規格化された周波数調整膜の膜厚Hb/λが、0.001<Hb/λ<0.020の範囲である請求項2に記載の弾性波素子。 - 前記周波数調整膜が金属材料又は誘電材料からなり、
前記周波数調整膜の膜厚をHb、板波の波長をλ、周波数調整膜の密度をρ(kg/m3)とした場合に、
規格化された周波数調整膜の膜厚密度ρHb/λが、0<ρHb/λ≦386.4の範囲である請求項2に記載の弾性波素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010133838A JP5563378B2 (ja) | 2010-06-11 | 2010-06-11 | 弾性波素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010133838A JP5563378B2 (ja) | 2010-06-11 | 2010-06-11 | 弾性波素子 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011259348A true JP2011259348A (ja) | 2011-12-22 |
JP2011259348A5 JP2011259348A5 (ja) | 2013-07-25 |
JP5563378B2 JP5563378B2 (ja) | 2014-07-30 |
Family
ID=45474999
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010133838A Active JP5563378B2 (ja) | 2010-06-11 | 2010-06-11 | 弾性波素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5563378B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014208664A1 (ja) * | 2013-06-28 | 2014-12-31 | リバーエレテック株式会社 | 弾性波素子 |
CN110198159A (zh) * | 2018-02-27 | 2019-09-03 | 日本电波工业株式会社 | 弹性表面波装置 |
GB2598165A (en) * | 2020-08-18 | 2022-02-23 | River Eletec Corp | Acoustic wave device |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6233620B2 (ja) * | 2015-09-28 | 2017-11-22 | 株式会社村田製作所 | 水晶片及び水晶振動子 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5768925A (en) * | 1980-10-17 | 1982-04-27 | Fujitsu Ltd | Piezoelectric device |
JPH08340230A (ja) * | 1995-06-13 | 1996-12-24 | Meidensha Corp | 水晶振動子 |
JP2003258596A (ja) * | 2002-03-01 | 2003-09-12 | Yasuhiko Nakagawa | ラム波型高周波共振器、これを用いた発振装置、及びラム波を用いた高周波信号生成方法 |
JP2006217566A (ja) * | 2005-01-07 | 2006-08-17 | Seiko Epson Corp | ラム波型高周波共振子 |
JP2008054163A (ja) * | 2006-08-28 | 2008-03-06 | Seiko Epson Corp | ラム波型高周波共振子 |
JP2008098974A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Seiko Epson Corp | ラム波型高周波デバイス |
JP2009246943A (ja) * | 2008-03-12 | 2009-10-22 | Seiko Epson Corp | ラム波型共振子及び発振器 |
-
2010
- 2010-06-11 JP JP2010133838A patent/JP5563378B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5768925A (en) * | 1980-10-17 | 1982-04-27 | Fujitsu Ltd | Piezoelectric device |
JPH08340230A (ja) * | 1995-06-13 | 1996-12-24 | Meidensha Corp | 水晶振動子 |
JP2003258596A (ja) * | 2002-03-01 | 2003-09-12 | Yasuhiko Nakagawa | ラム波型高周波共振器、これを用いた発振装置、及びラム波を用いた高周波信号生成方法 |
JP2006217566A (ja) * | 2005-01-07 | 2006-08-17 | Seiko Epson Corp | ラム波型高周波共振子 |
JP2008054163A (ja) * | 2006-08-28 | 2008-03-06 | Seiko Epson Corp | ラム波型高周波共振子 |
JP2008098974A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Seiko Epson Corp | ラム波型高周波デバイス |
JP2009246943A (ja) * | 2008-03-12 | 2009-10-22 | Seiko Epson Corp | ラム波型共振子及び発振器 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014208664A1 (ja) * | 2013-06-28 | 2014-12-31 | リバーエレテック株式会社 | 弾性波素子 |
JP5835765B2 (ja) * | 2013-06-28 | 2015-12-24 | リバーエレテック株式会社 | 弾性波素子 |
CN105393455A (zh) * | 2013-06-28 | 2016-03-09 | 大河晶振科技有限公司 | 弹性波元件 |
JPWO2014208664A1 (ja) * | 2013-06-28 | 2017-02-23 | リバーエレテック株式会社 | 弾性波素子 |
US9800225B2 (en) | 2013-06-28 | 2017-10-24 | River Eletec Corporation | Elastic wave device |
CN110198159A (zh) * | 2018-02-27 | 2019-09-03 | 日本电波工业株式会社 | 弹性表面波装置 |
CN110198159B (zh) * | 2018-02-27 | 2023-10-27 | Ndk声表滤波器股份有限公司 | 弹性表面波装置 |
GB2598165A (en) * | 2020-08-18 | 2022-02-23 | River Eletec Corp | Acoustic wave device |
JP2022034546A (ja) * | 2020-08-18 | 2022-03-03 | リバーエレテック株式会社 | 弾性波素子 |
GB2598165B (en) * | 2020-08-18 | 2022-08-24 | River Eletec Corp | Acoustic wave device |
JP7249055B2 (ja) | 2020-08-18 | 2023-03-30 | リバーエレテック株式会社 | 弾性波素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5563378B2 (ja) | 2014-07-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7327070B2 (en) | Lamb-wave high-frequency resonator | |
JP5835765B2 (ja) | 弾性波素子 | |
JP5934464B2 (ja) | 弾性表面波共振子、および弾性表面波発振器、ならびに電子機器 | |
JP3622202B2 (ja) | 弾性表面波装置の温度特性調整方法 | |
JP2010233203A (ja) | 弾性表面波共振子、および弾性表面波発振器 | |
JP5563378B2 (ja) | 弾性波素子 | |
JPWO2008114715A1 (ja) | ラム波型弾性波素子 | |
JP4465464B2 (ja) | ラム波型弾性波素子 | |
JP2001267880A (ja) | Saw共振子 | |
US9369109B2 (en) | Surface acoustic wave device and oscillator circuit | |
JP2009077209A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
TWI747636B (zh) | 彈性波元件 | |
WO2010029762A1 (ja) | ラム波型弾性波素子 | |
JP2009027671A (ja) | Sh型バルク波共振子 | |
JP2011171887A (ja) | ラム波型共振子および発振器 | |
JP2011171888A (ja) | ラム波型共振子および発振器 | |
JP2011114397A (ja) | ラム波型弾性波素子 | |
JP2020141382A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
JP2015084534A (ja) | 二端子対弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および電子機器 | |
JP5737490B2 (ja) | トランスバーサル型弾性表面波デバイス、弾性表面波発振器および電子機器 | |
JP5750683B2 (ja) | 二端子対弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および電子機器 | |
JP2011171886A (ja) | ラム波型共振子および発振器 | |
JP2015084535A (ja) | トランスバーサル型弾性表面波デバイス、弾性表面波発振器および電子機器 | |
JP2012049631A (ja) | 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器、電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130611 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130611 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140311 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140507 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140527 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140612 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5563378 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |